JPS6342164U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6342164U JPS6342164U JP13633986U JP13633986U JPS6342164U JP S6342164 U JPS6342164 U JP S6342164U JP 13633986 U JP13633986 U JP 13633986U JP 13633986 U JP13633986 U JP 13633986U JP S6342164 U JPS6342164 U JP S6342164U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- raw material
- material supply
- producing
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の単結晶製造用ルツ
ボを示す平面図、第２図は第１図の―線視断
面図、第３図は同ルツボを使用した単結晶製造装
置の縦断面図である。 １…炉体、３…黒鉛サセプタ、４…ヒータ、６
…ルツボ、６Ａ…ルツボ本体、６Ｂ…樋部材、７
…原料供給路、８…受け皿、９…ノズル、１０…
原料供給パイプ。
ボを示す平面図、第２図は第１図の―線視断
面図、第３図は同ルツボを使用した単結晶製造装
置の縦断面図である。 １…炉体、３…黒鉛サセプタ、４…ヒータ、６
…ルツボ、６Ａ…ルツボ本体、６Ｂ…樋部材、７
…原料供給路、８…受け皿、９…ノズル、１０…
原料供給パイプ。
Claims (1)
- 有底筒状のルツボ本体の内側面に沿つて、上下
端が開口する原料供給路を形成したことを特徴と
する単結晶製造用ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13633986U JPS6342164U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13633986U JPS6342164U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342164U true JPS6342164U (ja) | 1988-03-19 |
Family
ID=31039354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13633986U Pending JPS6342164U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6342164U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01148781A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 粉粒体供給管 |
| JP2010208869A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Sharp Corp | 多結晶体または単結晶体の製造装置および製造方法 |
-
1986
- 1986-09-05 JP JP13633986U patent/JPS6342164U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01148781A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 粉粒体供給管 |
| JP2010208869A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-09-24 | Sharp Corp | 多結晶体または単結晶体の製造装置および製造方法 |