JPS63302438A - スタンパ作製方法 - Google Patents
スタンパ作製方法Info
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- JPS63302438A JPS63302438A JP13738587A JP13738587A JPS63302438A JP S63302438 A JPS63302438 A JP S63302438A JP 13738587 A JP13738587 A JP 13738587A JP 13738587 A JP13738587 A JP 13738587A JP S63302438 A JPS63302438 A JP S63302438A
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- Japan
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- stamper
- signal
- few
- glass master
- master disk
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- Pending
Links
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は例えばコンパクトディスク、ビデオディスク等
の製造に使用するスタンパの作製方法に関するものであ
る。
の製造に使用するスタンパの作製方法に関するものであ
る。
〈従来技術〉
従来よりコンパクトディスク、ビデオディスク等ノスタ
ンパは第３図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）、（ｅ）
、（ｆ）、（６）に示す如くのメッキ工程によりおこな
われていた。
ンパは第３図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）、（ｅ）
、（ｆ）、（６）に示す如くのメッキ工程によりおこな
われていた。
即ち同図ａにおいて１はガラス原盤であり、３はポジ型
レジストである。レーザーカンティングによってｂに示
す如くポジ型レジスト３上に信号記録を行ったのち、現
像を行い、信号記録原盤Ｃを得る。該信号記録原盤上に
銀等を、蒸着あるいはスパッタリング、無電解メッキ等
の手法により被覆し、電解ニッケルメッキにより、いわ
ゆるｄにしめずファーザーを作製し、さらにｅにしめＶ
マザーを同様にして作製した後、該マザーより同様にし
てスタンパ−ｆを作製する。こうしてｇにしめずスタン
パ−が得られる。
レジストである。レーザーカンティングによってｂに示
す如くポジ型レジスト３上に信号記録を行ったのち、現
像を行い、信号記録原盤Ｃを得る。該信号記録原盤上に
銀等を、蒸着あるいはスパッタリング、無電解メッキ等
の手法により被覆し、電解ニッケルメッキにより、いわ
ゆるｄにしめずファーザーを作製し、さらにｅにしめＶ
マザーを同様にして作製した後、該マザーより同様にし
てスタンパ−ｆを作製する。こうしてｇにしめずスタン
パ−が得られる。
信号記録原ＩＭＣはファーザーを剥離するとき、破壊さ
れてしまうため、ディスクを大量に複製しようとする場
合、通常マザーを数枚複製し、さらにスタンパ−を大量
に複製して用いる。また、複製するディスクの数が少量
の場合には、ファーザーをそのままスクンバーとして直
接ディスクを作製する場合もある。
れてしまうため、ディスクを大量に複製しようとする場
合、通常マザーを数枚複製し、さらにスタンパ−を大量
に複製して用いる。また、複製するディスクの数が少量
の場合には、ファーザーをそのままスクンバーとして直
接ディスクを作製する場合もある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、上記のような方法では、信号記録原盤上
に銀等を蒸着等で被膜形成を行い、その後、電解ニッケ
ルメッキを行い、さらに繰り返して２回にわたり電解ニ
ッケルメッキを行い原盤上の信号を反転転写するため、
ディフェクトエラーが増加し、また、信号そのものの形
状が劣化し、最終的に製品として製作されたディスクの
品質・性能を低下させるという欠点があう、かつ、多工
程を経るため、製作費、時間が比較的多く必要であった
。
に銀等を蒸着等で被膜形成を行い、その後、電解ニッケ
ルメッキを行い、さらに繰り返して２回にわたり電解ニ
ッケルメッキを行い原盤上の信号を反転転写するため、
ディフェクトエラーが増加し、また、信号そのものの形
状が劣化し、最終的に製品として製作されたディスクの
品質・性能を低下させるという欠点があう、かつ、多工
程を経るため、製作費、時間が比較的多く必要であった
。
本発明は上記問題点を解決し、である。
〈問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するため、ガラス原版上にレジストを
設けた後、レーザー等により露光を行い。
設けた後、レーザー等により露光を行い。
エツチング処理をして凹凸パターンを得、所望のメンキ
処理工程を経て、被成形物を大盪複製するだめのスタン
バ−を得るスタンバ−作製方法に於いて。
処理工程を経て、被成形物を大盪複製するだめのスタン
バ−を得るスタンバ−作製方法に於いて。
該ガラス原版上に金属皮膜をした後レジストを設けるよ
うにして、ディフェクトエラーが少なく、信号の劣化程
度の低いスタンバ−を作製し、品質・性能・コスト等の
優れたディスクを能率よく作製しようとするスタンバ−
の作製方法を提供するものである。
うにして、ディフェクトエラーが少なく、信号の劣化程
度の低いスタンバ−を作製し、品質・性能・コスト等の
優れたディスクを能率よく作製しようとするスタンバ−
の作製方法を提供するものである。
〈作用〉
本発明は、上記の方法により、ガラス原盤上に破壊され
にくい金属製の凸凹信号を作製することにより、該ガラ
ス原盤より、数枚のスタンバ−を直接得ることができる
もので工程が短く、信号劣化程度が少なく、ディフェク
トの少ない品質の良好なディスクが製作できる。
にくい金属製の凸凹信号を作製することにより、該ガラ
ス原盤より、数枚のスタンバ−を直接得ることができる
もので工程が短く、信号劣化程度が少なく、ディフェク
トの少ない品質の良好なディスクが製作できる。
〈実施例〉
以下本発明について図面により説明する。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明の一実施例のスタンバ作
製方法であり、１はガラス原盤であり、２は金属製被膜
であり、クロム、ニッケル等が用いられ。
製方法であり、１はガラス原盤であり、２は金属製被膜
であり、クロム、ニッケル等が用いられ。
３はポジ型レジストである。
第１図ａにおいて、ガラス原盤１上に金属製被膜２を蒸
着、スパッタリング、メッキ等の方法で厚さ９００〜１
２００人に形成する。該金属製被膜上にポジ型レジスト
３をスピンコーター等により、塗布し、乾燥する。レー
ザーカッティングにより、ｂに示す所定の信号記録を行
い、次に現像し、レジストに信号形成する。ガラス基盤
にレジストの信号形成がされた状態がＣである。その後
、Ａｒ等の不活性ガスもしくはＣＣ１，、ＣＨＦ、 、
ＣＦ３等の反応性ガスを用いたスパッタエツチング法、
または、硝酸セリウムアンモニウム等を主成分とする湿
式エツチング法等により、金属被膜２上にｄに示す信号
パターンを形成し、次に酸素等を用いたアッシングもし
くは硫酸等で処理することにより、残留したレジストを
除去し、ｅに示したマザーのスタンバ作製用原盤を得る
。該原盤に銀、ニッケル、クロム等を蒸着、スパッタリ
ング、メッキ等の方法で薄く被膜形成した後、必要に応
じ′、！、’ｌ Ａ’Ｊ処理を施し、直接スタンバを作
製する。この原盤は注意深くとり扱うことにより数枚の
スタンバを復製することができる。該原盤よりスタンバ
を剥離し、その後通常のレプケーション工程により、コ
ンパクトディスク等のディスクを成形する。
着、スパッタリング、メッキ等の方法で厚さ９００〜１
２００人に形成する。該金属製被膜上にポジ型レジスト
３をスピンコーター等により、塗布し、乾燥する。レー
ザーカッティングにより、ｂに示す所定の信号記録を行
い、次に現像し、レジストに信号形成する。ガラス基盤
にレジストの信号形成がされた状態がＣである。その後
、Ａｒ等の不活性ガスもしくはＣＣ１，、ＣＨＦ、 、
ＣＦ３等の反応性ガスを用いたスパッタエツチング法、
または、硝酸セリウムアンモニウム等を主成分とする湿
式エツチング法等により、金属被膜２上にｄに示す信号
パターンを形成し、次に酸素等を用いたアッシングもし
くは硫酸等で処理することにより、残留したレジストを
除去し、ｅに示したマザーのスタンバ作製用原盤を得る
。該原盤に銀、ニッケル、クロム等を蒸着、スパッタリ
ング、メッキ等の方法で薄く被膜形成した後、必要に応
じ′、！、’ｌ Ａ’Ｊ処理を施し、直接スタンバを作
製する。この原盤は注意深くとり扱うことにより数枚の
スタンバを復製することができる。該原盤よりスタンバ
を剥離し、その後通常のレプケーション工程により、コ
ンパクトディスク等のディスクを成形する。
尚、第２図（ａ）〜（ｆ）に示した様に、レジストとし
てネガレジストを用いることにより、凸凹信号の反転し
たガラス原盤を得ることができる。このガラス原盤から
はいわゆるマザー盤を得ることができ、該マザー盤から
スタンバ−を数多く作成できる。
てネガレジストを用いることにより、凸凹信号の反転し
たガラス原盤を得ることができる。このガラス原盤から
はいわゆるマザー盤を得ることができ、該マザー盤から
スタンバ−を数多く作成できる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明は、金属により形成される凸凹信号
を有するガラス原盤を用い、直接スタンバを電鋳等の方
法により作成することにより、くり返して電鋳を行わず
して、１枚〜数枚のスタンバを得ることができるため、
スタンバ製作工程が簡略でき、スタンバ製作費、製作時
間が少なく、なおかつ、欠陥の少ない信号劣化の小さい
スタンバを収率よく得ることができるものである。
を有するガラス原盤を用い、直接スタンバを電鋳等の方
法により作成することにより、くり返して電鋳を行わず
して、１枚〜数枚のスタンバを得ることができるため、
スタンバ製作工程が簡略でき、スタンバ製作費、製作時
間が少なく、なおかつ、欠陥の少ない信号劣化の小さい
スタンバを収率よく得ることができるものである。
第１図（ａ）〜（ｆ）および第２図（ａｌ〜（ｆ）は本
発明のスタンバ作成方法を示すそれぞれの断面の説明図
であり、第３図（ａ）〜（濁は従来のスタンバ作成方法
を節略に示した断面の説明図である。 ■・・・・・・・・・ガラス原盤 ２・・・・・・・・・金属被膜 ３・・・・・・・・・レジスト ３・・・・・・・・・ネガレジスト ４・・・・・・・・・電鋳による金属被膜特 許
出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 （ｆ） （ｆ）ｃ口ＪＭｏ＋ｈｅｒ第１
図 第２ 図
発明のスタンバ作成方法を示すそれぞれの断面の説明図
であり、第３図（ａ）〜（濁は従来のスタンバ作成方法
を節略に示した断面の説明図である。 ■・・・・・・・・・ガラス原盤 ２・・・・・・・・・金属被膜 ３・・・・・・・・・レジスト ３・・・・・・・・・ネガレジスト ４・・・・・・・・・電鋳による金属被膜特 許
出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 （ｆ） （ｆ）ｃ口ＪＭｏ＋ｈｅｒ第１
図 第２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ガラス原版上にレジストを設けた後、レーザー等に
より露光を行い、エッチング処理をして凹凸パターンを
得、所望のメッキ処理工程を経て、被成形物を大量複製
するためのスタンパーを得るスタンパー作製方法に於い
て、 該ガラス原版上に金属皮膜をした後レジストを設けるよ
うにしたことを特徴とするスタンパ作製方法。 ２）前記金属製被膜がクロムから成る特許請求の範囲１
項記載のスタンパ作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13738587A JPS63302438A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | スタンパ作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13738587A JPS63302438A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | スタンパ作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63302438A true JPS63302438A (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=15197451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13738587A Pending JPS63302438A (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | スタンパ作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63302438A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601746A2 (en) * | 1992-11-26 | 1994-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Process and apparatus for manufacturing substrate sheet for optical recording mediums, process for preparing stamper and process for preparing photomask |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173737A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学デイスク用スタンパ−の製造方法 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP13738587A patent/JPS63302438A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173737A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学デイスク用スタンパ−の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0601746A2 (en) * | 1992-11-26 | 1994-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Process and apparatus for manufacturing substrate sheet for optical recording mediums, process for preparing stamper and process for preparing photomask |
| EP0601746A3 (en) * | 1992-11-26 | 1995-01-18 | Canon Kk | Method and device for producing a substrate plate for optical recording media, method for preparing a matrix and method for preparing a photomask. |
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