JPS6345874B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 開示技術はガラス製品等を精度高く洗浄する洗
浄装置の技術分野に属する。

〈要旨の概要〉 而して、この発明は超音波等によつてガラス製
品、集積回路用基板等を精密洗浄するための洗浄
装置であつて、フレームのワーク搬入側と搬出側
との間に複数の洗浄槽が配設されると共に、例え
ば、各洗浄槽内に浸積されるワーク受け体が設け
られ、上記各ワーク受け体と上記フレームのワー
ク搬出入側との間にワークを各ワーク受け体に搬
送する搬送体が設けられている洗浄装置に関する
発明であり、特に、洗浄槽に沿つて移動する搬送
体がワークに対する係止部を有する旋回アームを
備え、該旋回アームがその基部を搬送体の横ガイ
ドに沿つてスライド自在に支持されると共にその
一部に搬送体の縦ガイドに係合する係合体を有し
ている洗浄装置に係る発明である。

〈従来技術〉 一般に、光学用のレンズや電子部品集積回路の
ウエハ等のワークは極めて高い精度の清浄度を維
持しなければならないことから仕上げの際に洗浄
を行う場合が多く、超音波洗浄によることが望ま
しいとされている。

周知の如く、従来より上述の洗浄装置としては
ワーク搬入側と搬出側との間にフレームに支持さ
れた複数の洗浄槽が設けられ、該各洗浄槽内にワ
ーク受け体が吊下され、浸積される態様のものが
あつた。

そして、洗浄槽内の洗浄液がクリーンにされて
あつても、各洗浄槽の間の機構部から機械動作の
摩耗等による、或は、摺動等による微細な塵埃の
侵入がある場合には被洗浄物に対する仕上がり洗
浄度が悪くなる場合が多い。

〈発明が解決しようとする問題点〉 さりながら、上述従来技術に基づく洗浄装置に
あつてはフレームのワーク搬出入側と各洗浄槽に
浸積されるワーク受け体との間に搬送体が設けら
れ、該搬送体が各洗浄槽に沿つて移動自在にさ
れ、該搬送体に設けられた旋回アームによりバト
ンタツチ的にワークの受け渡しが行われていたた
め、該旋回アームの先端の軌跡が円弧を描くこと
から、ワーク受け体等に接触する可能性があり、
これを避けるために、余分にスペースを確保する
と装置が大型となり、搬送ストロークが延びて洗
浄タイムが長くなるという欠点があつた。

これに対処するに、例えば、特開昭56−115680
号公報発明や実公昭59−28038号公報考案の如く
旋回アームの先端の軌跡が直線的になるように旋
回アームを回動させる装置を設けると極めて構造
が複雑になるという難点があり、コストアツプに
つながる不利点があり、又、旋回アームを各槽の
間に設けるのでは各槽の間のピツチが大きくな
り、プラント全体が大きくなる不利点があり、
又、連係機構部分が不規則になる不都合さがあ
り、更に、各槽間の上部に旋回アームに対する長
孔を大面積に形成しなければならず、かかる大面
積の長孔をフレームに設けることはトーチの駆動
部等からの塵埃が被洗浄物の通過部分に侵入し、
不測の汚れを生じ兼ねないという不具合がある。

〈発明の目的〉 この発明の目的は上述従来技術に基づく洗浄装
置の問題点を解決すべき技術的課題とし、ワーク
を確実に搬送、受け渡ししながら、各機構部から
の摺動や摩擦による微細な塵埃等が可及的に侵入
しないようにし、効率良く洗浄槽内にて洗浄が行
えるようにし、各種産業における仕上げ技術利用
分野に益する優れた洗浄装置を提供せんとするも
のである。

〈問題点を解決するための手段・作用〉 上述目的に沿い先述特許請求の範囲を要旨とす
るこの発明の構成は前述問題点を解決するため
に、フレームのワーク搬入側と搬出側との間に配
設された複数の洗浄槽に対してワークを供給する
場合には上記フレームのワーク搬出入側と上記洗
浄槽内に浸積されるワーク受け体との間に設けら
れた搬送体の旋回アームによつて供給されたワー
クを各洗浄槽のワーク受け体に順次供給させて各
洗槽で超音波洗浄を行い、洗浄済ワークは上記旋
回アームによりフレームのワーク搬出側へ搬送さ
れ、この間、各洗浄槽の位置へ移送される搬送体
の旋回アームはフレームの立壁に形成された長孔
に外延した姿勢で作動し、機構部からの塵埃が侵
入しないようにし、又、その基部搬送体の横ガイ
ドに沿つてスライド自在にされ、更に、該旋回ア
ームの一部に形成された係合体が搬送体の縦ガイ
ドに係合されているため、該旋回アームの先端が
円弧を描くことなくワークに対し直線的に上下動
するようにした技術的手段を講じたものである。

〈実施例―構成〉 次に、この発明の１実施例を図面に基づいて説
明すれば以下の通りである。

第１〜３図に示す態様はこの発明の要旨を成す
洗浄装置１であり、フレーム２の搬入側と搬出側
には各々ベルトコンベア３，４が接続されてい
る。尚、５は制御盤である。

そして、上記ベルトコンベア３，４の間にはク
リーンタンク６からポンプ７を介して送給される
洗浄液が収容された複数の洗浄槽８，８…が配設
され、所定の洗浄槽８にはフレーム２の上部に設
けれた超音波発振器９に接続された振動子１０が
付設されている。

尚、各洗浄槽８，８…の間にはフレーム２の上
部に設けられたクリーンユニツト１１から送給さ
れる濾過された清浄なエアーを吸引するダクト１
２が付設され、又、フレーム２の搬出側寄りの洗
浄槽８とベルトコンベア４との間には第１図に示
す様に、ベーパ洗浄槽１３が介設されている。

而して、上記各洗浄槽８の上部には第２図に示
す様に、フレーム２に付設されたブラケツト１４
を介して図示しない駆動装置により昇降する揺動
バー１５が設けられ、該揺動バー１５には各洗浄
槽８に対応する位置に洗浄槽８の内部に浸積され
る略Ｌ字状のワーク受け体１６が吊下されてい
る。

そして、上記揺動バー１５の後方には立壁１７
を隔てて該揺動バー１５に沿うレール１８，１８
が敷設され、該レール１８，１８の上部に設置さ
れた搬送体１９がフレーム２に付設されたラツク
２０にピニオン２１を噛合させ、レール１８上を
移動するようにされており、該搬送体１９に枢支
された旋回アーム２２が第１図に示す様に、上記
立壁１７に形成された長孔２３から延出された姿
勢で前記ベルトコンベア３，４間でワーク２４の
受け渡しによる搬出入を行うようにされている。

第４〜７図に示す様に、搬送体１９は箱型ケー
シング２５の下面に前記レール１８を転動する車
輪２６，２６…を有し、ピニオン２１を回転させ
る移動モータ２７が内装され、該移動モータ２７
の上方には前記洗浄槽８，８の長手方向に一対の
横ガイドとしてのガイドバー２８，２８に沿つて
スライド自在に支持された旋回アーム２２の駆動
装置２９が設けられている。

該駆動装置２９は上記ガイドバー２８に沿つて
スライドする口字状のスライド体３０の内部に基
部としての駆動軸３１とその上方に位置する従動
軸３２とが各々ケーシング２５、及び、前記立壁
１７を貫通して回転自在に支持され、該駆動軸３
１の基部に取り付けられたスプロケツト３３と上
記スライド体３０の上部に設置されたモータ３４
のスプロケツト３５との間にチエーン３６が巻装
係合されている。

そして、駆動軸３１と従動軸３２の先端に第６
図に示す様に、各々駆動アーム３７と従動アーム
３８とが平行リンクを成して先端側をブラケツト
３９で一体化され、該ブラケツト３９に掛止部と
してのフツク４０が枢支された昇降アーム４１が
支持されている。

又、駆動アーム３７と従動アーム３８の先端側
のケーシング２５の内部には上記駆動アーム３７
と従動アーム３８に対応して各々係合体としての
旋回アーム４２，４３が上記ケーシング２５に立
設された縦ガイド４４に第５図に示す様に、その
先端のローラ４５を係合させた状態で旋回自在に
され、該ガイドアーム４２，４３が各々上記駆動
アーム３７と従動アーム３８と同一長で、且つ、
駆動軸３１と従動軸３２の各々の軸を含む平面内
に取り付けられている。

尚、上記駆動アーム３７と従動アーム３８、及
び、昇降アーム４１と旋回アーム２２が構成さ
れ、又、前記移動モータ２７、モータ３４、及
び、ポンプ７、超音波発振器９、クリーンユニツ
ト１１、ベルトコンベア３，４は各々前述した制
御盤５を介して図示しない制御装置に接続されて
いる。

又、上記フレーム２の立壁１７に設けられた長
孔には洗浄槽８，８…にダストが入らないように
遮断用のシール帯が巻き取り自在に張設されてい
る。

〈実施例―作用〉 上述構成において、予めクリーンタンク６の洗
浄液をポンプ７により図示しないフイルタにて濾
過して各洗浄槽８，８…に送給すると共にクリー
ンユニツト１１からクリーンエアーを洗浄槽８，
８に向けて送給させておく。

而して、電子部品のウエハ等が収納されたバケ
ツトのワーク２４がフレーム２の搬入用のベルト
コンベア３の搬入端に搬送されて位置すると、図
示しない制御装置を介して前記搬送体１９のモー
タ２７が駆動し、該搬送体１９はラツク２０とピ
ニオン２１によりレール１８上を移動し、ワーク
２４の搬入用のベルトコンベア３寄りの位置で停
止する。

次いで、モータ３４が駆動し、スプロケツト３
３，３５、チエーン３６を介して駆動軸３１が回
転すると駆動アーム３７と従動アーム３８とがブ
ラケツト３９により一体とされた旋回アーム２２
をフレーム１７の長孔２３外で旋回し、昇降アー
ム４１に支持されたフツク４０が下降する。

ところで、この際、駆動軸３１に一体固定さ
れ、旋回アーム２２と一体的に旋回するガイドア
ーム４２，４３がケーシング２５に立設された縦
ガイド４４にその先端のローラ４５を係合させて
いるため、駆動軸３１が回転するとガイドバー２
８に支持された駆動装置２９は第６図左側へ矢印
で示す方向にスライドする。

したがつて、フツク４０，４０は円弧状の軌跡
を描くことなく直線的に下降し、ワーク２４に接
触することなく、第６図の２点鎖線で示す下死点
位置で停止する。

すると、モータ２７により搬送体１９が僅かに
レール１８上を移動し（以下寸動という）。フツ
ク４０，４０がワーク２４の下側に位置し、モー
タ３４を介して旋回アーム２２が前述とは逆方向
に旋回するため、垂直方向に上昇するフツク４
０，４０によつてワーク２４はスムーズに上昇
し、旋回アーム２２の上死点位置で停止する。

そして、旋回アーム２２のフツク４０，４０に
より吊下されたワーク２４は移動モータ２７によ
りレール１８上を移動する搬送体１９により最も
搬入側に近い洗浄槽８の上部に移送され、旋回ア
ーム２２により洗浄槽８の内部のワーク受け体１
６に載置され、搬送体１９が寸動した後、旋回ア
ーム２２が再度上死点位置でまで旋回すると超音
波発振器９がONとなり、振動子１０により超音
波洗浄が開始される。

この間、旋回アーム２２の先端のフツク４０，
４０は前述同様に垂直方向に上昇するため、洗浄
槽８の内壁やワーク２４に接触することがなく、
接触によりダストが発生して洗浄度を低下させる
こともない。

そして、ワーク２４を所定時間洗浄した後、上
記搬送体１９とその旋回アーム２２により次段洗
浄槽８に前述と同様に移送し、搬入側のベルトコ
ンベア３から搬入される後続のワーク２４を再び
最も搬入側に近い洗浄槽８に供給させる。

このようにして順次供給されるワーク２４を複
数の洗浄槽８，８…で揺動バー１５を介して上下
動させながら効率良く洗浄し、搬出側に配設され
たベーパ洗浄槽１３で最終洗浄を行い、搬出側の
ベルトコンベ４から搬出させる。

ところで、上述工程を経て洗浄されたワーク２
４は搬送体１９が立壁１７により隔絶されている
ため、該立壁１７に穿設された長孔の外延部でワ
ーク２４に対するバトンタツチを行う旋回アーム
が作動するために、該立壁１７の長孔の総面積が
少く、したがつて、機構部からの塵埃等が侵入し
て各洗浄槽８やワーク２４に付着する等の虞がな
い。

そして、搬送体１９の移送により洗浄槽８，８
…が汚染されることはなく、更に、旋回アーム２
２に支持されたフツク４０，４０が垂直方向に上
下動するため、洗浄槽８，８…をはじめとする各
部をコンパクトに出来、装置全体が大型化するこ
とによつて生ずる汚染源の増加を防止することが
出来る。

〈他の実施例〉 尚、この発明の実施態様は上述実施例に限られ
るものではないことは勿論であり、例えば、縦ガ
イドに沿つて旋回するガイドバーの長さは短くし
ても良く、又、旋回アームに突起を設けてガイド
溝に係合させても良く、搬送体をチエーンとスプ
ロケツトによつて移動させても良い等種々の態様
が採用可能である。

〈発明の効果〉 以上、この発明によれば、基本的に洗浄液自体
の洗浄度を維持することは勿論のこと、外部の雰
囲気をも清浄な状態に維持しなければならい超音
波洗浄において、唯一の汚染源となるワークの搬
出入の際の旋回アームの軌跡を最短となるように
して洗浄槽を出来るだけクリーンな状態にするこ
とが出来、仕上げ工程としての精密部品等の信頼
性を極めて高くすることが出来る優れた効果が奏
される。

又、搬送体が洗浄槽に沿つて移動自在にされる
と共にワークに対する係止部を有する旋回アーム
を備えていることにより、ワークを上下動させる
装置の如く大きな駆動ストロークが必要なく、無
駄のない作動を実現させることが出来るという優
れた効果が奏される。

更に、旋回アームがその基部を搬送体の横ガイ
ドに沿つてスライド自在に支持されると共にその
一部に搬送体の縦ガイドに係合する係合体を有し
ていることにより、縦ガイドに規制された旋回ア
ームの係止部は垂直方向に上下動して洗浄槽内壁
に接触して洗浄度を低下させるようなこともな
く、その結果、その分だけスペースが削減出来、
洗浄槽を含む装置全体をコンパクト化することが
可能となる優れた効果が奏される。

加えて、構造が簡単であるため、故障も少く、
低コストで製作出来るという利点もある。

更に、旋回アームはフレームの立壁に洗浄槽の
配列長さ方向に穿設した長孔の外延部で作動する
ために、該長孔の面積が小さくすることが出来、
それだけ、各機構部の摩擦や衝動による塵埃等が
各バトンタツチプロセスのワークに付着したり、
洗浄槽内に侵入する等の虞がほとんどなくなり、
それによつても、洗浄仕上がり精度が著しく向上
するという優れた効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の１実施例の説明図であり、第
１図はこの発明の要旨を成す洗浄槽の全体正面
図、第２図は同側面図、第３図は同平面図、第４
図は搬送体の側断面図、第５図は同正断面図、第
６図は同正面図、第７図は同平面図である。 ２…フレーム、２４…ワーク、８…洗浄槽、１
９…搬送体、４０…掛止部、２２…旋回アーム、
３１…基部、２８…横ガイド、４４…縦ガイド、
４２，４３…アーム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ フレームのワーク搬入側と搬出側との間にフ
   レームに支持された複数の洗浄槽が配設され各洗
   浄槽とフレームのワーク搬出入側との間にワーク
   を各洗浄槽に搬送する搬送体が設けられている洗
   浄装置において、該搬送体が各洗浄槽に沿つて移
   動自在にされると共にワークに対する掛止部を有
   し、上記フレームの立壁に洗浄槽の配列方向に形
   成した長孔の外側に延設された旋回アームを備
   え、該旋回アームがその基部を搬送体の横ガイド
   に沿つてスライド自在に支持されると共にその先
   部に搬送体の縦ガイドに係合するリンク式の一対
   のアームを有していることを特徴とする洗浄装
   置。