JPS63299243A - プロ−ブカ−ドアダプタ - Google Patents
プロ−ブカ−ドアダプタInfo
- Publication number
- JPS63299243A JPS63299243A JP13460087A JP13460087A JPS63299243A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP 13460087 A JP13460087 A JP 13460087A JP S63299243 A JPS63299243 A JP S63299243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- ring
- adapter
- terminal
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 78
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
1産業上の利用分野]
この発明は、ウェハプローバにおいてプローブカードを
自動交換するために好適に用いたプローブカードアダプ
タに係り、特に種類の異なるプローブカードに対応する
ためのプローブカードアダプタに関する。
自動交換するために好適に用いたプローブカードアダプ
タに係り、特に種類の異なるプローブカードに対応する
ためのプローブカードアダプタに関する。
1従来の技術]
ウェハプローバは被測定体例えば半導体ウェハに多数形
成されたチップの各電極とプローブカードの針とを位置
決め接続して各チップの電気的特性を測定するための装
置である。プローブカードは被測定体であるウェハの種
類に応じて交換されるが、従来プローブカードはウェハ
プローバの取付部にネジ等によって固定されており、そ
の交換や精度調整に多くの時間を要していた。このよう
なプローブカードの交換に伴なう作業負担の軽減および
作業時間の短縮を図るためプローブカードの取付側の接
点をポゴピンとすると共にプローブカード及びその取付
部に係止手段を設け、プローブカードを自動交換する方
法が実現している。
成されたチップの各電極とプローブカードの針とを位置
決め接続して各チップの電気的特性を測定するための装
置である。プローブカードは被測定体であるウェハの種
類に応じて交換されるが、従来プローブカードはウェハ
プローバの取付部にネジ等によって固定されており、そ
の交換や精度調整に多くの時間を要していた。このよう
なプローブカードの交換に伴なう作業負担の軽減および
作業時間の短縮を図るためプローブカードの取付側の接
点をポゴピンとすると共にプローブカード及びその取付
部に係止手段を設け、プローブカードを自動交換する方
法が実現している。
[発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、このようなプローブカード自動交換を行
う場合、プローブカードとしては取付部側と対応するサ
イズのものしか使用できない。すなわち、例えば120
ピンのプローブカードを用いるウェハプローバにあって
は、70ピンのプローブカードは使えなかった。
う場合、プローブカードとしては取付部側と対応するサ
イズのものしか使用できない。すなわち、例えば120
ピンのプローブカードを用いるウェハプローバにあって
は、70ピンのプローブカードは使えなかった。
本発明はこのようなプローブカード自動交換時の問題点
を解消するためになされたもので、種類の異なるプロー
ブカードでも自動交換可能にするプローブカードアダプ
タを提供することを目的とする。更↓こ、本発明はプロ
ーブカードを装着した後回転する手段を備えたプローブ
カードアダプタを提供することを目的とする。
を解消するためになされたもので、種類の異なるプロー
ブカードでも自動交換可能にするプローブカードアダプ
タを提供することを目的とする。更↓こ、本発明はプロ
ーブカードを装着した後回転する手段を備えたプローブ
カードアダプタを提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段1
このような目的を達成するために本発明のプローブカー
ドアダプタはプローブカード取付部に配設された端子ピ
ンに対応して接続端子が設けられた外側リングと、前記
接続端子と電気的に接続され且つプローブカードが接続
される端子部を有する内側リングとから成り、前記内側
リングは前記外側リングに対し回転可能であることを特
徴とする。
ドアダプタはプローブカード取付部に配設された端子ピ
ンに対応して接続端子が設けられた外側リングと、前記
接続端子と電気的に接続され且つプローブカードが接続
される端子部を有する内側リングとから成り、前記内側
リングは前記外側リングに対し回転可能であることを特
徴とする。
し実施例]
次に゛、本発明の一実施例を図面に基き説明する。
まず、第1図に示すようにウェハプローパ1は被試験体
であるウェハ2を搭載する測定ステージ3と、プローブ
カード4を装着するプローブカード取付部としてのイン
サートリング5とを備えており、公知の搬送手段及び位
置決め手段によってウェハ2を収納部より搬送し1位置
決めした後測定ステージ3をXY方向に恥動しつつウェ
ハ2の各チップとプローブカード4のプローブ針6とを
接触させてテスタ7に接続されたテストヘッド8により
各種測定を行う。
であるウェハ2を搭載する測定ステージ3と、プローブ
カード4を装着するプローブカード取付部としてのイン
サートリング5とを備えており、公知の搬送手段及び位
置決め手段によってウェハ2を収納部より搬送し1位置
決めした後測定ステージ3をXY方向に恥動しつつウェ
ハ2の各チップとプローブカード4のプローブ針6とを
接触させてテスタ7に接続されたテストヘッド8により
各種測定を行う。
インサートリング5は第2図(下方より見た斜視図)に
示すように後述のプローブカードホルダー9を位置決め
するためのガイドピン10及びテストヘッドと電気的に
接続される端子ピン11が備えられている。端子ピン1
1はポゴピンで構成され例えば120ピンのプローブカ
ード(20h+mφ)に対応して同心円状に複数個配設
されており、120ピンのプローブカード4の端子部1
2を圧接させることにより電気的接触を得ることができ
る。
示すように後述のプローブカードホルダー9を位置決め
するためのガイドピン10及びテストヘッドと電気的に
接続される端子ピン11が備えられている。端子ピン1
1はポゴピンで構成され例えば120ピンのプローブカ
ード(20h+mφ)に対応して同心円状に複数個配設
されており、120ピンのプローブカード4の端子部1
2を圧接させることにより電気的接触を得ることができ
る。
また、インサートリング5の外周に近接してプローブカ
ードホルダー9を着脱する手段が設けられている。この
着脱手段についてはプローブカード自動交換用のプロー
バにおいて公知であるので省略する。プローブカードホ
ルダー9(以下、ホルダ9と略称する。)はプローブカ
ード4又はプローブカードアダプタ12を保持するもの
で上述のインサートリング5に対応してガイドピン10
と係合するガイド孔13及びインサートリング5の着脱
手段に係止される係止手段を有している。ホルダ9には
所定の大きさのプローブカード4例えば120ピンのプ
ローブカード (200mmφ)がネジ等によって装着され、これより
小さい大きさ例えば70ピンのプローブカード(135
fflIlφ)は本発明のプローブカードアダプタを介
して装着される。
ードホルダー9を着脱する手段が設けられている。この
着脱手段についてはプローブカード自動交換用のプロー
バにおいて公知であるので省略する。プローブカードホ
ルダー9(以下、ホルダ9と略称する。)はプローブカ
ード4又はプローブカードアダプタ12を保持するもの
で上述のインサートリング5に対応してガイドピン10
と係合するガイド孔13及びインサートリング5の着脱
手段に係止される係止手段を有している。ホルダ9には
所定の大きさのプローブカード4例えば120ピンのプ
ローブカード (200mmφ)がネジ等によって装着され、これより
小さい大きさ例えば70ピンのプローブカード(135
fflIlφ)は本発明のプローブカードアダプタを介
して装着される。
次に本発明のプローブカードアダプタ(以下、アダプタ
と略称する)について説明する。第3図(a)及び(b
)に示す実施例においてプローブカードアダプタ14は
所定のサイズのプローブカード4(例えば200關φの
プローブカード)と同サイズの外周をもつ外側リング1
5とプローブカード4より小さいサイズのプローブカー
ド4′(例えば135mmφのプローブカード)が取付
けられる内側リング15とから成り、外側リング16に
はプローブカード4と同様にインサートリング5の端子
ビン11に対応して同心円状に接続端子17が設けられ
ている。接続端子17はプリントパターン等によって設
けることができる。外側リング15はその内周に沿って
立上がり部15aが形成されており、この立上がり部1
5aに内側リング16が嵌合される。
と略称する)について説明する。第3図(a)及び(b
)に示す実施例においてプローブカードアダプタ14は
所定のサイズのプローブカード4(例えば200關φの
プローブカード)と同サイズの外周をもつ外側リング1
5とプローブカード4より小さいサイズのプローブカー
ド4′(例えば135mmφのプローブカード)が取付
けられる内側リング15とから成り、外側リング16に
はプローブカード4と同様にインサートリング5の端子
ビン11に対応して同心円状に接続端子17が設けられ
ている。接続端子17はプリントパターン等によって設
けることができる。外側リング15はその内周に沿って
立上がり部15aが形成されており、この立上がり部1
5aに内側リング16が嵌合される。
内側リング16には外側リング15の接続端子17と電
気的に接続され且つ(小さいサイズO)プローブカード
4′の接続端子と対応する端子部18が配設される。プ
ローブカード4′はその接続端子からこの端子部18と
合うようにネジ等によって内側リング16に固定される
。接続端子17と端子部18との電気的接続は例えば内
側及び外側リング内の内部配線及びリード線19によっ
てなされる。
気的に接続され且つ(小さいサイズO)プローブカード
4′の接続端子と対応する端子部18が配設される。プ
ローブカード4′はその接続端子からこの端子部18と
合うようにネジ等によって内側リング16に固定される
。接続端子17と端子部18との電気的接続は例えば内
側及び外側リング内の内部配線及びリード線19によっ
てなされる。
更に内側リング16は第4図に示すようにその一部にラ
ック20が形成されており、外側リング(第4図におい
ては省略しである)を貫通して設けられた駆動軸21に
取付けられたピニオン22がこのラック20に係合し、
駆動軸21を回転させることにより内側リング16を回
転させる。これにより内側リンク16に装着されたプロ
ーブカード4′の位置を微調整して、プローブカード4
′の取付誤差をなくすことができる。
ック20が形成されており、外側リング(第4図におい
ては省略しである)を貫通して設けられた駆動軸21に
取付けられたピニオン22がこのラック20に係合し、
駆動軸21を回転させることにより内側リング16を回
転させる。これにより内側リンク16に装着されたプロ
ーブカード4′の位置を微調整して、プローブカード4
′の取付誤差をなくすことができる。
駆動軸21はステップモータ等の駆動源(図示せず)に
よって駆動され、遠隔操作することができる。
よって駆動され、遠隔操作することができる。
このように構成されるアダプタ14はまずその内側リン
グ16にプローブカード4″をネジ等によって固定した
後、大きいサイズのプローブカード4と全く同様にホル
ダ9に固定する。この時、ホルダ9のネジ穴はプローブ
カード又はアダプタ14の回転方向のmWが可能なよう
に長穴になっており、アダプタ14取付時に予めプロー
ブカード4′の位置の粗!整を行っておく、このように
ホルダ9に固定されたプローブカード4′及びアダプタ
14(以下プローブカードセットという)は通常のプロ
ーブカード4と同様に自動交換することができる。簡単
に説明すると、プローブカード収納部に収納されたプロ
ーブカードセットはハンドリングアーム等の搬送手段に
よってプローバのインサートリング5下に搬送され、イ
ンサートリング5のガイドビン10とホルダ9のガイド
孔13とを位置合わせした後、公知の着脱手段及び係止
手段によってインサートリング5に装着される。そして
ウェハの測定に際して内側リング16を回転させること
によりウェハとプローブカード4′の針6との位置を微
調整する。この場合、内側リング16と外側リング15
の各端子はリード線19によって接続されているので、
微調整時の内側リング16の回転(通常1°以下)を許
容することができる。
グ16にプローブカード4″をネジ等によって固定した
後、大きいサイズのプローブカード4と全く同様にホル
ダ9に固定する。この時、ホルダ9のネジ穴はプローブ
カード又はアダプタ14の回転方向のmWが可能なよう
に長穴になっており、アダプタ14取付時に予めプロー
ブカード4′の位置の粗!整を行っておく、このように
ホルダ9に固定されたプローブカード4′及びアダプタ
14(以下プローブカードセットという)は通常のプロ
ーブカード4と同様に自動交換することができる。簡単
に説明すると、プローブカード収納部に収納されたプロ
ーブカードセットはハンドリングアーム等の搬送手段に
よってプローバのインサートリング5下に搬送され、イ
ンサートリング5のガイドビン10とホルダ9のガイド
孔13とを位置合わせした後、公知の着脱手段及び係止
手段によってインサートリング5に装着される。そして
ウェハの測定に際して内側リング16を回転させること
によりウェハとプローブカード4′の針6との位置を微
調整する。この場合、内側リング16と外側リング15
の各端子はリード線19によって接続されているので、
微調整時の内側リング16の回転(通常1°以下)を許
容することができる。
内側リング16と外側リング15との電気的接続は本実
施例のようにリード線19を用いるのではなく、例えば
第5図に示すように外側リング15と内側リング16が
接触する部分に1例えば外側リング15の立上り部15
aの内側と内側リング16の外周に面して接続端子23
.24を設けてもよい。この場合、少なくとも一方の端
子を楕円形などの円周方向に細長い形状にすれば、内側
リング16が微調整時に回転しても電気的接続を保つこ
とができる。
施例のようにリード線19を用いるのではなく、例えば
第5図に示すように外側リング15と内側リング16が
接触する部分に1例えば外側リング15の立上り部15
aの内側と内側リング16の外周に面して接続端子23
.24を設けてもよい。この場合、少なくとも一方の端
子を楕円形などの円周方向に細長い形状にすれば、内側
リング16が微調整時に回転しても電気的接続を保つこ
とができる。
また1本実施例において内側リング16の回転手段とし
てラックアンドピニオンを採用したが本発明はこれに限
定されるものではない。
てラックアンドピニオンを採用したが本発明はこれに限
定されるものではない。
[発明の効果1
以上の説明からも明らかなように、本発明のプローブカ
ードアダプタを用いることにより種々のサイズのプロー
ブカードを自動交換用プローバに適用することができる
。
ードアダプタを用いることにより種々のサイズのプロー
ブカードを自動交換用プローバに適用することができる
。
また、内側リングに回転手段を設けたことによりプロー
ブカードをアダプタに取り付けた時の位置精度の誤差を
なくすことができる。
ブカードをアダプタに取り付けた時の位置精度の誤差を
なくすことができる。
第1図は本発明のプローブカードアダプタが適用される
ウェハプローバの概略図、第2図はプローブカード取付
部及びプローブカードの斜視図、第3図(a)及び(b
)はそれぞれ本発明のプローブカードアダプタの一実施
例を示す斜視図及び断面図、第4図は内側リングの回転
手段の一実施例を示す図、第5図は本発明のプローブカ
ードアダプタの別の実施例を示す図である。 1・・・・・・・・・ウェハプローバ 5・・・・・・・・・インサートリング(プローブカー
ド取付部) 11・・・・・・・端子ピン 14・・・・・・・プローブカードアダプタ15・・・
・・・・外側リング 16・・・・・・・内側リング 17・・・・・・・外側リングの接続端子18・・・・
・・・内側リングの端子部20・・・・・・・ラック(
回転手段)21・・・・・・・ピニオン(回転手段)代
理人 弁理士 守 谷 −雄 第3図 (a) (b) 一一135mmCP−s−1 第4図 第5図
ウェハプローバの概略図、第2図はプローブカード取付
部及びプローブカードの斜視図、第3図(a)及び(b
)はそれぞれ本発明のプローブカードアダプタの一実施
例を示す斜視図及び断面図、第4図は内側リングの回転
手段の一実施例を示す図、第5図は本発明のプローブカ
ードアダプタの別の実施例を示す図である。 1・・・・・・・・・ウェハプローバ 5・・・・・・・・・インサートリング(プローブカー
ド取付部) 11・・・・・・・端子ピン 14・・・・・・・プローブカードアダプタ15・・・
・・・・外側リング 16・・・・・・・内側リング 17・・・・・・・外側リングの接続端子18・・・・
・・・内側リングの端子部20・・・・・・・ラック(
回転手段)21・・・・・・・ピニオン(回転手段)代
理人 弁理士 守 谷 −雄 第3図 (a) (b) 一一135mmCP−s−1 第4図 第5図
Claims (1)
- プローブカード取付部に配設された端子ピンに対応して
接続端子が設けられた外側リングと、前記接続端子と電
気的に接続され且つプローブカードが接続される端子部
を有する内側リングとから成り、前記内側リングは前記
外側リングに対し回転可能であることを特徴とするプロ
ーブカードアダプタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13460087A JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13460087A JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63299243A true JPS63299243A (ja) | 1988-12-06 |
JPH0575178B2 JPH0575178B2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=15132190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13460087A Granted JPS63299243A (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | プロ−ブカ−ドアダプタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63299243A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04276018A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法 |
JPH0513046U (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | 半導体プローブボードの検査装置 |
WO2005091006A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Limited | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
KR100632032B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-10-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 dc 검사장비 |
JP2018523825A (ja) * | 2015-08-07 | 2018-08-23 | エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. | 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置 |
US10908180B2 (en) | 2012-11-22 | 2021-02-02 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0730887U (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-13 | 金一 新妻 | トイレットペーパーホルダー |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13460087A patent/JPS63299243A/ja active Granted
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04276018A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Kobe Steel Ltd | 圧壊特性に優れたドアガードバーの製造方法 |
JPH0513046U (ja) * | 1991-07-29 | 1993-02-19 | 山形日本電気株式会社 | 半導体プローブボードの検査装置 |
KR100632032B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2006-10-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프로브 카드 분리 가이드를 구비한 dc 검사장비 |
WO2005091006A1 (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Limited | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
JP2005265658A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 複数種のテスタに対応可能なプローブ装置 |
EP1736787A1 (en) * | 2004-03-19 | 2006-12-27 | Tokyo Electron Limited | Probe device capable of being used for plural kinds of testers |
US7323893B2 (en) | 2004-03-19 | 2008-01-29 | Tokyo Electron Limited | Probe device capable of being used for plural kinds of testers |
KR100845349B1 (ko) * | 2004-03-19 | 2008-07-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 복수종의 테스터에 대응 가능한 프로브 장치 |
EP1736787A4 (en) * | 2004-03-19 | 2014-04-02 | Tokyo Electron Ltd | TEST DEVICE SUITABLE FOR A VARIETY OF DIFFERENT TESTERS |
US10908180B2 (en) | 2012-11-22 | 2021-02-02 | Japan Electronic Materials Corp. | Probe card case and probe card transfer method |
JP2018523825A (ja) * | 2015-08-07 | 2018-08-23 | エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. | 印刷された回路基板を検査するための並列検査装置用の位置決め装置、及び印刷された回路基板を検査するための並列検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0575178B2 (ja) | 1993-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5172053A (en) | Prober apparatus | |
US10082524B2 (en) | Prober in which probe head of probe card is replaced automatically | |
KR100349386B1 (ko) | 반도체 집적 회로의 검사 방법, 검사 장치 및 검사용 컨택터와, 반도체 소자의 검사 장치 | |
JPS63299243A (ja) | プロ−ブカ−ドアダプタ | |
JP2000150596A (ja) | プローバ | |
JPH08335614A (ja) | プロ−ブシステム | |
US5124931A (en) | Method of inspecting electric characteristics of wafers and apparatus therefor | |
JP5451730B2 (ja) | プローブカード保持装置 | |
JP2004140241A (ja) | プローブ装置 | |
JP3169900B2 (ja) | プローバ | |
JPH0719809B2 (ja) | ウエハプロ−バ | |
JPH0669296A (ja) | 試験装置 | |
JPH0719817B2 (ja) | プロ−ブカ−ド自動交換方法 | |
JPH0528767Y2 (ja) | ||
JPH10144761A (ja) | ウエハ処理装置システム、ウエハ処理装置、ウエハ処理装置の使用方法 | |
KR200235109Y1 (ko) | 반도체 웨이퍼 프로버용 프리얼라인 장치 | |
JPS63318745A (ja) | プロ−ブ装置 | |
JPH01145577A (ja) | プローブカードの製造方法 | |
JPH01145587A (ja) | プローブ装置 | |
JP2575074B2 (ja) | ウエハプローバ | |
JP4951523B2 (ja) | テストヘッド、電子部品試験装置、及び電子部品試験装置へのパフォーマンスボードの装着方法 | |
JPH0744205B2 (ja) | プローブカード取付方法 | |
KR100285606B1 (ko) | 웨이퍼 프로버의 카드체인저 | |
KR200203848Y1 (ko) | 반도체 웨이퍼 프로버의 로딩 장치 | |
JPH0638438B2 (ja) | 半導体装置の検査方法 |