JPS63299243A - プロ−ブカ−ドアダプタ - Google Patents
プロ−ブカ−ドアダプタInfo
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- JPS63299243A JPS63299243A JP13460087A JP13460087A JPS63299243A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 78
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
１産業上の利用分野］
この発明は、ウェハプローバにおいてプローブカードを
自動交換するために好適に用いたプローブカードアダプ
タに係り、特に種類の異なるプローブカードに対応する
ためのプローブカードアダプタに関する。
自動交換するために好適に用いたプローブカードアダプ
タに係り、特に種類の異なるプローブカードに対応する
ためのプローブカードアダプタに関する。
１従来の技術］
ウェハプローバは被測定体例えば半導体ウェハに多数形
成されたチップの各電極とプローブカードの針とを位置
決め接続して各チップの電気的特性を測定するための装
置である。プローブカードは被測定体であるウェハの種
類に応じて交換されるが、従来プローブカードはウェハ
プローバの取付部にネジ等によって固定されており、そ
の交換や精度調整に多くの時間を要していた。このよう
なプローブカードの交換に伴なう作業負担の軽減および
作業時間の短縮を図るためプローブカードの取付側の接
点をポゴピンとすると共にプローブカード及びその取付
部に係止手段を設け、プローブカードを自動交換する方
法が実現している。
成されたチップの各電極とプローブカードの針とを位置
決め接続して各チップの電気的特性を測定するための装
置である。プローブカードは被測定体であるウェハの種
類に応じて交換されるが、従来プローブカードはウェハ
プローバの取付部にネジ等によって固定されており、そ
の交換や精度調整に多くの時間を要していた。このよう
なプローブカードの交換に伴なう作業負担の軽減および
作業時間の短縮を図るためプローブカードの取付側の接
点をポゴピンとすると共にプローブカード及びその取付
部に係止手段を設け、プローブカードを自動交換する方
法が実現している。
［発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、このようなプローブカード自動交換を行
う場合、プローブカードとしては取付部側と対応するサ
イズのものしか使用できない。すなわち、例えば１２０
ピンのプローブカードを用いるウェハプローバにあって
は、７０ピンのプローブカードは使えなかった。
う場合、プローブカードとしては取付部側と対応するサ
イズのものしか使用できない。すなわち、例えば１２０
ピンのプローブカードを用いるウェハプローバにあって
は、７０ピンのプローブカードは使えなかった。
本発明はこのようなプローブカード自動交換時の問題点
を解消するためになされたもので、種類の異なるプロー
ブカードでも自動交換可能にするプローブカードアダプ
タを提供することを目的とする。更↓こ、本発明はプロ
ーブカードを装着した後回転する手段を備えたプローブ
カードアダプタを提供することを目的とする。
を解消するためになされたもので、種類の異なるプロー
ブカードでも自動交換可能にするプローブカードアダプ
タを提供することを目的とする。更↓こ、本発明はプロ
ーブカードを装着した後回転する手段を備えたプローブ
カードアダプタを提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段１
このような目的を達成するために本発明のプローブカー
ドアダプタはプローブカード取付部に配設された端子ピ
ンに対応して接続端子が設けられた外側リングと、前記
接続端子と電気的に接続され且つプローブカードが接続
される端子部を有する内側リングとから成り、前記内側
リングは前記外側リングに対し回転可能であることを特
徴とする。
ドアダプタはプローブカード取付部に配設された端子ピ
ンに対応して接続端子が設けられた外側リングと、前記
接続端子と電気的に接続され且つプローブカードが接続
される端子部を有する内側リングとから成り、前記内側
リングは前記外側リングに対し回転可能であることを特
徴とする。
し実施例］
次に゛、本発明の一実施例を図面に基き説明する。
まず、第１図に示すようにウェハプローパ１は被試験体
であるウェハ２を搭載する測定ステージ３と、プローブ
カード４を装着するプローブカード取付部としてのイン
サートリング５とを備えており、公知の搬送手段及び位
置決め手段によってウェハ２を収納部より搬送し１位置
決めした後測定ステージ３をＸＹ方向に恥動しつつウェ
ハ２の各チップとプローブカード４のプローブ針６とを
接触させてテスタ７に接続されたテストヘッド８により
各種測定を行う。
であるウェハ２を搭載する測定ステージ３と、プローブ
カード４を装着するプローブカード取付部としてのイン
サートリング５とを備えており、公知の搬送手段及び位
置決め手段によってウェハ２を収納部より搬送し１位置
決めした後測定ステージ３をＸＹ方向に恥動しつつウェ
ハ２の各チップとプローブカード４のプローブ針６とを
接触させてテスタ７に接続されたテストヘッド８により
各種測定を行う。
インサートリング５は第２図（下方より見た斜視図）に
示すように後述のプローブカードホルダー９を位置決め
するためのガイドピン１０及びテストヘッドと電気的に
接続される端子ピン１１が備えられている。端子ピン１
１はポゴピンで構成され例えば１２０ピンのプローブカ
ード（２０ｈ＋ｍφ）に対応して同心円状に複数個配設
されており、１２０ピンのプローブカード４の端子部１
２を圧接させることにより電気的接触を得ることができ
る。
示すように後述のプローブカードホルダー９を位置決め
するためのガイドピン１０及びテストヘッドと電気的に
接続される端子ピン１１が備えられている。端子ピン１
１はポゴピンで構成され例えば１２０ピンのプローブカ
ード（２０ｈ＋ｍφ）に対応して同心円状に複数個配設
されており、１２０ピンのプローブカード４の端子部１
２を圧接させることにより電気的接触を得ることができ
る。
また、インサートリング５の外周に近接してプローブカ
ードホルダー９を着脱する手段が設けられている。この
着脱手段についてはプローブカード自動交換用のプロー
バにおいて公知であるので省略する。プローブカードホ
ルダー９（以下、ホルダ９と略称する。）はプローブカ
ード４又はプローブカードアダプタ１２を保持するもの
で上述のインサートリング５に対応してガイドピン１０
と係合するガイド孔１３及びインサートリング５の着脱
手段に係止される係止手段を有している。ホルダ９には
所定の大きさのプローブカード４例えば１２０ピンのプ
ローブカード （２００ｍｍφ）がネジ等によって装着され、これより
小さい大きさ例えば７０ピンのプローブカード（１３５
ｆｆｌＩｌφ）は本発明のプローブカードアダプタを介
して装着される。
ードホルダー９を着脱する手段が設けられている。この
着脱手段についてはプローブカード自動交換用のプロー
バにおいて公知であるので省略する。プローブカードホ
ルダー９（以下、ホルダ９と略称する。）はプローブカ
ード４又はプローブカードアダプタ１２を保持するもの
で上述のインサートリング５に対応してガイドピン１０
と係合するガイド孔１３及びインサートリング５の着脱
手段に係止される係止手段を有している。ホルダ９には
所定の大きさのプローブカード４例えば１２０ピンのプ
ローブカード （２００ｍｍφ）がネジ等によって装着され、これより
小さい大きさ例えば７０ピンのプローブカード（１３５
ｆｆｌＩｌφ）は本発明のプローブカードアダプタを介
して装着される。
次に本発明のプローブカードアダプタ（以下、アダプタ
と略称する）について説明する。第３図（ａ）及び（ｂ
）に示す実施例においてプローブカードアダプタ１４は
所定のサイズのプローブカード４（例えば２００關φの
プローブカード）と同サイズの外周をもつ外側リング１
５とプローブカード４より小さいサイズのプローブカー
ド４′（例えば１３５ｍｍφのプローブカード）が取付
けられる内側リング１５とから成り、外側リング１６に
はプローブカード４と同様にインサートリング５の端子
ビン１１に対応して同心円状に接続端子１７が設けられ
ている。接続端子１７はプリントパターン等によって設
けることができる。外側リング１５はその内周に沿って
立上がり部１５ａが形成されており、この立上がり部１
５ａに内側リング１６が嵌合される。
と略称する）について説明する。第３図（ａ）及び（ｂ
）に示す実施例においてプローブカードアダプタ１４は
所定のサイズのプローブカード４（例えば２００關φの
プローブカード）と同サイズの外周をもつ外側リング１
５とプローブカード４より小さいサイズのプローブカー
ド４′（例えば１３５ｍｍφのプローブカード）が取付
けられる内側リング１５とから成り、外側リング１６に
はプローブカード４と同様にインサートリング５の端子
ビン１１に対応して同心円状に接続端子１７が設けられ
ている。接続端子１７はプリントパターン等によって設
けることができる。外側リング１５はその内周に沿って
立上がり部１５ａが形成されており、この立上がり部１
５ａに内側リング１６が嵌合される。
内側リング１６には外側リング１５の接続端子１７と電
気的に接続され且つ（小さいサイズＯ）プローブカード
４′の接続端子と対応する端子部１８が配設される。プ
ローブカード４′はその接続端子からこの端子部１８と
合うようにネジ等によって内側リング１６に固定される
。接続端子１７と端子部１８との電気的接続は例えば内
側及び外側リング内の内部配線及びリード線１９によっ
てなされる。
気的に接続され且つ（小さいサイズＯ）プローブカード
４′の接続端子と対応する端子部１８が配設される。プ
ローブカード４′はその接続端子からこの端子部１８と
合うようにネジ等によって内側リング１６に固定される
。接続端子１７と端子部１８との電気的接続は例えば内
側及び外側リング内の内部配線及びリード線１９によっ
てなされる。
更に内側リング１６は第４図に示すようにその一部にラ
ック２０が形成されており、外側リング（第４図におい
ては省略しである）を貫通して設けられた駆動軸２１に
取付けられたピニオン２２がこのラック２０に係合し、
駆動軸２１を回転させることにより内側リング１６を回
転させる。これにより内側リンク１６に装着されたプロ
ーブカード４′の位置を微調整して、プローブカード４
′の取付誤差をなくすことができる。
ック２０が形成されており、外側リング（第４図におい
ては省略しである）を貫通して設けられた駆動軸２１に
取付けられたピニオン２２がこのラック２０に係合し、
駆動軸２１を回転させることにより内側リング１６を回
転させる。これにより内側リンク１６に装着されたプロ
ーブカード４′の位置を微調整して、プローブカード４
′の取付誤差をなくすことができる。
駆動軸２１はステップモータ等の駆動源（図示せず）に
よって駆動され、遠隔操作することができる。
よって駆動され、遠隔操作することができる。
このように構成されるアダプタ１４はまずその内側リン
グ１６にプローブカード４″をネジ等によって固定した
後、大きいサイズのプローブカード４と全く同様にホル
ダ９に固定する。この時、ホルダ９のネジ穴はプローブ
カード又はアダプタ１４の回転方向のｍＷが可能なよう
に長穴になっており、アダプタ１４取付時に予めプロー
ブカード４′の位置の粗！整を行っておく、このように
ホルダ９に固定されたプローブカード４′及びアダプタ
１４（以下プローブカードセットという）は通常のプロ
ーブカード４と同様に自動交換することができる。簡単
に説明すると、プローブカード収納部に収納されたプロ
ーブカードセットはハンドリングアーム等の搬送手段に
よってプローバのインサートリング５下に搬送され、イ
ンサートリング５のガイドビン１０とホルダ９のガイド
孔１３とを位置合わせした後、公知の着脱手段及び係止
手段によってインサートリング５に装着される。そして
ウェハの測定に際して内側リング１６を回転させること
によりウェハとプローブカード４′の針６との位置を微
調整する。この場合、内側リング１６と外側リング１５
の各端子はリード線１９によって接続されているので、
微調整時の内側リング１６の回転（通常１°以下）を許
容することができる。
グ１６にプローブカード４″をネジ等によって固定した
後、大きいサイズのプローブカード４と全く同様にホル
ダ９に固定する。この時、ホルダ９のネジ穴はプローブ
カード又はアダプタ１４の回転方向のｍＷが可能なよう
に長穴になっており、アダプタ１４取付時に予めプロー
ブカード４′の位置の粗！整を行っておく、このように
ホルダ９に固定されたプローブカード４′及びアダプタ
１４（以下プローブカードセットという）は通常のプロ
ーブカード４と同様に自動交換することができる。簡単
に説明すると、プローブカード収納部に収納されたプロ
ーブカードセットはハンドリングアーム等の搬送手段に
よってプローバのインサートリング５下に搬送され、イ
ンサートリング５のガイドビン１０とホルダ９のガイド
孔１３とを位置合わせした後、公知の着脱手段及び係止
手段によってインサートリング５に装着される。そして
ウェハの測定に際して内側リング１６を回転させること
によりウェハとプローブカード４′の針６との位置を微
調整する。この場合、内側リング１６と外側リング１５
の各端子はリード線１９によって接続されているので、
微調整時の内側リング１６の回転（通常１°以下）を許
容することができる。
内側リング１６と外側リング１５との電気的接続は本実
施例のようにリード線１９を用いるのではなく、例えば
第５図に示すように外側リング１５と内側リング１６が
接触する部分に１例えば外側リング１５の立上り部１５
ａの内側と内側リング１６の外周に面して接続端子２３
．２４を設けてもよい。この場合、少なくとも一方の端
子を楕円形などの円周方向に細長い形状にすれば、内側
リング１６が微調整時に回転しても電気的接続を保つこ
とができる。
施例のようにリード線１９を用いるのではなく、例えば
第５図に示すように外側リング１５と内側リング１６が
接触する部分に１例えば外側リング１５の立上り部１５
ａの内側と内側リング１６の外周に面して接続端子２３
．２４を設けてもよい。この場合、少なくとも一方の端
子を楕円形などの円周方向に細長い形状にすれば、内側
リング１６が微調整時に回転しても電気的接続を保つこ
とができる。
また１本実施例において内側リング１６の回転手段とし
てラックアンドピニオンを採用したが本発明はこれに限
定されるものではない。
てラックアンドピニオンを採用したが本発明はこれに限
定されるものではない。
［発明の効果１
以上の説明からも明らかなように、本発明のプローブカ
ードアダプタを用いることにより種々のサイズのプロー
ブカードを自動交換用プローバに適用することができる
。
ードアダプタを用いることにより種々のサイズのプロー
ブカードを自動交換用プローバに適用することができる
。
また、内側リングに回転手段を設けたことによりプロー
ブカードをアダプタに取り付けた時の位置精度の誤差を
なくすことができる。
ブカードをアダプタに取り付けた時の位置精度の誤差を
なくすことができる。
第１図は本発明のプローブカードアダプタが適用される
ウェハプローバの概略図、第２図はプローブカード取付
部及びプローブカードの斜視図、第３図（ａ）及び（ｂ
）はそれぞれ本発明のプローブカードアダプタの一実施
例を示す斜視図及び断面図、第４図は内側リングの回転
手段の一実施例を示す図、第５図は本発明のプローブカ
ードアダプタの別の実施例を示す図である。 １・・・・・・・・・ウェハプローバ ５・・・・・・・・・インサートリング（プローブカー
ド取付部） １１・・・・・・・端子ピン １４・・・・・・・プローブカードアダプタ１５・・・
・・・・外側リング １６・・・・・・・内側リング １７・・・・・・・外側リングの接続端子１８・・・・
・・・内側リングの端子部２０・・・・・・・ラック（
回転手段）２１・・・・・・・ピニオン（回転手段）代
理人 弁理士 守 谷 −雄 第３図 （ａ） （ｂ） 一一１３５ｍｍＣＰ−ｓ−１ 第４図 第５図
ウェハプローバの概略図、第２図はプローブカード取付
部及びプローブカードの斜視図、第３図（ａ）及び（ｂ
）はそれぞれ本発明のプローブカードアダプタの一実施
例を示す斜視図及び断面図、第４図は内側リングの回転
手段の一実施例を示す図、第５図は本発明のプローブカ
ードアダプタの別の実施例を示す図である。 １・・・・・・・・・ウェハプローバ ５・・・・・・・・・インサートリング（プローブカー
ド取付部） １１・・・・・・・端子ピン １４・・・・・・・プローブカードアダプタ１５・・・
・・・・外側リング １６・・・・・・・内側リング １７・・・・・・・外側リングの接続端子１８・・・・
・・・内側リングの端子部２０・・・・・・・ラック（
回転手段）２１・・・・・・・ピニオン（回転手段）代
理人 弁理士 守 谷 −雄 第３図 （ａ） （ｂ） 一一１３５ｍｍＣＰ−ｓ−１ 第４図 第５図
Claims (1)
- プローブカード取付部に配設された端子ピンに対応して
接続端子が設けられた外側リングと、前記接続端子と電
気的に接続され且つプローブカードが接続される端子部
を有する内側リングとから成り、前記内側リングは前記
外側リングに対し回転可能であることを特徴とするプロ
ーブカードアダプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13460087A JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13460087A JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63299243A true JPS63299243A (ja) | 1988-12-06 |
| JPH0575178B2 JPH0575178B2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=15132190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13460087A Granted JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63299243A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04276018A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法 |
| JPH0513046U (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | 半導体プローブボードの検査装置 |
| WO2005091006A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Limited | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
| KR100632032B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-10-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ｄｃ 검사장비 |
| JP2018523825A (ja) * | 2015-08-07 | 2018-08-23 | エクセラ・コーポレーションＸｃｅｒｒａ Ｃｏｒｐ． | 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置 |
| US10908180B2 (en) | 2012-11-22 | 2021-02-02 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730887U (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | 金一 新妻 | トイレットペーパーホルダー |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13460087A patent/JPS63299243A/ja active Granted
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04276018A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法 |
| JPH0513046U (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | 半導体プローブボードの検査装置 |
| KR100632032B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-10-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 ｄｃ 검사장비 |
| WO2005091006A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Limited | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
| JP2005265658A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
| EP1736787A1 (en) * | 2004-03-19 | 2006-12-27 | Tokyo Electron Limited | Probe device capable of being used for plural kinds of testers |
| US7323893B2 (en) | 2004-03-19 | 2008-01-29 | Tokyo Electron Limited | Probe device capable of being used for plural kinds of testers |
| KR100845349B1 (ko) * | 2004-03-19 | 2008-07-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 복수종의 테스터에 대응 가능한 프로브 장치 |
| EP1736787A4 (en) * | 2004-03-19 | 2014-04-02 | Tokyo Electron Ltd | TEST DEVICE SUITABLE FOR A VARIETY OF DIFFERENT TESTERS |
| US10908180B2 (en) | 2012-11-22 | 2021-02-02 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
| JP2018523825A (ja) * | 2015-08-07 | 2018-08-23 | エクセラ・コーポレーションＸｃｅｒｒａ Ｃｏｒｐ． | 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575178B2 (ja) | 1993-10-20 |
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