JPS63501711A - Optical fiber manufacturing - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 光ファイバの製造 本発明は、光放射線、即ち紫外波長、可視波長及び赤外波長の放射線の伝送に好 適なファイバの製造に関する。[Detailed description of the invention] optical fiber manufacturing The present invention is suitable for the transmission of optical radiation, i.e. radiation of ultraviolet, visible and infrared wavelengths. Concerning the manufacture of suitable fibers.

光ファイバのコアやクラッド中に少量の不純物ドーパント、例えば希土類イオン や遷移金属イオンを加え得ることが、多くの理由から有効である。Small amounts of impurity dopants, e.g. rare earth ions, in the core and cladding of optical fibers It is advantageous for many reasons to be able to add transition metal ions.

不純物ドーパントとして、例えばネオジムやエルビウムを使用して、光フアイバ 増幅器や光ファイバ・レーザを製造することができる。ネオジム・ファイバ・レ ーザの例は、我々の同時係属英国出願第８５２０３０１号に述べられている。Optical fibers can be fabricated using, for example, neodymium or erbium as impurity dopants. Amplifiers and optical fiber lasers can be manufactured. neodymium fiber An example of a user is described in our co-pending UK application no. 8520301.

例えば、石英ガラス・マトリクスへのテルビウム・イオン（Ｔｂ３＋）の混入は 、シリカ・ガラスのヴエルデ定数を増加するということが良く知られており、こ れは磁場と相互に作用するファイバ・デバイスやセンサのために有益である。For example, the incorporation of terbium ions (Tb3+) into a quartz glass matrix It is well known that this increases the Werde constant of silica glass, and this This is useful for fiber devices and sensors that interact with magnetic fields.

販売された温度センサは、ファイバを取巻く媒体の温度を示すために、希土類イ オンや遷移金属イオン、例えば３＋ Ｎｄ　やＣｒ３＋の吸収スペクトルか蛍光減衰時間かのどちらかに於ける温度に 依存する変化を利用して４１１Ｉ成されることができる。The sold temperature sensor uses a rare earth metal to indicate the temperature of the medium surrounding the fiber. on and transition metal ions, e.g. 3+ The temperature in either the absorption spectrum or fluorescence decay time of Nd or Cr3+ 411I can be made using dependent changes.

例えば、シリカ・ガラス・マトリックスにＮｂ３＋イオンを加えることは、カー 効果及びシリカ・ガラスの非線形光学係数の両方を増加させるということが知ら れている。For example, adding Nb3+ ions to a silica glass matrix It is known to increase both the effect and the nonlinear optical coefficient of silica glass. It is.

シリカ・ガラスに成るイオン、例えばセリウムを加えることは、ファイバ中を伝 搬する光信号に入射高エネルギ分子、ウンタを構成することを許す。Adding ions, such as cerium, to silica glass increases the transmission through the fiber. It allows the optical signal to carry incident high-energy molecules to form a counter.

我々は、光ファイバのコア・ガラス又はクラッド°ガラスの一方又は両方中に、 制御可能な少１（＜１ｗｔ％）の一つ以上の不純物ドーパント・イオンを含む光 ファイバの製造を許す新規な製造テクニックを考案した。そのテクニックは、光 フアイバ製造用の反応物送出しシステム中で一般に遭遇される温度で、スターテ ィング物質、例えば希土類ハロゲン化物が、非常に低い蒸気圧を示す故に、高い 融点を持ち、それ故に従来使用できなかったそれらの使用を許す。この湿度は、 通例、上記反応物送出しシステムに堆積管を接続する回転シールに使用されるＰ ＴＦＥ部材が変形し始める温度である約２５０℃に制限されている。また、我々 の工程は、低温（＜２５０℃）で低い蒸気圧を持つ液体にも適用可能である。In one or both of the core glass or cladding glass of the optical fiber, we Light containing a controllable small amount (<1wt%) of one or more impurity dopant ions A novel manufacturing technique has been devised that allows the fabrication of fibers. The technique is light Starter temperature at temperatures commonly encountered in reactant delivery systems for fiber production. materials, such as rare earth halides, exhibit very low vapor pressures and therefore have a melting point, thus allowing their use where previously they could not be used. This humidity is Typically, P is used in the rotating seal connecting the deposition tube to the reactant delivery system described above. The temperature is limited to approximately 250° C., which is the temperature at which the TFE member begins to deform. Also, we The process is also applicable to liquids with low vapor pressure at low temperatures (<250°C).

上記テクニックを使用して、上記ガラス中に加えられた不純物ドーパントは、光 を案内するためにファイバに必要とされる屈折率の差を、それら自身で引起こす ことができる。また、上記率の差は、例えば酸化ボＯン、フッ素、ゲルマニア。Using the above technique, the impurity dopant added into the above glass is they themselves cause the difference in refractive index required in the fiber to guide the be able to. Further, the difference in the above rates is, for example, boron oxide, fluorine, and germania.

五酸化燐、及びチタニアのような、一般に使用される光ファイバ・ドーパントと 協同して成し遂げられることができる。Commonly used fiber optic dopants such as phosphorous pentoxide and titania What can be achieved by working together.

上記テクニックは、他の波長で通信ブレードのファイバの低い損失特性を実質上 残すと同時に、可視／近赤外領域で比較的高い吸収を有する例えば希土類イオン を含む長い長さのファイバの製造を許すので、上記テクニックは独特のものであ る。The above technique effectively exploits the low loss characteristics of communication blade fibers at other wavelengths. For example, rare earth ions with relatively high absorption in the visible/near infrared region The above technique is unique as it allows the fabrication of long lengths of fiber containing Ru.

本発明によれば、ドープされたガラスを混入する光ファイバの製造のためのプリ フォームの製造方法で、ドーパント収容容器中にドーパント物質を堆積すること 、前記容器内のドーパントを加熱して、所定のレートで前記ドーパントを気化さ せること、原料ガスを約２収容容器を通過させて、前記原料質と前記ドーパント 物質を混合すること、前記原料と前記ドーパント物質の混合物から固形成分の混 合物を堆積すること、及び前記プリフォームのためのドープされたガラスを形成 するために、前記固形成分を溶融することの連続的なステップを含むことを特徴 とする、プリフォームの製造方法を提供する。According to the invention, a preprocessor for the production of optical fibers incorporating doped glass A method of producing a foam, including depositing a dopant material in a dopant-receiving container. , heating the dopant in the container to vaporize the dopant at a predetermined rate. The raw material gas is passed through about two storage containers to combine the raw material and the dopant. mixing materials, mixing solid components from a mixture of said raw materials and said dopant materials; Depositing a compound and forming a doped glass for the preform comprising successive steps of melting said solid component to A method for manufacturing a preform is provided.

上記方法は、 （ｉ）　一つ以上のドーパント収容容器中に、一つ以上のドーパント物質を堆積 すること、 （ｉｉ）　Ｉｎｎトド−パント純化するために、及び固形ドーパントの場合には 、前記容器の壁に前記ドーパントを融合するｌζめに、乾燥雰囲気のもとに、前 記容器を加熱すること、 （ｉｉｉ）　原料ガスを前記収容容器を通過させて、前記原料と前記ドーパント 物質とを混合すると同時に、所定のレートで前記ドーパントを気化させるために 前記容器内のドーパントを加熱すること、（ｉｖ）　前記原料と前記ドーパント 物質の混合物から固形成分の混合物を堆積すること、 （Ｖ）　上記堆＠されたび金物を純化するために、乾燥雰囲気のもとで、上記堆 積された混合物を加熱すること、 （ｖｉ）　堆積されたガラスを形成するために、前記固形成分を溶融すること、 （ｖｉｉ）　固形ロッドになるまで中空の管を潰すこと、（ｖｉｉｉ）　光ファ イバを形成するために前記０ツドを線引きすること、 の連続的なステップを含むことが好まし訃。The above method is (i) depositing one or more dopant materials into one or more dopant storage containers; to do, (ii) In order to purify the dopant and in the case of solid dopants. , in a dry atmosphere before fusing the dopant to the walls of the container. heating the container; (iii) Pass the raw material gas through the storage container to combine the raw material and the dopant. to vaporize the dopant at a predetermined rate while mixing with the substance; (iv) heating the dopant in the container; (iv) the raw material and the dopant; depositing a mixture of solid components from a mixture of substances; (V) In order to purify the metal objects each time they are deposited, the deposits are processed under a dry atmosphere. heating the loaded mixture; (vi) melting the solid components to form a deposited glass; (vii) crushing the hollow tube until it becomes a solid rod; (viii) optical fiber delineating the zero point to form a ridge; Preferably including successive steps.

上記ステップ（＋）及び（ｉｉ）は、プリフォーム製造旋盤に上記管を取付ける 前か、上記管が上記旋盤に取付けられてからのいずれかで成し遂げられることが できる。ステップ（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）は常に、上記堆積管が上記＃ｉ過旋盤 に取付けられて行なわれるだろう。ステップ（Ｖ）乃至（ｖｉｉ）は、上記管が 上記製造旋盤に取付けられてか、上記ファイバ線引き工程（ステップ（ｖｉｉｉ ））の間かのいずれかに成し遂げられることができる。Steps (+) and (ii) above involve installing the tube on a preform manufacturing lathe. This can be accomplished either before or after the tube is mounted on the lathe. can. Steps (iii) and (iv) always include the steps (iii) and (iv) in which the deposition tube is It will be installed and carried out. In steps (V) to (vii), the tube is The fiber drawing process (step (viii) )) can be accomplished either.

本発明は、 第１図が光ファイバの製造に使用される化学的気相堆Ｉ装置を示しており、 第２図が３０ｐｐｍのＮｄ”＋を含むファイバの吸収スペクトルであり、 第３図が３００ｐｐｍのＮｄ３＋を含むファイバの蛍光スペクトルであり、 第４図（ａ）がＮｄ３＋のドープされたシングル・モード・ファイバの局所減衰 であり、 第４図（ｂ）が基準ファイバの対応する吸収であり、第５図が水酸基イオン吸収 のための損失を示す吸収スペクトルであり、そして、 ３＋ 第６図がコア中にＴｂ　イオンとＥ、３＋イオンが共にドープされたシングル・ モード・ファイバの吸収スペクトルを示している、 添削図面を参照して説明されるだろう。The present invention Figure 1 shows a chemical vapor deposition I apparatus used for manufacturing optical fibers. Figure 2 shows the absorption spectrum of a fiber containing 30 ppm Nd"+, Figure 3 shows the fluorescence spectrum of a fiber containing 300 ppm Nd3+, Figure 4(a) shows the local attenuation of a Nd3+ doped single mode fiber. and Figure 4(b) shows the corresponding absorption of the reference fiber, and Figure 5 shows the hydroxyl ion absorption. is an absorption spectrum showing the loss for, and 3+ Figure 6 shows a single core in which both Tb ions and E,3+ ions are doped. shows the absorption spectrum of the mode fiber, It will be explained with reference to the corrected drawings.

以下、本発明の一実施例を、第１図を参照して説明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

これは、２５０℃より高い融点を有しく即ち、ＰＴＦＥの融点以下の温度で固形 であり）、且つシングル・モード・ファイバのコア中に混入されるべきである、 シングル・スターティング・ドーパントの使用を許す。It has a melting point higher than 250°C, i.e. it becomes solid at temperatures below the melting point of PTFE. ) and should be mixed into the core of the single mode fiber, Allows the use of single starting dopants.

堆積の前に、堆積管は、静止し１；熱源、例えばバーナ２を使用して、乾燥雰囲 気、例えば塩素ガスかまたはフッ素ガスのいずれかを含むもののちとに、加熱す ることによって純化されるドーパント収容容器１中に、必要とされるドーパント を導入することによって準備される。このステップはまた、上記ドーパントの分 子が上記管内を下流に流れることを妨げ、その後に堆積されたガラス中に泡を形 成する、上記容器の壁に上記ドーパント物質を融合する。次に、上記堆積管４の 内側が、乾燥工程の間堆積されたどのドーパントも取除くために、フッ素を含む コンパウンド、例えば六フフ化硫黄（ＳＦ　）あるいはＣＧ　１２　Ｆ　２のよ うな含ハロゲン炭素化合物を熱分解することによって発生されるフッ素を使用し て、気相エツチングによって洗浄され、次にクラッド・ガラス５が堆積される。Before deposition, the deposition tube is stationary 1; heated to a dry atmosphere using a heat source, e.g. burner 2; after heating, including gas, for example either chlorine gas or fluorine gas. In the dopant storage container 1, the required dopant is purified by prepared by introducing. This step also includes the above dopants. forming bubbles in the subsequently deposited glass, preventing the particles from flowing downstream in the tube. fusing the dopant material to the walls of the container. Next, the deposition tube 4 is The inside contains fluorine to remove any dopants deposited during the drying process compounds, such as sulfur hexafluoride (SF) or CG 12 F2. Fluorine, which is generated by thermally decomposing halogen-containing carbon compounds, is used. It is then cleaned by vapor phase etching and then a cladding glass 5 is deposited.

その後のコア堆積の間、上記ドーパント収容容器は、上記固形不純物ドーパント が昇華するかまたは典型的に９００乃至１２００℃で生ずる数ミリメートルの水 銀の部分的蒸気圧を有する液体になるかのいずれかの温度まで加熱される。これ は、反応物流によって下流へ運ばれる少量の不純物蒸気を生成し、それは堆積バ ーナによって形成されたホット・ゾーン６で酸化され、他のコア形成物質、例え ば５ｉ０２．Ｐ２Ｏ６，ＧｅＯ２と一緒に低温（典型的に＜１６００℃）で、そ れと融合しないように堆積される。次に、多孔性ガラス層が、澄んだ小孔の少な い層を形成するために溶融された後、乾燥雰囲気のもとで、加熱されることによ って、さらに乾燥される。次に、上記管が、固形ロッドを形成するために潰され 、ファイバに線引きされる。During subsequent core deposition, the dopant containing vessel contains the solid impurity dopant. sublimes or occurs typically at 900-1200°C. It is heated to any temperature at which it becomes a liquid with the partial vapor pressure of silver. this produces a small amount of impurity vapor that is carried downstream by the reactant stream, which oxidized in the hot zone 6 formed by other core-forming materials, e.g. ba5i02. At low temperatures (typically <1600°C), the They are deposited so that they do not fuse with each other. Next, the porous glass layer is made of clear, small pores. After being melted to form a thick layer, it is heated in a dry atmosphere. Then it dries even more. The tube is then crushed to form a solid rod. , drawn into fiber.

本発明の他の実施例は、コア領域中に、例えばネオジム・イオンＮｄ３＋のドー プされたシングル・モード光ファイバ及びマルチ・モード光ファイバの製造であ る。Other embodiments of the invention include doping, for example neodymium ions Nd3+, in the core region. Manufacture of single-mode optical fiber and multi-mode optical fiber. Ru.

次に、第２図乃至第４図を参照すると、ドーパント蒸気の源が含水三塩化ネオジ ムＮｄＣ１・６Ｈ０（９９，９％純粋、融点＝７５８℃）である、上記堆積工程 が、先に概し。Next, referring to FIGS. 2 through 4, the source of the dopant vapor is hydrated neodymium trichloride. The above deposition step is NdC1.6H0 (99.9% pure, melting point = 758°C). But first, general information.

て述べられたそれと同梯のマナーで行なわれた。これは、塩素雰囲気のもとで、 上記管内を加熱することによって乾燥され且つ純化され、次に上記管が六フッ化 硫黄＜５Ｆ６）のようなフッ素分解蒸気を使用して、気相エツチングによって洗 浄された。次に、７：１よりも大きい、潰されたプリフォーム中のクラッド直径 対コア直径の比を与えるのに十分な、幾らかの低損失クランド層が堆積された。It was conducted in the same manner as described above. This is done under a chlorine atmosphere. is dried and purified by heating the inside of the tube, and then the tube is hexafluorinated. Cleaning by gas phase etching using fluorine decomposition steam such as sulfur <5F6). Purified. Then, the cladding diameter in the crushed preform is greater than 7:1. Some low loss crund layer was deposited sufficient to provide a core diameter to core diameter ratio.

これは、案内されたモードによって実質的なフィールド貫通があるファイバの領 域中への、基管からのＯＨ−イオン及び他の不純物イオンの侵入のための余分の 損失を妨げるために必要であった。次に、ファイバ・コアが、上記ドーパント収 容容器中に生成されたＮｄＣｌ３蒸気が、上記ホット・ゾーン内でＮ　ｄ　２０ ３に酸化されるように、前述されたように上記ドーパント収容容器を加熱すると はいえ、融合されないで堆積された。その後、上記コア層が、塩素雰囲気のもと で乾燥され、そして固形ロッドに上記管を潰す前に焼固された。This is the region of the fiber where there is substantial field penetration by the guided modes. For the entry of OH− ions and other impurity ions from the base tube into It was necessary to prevent losses. Next, the fiber core is The NdCl3 vapor generated in the container is converted to Nd20 in the hot zone. When the dopant containing container is heated as described above so that the dopant is oxidized to Yes, it was deposited without being fused. After that, the core layer is exposed to a chlorine atmosphere. and calcined before crushing the tube into a solid rod.

モノ・モード・ファイバ及びマルチ・モード・ファイバ上の吸収測定値は、ネオ ジムが三価Ｎ　ｄ３＋イオンとしてガラス・マトリックスに混入よれるというこ とを示す、（０，３乃至３００ｐｐｍのＮｄ３＋のドーパント・レベルに相当す る）３０ｄＢ／Ｋｍから３０．０ＯＯｄＢ／Ｋｍへ（５９０ｎｍで）変化する吸 収ピークを有するファイバが、製造される。３ｏｐｐｍまでのドーパント・レベ ルを有するネオジムがドープされた５００ｍの長さのファイバのための吸収スペ クトルが、第２図（ａ）に示されている。３０００ｄＢ／ｋｍまでの、可視領域 及び近赤外領域に於ける非常に高い吸収レベルが、明瞭に見られることができる 。この高い損失にもかかわらず、２ｄ　Ｂ／ｋｍより小さい９５０ｎｍと１３５ ０ｎｍ間の低損失ウィンドが存在し、その形は従来のファイバに於いて観察され るそれとは余り異なっていないとりうごとが注目されるべきである。１３９０ｎ ｍでの低いＯＨ−吸収ピークは、上記ドーパントの前及び間の両方での、ネオジ ムコンパウンドを乾かすために使用されるテクニックの成功を示している。Absorption measurements on mono-mode and multi-mode fibers It is believed that Jim is mixed into the glass matrix as trivalent Nd3+ ions. (corresponding to dopant levels of Nd3+ from 0.3 to 300 ppm) absorption varying from 30 dB/Km (at 590 nm) to 30.0 OO dB/Km A fiber having an absorption peak is produced. Dopant levels up to 3 oppm Absorbing space for a 500 m length of neodymium doped fiber with The vector is shown in FIG. 2(a). Visible range up to 3000dB/km and very high absorption levels in the near-infrared region can be clearly seen. . Despite this high loss, 950nm and 135nm less than 2dB/km There is a low loss window between 0 nm and the shape observed in conventional fibers. It should be noted that the current situation is not very different from that of the previous model. 1390n The low OH-absorption peak at demonstrates the success of the technique used to dry the compound.

３ｏｏｐｐｍまでのＮｄ３＋のドープされたファイバの蛍光スペクトルは、９４ ０ｎｍ、１１０８０ｎ、及び１３７０ｎｍのピーク波長を有する明白な蛍光帯が 明瞭に見られることができる第３図に示されている。高シリカ・ホスト・ガラス の結果として、上記帯は、従来のレーザのために使用されるコンパウンド・ガラ スに於ける対応する帯よりも僅かに長い波長にシフトされている。５９０ｎｍを 使用する１／ｅ蛍光野命の測定値は、９４０ｎｍ遷移と１０８１０８０ｎ！移の 両方のために４５０μｓの数字を与える波長を上下に動く。さらに、ファイバの 長さに沿ったドーパント混入濃度が、０ＴＤＲテクニツクを使用するファイバの 長さに沿った局所減衰を測定することによって決定された。処理し易い減衰を成 し遂げるように、６２０ｎｍの源波長が、５９０ｎｍの吸収帯の尾の上に存在す るように選択されている。その結果が第４図に示されており、ファイバの長さに 沿ってドーパント混入の良好な均一性を示し、従って、製造工程に於ける高程度 の制御を示してりる。The fluorescence spectrum of Nd3+ doped fiber up to 3ooppm is 94 Obvious fluorescent bands with peak wavelengths of 0nm, 11080n, and 1370nm It is shown in FIG. 3 where it can be clearly seen. high silica host glass As a result, the above bands are made of compound glass used for conventional lasers. wavelengths are shifted to slightly longer wavelengths than the corresponding bands in the spectrum. 590nm The 1/e fluorescence field measurements used are 940nm transition and 1081080n! transfer Moving up and down the wavelength gives a figure of 450 μs for both. In addition, the fiber The dopant concentration along the length of the fiber using the 0TDR technique is It was determined by measuring the local attenuation along the length. Achieves manageable attenuation To achieve this, the source wavelength of 620 nm lies above the tail of the 590 nm absorption band. selected so that The results are shown in Figure 4, where the length of the fiber It shows good uniformity of dopant incorporation along and therefore a high degree of This shows the control of

上記テクニックの他の実施例に於いては、我々は、コア領域にＮｄ３＋イオンを 含む、高り複屈折のシングル偏光ファイバを製造した。これらは、特許出願第８ ２１８４７０号に述べられたように、不均整に非常に高い圧力を加えられた“ボ ウ・タイ（Ｂｏｗ−Ｔｉｅ　）”ファイバを製造するための既知の気相エツチン グ・テクニックに、ファイバ・コア中に不純物ドーパントの混入のための前述さ れたテクニックを組合わせることによって得られた。２００ｐｐｍより多いＮｄ ３＋のドーパント・レベルと組合わされた２ｍｍ程の短いビート長を有するファ イバが、この方法を使用して得られた。In another embodiment of the above technique, we add Nd3+ ions to the core region. A highly birefringent single polarizing fiber was fabricated containing: These are patent application No. 8 As stated in No. Known gas phase etchants for producing "Bow-Tie" fibers Due to the incorporation of impurity dopants into the fiber core, It was obtained by combining the techniques used. More than 200 ppm Nd Fibers with beat lengths as short as 2 mm combined with dopant levels of 3+ was obtained using this method.

他の実施例に於いては、我々は０．２５ｗｔ％のＥｒ３＋までの深度のＥｒ３＋ イオンを含むモノ・モード・ファイバ及びマルチ・モード・ファイバを生成して いる。これは、コア領域に２ｐｐｍまでのＥｒ３＋のドープされたモノ・モード ・ファイバの吸収スペクトルを示す第５図を参照して説明されるだろう。In other embodiments, we provide Er3+ at depths up to 0.25 wt% Er3+. Generates mono-mode and multi-mode fibers containing ions. There is. This is a mono mode doped with up to 2 ppm Er3+ in the core region. - It will be explained with reference to FIG. 5, which shows the absorption spectrum of the fiber.

Ｎｄ３＋のドープされたファイバのために助述されたようにであるが、含水三塩 化エルビウムＥｒＣ１６１−１０３′２ （９９，９％純粋、融点＝７４４℃）である先駆物質を有して、ファイバが製造 された。製造工程の残りは、プリフォームから線引きされた結果のファイバ中に 、クラッド直径対コア直径の比が２＝１までであるように、非常に少しの低損失 クラッド層が堆積されるということを除いては、前述されたのと同様である。し たがって、第５図に見られるように、１３９０ｎｍでのＯＨ−吸収のために予期 される損失より高い損失を与える、ファイバ・コアに対する僅かに制限された場 による基管の貫通があった。０．２５ｗｔ％のＥｒ３＋までを含むファイバは、 ５０ｄＢ／ｍより大きい吸収帯ピークにもかかわらず、１μｍと１．３μｍの間 の領域で４０ｄＢ／ｋｍより小さい損失を与える、このテクニックを使用して製 造された。As mentioned for the Nd3+ doped fiber, the hydrated trisalt Erbium chloride ErC161-103'2 (99,9% pure, melting point = 744°C), the fiber is manufactured with It was done. The remainder of the manufacturing process is performed in the resulting fiber drawn from the preform. , very little low loss, such that the ratio of cladding diameter to core diameter is up to 2=1 Similar to that described above, except that a cladding layer is deposited. death Therefore, as seen in Figure 5, the expected OH- absorption at 1390 nm A slightly restricted field to the fiber core gives a higher loss than the There was penetration of the basal canal by. Fibers containing up to 0.25 wt% Er3+ are between 1 μm and 1.3 μm, despite the absorption band peak being greater than 50 dB/m. manufactured using this technique, giving a loss of less than 40 dB/km in the region of was created.

さらに別の実施例は、コア領域中にエルビウムＥ　ｒ　３４−イオンと共にドー プされたテルビウム・イオンＴｂ３＋を含むファイバに関する。これは、三塩化 テルビウムと三塩化エルビウムの混合物が、堆積の開始の前に、ドーパント収容 容器中に置かれるということを除いては、前述されたように製造される。プリフ ォームから線引きされたファイバは、５１８ｎｍ及び９７０ｎｍでの吸収が、ｌ Ｅｒ３＋イオンの存在のためであるとはいえ、４８６　ｎｍでの大きな吸収スペ クトル及び７２５　ｎｍに中心を置かれた広い吸収が、Ｔｂ３＋イオンの存在の ためである、第６図に示されたような吸収特性を示した。これは、多不純物イオ ンを堆積されたガラスに共にドープすることの可能性を示している。Yet another embodiment is doped with Erbium Er34- ions in the core region. terbium ion Tb3+. This is trichloride A mixture of terbium and erbium trichloride is used to accommodate the dopant prior to the start of deposition. It is manufactured as described above, except that it is placed in a container. Purif The fiber drawn from the foam has absorptions at 518 nm and 970 nm of l Although this is due to the presence of Er3+ ions, there is a large absorption spectrum at 486 nm. The broad absorption centered at 725 nm indicates the presence of Tb3+ ions. Therefore, the absorption characteristics as shown in FIG. 6 were exhibited. This is because many impurity ions This shows the possibility of co-doping the deposited glass with ions.

上記方法はまた、光フアイバ中に他の希土類及び遷移金属を混入するために使用 されることができる。The above method can also be used to incorporate other rare earth and transition metals into optical fibers. can be done.

前述されたようなテクニックが、いわゆるモディファイド化学的気相堆＠（ＭＣ ＶＤ）によって製造可能な全ての＠類、即ち、 ｍ　シングル・モード・ファイバ （ｉｉ）　マルチモード・ファイバ （ｉ　ｉ　ｉ）　高複屈折シングル偏光ファイバ（ｉｖ）　循環的複屈折（螺旋 形コア）ファイバ（Ｖ）　多コア・ファイバ （ｖｉ）　″リング・コア”ファイバ に適応可能であるということが理解されるべきである。Techniques such as those described above are used in so-called modified chemical vapor deposition (MC). All @ types that can be manufactured by VD), i.e. m single mode fiber (ii) Multimode fiber (i i i) High birefringence single polarizing fiber (iv) Cyclic birefringence (helical type core) fiber (V) multi-core fiber (vi) “Ring core” fiber It should be understood that this can be applied to

ふ株丸埴東１　、 工♂”ａｌｌＥｐ”ａドー７″を六ス不イバが醍呟スベ゛フ４／し補正書の翻訳 文提出書（特許法第１８４条の３第１項）昭和６３年２月１２日Fukumaruhanihigashi 1, 6th Fuiba murmured the work ♂ “allEp” ado 7” and translated the amendment. Document submission (Article 184-3, Paragraph 1 of the Patent Act) February 12, 1986

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] １．ドーブされたガラスを混入する光ファイバの製造のためのブリフォームの製 造方法で、ドーパント収容容器中にドーパント物質を堆積すること、前記容器内 のドーパントを加熱して、所定のレートで前記ドーパントを気化させること、原 料ガスを前記収容容器を通過させ、前記原料と前記ドーパント物質を混合するこ と、前記原料と前記ドーパント物質の混合物から固形成分の混合物を堆積するこ と、及び前記ブリフォームのためのドーブされたガラスを形成するために、前記 固形成分を溶融することの連続的なステップを含むことを特徴とする、ドーブさ れたガラスを混入する光ファイバの製造のためのブリフォームの製造方法。1. Manufacture of preforms for the production of optical fibers incorporating doped glass depositing a dopant material in a dopant containing container; heating the dopant to vaporize said dopant at a predetermined rate; The raw material gas is passed through the storage container to mix the raw material and the dopant material. and depositing a mixture of solid components from the mixture of the raw material and the dopant material. and to form a doped glass for the preform. dove, characterized in that it comprises successive steps of melting solid components; A method for producing preform for the production of optical fiber that incorporates glass. ２．前記方法は、上記ドーパント収容容器中に乾燥雰囲気を残すと同時に、上記 ドーパント収容容器を加熱するステッブをさらに含むことを特徴とする請求の範 囲第１項に従ったブリフォームの製造方法。2. The method leaves a dry atmosphere in the dopant container and at the same time Claims further comprising a step for heating the dopant storage container. A method for producing a preform according to paragraph 1. ３．前記方法は、前記ドーパント収容容器の壁に対して固形ドーパントを融合す るステップを含むことを特徴とする請求の範囲第１項に従ったブリフォームの製 造方法。3. The method includes fusing a solid dopant to the wall of the dopant storage container. The manufacturing of a preform according to claim 1, characterized in that it comprises the step of: Construction method. ４．前記ドーパントは、希土類又は遷移金属エレメントを含むことを特徴とする 請求の範囲第３項に従ったブリフォームの製造方法。4. The dopant is characterized in that it contains a rare earth or transition metal element. A method for producing a preform according to claim 3. ５．上記希土類エレメントは、ネオジムであることを特徴とする請求の範囲第４ 項に従ったブリフォームの製造方法。5. Claim 4, wherein the rare earth element is neodymium. A method of manufacturing briform according to Section. ６．上記希土類エレメントは、エルビウムであることを特徴とする請求の範囲第 ４項に従ったブリフォームの製造方法。6. Claim No. 1, characterized in that the rare earth element is erbium. A method for producing a preform according to Section 4. ７．上記希上類エレメントは、テルビウムであることを特徴とする請求の範囲第 ４項に従ったブリフォームの製造方法。7. Claim No. 1, characterized in that the rare element is terbium. A method for producing a preform according to Section 4. ８．上記ドーパントは、複数の不純物イオンを含むことを特徴とする請求の範囲 第１項乃至第３項のいずれかに従ったブリフォームの製造方法。8. Claims characterized in that the dopant includes a plurality of impurity ions. A method for producing a preform according to any one of Items 1 to 3. ９．上記ドーパントは、テルビウムとエルビウムを含むことを特徴とする請求の 範囲第８項に従ったブリフォームの製造方法。9. The dopants of the claim include terbium and erbium. A method of manufacturing a preform according to scope 8. １０．請求の範囲第１項乃至第９項のいずれかによって作られる、光ファイバの 製造のためのブリフォーム。10. An optical fiber made according to any one of claims 1 to 9. BRIFORM FOR MANUFACTURING. １１．請求の範囲第１０項に従ったブリフォームから線引きされた光ファイバ。11. An optical fiber drawn from a preform according to claim 10.