JPS63304423A

JPS63304423A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPS63304423A
Application number: JP14066287A
Authority: JP
Inventors: Noboru Isoe; 磯江　昇; Hideaki Niimi; 秀明新見
Original assignee: Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Maxell Ltd
Priority date: 1987-06-04
Filing date: 1987-06-04
Publication date: 1988-12-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は磁気記録媒体に係わり、さらに詳しくは強磁性
金属層上の保護膜の改良に関する。

［従来の技術］非磁性基板−Ｌに強磁性金属層を設けた磁気記録媒体は
、薄手化および高記録密度特性が期待できるため開発が
急がれている。

しかし、例えば、強磁性金属層がＣｏのような易腐食性
の材料から構成されている場合、強磁性金属層が表面に
露出しているため、容易に腐食してしまうという問題が
あった。従来よりこの問題を解決するため、この強磁性
金属層１−にＣｒ、Ｔｉ、ＡＪ！などの保護膜を形成す
る（特開昭５１−４７４０１、特開昭５８−２６３２０
．特開昭５８−２６３２３）ことが提案されている。

しかし、これらの保護膜を形成するだけでは高ｌＱ高湿
雰囲気に対する耐蝕性の向上は認められるが、亜硫酸ガ
スなどの腐食性ガス雰囲気において、Ｃｏを主成分とし
た強磁性金属層と、Ｃｒｅ　Ｔ　ｒ　。

ＡＪ！などの保；ｆｍ’２との間で電位バランスが崩れ
、容易に局部電池を形成して腐食してしまう。史に、耐
摩耗性に欠けるという欠点もあった。

［発明が解決しようとする問題点コこの発明は、士、記従来技術が持っていた腐食という欠
点を解決し、耐蝕性に優れ、かつ耐摩耗性にも優れた磁
気記録媒体を提供することを［Ｉ的とする。

［問題点を解決するためのＦ段コ本発明者らが鋭意検討した結果、強磁性金属層［−に保
護膜第１層を形成し、さらにこの保護膜第１層−１−に
保護膜第２層を形成し電位のバランスを保つことによっ
て局部電池の形成が困難になり、腐食の発生が防’＋）
−されることを見い出した。　。

保護膜第１層を少なくともＡＪ！、Ｃｒ、Ｔｉなどの不
働態化しやすい元素で構成することにより優れた耐蝕性
が得られる。

さらに保護膜第２層をＮｉを主成分とする材料から構成
することにより、Ｃｏ１もしくはＮｉ。

Ｆｅなどを主成分とした強磁性金属層との間で電位バラ
ンスが保たれ、局部電池の形成が抑制される。

また、Ｎｉを主成分とする保護膜第２層は、耐摩耗性を
向土させるのにも有効であることが確認された。この原
因は明らかではないが表面に形成されるＮｉの酸化物に
よるものと考えられる。

保護膜第２層を省略して、ＡＪＩＩ　Ｃｒ＋　’ｒｉな
との保護膜だけを磁性層上に積層させても充分な耐食性
は得られず、耐摩耗性に欠ける。Ｎｉを主成分とする保
護膜第２層をＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉなどの保護膜第１層と併
用すると、耐食性が相乗的に１ｉ＋Ｊ　ｌされる。

保護膜第１層のｊ７さは２５〜５００人の範囲内である
ことが望ましく、２５人より薄いと耐蝕性に劣る。

一ツバ保護膜第２層の厚さは２５Å以上であることが好
ましい。２５人未満では耐蝕性に劣り、さらに耐摩耗性
を向ヒさせることができない。

保護膜第１層および第２層の合計膜厚は５０〜１０００
人の範囲内であることが望ましく、５０人未満では所期
の効果が得られず、ｔｏｏｏ人超だとスペーシ、ングが
大きくなりすぎ、電磁変換特性が劣化する。

強磁性金属層は真空蒸着、スパッタリング、イオンブレ
ーティング、メッキ等の常用手段によって基体１−１に
被着形成される。これら以外の方法によっても形成でき
る。

強磁性金属層の形成材料としては、Ｃｏ、Ｆｅ。

Ｎ　ｉ　’Ｆ一体の他、これらの酸化物、あるいはＣｏ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｍｎ、Ｃｏ−
Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、Ｃｏ−Ｆｅ。

Ｃｏ−Ｆｅ−Ｃｒ＋　　Ｃｏ−Ｔｉ＋　　Ｎｉ−Ｆｅ、
Ｎｉ−Ｍｎなどの合金、あるいはこれらの酸化物など、
従来から峨性層形成材料として使用されているものであ
れば何れも好適に使用される。

保護膜は真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティ
ング、ＣＶＤ、　　メッキ等の慣用手段によって強磁性
金属層上に被着形成される。

保護膜第２層の形成材料としては、Ｎｉ単体の他、これ
らの酸化物、あるいはＮｉ−Ｃｒ、Ｎ１−Ａｌ、Ｎｉ−
Ｔｉ、Ｎｉ−Ｆｅ＋　Ｎｉ−Ｍｎなどの合金、あるいは
これらの酸化物などがいずれも好適に使用される。従っ
て、本明細書の全体を通じて使用される「Ｎｉを主成分
とする」という用語は「Ｎｉのみから成る保護膜第２層
」も含む意味で使用されている。

基体ト、へ強磁性金属および保護膜形成材料を蒸着させ
る場合、基体表面に対して全て東直に蒸着させることも
できるが、斜め蒸着させることもできる。また、１π直
に蒸着して保護膜第１層を形成する際、柱状粒子構造を
持たない緻密な膜とすることで史に耐食性が向１−６す
る。

斜め蒸着させる場合、例えば、強磁性金属の傾斜ノＪ向
と反対の方向に保護膜第１層形成材料を斜め蒸着し、こ
の１−に強磁性金属の傾斜方向と同じ方向（保護膜第１
層に対しては反対方向）に保護膜第２層形成材料を斜め
蒸着させることができる。

このように各層を互い違いの方向に斜め蒸着させると、
斜め蒸着の際のシャドー効果により強磁性金属層中に生
じた空隙が、反対方向に傾斜した保護膜形成材料で封鎖
され、磁気記録媒体表面からの腐食が抑制される。

別法として、強磁性金属層は斜め蒸着により形成し、保
護膜第１層は垂直蒸省で形成し、保護膜第２層は強磁性
金属層の傾斜方向と反対方向に傾斜させて斜め蒸着させ
ることにより形成することもできる。この方法によって
も、強磁性金属層中の空隙を封鎖する効果が得られる。

また、基体としては、ポリエステル、ボリイミド、ポリ
アミド、ポリビニル、ポリカーボネートなどのプラスチ
ックフィルム、またこれらのプラスチックフィルム中に
Ｃｕｔ　Ｚｎｔ　Ｓｉ、ＡＪ！。

炭素繊維などを混入した複合フィルム、Ｃｕ、Ｚｎなど
の非磁性フィルム、ＡＪ！板、ガラス板など、従来から
使用されているものがいずれも好適に使用される。基体
表面には突起が設けられていてもよい。

このように、基体上に強磁性金属層を形成し、この強磁
性金属層上に保護膜第１層を形成し、さらにこの保護膜
第１層上に保護膜第２層を形成して成る磁気記録媒体に
おいて、保護膜第１層が少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉの
うち１種以上の元素を含有し、さらに保護膜第２層がＮ
ｉを主成分とする保護膜を形成した磁気記録媒体は、亜
硫酸ガスなどの腐食性ガスに対する耐蝕性に優れ、かつ
耐摩耗性に優れるが、この保護膜ヒに潤滑剤層を形成す
ると、保護膜表面の摩擦係数が低減され、耐摩耗性が更
に一層向−卜する。

使用される潤滑剤としては、脂肪族系潤滑剤。

フッ素系潤滑剤、シリコン系潤滑剤、炭化水素系潤滑剤
などがいずれも好適に使用される。

脂肪族系潤滑剤としては、ラウリン酸、ミリスチン酸、
バルミチン酸、ステアリン酸、ベヘン酸などの脂肪酸類
；ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸コバルト、ステアリ
ン酸−ｒｌブチル、ミリスチン酸オクチルなどの脂肪酸
エステル類；ステアリルアルコール、ミリスチルアルコ
−ルナ（！”　＜７）ＩＩＩＭＢ族アルコール類；トリ
メチルステアリルアンモニウムクロライド、塩化ステア
ロイルなどの塩化物類；ステアリルアミン、ステアリル
アミンアセテート、ステアリルアミンハイドロクロライ
ドなどのアミン類等が挙げられる。

またフッ素系潤滑剤としては、パーフルオロポリエーテ
ル、パーフルオロアルキルポリエーテルなどが好適なも
のとして使用され、市販品の具体例としてはダイキン社
製ダイフロル＃２０．デュポン社製クライトツクスＭ、
クライトックスＨ。

パイダックスＡＲ，モンテジソン社製フォンブリンＺな
どが挙げられる。

シリコン系潤滑剤としては、シリコンオイル。

変性シリコンオイルなどが挙げられる。炭化水素系潤滑
剤としては、パラフィン、ワックスなどが挙げられる。

このような潤滑剤を用いて形成される潤滑層の膜厚は、
潤滑効果を十分に発揮するため２０人以」−が望ましい
。２０人より薄いと潤滑効果が得られない。ただし、保
護膜厚との合計が１０００人より大きいとスペーシング
が太き（なりすぎ、電磁変換特性が劣化する。

［実施例コ以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しか
し、本発明の範囲は下記の実施例に限定されることはな
い。

実ＭｔｌＬ厚さ９μｍのポリエステルフィルムを真空蒸着装置に装
着し、５　Ｘ　１０−５Ｔｏｒｒの真空下でＣ０−２Ｏ
Ｎｉを加熱蒸発させ、同時に酸素ガスを２００ｍ１／ｍ
ｉｎの割合でＣｏ−２ＯＮｉの蒸気流に差し向け、５０
０人／　ｓ　ｅ　ｃの析出速度で斜め蒸着し、ポリエス
テルフィルム１−にＣｏ−２ＯＮｉから成る厚さ１５０
０人の強磁性金属層を形成した。

次いで、＋ｔＧび５Ｘ１０−５Ｔｏｒｒの真空下でＡλ
を加熱蒸発させ、１００人／ｓｅｅの析出速度で、前記
強磁性金属の傾斜方向と反対方向に斜め蒸着し、Ｃｏ−
２ＯＮｉから成る強磁性金属層１−にＡλから成る厚さ
２００人の保護膜第１層を形成した。

次いで、再び５Ｘ１０−５Ｔｏｒｒの真空下でＮｉを加
熱蒸発させ、同時に酸素ガスを３００ｍ１／ｍ　ｉ　ｎ
の割合でＮｉの蒸気流に差し向け、１００人／ｓｅｅの
析出速度で、前記保護膜第１層形成材料のＡλの傾斜方
向と反対方向（すなわち、強磁性金属の傾斜方向と同じ
方向）に斜め蒸着し、ＡＪから成る保護膜第１層上にＮ
ｉから成る厚さ２００人の保護膜搗２層を形成した。

しかる後、所定の巾に裁断して第１図に示すようなポリ
エステルフィルム１上に強磁性金属層２゜保護膜第１層
３．保護膜第２層４を順次積層形成した磁気テープを作
った。

光五４ｍ実施例１の保護膜第１層の形成において、ＡＪに代えて
Ｃｒを使用した以外は、実施例１と同様にして磁気テー
プを作った。

Ｋ血性１実施例１の保護膜第１層の形成において、Ａλに代えて
、Ｔｉを使用した以外は、実施例１と同様にして磁気テ
ープを作った。

災施」目。

実施例１の保、ｆｉ膜第２層の形成において、Ｎｉに代
えてＮｉ−２０Ｆｅを使用した以外は、実施例１と同様
にして磁気テープを作った。

光五計比実施例１と同様にしてポリエステルフィルム上に強磁性
金属層、保護膜第１層、保護膜第２層を順次積層形成し
た後、バイブ・ノクスＡＲ，フオンブリンＺの希釈混合
溶液（０，０５１０，０５ｗｔ％）を塗布形成し、バイ
ダックスＡＲ，フオンブリンＺから成る膜厚２００人の
潤滑剤層を設け、しかる後、所定の巾に裁断して第２図
に示すようなポリエステルフィルｌ、１１−に強磁性金
属層２．保護膜第１層３、保護膜第２層４．潤滑剤層５
を順次積層形成した磁気テープを作った。

人Ｊ１舛喝− 強磁性金属層を斜め蒸着し、保護膜第１層を市ｕ’ｌ蒸
着し、柱状粒子構造を持たない保護膜第１層を形成した
後、保護膜第２層を前記強磁性金属層の傾斜方向と反対
方向に傾斜させて斜め蒸着した以外は実施例１と同様に
して磁気テープを作製した。このテープの断面構造を第
３図に示す。

匿佼匠上実施例１の保護膜の形成において、保護膜第２層を省い
た以外は、実施例１と同様にして磁気テープを作った。

比土Ｕ舛２一実施例１の保護膜の形成において、保護膜第１層を省い
た以外は、実施例１と同様にして磁気テープを作った。

各実施例および比較例で得られた磁気テープについて耐
蝕性および耐摩耗性を試験した。耐蝕性試験は得られた
磁気テープを亜疏酸ガス（８０２）１ｐｐｍ、３５℃、
７５％ＲＨの条件トに２４ｈｒ放置して試料振動型磁ツ
バｌ（ＶＳＭ）で飽和磁化１１を測定し、放置前の磁気
テープの飽和磁化殴を１００％とし、これと比較した値
でその劣化率を調べて行った。

耐摩耗性試験は市販のＶＴＲテープデツキを用いて磁気
テープに５ＭＨｚの信号を記録し、丙生時のスチル寿命
を測定して行った。

測定結果をＦ記の表１に要約してホす。

［発明の効果コ表１に示された結果から明らかなように、実施例１ない
し６で得られた本発明の磁気テープは、比較例１および
２で得られた従来技術の磁気テープより飽和磁化：ｉｔ
の劣化率が小さく、シかもスチル１１■生寿命が長い。

この・１［実から、本発明によって得られる磁気記録媒
体は、耐蝕性および耐摩耗性が一段と向１−されている
ことが理解される。

４、図面）１′１ｖＩ１１１．な説明第１図、第２図および第３図は本発明の磁気記録媒体の
部分拡大断面図である。

■・・・ポリエステルフィルム（基体）、２・・・強磁
性金属層、３・・・保護膜第１層、４・・・保護膜第２
層、５・・・潤滑剤層特１；１出願人［１１γマクセル株式会社代理人　弁理１−　梶　山　拮　是弁理［−山　木　富十男

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基体上に強磁性金属層を形成し、この強磁性金属
層上に保護膜第１層を形成し、さらにこの保護膜第１層
上に保護膜第２層を形成して成る磁気記録媒体において
、保護膜第１層が少なくともＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉのうち１
種以上の元素を含有し、さらに保護膜第２層がＮｉを主
成分とすることを特徴とする磁気記録媒体。