JPS63312158A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JPS63312158A JPS63312158A JP14720087A JP14720087A JPS63312158A JP S63312158 A JPS63312158 A JP S63312158A JP 14720087 A JP14720087 A JP 14720087A JP 14720087 A JP14720087 A JP 14720087A JP S63312158 A JPS63312158 A JP S63312158A
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- JP
- Japan
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- ink
- cover plate
- piezoelectric
- nozzles
- recording head
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- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内の
インクをインクノズルから液滴状に噴射させるインクジ
ェット記録ヘッドに関し、特にインクノズルを横一列に
多数配置したマルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
インクをインクノズルから液滴状に噴射させるインクジ
ェット記録ヘッドに関し、特にインクノズルを横一列に
多数配置したマルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
この種のインクジェット記録ヘッドにおいて解像度を高
めるためには、多数のインクノズルをきわめて微小な間
隔で高精度に形成するこぶが必要となる。 本出願人は先に、圧電材料からなる平板状の圧電体プレ
ート自体に複数列のインクキャビティ溝を形成し、この
圧電体にカバープレートを接合して複数列のインクキャ
ビティを構成したインクジェット記録ヘッドを出願した
（特開昭６２−５６１５０号公報参照）。
めるためには、多数のインクノズルをきわめて微小な間
隔で高精度に形成するこぶが必要となる。 本出願人は先に、圧電材料からなる平板状の圧電体プレ
ート自体に複数列のインクキャビティ溝を形成し、この
圧電体にカバープレートを接合して複数列のインクキャ
ビティを構成したインクジェット記録ヘッドを出願した
（特開昭６２−５６１５０号公報参照）。
上記出願のインクジェット記録ヘッドは、個々にインク
キャビティを持つ圧電体をノズルの数だけ集合した形を
とっており、小形でかつ製作が容易であるという特徴を
有している。 この発明は、上記出願に係る発明をさらに発展させたも
のであって、ノズル間隔を縮小してより解像度を高めた
インクジェット記録ヘッドを堤供することを目的とする
ものである。
キャビティを持つ圧電体をノズルの数だけ集合した形を
とっており、小形でかつ製作が容易であるという特徴を
有している。 この発明は、上記出願に係る発明をさらに発展させたも
のであって、ノズル間隔を縮小してより解像度を高めた
インクジェット記録ヘッドを堤供することを目的とする
ものである。
この目的を達成するために、複数列のインクキャビティ
溝が形成された圧電体プレートにカバープレートが接合
され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレートと
で複数列のインクキャビティが構成されたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、２枚の圧電体プレートをカバー
プレートの両面に接合し、かつ前記カバープレートの両
側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノズルを
前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するものとす
る。
溝が形成された圧電体プレートにカバープレートが接合
され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレートと
で複数列のインクキャビティが構成されたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、２枚の圧電体プレートをカバー
プレートの両面に接合し、かつ前記カバープレートの両
側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノズルを
前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するものとす
る。
この発明においては、カバープレートを挟んでノズルを
千鳥状に配置したので、互いに隣接するノズルの間隔は
、カバープレートの各々の側のノズル間隔の半分に縮小
される。
千鳥状に配置したので、互いに隣接するノズルの間隔は
、カバープレートの各々の側のノズル間隔の半分に縮小
される。
以下、図示実施例に基づいてこの発明を説明する。
第１図ないし第４図において、１は圧電材料により平板
状に形成された圧電体プレート、２はガラスで作られた
カバープレートである。 第３図に示すように、圧電体プレートｌにはその一方の
面に、複数列のインクキャビティ溝３ａ、並びにこのイ
ンクキャビティ溝３ａに通じるインク供給路溝４ａおよ
びインクノズル溝５ａが等間隔に形成されている。イン
クノズル溝５ａはインクキャビティ溝４ａ側と反対の側
が圧電体プレート１の前面に開放されているのに対し、
インク供給路溝４ａは圧電体プレートｌ内で閉塞されて
いる。さらにこの圧電体プレー＋−ｉにはその両面に電
極８が設けられている。 また、カバープレート２には、第４図に示すように、一
方の側面から切込み７が形成されている。 この切込み７は、後述するようにカバープレート２に圧
電体プレートｌを接合したとき、圧電体プレート１のイ
ンク供給路溝４ａにまたがって重なるようになっている
。 さて、このようなカバープレート２の両面に、第１図な
いし第２図に示すように、２枚の圧電体プレート１．１
が接着、融着その他の手段により接合されるが、その際
、圧電体プレート１，１は各圧電体プレート１における
インクノズル溝５ａ間の間隔の半分だけ横方向（第１１
図ないし第２図の左右方向）に互いに位置をずらせて接
合される。 上記接合により、カバープレート２の両側には、圧電体
プレート１のインクキャビティ溝３ａ、インク供給路溝
４ａおよびインクノズル溝５ａとカバープレート２とで
それぞれインクキャビティ３゜３、インク供給路４．４
およびインクノズル５゜５が構成される。また、カバー
プレート２の切込み６ａと圧電体プレート１．１とで各
インク供給路４に共通のインク通路６が構成される。 なお、９は圧電体を各インクキャビティ３ごとに独立さ
せるために圧電体プレート１に設けられたスリットで、
圧電体プレート１の前面からインク通路６の手前まで形
成されている。 カバープレート２の両面に接合する圧電体プレート１の
位置を上記の通りずらせた結果、インクノズル５は、第
１図ないし第２図から分かるように、カバープレート２
を挟んだ千鳥状の配置となっている。そのため、カバー
プレート２を跨いで隣接するインクノズル５間の間隔は
、カバープレート２の各々の側のノズル間隔の半分にな
っている。 このように構成されたインクジェット記録ヘッドにおい
て、インクキャビティ３内にインクが充満している状態
で、電極８．８間に駆動用パルス電圧が印加されると、
インクキャビティ３の内容積が変化し、インクがインク
ノズル５から図示しない記録担体上に液滴状に噴射され
る。 この発明のインクジェット記録ヘッドの寸法の一例を第
２図を参照しながら示すと、インクノズル５の断面は４
０ｕ１１×４０ｕＩＩｌ、圧電体プレート１に形成され
たインクノズル５の間隔Ａは０．５ｍｍ、圧電体プレー
ト１およびカバープレート２の厚さり、およびＬｔはと
もに０．５ｍｎ＋、スリット９の幅Ｂは５０μｍ１スリ
ツト９間の圧電体の幅Ｃ１は０゜４＋＋ｎ、インクキャ
ビティ３０幅Ｃ２は０．２ｍｍである。 二の場合、千鳥状に配置されたインクノズル５間の間隔
りは０．２５ｍｍとなり、１ｍｍ当たり４本のインクノ
ズル５を形成することができる。すなわち、この場合の
解像度は４本／閤となる。 このように非常に微細な加工には、例えば半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いることが
できる。この種のダイシングソーにおいては、すでに１
５μｍの厚さの切刃が開発されており、したがってこの
ダイシングソーを用いれば、インクキャビティ溝、イン
クノズル溝、インク供給路溝などを十分に切削可能であ
る。 上記の例では、インクノズルの間隔Ａを０．５閣とした
が、切刃の薄いグイシングツ−を用いればこれを０．２
５ａｍとすることも可能である。そして、その場合には
、１閣当たり８本のインクノズル５を形成することが可
能である。
状に形成された圧電体プレート、２はガラスで作られた
カバープレートである。 第３図に示すように、圧電体プレートｌにはその一方の
面に、複数列のインクキャビティ溝３ａ、並びにこのイ
ンクキャビティ溝３ａに通じるインク供給路溝４ａおよ
びインクノズル溝５ａが等間隔に形成されている。イン
クノズル溝５ａはインクキャビティ溝４ａ側と反対の側
が圧電体プレート１の前面に開放されているのに対し、
インク供給路溝４ａは圧電体プレートｌ内で閉塞されて
いる。さらにこの圧電体プレー＋−ｉにはその両面に電
極８が設けられている。 また、カバープレート２には、第４図に示すように、一
方の側面から切込み７が形成されている。 この切込み７は、後述するようにカバープレート２に圧
電体プレートｌを接合したとき、圧電体プレート１のイ
ンク供給路溝４ａにまたがって重なるようになっている
。 さて、このようなカバープレート２の両面に、第１図な
いし第２図に示すように、２枚の圧電体プレート１．１
が接着、融着その他の手段により接合されるが、その際
、圧電体プレート１，１は各圧電体プレート１における
インクノズル溝５ａ間の間隔の半分だけ横方向（第１１
図ないし第２図の左右方向）に互いに位置をずらせて接
合される。 上記接合により、カバープレート２の両側には、圧電体
プレート１のインクキャビティ溝３ａ、インク供給路溝
４ａおよびインクノズル溝５ａとカバープレート２とで
それぞれインクキャビティ３゜３、インク供給路４．４
およびインクノズル５゜５が構成される。また、カバー
プレート２の切込み６ａと圧電体プレート１．１とで各
インク供給路４に共通のインク通路６が構成される。 なお、９は圧電体を各インクキャビティ３ごとに独立さ
せるために圧電体プレート１に設けられたスリットで、
圧電体プレート１の前面からインク通路６の手前まで形
成されている。 カバープレート２の両面に接合する圧電体プレート１の
位置を上記の通りずらせた結果、インクノズル５は、第
１図ないし第２図から分かるように、カバープレート２
を挟んだ千鳥状の配置となっている。そのため、カバー
プレート２を跨いで隣接するインクノズル５間の間隔は
、カバープレート２の各々の側のノズル間隔の半分にな
っている。 このように構成されたインクジェット記録ヘッドにおい
て、インクキャビティ３内にインクが充満している状態
で、電極８．８間に駆動用パルス電圧が印加されると、
インクキャビティ３の内容積が変化し、インクがインク
ノズル５から図示しない記録担体上に液滴状に噴射され
る。 この発明のインクジェット記録ヘッドの寸法の一例を第
２図を参照しながら示すと、インクノズル５の断面は４
０ｕ１１×４０ｕＩＩｌ、圧電体プレート１に形成され
たインクノズル５の間隔Ａは０．５ｍｍ、圧電体プレー
ト１およびカバープレート２の厚さり、およびＬｔはと
もに０．５ｍｎ＋、スリット９の幅Ｂは５０μｍ１スリ
ツト９間の圧電体の幅Ｃ１は０゜４＋＋ｎ、インクキャ
ビティ３０幅Ｃ２は０．２ｍｍである。 二の場合、千鳥状に配置されたインクノズル５間の間隔
りは０．２５ｍｍとなり、１ｍｍ当たり４本のインクノ
ズル５を形成することができる。すなわち、この場合の
解像度は４本／閤となる。 このように非常に微細な加工には、例えば半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いることが
できる。この種のダイシングソーにおいては、すでに１
５μｍの厚さの切刃が開発されており、したがってこの
ダイシングソーを用いれば、インクキャビティ溝、イン
クノズル溝、インク供給路溝などを十分に切削可能であ
る。 上記の例では、インクノズルの間隔Ａを０．５閣とした
が、切刃の薄いグイシングツ−を用いればこれを０．２
５ａｍとすることも可能である。そして、その場合には
、１閣当たり８本のインクノズル５を形成することが可
能である。
以上説明したとおり、この発明は、複数列のインクキャ
ビティ溝が形成された圧電体プレートにカバープレート
が接合され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレ
ートとで複数列のインクキャビティが構成されたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、２枚の圧電体プレートを
カバープレートの両面に接合し、かつ前記カバープレー
トの両側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノ
ズルを前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するよ
うにしたので、隣接するインクノズルの間隔をカバープ
レートの各々の側のインクノズルの間隔の半分に縮小す
ることができ、インクジェット記録ヘッドの解像度の向
上と小形化に効果がある。
ビティ溝が形成された圧電体プレートにカバープレート
が接合され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレ
ートとで複数列のインクキャビティが構成されたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、２枚の圧電体プレートを
カバープレートの両面に接合し、かつ前記カバープレー
トの両側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノ
ズルを前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するよ
うにしたので、隣接するインクノズルの間隔をカバープ
レートの各々の側のインクノズルの間隔の半分に縮小す
ることができ、インクジェット記録ヘッドの解像度の向
上と小形化に効果がある。
第１図はこの発明の実施例を示す一部分を断面にした要
部斜視図である。 第２図は第１図の■−■線に沿う断面図である。 第３図は第１図における圧電体プレートを示し、（Ａ）
は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、（
Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。 第４図は第１図におけるカバープレートを示し、（Ａ）
は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。 ｌ：圧電体プレート、２：カバープレート、３：インク
キャビティ、３ａ；インクノズル溝、４：インク供給路
、４ａ：インク供給路溝、５：インクノズル、５ａ：イ
ンクノズル溝、８：電極。 第２図 第３図 （Ｂ） 第４図
部斜視図である。 第２図は第１図の■−■線に沿う断面図である。 第３図は第１図における圧電体プレートを示し、（Ａ）
は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、（
Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。 第４図は第１図におけるカバープレートを示し、（Ａ）
は平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。 ｌ：圧電体プレート、２：カバープレート、３：インク
キャビティ、３ａ；インクノズル溝、４：インク供給路
、４ａ：インク供給路溝、５：インクノズル、５ａ：イ
ンクノズル溝、８：電極。 第２図 第３図 （Ｂ） 第４図
Claims (1)
- １）複数列のインクキャビティ溝が形成された圧電体プ
レートにカバープレートが接合され、前記インクキャビ
ティ溝と前記カバープレートとで複数列のインクキャビ
ティが構成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
２枚の圧電体プレートをカバープレートの両面に接合し
、かつ前記カバープレートの両側のインクキャビティに
それぞれ通じるインクノズルを前記カバープレートを挟
んで千鳥状に配置したことを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14720087A JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
| DE19883820082 DE3820082A1 (de) | 1987-06-13 | 1988-06-13 | Tintenstrahl-schreibkopf |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14720087A JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63312158A true JPS63312158A (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15424821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14720087A Pending JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63312158A (ja) |
| DE (1) | DE3820082A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104908421A (zh) * | 2014-03-12 | 2015-09-16 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3139511B2 (ja) * | 1990-11-09 | 2001-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| EP0560760B1 (en) * | 1990-12-06 | 1994-08-17 | Markpoint Development Ab | Drop-on-demand liquid ejector arrangement |
| US5410341A (en) * | 1991-05-28 | 1995-04-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Droplet jet device |
| US5235352A (en) * | 1991-08-16 | 1993-08-10 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead |
| US5461403A (en) * | 1991-08-16 | 1995-10-24 | Compaq Computer Corporation | Droplet volume modulation techniques for ink jet printheads |
| US5400064A (en) * | 1991-08-16 | 1995-03-21 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead with double-U channel actuator |
| US5521618A (en) * | 1991-08-16 | 1996-05-28 | Compaq Computer Corporation | Dual element switched digital drive system for an ink jet printhead |
| CA2075786A1 (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-17 | John R. Pies | Method of manufacturing a high density ink jet printhead array |
| US5402162A (en) * | 1991-08-16 | 1995-03-28 | Compaq Computer Corporation | Integrated multi-color ink jet printhead |
| US5436648A (en) * | 1991-08-16 | 1995-07-25 | Compaq Computer Corporation | Switched digital drive system for an ink jet printhead |
| US5227813A (en) * | 1991-08-16 | 1993-07-13 | Compaq Computer Corporation | Sidewall actuator for a high density ink jet printhead |
| US5406319A (en) * | 1991-08-16 | 1995-04-11 | Compaq Computer Corporation | Enhanced U type ink jet printheads |
| US5444467A (en) * | 1993-05-10 | 1995-08-22 | Compaq Computer Corporation | Differential drive system for an ink jet printhead |
| US5426455A (en) * | 1993-05-10 | 1995-06-20 | Compaq Computer Corporation | Three element switched digital drive system for an ink jet printhead |
| US5557304A (en) * | 1993-05-10 | 1996-09-17 | Compaq Computer Corporation | Spot size modulatable ink jet printhead |
| SG112833A1 (en) * | 1997-07-15 | 2005-07-28 | Silverbrook Res Pty Ltd | Re-writable optical card reader/writer unit using ink dots data storage |
| JP2000211138A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Oce Technol Bv | インクジェット・プリントヘッド、及びその製造方法 |
| GB0322590D0 (en) * | 2003-09-26 | 2003-10-29 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3222133A1 (de) * | 1981-06-13 | 1982-12-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd., Tokyo | Schreibkopf fuer einen tintenstrahlschreiber |
| DE3645017C2 (ja) * | 1985-09-06 | 1990-07-12 | Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa, Jp |
-
1987
- 1987-06-13 JP JP14720087A patent/JPS63312158A/ja active Pending
-
1988
- 1988-06-13 DE DE19883820082 patent/DE3820082A1/de not_active Ceased
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104908421A (zh) * | 2014-03-12 | 2015-09-16 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
| CN104908421B (zh) * | 2014-03-12 | 2017-07-28 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3820082A1 (de) | 1988-12-29 |
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