JPS6332620B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高分子に金属および／または金属酸化
物を主成分とする導電膜を付与した液晶表示素子
用透明電極に用いる透明導電性フイルムの製造方
法に関するものである。

〔従来技術〕

従来、透明導電性フイルムは主にポリエステル
フイルムをベースとし、エレクトロルミネツセン
スデイスプレイやエレクトロクロミツクデイスプ
レイの透明電極、デイフロスタ、透明ヒータ等の
面発熱体やタツチパネル等の面スイツチ、赤外線
反射膜、及び透明フレキシブル回路等に広く用い
られてきたが、最近は液晶表示素子への適用も検
討されている。

透明導電性フイルムは、フイルム状の電極を使
用することにより素子を薄型化できる点、生産工
程において取り扱い易く打ち抜き加工等も可能で
ある点、フイルム状素材から連続生産が可能であ
り、コスト面でも有利になるという点より注目さ
れている。

通常の透明導電性フイルムは、透明性、導電性
にすぐれていることが必要でありさらに加工性と
して耐アルカリ性及び耐擦過傷性が要求される。
耐アルカリ性は、透明導電性フイルムのパターン
加工工程におけるレジスト剥離工程で用いるアル
カリ水溶液によつて導電性不良や断線を生じたり
しないため必要であり、耐擦過傷性は加工工程中
における取扱いにおいて導電性不良や断線が生じ
たりしないために要求される。

しかし、通常の導電膜形成法である真空蒸着
法、イオンプレーテイング法及びスパツタリング
法では導電膜形成時に気相から固相への相転移の
ため急激な熱放出があり導電膜自体に強い内部応
力がかかる。

また、導電膜の結晶格子の乱れやピンホールな
どはどうしてもさけられず、これらは耐アルカリ
性及び耐擦過傷性を著しく劣化させる。この点に
関しては、導電膜上にさらにトツプコートを行う
ことによつて改良することが検討されてきた。し
かし従来の方法によるトツプコートは厚みのバラ
ツキが大きくピンホールが多いため、導電性が不
均一になること、およびエツチング工程でトツプ
コートの厚みのバラツキのためにエツチング時間
が不均一になるという重大な欠点をもつておつ
た。

〔発明の目的〕

本発明は、従来のコーテイング方法では得られ
なかつた耐アルカリ性、耐擦過傷性にすぐれ、か
つ導電性、エツチング時間などに不均一さを生じ
ない透明導電性フイルムを得んとして研究した結
果、プラズマ重合膜をトツプコートとして付与す
れば、要求性能をすべて満足する透明導電性フイ
ルムが得られるとの知見を得、更にこの知見に基
づき種々研究を進めて本発明を完成するに至つた
ものである。

〔発明の構成〕

本発明は導電膜表面にプラズマ重合法によつて
トツプコートを行うことを特徴とする透明導電性
フイルムの製造方法である。

本発明に用いる高分子フイルムは、真空蒸着、
イオンプレーテイング又はスパツタ法等で導電性
膜を形成する為に耐熱性のある高分子フイルムが
用いられ、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリ
アミド、ポリスルホン、ポリエーテルサルホン、
ポリエーテルケトンをはじめとしポリエステル系
樹脂、芳香族ポリアミド系樹脂等があげられる。
もちろんこれ等はホモポリマー、コポリマーとし
て単独又はブレンドして使用しても何等さしつか
えはない。

又導電性膜素材である金属および／または金属
酸化物としては、金、銀、ジルコニウム、インジ
ウム、錫、チタン等や又は、酸化錫、酸化インジ
ウム、錫−カドミウム酸化物等を使用することが
出来る。

当然該導電性膜を高分子フイルムに付与するに
は、蒸着法、スパツタ法等の物理的堆積法や化学
メツキ法、気相メツキ法等の化学堆積法で、導電
性膜を付与しても何らさしつかえはない。

又これ等の導電性膜を高分子フイルムに付与す
るのに、その密着性等を向上させる為に高分子フ
イルムと導電性膜の間に第３層を形成させたもの
であつても何ら差障りはなく、もしろ高分子フイ
ルムと導電性膜の密着性をあげるということは、
その透明導電性フイルムの可撓性や加工性を向上
させる為に望ましいものである。

高分子フイルムに導電性膜を付与したものに、
該導電性膜上にプラズマ法でトツプコートを行
う。

プラズマ重合は、簡単な構造の有機モノマーを
プラズマ空間に導入し、気相中に生成するラジカ
ル種を該導電性膜上に重合させながら沈着させて
保護層である薄膜を形成させるものであり、有機
モノマーとしては、通常の触媒や光などで重合す
る物質を含めた多くの物質であればよく、例えば
スチレン、メチルメタアクリレート、アクリルニ
トリルやエチレン、プロピレン等のオレフイン系
のものでも良く、単独であつても又は２つ以上の
組合せであつても良い。さらにプラズマ処理に於
ては、有機モノマー単独であつても、これ等の有
機モノマーのキヤリヤーガスとしてアルゴン等の
不活性ガスを用いても良い。

有機モノマーを選択するには、本願発明におい
ては、耐アルカリ性の向上を計る目的から酸に弱
く、アルカリ性に強いものなる様な有機モノマー
を選択することが必要である。この様にして作製
したプラズマ重合膜は、高度に架橋したピンホー
ルのない均質薄膜であり、透明導電性フイルム用
のトツプコートとして、きわめて優れたものであ
る。

〔発明の効果〕

本発明は、プラズマ重合膜の特性であるピンホ
ールのない均質薄膜をトツプコートすることによ
り、従来得られなかつた耐アルカリ性、耐擦過傷
性にすぐれ、かつ高透明性、高導電性を有する透
明導電膜の製造を行うというもので、工業的にき
わめてすぐれたものである。さらにコーテイング
厚の厚みむらがないことから、パターン加工しや
すいすぐれた透明導電性フイルムの製造方法であ
る。

〔実施例〕

ポリエーテルサルホンフイルムを基板とし、真
空蒸着法にて厚さ300Åにインジウムを主成分と
する導電膜を形成した。これにスチレンのプラズ
マ重合膜を形成した。放電周波数5KHz放電電力
8w圧力1Torrで１分間プラズマ重合した。膜厚
は400Åだつた。このようにして作製した透明導
電性フイルムはシート抵抗320Ω／□、可視光の
透過率85％、水酸化カリウムの10％水溶液に10分
間浸漬した後のシート抵抗値は320Ω／□でまつ
たく変化しなかつた。このフイルムを水酸化カリ
ウム水溶液に浸漬した後光学顕著鏡で300倍に拡
大してもクラツクはまつたく見られなかつた。

また、100ｇ／cm²の荷重をかけたガーゼで五千
回摩擦したが抵抗値の変化はまつたくみられなか
つた。

〔比較例〕

実施例と同一の条件で導電膜を形成し、かつプ
ラズマ重合膜を形成しなかつた。シート抵抗値は
300Ω／□、可視光の透過率は83％であつた。こ
れを実施例と同じ条件で水酸化カリウム水溶液に
浸漬した。シート抵抗値は500Ω／□となり、光
学顕微鏡で300倍に拡大し観察するとクラツクが
多数発生していた。

また、100ｇ／cm²の荷重をかけたガーゼで五千
回摩擦すると、シート抵抗が10KΩ／□になり、
耐擦過傷性が不良であつた。

以上の理由で本発明の透明導電性フイルムがす
ぐれている。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 高分子フイルムに真空蒸着法、イオンプレー
   テイング法、あるいはスパツタリング法にて金属
   および／または金属酸化物の薄膜を導電層として
   形成し、さらにプラズマ重合法にてトツプコート
   層を形成することを特徴とする透明導電性フイル
   ムの製造方法。