JPS6339614A - 煙道ガスの浄化方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、煙道ガスもしくはその他の汚染されかつ５０
３を含有する湿り排ガスの浄化方法に関する。

〔発明の概要〕 本発明は煙道ガスの浄化方法において、煙道ガスを所定
温度まで冷却し、所定濃度の希硫酸を凝縮させ、ＳＯ，
凝縮器からの流出ガスを洗浄器内で所定温度まで冷却し
、洗浄器からの流出ガスを加熱器内で希硫酸によって所
定温度まで冷却し、ＳＯ３凝縮後のガスをフィルタに通
し、希硫酸をＳＯ１凝縮器内に噴霧し、洗浄器からの流
出ガスの温度を調整して洗浄器内で取入れた水が流出ガ
ス内に残るようにし、冷却された煙道ガスを所定の温度
に調整し、加熱器内に噴霧される希硫酸を所定量に調整
することにより、煙道ガスからＳＯｌ及びその他の有害
物質を申し分なく除去すると共に、比較的高濃度の硫酸
を簡単な方法でかつ経済的に得ることができるようにし
たものである。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕燃焼
プラントから生ずる煙道ガスには、とくにｓｏ、、ＮＯ
ｘ　、　　ＨＣＩ、　ＨＦなどの有害物質が含まれてい
る。従って、大規模な燃焼プラントで１重量％の硫黄を
含有する石炭を燃焼させた場合、煙道ガス中の酸素含有
率を６容量％として、例えばＳＯ□含量は１，９００〜
２．０００ｍｇ／Ｎｍ３、Ｈｃｌ含量は１５抛ｇ／Ｎｍ
３未満、Ｉ（Ｆ含量は５０ｎ＋ｇ／Ｎ＋ｗ’未満となる
。なおＮＯｘの含有量に関しては、その都度の燃焼形式
と使用される石炭の質とに応じて、ＮＯｔが６００ｍｇ
／Ｎｎ＋３未満から２．０００ｍｇ／Ｎｍ３以上までと
なる。

このような有害物質の放出量を低下させるため、煙道ガ
スに触媒を用いた後処理を施すことは公知である。この
場合、ＳＯｘは酸化されてＳＯｌとなり、ＮＯＸはアン
モニアＮＨ，で還元されてＮ２となる。次いでこの湿り
ガスは硫酸の露点より低い温度まで冷却され、ＳＯ３が
硫酸として凝縮される。

このような形式による方法は、ドイツ連邦共和国特許出
願公開第３３３１５４５号明細書から公知である。この
場合、ＳＯ３を含む湿りガスは、先ず空気予熱器の第１
段階で硫酸の露点より高い温度まで冷却され、次いで第
２段階で硫酸の露点より低い温度まで冷却される。空気
予熱器の第２段階は、例えばガラス管のような耐酸性材
料から構成されている。この第２段階における冷却を行
うことができるのは、大規模燃焼プラント条例に規定さ
れた煙道開口部における最低温度と、煙突内の排ガスに
必要な浮揚力とを辛うじて保証するに足るだけの温度ま
でに限られており、従って比較的低い温度でガスを高純
度のガスとして浄化することは出来ない。

本発明の課題は、ガス中に含まれている８０３分を出来
るだけ高濃度の硫酸として凝縮することによって除去す
ると共に、場合によって矢張りこのガス中に含まれる他
のガス状有害物質、例えばＩＩｃＬ　。

ＨＰ及びＳｏｔなどをも付加的に除去し、かつ煙突にお
いて必要とされるガス温度を技術的に簡単で経済的な方
法により得ることである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の課題の解決は本発明の方法によれば、下記の工程
（ａ）〜（ｉ）によって達成される：　（ａ）煙道ガス
を熱交換器内で間接的な熱交換により硫酸の露点より低
い温度まで冷却すること、（ｂ）冷却されたガスをＳ（
ｈ凝縮器内で向流噴霧される希硫酸によって更に所定の
温度まで冷却し、所定の濃度の希硫酸を凝縮させること
、（ｃ）　　Ｓｏ、凝縮器からの流出ガスを精密洗浄器
内で水溶液の噴霧により洗浄して４０℃〜５５℃の温度
まで冷却すること、 （ｄ）精密洗浄器からの流出ガスを加熱器内でＳＯ３凝
縮器からの希硫酸を噴霧することによって所定の温度ま
で加熱すること、 （ｅ）　　５０３が凝縮された後のガスをフィルタに通
すこと、 （ｆ）希硫酸を加熱器からＳ（ｈ凝縮器内に噴霧するこ
と、 （ｇ）工程（ｄ）におけるガスの温度を、工程（ｃ）で
取入れた水が凝縮されることなく流出ガス内に残留する
ように選択すること、（ｈ）工程（ａ）からのガスの流
出温度を、工程（ｂ）で生ずる希硫酸の温度が工程（ｄ
）におけるガスの温度とほぼ等しくなるように調整する
こと、 （ｉ）工程（ｄ）で噴霧される希硫酸の量を、工程（ｄ
）で生じる希硫酸の温度が工程（ｂ）で必要とされるガ
ス流出温度とほぼ等しくなるように言周整すること。

本発明の方法で用いられる熱交換器は、例えばガラス管
、プラスチック管、プラスチックコーティングされたバ
イブ、琺瑯引きのバイブ、グラファイト管などの管を有
する耐食性のバイブ型熱交換器として構成されており、
冷却媒体としてはすぐれて空気が用いられる。予熱され
た空気は、通常形成による後続の熱交換器内で更に加熱
してから燃焼空気として用いることが出来る。熱交換器
内で生ずる硫酸凝縮物は、後続のＳＯ３凝縮器内に流入
させることが可能であり、あるいは製品として取出すこ
とも可能であって、その場合は濃度が幾分高められる。

このＳ（ｈ凝縮器は、空の塔として又は充填物質が収容
された塔として、或いは希硫酸の噴霧される単数または
複数のノズルプレートを存する塔として構成することが
出来る。硫酸はノズル噴射または噴霧供給が可能である
。出口の手前にはミスト分離器を配置しておくことが出
来る。希硫酸は底部に設けられた溜めに集められる。熱
交換器とＳＯ３凝縮器との間にはベンチュリ管を水平方
向または鉛直方向で接続することが可能であり、このベ
ンチュリ管内では、希硫酸のノズル噴射による付加的な
ガス処理が行われる。精密洗浄器は凝縮器のように構成
することも、或いはベンチュリ管のように構成すること
も可能であり、ベンチュリ管として構成された場合には
、精度の高い洗浄が洗浄媒体の並流によって行われる。

この精密洗浄器はＳＯ１凝縮器の上に載設可能であり、
場合によっては凝縮器とは別個に配置することも出来る
が、そのいずれの場合にも、各液体回路間が接続される
ことはない。

洗浄液として使用されうるのは、水または約２０％まで
の極めて薄い硫酸、もしくはＩＩｃＩ及びＩＩＦを洗浄
することの出来る他の任意な液体である。

この水溶液を循環回路で案内すると効果的であり、その
場合、ガスによって取込まれる水に相当する量の水が補
充される。ガスの洗浄工程で分離された有害物質は、分
岐された部分流として連続的に排出除去されるか、又は
例えば中和によって非連続的に除去される。加熱器も矢
張りＳ（ｈ凝縮器と同じように構成可能であって、有利
には並流ではなく向流方式により作動される。

フィルタが加熱器内又は精密洗浄器内又はＳＯ。

凝縮器内に配置可能である。なおこのフィルタは、キャ
ンドルフィルタ、金網式フィルタ、薄膜フィルタ又は積
層フィルタとして構成することが可能である。

ＳＯ１凝縮器と加熱器における各溜めは、酸の量を補償
、調整するように互いに接続することが出来る。５０３
凝縮器内でガスが冷却される温度は、水と硫酸とな混合
成分（１１，０／）１２ＳＯ，）の分圧に応じて変動す
る。凝縮される希硫酸の濃度は、主として６０〜７５％
の範囲の値に設定される。この設定値と高精度浄化に必
要な温度と浄化に際して必要とされる水蒸気取入量とを
基礎にして、その他の全ての所要温度及び必要酸量を規
定することが出来る。

本発明の方法において、希硫酸の濃度を６０〜８０重量
％、有利には６５〜７５重量％に設定しておくと効果的
である。希硫酸の濃度がこの範囲内で設定されていると
、加熱器から流出する際の所望のガス温度を特に有利な
形で経済的に得ることが出来る。

本発明の有利な１実施態様によれば、精密洗浄器内に噴
霧される水溶液は＋１．０．又はｏｚｓｚｏｓを含有し
ている。このことにより、残留ＳＯ□も酸化されてＳ（
ｈとなり、吸収される。その上ＳＯ□のＳＯｌへの接触
反応の不安定性又は触媒の破壊が緩和される。また、Ｎ
Ｏｘ含量も低下する。

本発明の有利な実施態様によれば、精密洗浄器内に噴霧
される水溶液は循環回路を案内され、間接的な熱交換に
より冷却される。このような措置がとられているならば
、有害物質を洗浄液内で著しく濃縮させることが可能に
なり、その後の処理が容易となる。更にこの場合、添加
された１■２０□又は１１□５２０ａが効果的に利用さ
れる。

本発明の別の有利な実施態様によれば、加熱器から流出
されるガスの温度が、高温ガスを添加混合することによ
って上昇される。この場合、例えば高温の空気を複数の
小さな部分流として添加混合すると温度変動を極めて効
果的に緩和することが出来る。この種の高温ガス添加が
必要とされるケースとして、材料面での理由に基づいて
、所望の徘ガス温度が完全には得られないほど硫酸濃度
を低く抑えておかねばならない場合が挙げられる。

更に本発明の有利な実施態様によれば、５Ｏ８ｉ縮器か
ら加熱器内に導かれる希硫酸の温度が、間接的な熱交換
によって上昇される。このような措置をとることによっ
ても、矢張り本発明の課題を効果的に解決することが可
能であり、この場合の加熱は例えば蒸気のような別個の
熱源によって行われる。

〔実施例〕

以下、添付図面に示した実施例につき本発明の詳細な説
明する。

１庭五上（第１図） ｌＮｍ’　当り約２，０００ｍｇの３０２、約８００ｍ
ｇのＮ　ＯＸ　％約５０ｍｇのＳＯ２、約１５０ｍｇの
ＨＣＩ　、約３０１１Ｉｇの旺及び約５０ｇの８２０を
含む石炭燃焼プラントからの除塵処理された煙道ガスを
約４５０℃の温度で１時間当り１２０．０００８ｍ３の
割合で導管１からデノックスーデソックス（ＤＥＮＯＸ
−ＤＢＳＯＸ−）触媒塔３．４に供給する。この煙道ガ
スには混合装置２ａ内で導管２からＮＨ，が添加される
。デノックス触媒塔３内ではＮＯｘがＮ１１３により還
元されてＮ２となり、デソックス触媒塔４内では、ＳＯ
□が酸化されてＳＯ３となる。約４５０℃の温度で触媒
と充分な接触反応を行った煙道ガスは４管５を経て供給
予熱器６に達し、そこで約４００℃まで冷却され、次い
で空気予熱器７内で更に約２３０℃〜２５０℃まで冷却
される。

更にこの煙道ガスは導管８、ファン９及び導管１０を経
て空気予熱凝縮器１１に入り、そこで約１５７°Ｃまで
冷却される際に、煙道ガス中に含まれるＳＯｌの約３０
％が凝縮される。煙道ガスは更に導管１２を経て凝縮器
１４に達する。この凝縮器１４は、ノズル装置３８ｅを
有する並流式ベンチュリ管１３及び、ノズルプレート１
５とノズル装置３８ｆとスプレー分離器１６とを有する
向流装置１４から構成されており、また煙道ガス中に残
留しているＳＯｌの約７０％がこの凝縮器１４内におい
て約９２℃で凝縮される。ＳＯ８を除去された煙道ガス
は約９２℃の温度で導管１７から精密洗浄器１８に達す
る。この精密洗浄器１８は分配プレート１９、ノズル装
置３９ｄ及びキャンドルフィルタ２０を有し、洗浄器１
８内では、ガス中に含まれるＨＣＩ　、　ＨＦ及び痕跡
のＳＯ□とＳＯ３が、酸液又は約５〜２０重量％の硫酸
により約４０℃の温度で充分に洗浄される。硫酸ミスト
の分離はキャンドルフィルタ２０内で行われ、洗浄器１
８における約９２℃から約４０℃へのガス冷却は水蒸気
によって行われる。この洗浄器１８内には１時間当り約
２．４ｍ”の水が導管４６から供給され、気化される。

このように処理されたガスは、導管２１を経て約４０゛
Ｃの温度で加熱塔２２内に達し、分配プレート２３とノ
ズル装置３７ｃとを存する加熱塔２２内で、ガスは約１
０５°Ｃに予熱される。この浄化されたガスは４管２５
、ファン２６、導管２７及び煙突２８を経て大気中に放
出される。なお、この排ガスｌ　　Ｎｍ’に含まれる物
質は次の通りである： ＳＯｚ　　　　　　　　１３０〜１５０ｍｇＳＯ３’　
　　　　　　　３０〜４０ｍｇ）ＩＣＩ　　　　　　　
　　５０〜６０ｍｇＮＯｘ　（ＮＯとして計算）５０〜
ｂ ＨＦ　　　　　　　　　　痕跡 ８．０　　　　　　　　　　約７８ｇ 約１２０．００ＯＮｍ３／ｈの燃焼空気が導管２９、ベ
ンチレータ３０及び導管３１を経て、約４０℃の温度で
空気予熱凝縮器１１に供給され、そこで約１２０’Ｃ−
１３０°Ｃに予熱された後、導管３２を経て空気予熱器
７に送られ、そこで更に２８０℃〜２９０°Ｃまで予熱
され、最後に導管３３から燃焼空気として石炭燃焼装置
に供給される。

凝縮器１３／１４の溜めからは約７０重量パーセントＨ
ｚｓ０４の濃度及び約１０５°Ｃの温度の硫酸約２５５
＋ｎ’／ｈが導管３７、成用ポンプ３７ａ及び導管３７
ｂを経て加熱塔２２内のノズル装置３７Ｃに供給される
。この硫酸は加熱塔２２内で約９２°Ｃまで冷却された
後、更に導管３８、成用ポンプ３８ａ１導管３８　ｂ、
　３８　ｃ、　３８　ｄを経てノズル装置３８ｅ及び３
８ｆに供給され、そこで再び約１０５℃まで予熱される
。

精密洗浄器１８の溜めからは約４０℃の酸液又は希酸１
５０ｍ”／１１が導管３９、ポンプ３９ａ及び導管３９
ｃを経てノズル装置３９ｄに供給されるｑキャンドルフ
ィルタ２０内に生じた凝縮物は凝縮器１４の溜めに導か
れる。空気予熱凝縮器１１内で生ずる１日当り約２．２
ｍ”の酸生成物は、約７５重世％Ｈ，ＳＯ，の濃度及び
約１５０℃の温度で導管４０から酸冷却器４０ａに送ら
れ、そこで約４０℃に冷却された後、貯蔵タンク４３に
達する。凝縮器１３／１４内で生ずる１日当り約５．１
ｍ３の酸生成物は約７０重量％Ｈ２ＳＯ，の濃度で導管
４１から酸冷却器４１ａに送られ、そこで約４０℃に冷
却された後、貯蔵タンク４４に達する。精密洗浄器１８
内で生ずるＩＩｃＩ／ＨＦで汚染された酸性水溶液は、
導管４２を経て貯蔵タンク４５に達する。

７１１例」−（第２図） １この実施例で使用された煙道ガスの組成は、実施例１
における組成と同じである。

煙道ガスは実施例１　（第１図）の場合と同じように１
２０．００ＯＮｍ３／ｈの割合で前置された空気予熱器
７内で２３０　’Ｃ〜２５０℃まで冷却される。

この煙道ガスは導管８、ファン９及び導管１０を経て空
気予熱凝縮器１１内に入り、そこで約１２０°Ｃに冷却
される際に、ガス中に含まれるＳＯ３の約４０％が凝縮
される。次いでこの煙道ガスは導管１２を経て凝縮器１
４に達する。凝縮器１４はノズル装置３８ｅを有する並
流式ベンチュリ管１３及びノズル装置３８ｆとスプレー
分離器１６とを有する向流装置１４から構成され、この
凝縮器１４内で煙道ガス中に含まれるＳ、０３の約６０
％が約７５℃で凝縮される。

５０３が充分に除去された煙道ガスは内部導管１７から
約７５℃の温度で分配プレート１９とノズル装置３９ｄ
とを有する精密洗浄器１８に供給され、この洗浄器１８
内では、ガス中に含まれるＨＣＩと肝と残留ＳＯ２の１
部とが、１１□０□を添加された約２０％濃度の硫酸に
より約４０゛Ｃで洗浄される。

１１□０□又はＨｚＳｚＯａの精密洗浄器１８内への添
加は導管４６を経て行われる。ガスの温度を約７５°Ｃ
から約４０℃に降下させるための酸冷却操作は酸冷却器
３９ｅによって行われる。更にこのガスは内部ガス導管
２１を経て約４０℃で加熱塔２２に達し、分配プレート
２３とノズル装置３７ｃとを有するこの加熱塔２２内で
ガスは約８０℃まで予熱される。硫酸ミストの分離はキ
ャンドルフィルタ２０によって行われる。

このように処理された煙道ガスは導管２５を経て装置か
ら出る。混合室３４ａ内では約１５０°Ｃの温度に熱せ
られた空気約５．００ＯＮｍ″／ｈが導管３４から煙道
ガスに添加混合され、これによってガス温度は約８０℃
から約８３°Ｃまで高められる。浄化された煙道ガスは
導管２５ａ、ファン２６、導管２７及び煙突２８を経て
大気中に放出される。

この排ガスのＩ　Ｎ＋ｎｌ中に含まれる物質は次の通り
である： Ｓｏ　、　　　　　　　　　　３０〜ｂｓｏ、　　　　
　　　　　　２０〜３０＋＋＋ｇ１１ｃＩ　　　　　　
　　　　５０〜６０ｏ＋ｇＮＯｘ　（ＮＯとして計算）
　　　５０〜６０ｍｇＨＦ　　　　　　　　　　痕跡 １１□０　　　　　　　　　約５５ｇ 約３０℃の温度を有する空気約１２５．００ＯＮｍ３／
ｈが導管２９、ベンチレータ３０及び導管３１を経て空
気予熱凝縮器１１に供給され、そこで約１４０℃〜１５
０℃に予熱される。燃焼空気約１２０，００ＯＮｍ３／
ｈが導管３５から石炭燃焼装置に送られ、予熱された空
気５．００ＯＮｍ３／ｈは導管３４から混合室３４ａに
送られる。約６２重量％ＨｔＳＯａ濃度と約８０℃の温
度とを有する硫酸約４０ＯＮｏ＋３／ｈが凝縮器１３／
１４の溜めから導管３７、酸相ポンプ３７ａ及び導°管
３７ｂを経て加熱塔２２内のノズル装置３７Ｃに供給さ
れる。この硫酸は加熱塔２２内で約７５℃まで冷却され
た後、導管３８．３８ｄ、３８Ｃを経てノズル装置３８
ｅ、３８ｆに送られ、そこで再び約８０℃まで予熱され
る。

精密洗浄器１８の溜めから約４５℃の温度を有する希硫
酸約４００１１１３／ｈが導管３９、ポンプ３９ａ、導
管３９ｃ、冷却器３９ｅ及び導管３９ｆを経てノズル装
置３９ｄに達する。キャンドルフィルタ２０内に生ずる
凝縮物は導管２０ａを経て凝縮器１４の溜めに達する。

空気予熱凝縮器ｌｌ内で１日当り約３．３　ｍｆｆの割
合で生ずる酸生成物は約７０重量％Ｈ２ＳＯａ　’ＩＮ
度と約１２０℃の温度とで導管４０から酸冷却器４０ａ
内に送られ、そこで約４０℃に冷却された後、貯蔵タン
ク４３内に達する。

凝縮器１３．１４内で１日当り約５　ｍ　３の割合で生
ずる酸生成物は、約６２重量％ｎｚｓｏ４濃度で導管４
１から酸冷却器４１ａ内に送られ、そこで約４０℃に冷
却された後、貯蔵タンク４４に達する。

精密洗浄器１８内で生ずるＨＣＩ／ＨＰを含む約２０％
濃度の硫酸は、導管４２を経て貯蔵タンク４５に送られ
る。

本発明は次の通り要約することができる。

煙道ガスもしくはその他の汚染されかつ５０３を含む湿
り排ガスを熱交換器内で間接的な熱交換により硫酸の露
点より低い温度まで冷却し、冷却されたガスをＳ（ｈ凝
縮器内で向流噴霧される希硫酸によって更に所定の温度
まで冷却し、所定の濃度の希硫酸を凝縮させる。ＳＯ３
凝縮器からの流出ガスを、精密洗浄器内で水溶液の噴霧
により洗浄して４０℃〜５５℃の温度まで冷却し、精密
洗浄器からの流出ガスを加熱器内でＳＯ，凝縮器からの
希硫酸を噴霧することによって所定の温度まで加熱し、
ＳＯｌが凝縮された後のガスをフィルタに通す。希硫酸
を加熱器から３０３凝縮器内に噴霧させ、ガスの温度を
、取入れた水が凝縮されることなく流出ガス内に残留す
るように選択する。熱交換器からのガスの流出温度を、
生ずる希硫酸の温度が加熱器におけるガスの温度とほぼ
等しくなるように調整する。噴霧される希硫酸の量を、
精密洗浄装置から出る希硫酸の温度が５０ｓ凝縮器で必
要とされるガス流出温度とほぼ等しくなるように調整す
る。

〔発明の効果〕

以下述べた通り、本発明によれば、煙道ガス又はＳＯ１
含有率の低い他のガスから、ＳＯｌのみならず他の有害
物質、例えばＭＣＩ及びＨＦをも申し分なく取除くこと
が可能となる。しかもこの場合、比較的高濃度の硫酸を
得ることが出来、充分に浄化された排ガスの温度を煙突
内で必要とされる温度に保つ′ことが、簡単な技術で経
済的に達成される。

【図面の簡単な説明】

第１図は個々の装置がそれぞれ別個に配置されている形
式の本発明による方法を実施する設備を示した図、第２
図は個々の装置が互いに積み重ねられて配置されている
形式の設備を示す図である。 なお図面に用いた符号において、 ７−−−−−・−−−−−・−・−・・−・・−空気予
熱器１１・−・・−・・−・−・−・・・・空気予熱凝
縮器１４−−−−−−・−・−一−−−−・−・凝縮器
１８・・・・・−・・・−・−・・精密洗浄器２０−・
−・−・・・・・・−・−キャンドルフィルタ２２・−
・・−−−−一・・・−・−加熱塔である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、煙道ガスもしくはその他の汚染されかつＳＯ＿３を
   含む湿り排ガスの浄化方法において、 （ａ）煙道ガスを熱交換器内で間接的な熱交換により硫
   酸の露点より低い温度まで冷却すること、 （ｂ）冷却されたガスをＳＯ＿３凝縮器内で向流噴霧さ
   れる希硫酸によって更に所定の温度まで冷却し、所定の
   濃度の希硫酸を凝縮させること、（ｃ）ＳＯ＿３凝縮器
   からの流出ガスを精密洗浄器内で水溶液の噴霧により洗
   浄して４０℃〜５５℃の温度まで冷却すること、 （ｄ）精密洗浄器からの流出ガスを加熱器内でＳＯ＿３
   凝縮器からの希硫酸を噴霧することによって所定の温度
   まで加熱すること、 （ｅ）ＳＯ＿３が凝縮された後のガスをフィルタに通す
   こと、 （ｆ）希硫酸を加熱器からＳＯ＿３凝縮器内に噴霧する
   こと、 （ｇ）工程（ｄ）におけるガスの温度を、工程（ｃ）で
   取入れた水が凝縮されることなく流出ガス内に残留する
   ように選択すること、 （ｈ）工程（ａ）からのガスの流出温度を、工程（ｂ）
   で生ずる希硫酸の温度が工程（ｄ）におけるガスの温度
   とほぼ等しくなるように調整すること、 （ｉ）工程（ｄ）で噴霧される希硫酸の量を、工程（ｄ
   ）で生じる希硫酸の温度が工程（ｂ）で必要とされるガ
   ス流出温度とほぼ等しくなるように調整すること、 の工程を具備することを特徴とする煙道ガスの浄化方法
   。 ２、希硫酸の濃度が６０〜８０重量％、好ましくは６０
   〜７５重量％であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の方法。 ３、精密洗浄器内に噴霧される水溶液がＨ＿２Ｏ＿２又
   はＨ＿２Ｓ＿２Ｏ＿８を含有することを特徴とする特許
   請求の範囲第１項又は第２項記載の方法。 ４、精密洗浄器内に噴霧される水溶液が、循環回路に案
   内され、間接的な熱交換により冷却されることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれか一項に記
   載の方法。 ５、加熱器からの流出ガスの温度を高温ガスの添加混合
   によって上昇させることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項〜第４項のいずれか一項に記載の方法。 ６、ＳＯ＿３凝縮器から加熱器内に導かれる希硫酸の温
   度を間接的な熱交換によって上昇させることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれか一項に記載
   の方法。