JPS63289976A - 圧電アクチュエ−タ - Google Patents
圧電アクチュエ−タInfo
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- JPS63289976A JPS63289976A JP62125121A JP12512187A JPS63289976A JP S63289976 A JPS63289976 A JP S63289976A JP 62125121 A JP62125121 A JP 62125121A JP 12512187 A JP12512187 A JP 12512187A JP S63289976 A JPS63289976 A JP S63289976A
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Links
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Landscapes
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
A、産業上の利用分野
本発明は、圧電効果を利用した圧電アクチュエータに関
する。
する。
B1発明の概要
本発明は、二つの圧電素子を接着し、この長手方向に添
って第一の電極部と第二の電極部とを設けて圧電フィル
ムを設け、この圧電フィルムをコイル状に巻き付け、前
記第一の電極部と前記第二の電極部とに所定の電圧を印
加してコイル状の圧電フィルムの両端間隔を伸縮させた
ときに生ずるのと同様のねじりモーメントを作用させて
圧電フィルムを伸縮させることにより、 7u気エネルギーを機械エネルギーに直接変換するため
エネルギー変換効率がよく省エネルギー化に供する、圧
電素子を伸縮させるため独立性が高く小型化できる、ア
クチュエータ本体を溶液内に’t’−?Rすればアクチ
ュエータ自体を生体に近い柔軟性を備えたしのにするこ
とが可能である、等の効果を奏する。
って第一の電極部と第二の電極部とを設けて圧電フィル
ムを設け、この圧電フィルムをコイル状に巻き付け、前
記第一の電極部と前記第二の電極部とに所定の電圧を印
加してコイル状の圧電フィルムの両端間隔を伸縮させた
ときに生ずるのと同様のねじりモーメントを作用させて
圧電フィルムを伸縮させることにより、 7u気エネルギーを機械エネルギーに直接変換するため
エネルギー変換効率がよく省エネルギー化に供する、圧
電素子を伸縮させるため独立性が高く小型化できる、ア
クチュエータ本体を溶液内に’t’−?Rすればアクチ
ュエータ自体を生体に近い柔軟性を備えたしのにするこ
とが可能である、等の効果を奏する。
C6従来の技術
従来、医療用その他小型、軽量、柔軟性等が要求される
ロボット、マニュピレータ等に用いられるアクチュエー
タとして、形状記憶合金を用い温度による形状記憶合金
の変形を利用したものやゴムチューブを用い空気圧によ
るゴムチューブの変形を利用したものなどが開発されて
いる。
ロボット、マニュピレータ等に用いられるアクチュエー
タとして、形状記憶合金を用い温度による形状記憶合金
の変形を利用したものやゴムチューブを用い空気圧によ
るゴムチューブの変形を利用したものなどが開発されて
いる。
D0発明が解決しようとする問題点
しかしながら、前者の形状記憶合金式のものは、熱を加
えたり又は熱を奪うことによりその形状を変えるため本
質的にエネルギー変換効率が悪いという欠点があった。
えたり又は熱を奪うことによりその形状を変えるため本
質的にエネルギー変換効率が悪いという欠点があった。
また、後者のゴムチューブ式のものは、コンプレッサを
必要とするため装置か大型化するという欠点があった。
必要とするため装置か大型化するという欠点があった。
さらに、医療・看護、リハビリテーション、アミューズ
メント、家庭用サービスなどの分野に活用されるロボッ
トに使用するものにあっては、生体に近い柔軟性を備え
たものが望まれるが未だこれを満足するアクチュエータ
は発明されていない。
メント、家庭用サービスなどの分野に活用されるロボッ
トに使用するものにあっては、生体に近い柔軟性を備え
たものが望まれるが未だこれを満足するアクチュエータ
は発明されていない。
そこで、本発明は上述の点に鑑みなされたしので省エネ
化、独立性が高く小型化に供すると共に生体に近い柔軟
性を備えたアクチュエータを搗供することを目的とする
。
化、独立性が高く小型化に供すると共に生体に近い柔軟
性を備えたアクチュエータを搗供することを目的とする
。
E3問題点を解決するための手段
上記目的を達成するための本発明の構成は、圧電フィル
ムを略コイル状に巻き付け、この中心軸方向の両端の少
なくとも一方を被作動部に接続し、前記圧電フィルムは
巻き付け方向に添って第一の圧電素子と第二の圧電素子
とか積層され且つ互いの一面が固定され、又、巻き付け
方向に添って略中央を分岐点として前記第一の圧電素子
と前記第二の圧電素子とに電圧を印加できる第一の電極
部と第二の電極部とが設けられ、この第一の電極部と第
二の電極部とに前記第一の圧電素子と前記第二の圧電素
子とのいずれか一方で、且つ、互いに異なる圧電素子が
前記圧電フィルムの中心軸方向に伸びるべく電圧を印加
したことを特徴とする。
ムを略コイル状に巻き付け、この中心軸方向の両端の少
なくとも一方を被作動部に接続し、前記圧電フィルムは
巻き付け方向に添って第一の圧電素子と第二の圧電素子
とか積層され且つ互いの一面が固定され、又、巻き付け
方向に添って略中央を分岐点として前記第一の圧電素子
と前記第二の圧電素子とに電圧を印加できる第一の電極
部と第二の電極部とが設けられ、この第一の電極部と第
二の電極部とに前記第一の圧電素子と前記第二の圧電素
子とのいずれか一方で、且つ、互いに異なる圧電素子が
前記圧電フィルムの中心軸方向に伸びるべく電圧を印加
したことを特徴とする。
F0作用
従って、第一の電極部と第二の電極部に所定の電圧を印
加すると、第一の圧電素子及び第二の圧電素子が伸びア
クチュエータ本体にアクチュエータ本体の両端間隔を伸
長又は収縮させたときに生ずるのと同様のねじりモーメ
ントが生じ、アクチュエータ本体が伸長又は収縮する。
加すると、第一の圧電素子及び第二の圧電素子が伸びア
クチュエータ本体にアクチュエータ本体の両端間隔を伸
長又は収縮させたときに生ずるのと同様のねじりモーメ
ントが生じ、アクチュエータ本体が伸長又は収縮する。
G、実施例
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第1図及び第2図において、略■字状の圧電フィルムl
が略■字状の尖端部を中心にして巻き付けられており、
両端に向かうに従って幅狭となる外形に形成されている
。この圧電フィルム1は、第3図に示すように、厚さ方
向に第一の圧電素子2と第二の圧電素子3とか設けられ
第一の圧電素子2と第二の圧電素子3とは互いの共用電
極部4゜5を介して導電性の接着部6にて互いの一面が
固定されている。前記第一の圧電素子2と第二の圧電素
子3とは厚さ方向で、且つ、同一方向に分極方向を有し
分極方向に電圧が印加されると厚さ方向と垂直方向に伸
長する横効果型の圧電素子である。
が略■字状の尖端部を中心にして巻き付けられており、
両端に向かうに従って幅狭となる外形に形成されている
。この圧電フィルム1は、第3図に示すように、厚さ方
向に第一の圧電素子2と第二の圧電素子3とか設けられ
第一の圧電素子2と第二の圧電素子3とは互いの共用電
極部4゜5を介して導電性の接着部6にて互いの一面が
固定されている。前記第一の圧電素子2と第二の圧電素
子3とは厚さ方向で、且つ、同一方向に分極方向を有し
分極方向に電圧が印加されると厚さ方向と垂直方向に伸
長する横効果型の圧電素子である。
第一の電極部7と第二の電極部8とは巻き付け方向に添
って略中央の絶縁部10を分岐点として第一の圧電素子
2と第二の圧電素子3とに電圧を印加すべく第一の圧電
素子2と第二の圧電素子3のそれぞれの表面に第一の導
電部7aと第二の導電部8bとを有している。この第一
の電極部7と第二の電極部8とは圧電フィルムlの伸縮
方向に対し【第一の電極部7が左側で第二の電極部8が
右側に位置されている。第4図に示Wように、圧電フィ
ルム1両端側の第一の導電部7aと第二の導電部8aと
接着部共有導電部4.5にはリード線12が接続され、
第一の導電部7aと第二の導電部8aとは制御装置9の
電圧端子に、共用導電部4.5は制御装置9のアース端
子にそれぞれ接続されている。
って略中央の絶縁部10を分岐点として第一の圧電素子
2と第二の圧電素子3とに電圧を印加すべく第一の圧電
素子2と第二の圧電素子3のそれぞれの表面に第一の導
電部7aと第二の導電部8bとを有している。この第一
の電極部7と第二の電極部8とは圧電フィルムlの伸縮
方向に対し【第一の電極部7が左側で第二の電極部8が
右側に位置されている。第4図に示Wように、圧電フィ
ルム1両端側の第一の導電部7aと第二の導電部8aと
接着部共有導電部4.5にはリード線12が接続され、
第一の導電部7aと第二の導電部8aとは制御装置9の
電圧端子に、共用導電部4.5は制御装置9のアース端
子にそれぞれ接続されている。
前記制御装置9は、第一の電捲部7と第二の電極部8と
に一方に十電位を印加したときに他方に一電位を印加し
て常に互いに異なる電圧を印加する。
に一方に十電位を印加したときに他方に一電位を印加し
て常に互いに異なる電圧を印加する。
保護膜llは、圧電フィルムlの全外周に設けられ圧電
フィルムlの摩擦及び粘着を最小にするもので、ナイロ
ンやテフロンなどの高分子材料が好ましい。
フィルムlの摩擦及び粘着を最小にするもので、ナイロ
ンやテフロンなどの高分子材料が好ましい。
このようにして構成された圧電フィルムlはその両端が
被作動部に又は一端が被作動部で他端が固定部に接続さ
れて、両端の少なくとも一方が被作動部に接続されてい
る。
被作動部に又は一端が被作動部で他端が固定部に接続さ
れて、両端の少なくとも一方が被作動部に接続されてい
る。
圧電アクチュエータの製造方法の一例を説明する。
先ず、二枚の平板状の圧電素子を用意しそのそれぞれの
両面に導電部を接着する。そして、この二枚の平板状の
圧電素子を互いの伸長方向を合わせて導電性の接着剤に
て接着する。この接着剤が固化すれば接着部6が形成さ
れる。尚、この接着手段の他に二枚の圧電素子を圧接に
て接着してもよくこの場合には接着部6が形成されない
。
両面に導電部を接着する。そして、この二枚の平板状の
圧電素子を互いの伸長方向を合わせて導電性の接着剤に
て接着する。この接着剤が固化すれば接着部6が形成さ
れる。尚、この接着手段の他に二枚の圧電素子を圧接に
て接着してもよくこの場合には接着部6が形成されない
。
次に、この二枚の圧電素子を接着したものを、第5図(
a)に示すように、C−C方向を伸長方向にして略V字
状に裁断する。裁断した略■字状部材の両面の第5図(
a)の(2)部分の導電部を削成して絶縁部を形成し、
第一の導電部7と第二の導電部8とを構成する。ここで
、略V字状の尖端部を境として左側の導電部を第一の導
電部7aとし、右側の導電部を第二の導電部8aとする
。
a)に示すように、C−C方向を伸長方向にして略V字
状に裁断する。裁断した略■字状部材の両面の第5図(
a)の(2)部分の導電部を削成して絶縁部を形成し、
第一の導電部7と第二の導電部8とを構成する。ここで
、略V字状の尖端部を境として左側の導電部を第一の導
電部7aとし、右側の導電部を第二の導電部8aとする
。
そして、この略■字状部材の全周囲に保護膜11を塗布
し、その後、略V字状の尖端部が外側中央になるように
巻き付けその形を固定する。
し、その後、略V字状の尖端部が外側中央になるように
巻き付けその形を固定する。
最後に、圧電フィルムlの両端部分を切削又は剥離して
共用導電部4.5と第−及び第二の導電部?a、8aを
露出してリード線12を接続すると共に両端の少なくと
も一方を被作動部に接続すれば完了する。
共用導電部4.5と第−及び第二の導電部?a、8aを
露出してリード線12を接続すると共に両端の少なくと
も一方を被作動部に接続すれば完了する。
第5図(b)において、圧電フィルムlの他の裁断形状
が示されている。この例によれば、中心用ζdの両側が
中心線eに対して互いに反対方向に微小角度βを乙って
延設されその両端部付近が中心線eに対し垂直方向に折
曲された形状をなしている。この場合には第5図(b)
の(a)部分の導電部を削成して絶縁部を形成し、第1
の導電部7と第2の導電部8とを溝成する。
が示されている。この例によれば、中心用ζdの両側が
中心線eに対して互いに反対方向に微小角度βを乙って
延設されその両端部付近が中心線eに対し垂直方向に折
曲された形状をなしている。この場合には第5図(b)
の(a)部分の導電部を削成して絶縁部を形成し、第1
の導電部7と第2の導電部8とを溝成する。
圧電アクチュエータの動作原理を第2図、第6図及び第
7図を参照しながら説明する。
7図を参照しながら説明する。
先ず、この圧電アクチュエータの動作の前提となるコイ
ルバネの伸縮について説明する。第6図において、コイ
ルバネ15が自然長のときは内部に応力が発生していな
い。コイルバネ15に外力Pを加え伸長させたときには
ねじり、剪断1曲げなどの応力を生じ、主にねじりモー
メントが作用する。コイルバネ15に外力l)を加え収
縮させたときには前記と反対方向のねじりモーメントが
作用する。即ち、コイルバネ15は上述方向のねじりモ
ーメントを作用させることによって伸長・収縮し、又、
外力Pを取り去ればこのねじりモーメントによって元の
自然長に復帰する。
ルバネの伸縮について説明する。第6図において、コイ
ルバネ15が自然長のときは内部に応力が発生していな
い。コイルバネ15に外力Pを加え伸長させたときには
ねじり、剪断1曲げなどの応力を生じ、主にねじりモー
メントが作用する。コイルバネ15に外力l)を加え収
縮させたときには前記と反対方向のねじりモーメントが
作用する。即ち、コイルバネ15は上述方向のねじりモ
ーメントを作用させることによって伸長・収縮し、又、
外力Pを取り去ればこのねじりモーメントによって元の
自然長に復帰する。
第7図(a)において、第一の電極部7に十電位を印加
し第二の電極部8に一電位を印加すると、第一の電極部
7側では第一の圧電素子2が伸長し第二の電極部8側で
は第二の圧電素子3が伸長し圧電フィルム1は第7図(
b)に示すような波形に変形する。この変形は第7図(
b)に示すようなねじりモーメントが作用したときに生
じこのねじりモーメントの方向は第6図(b)と同じ方
向なので、圧電フィルムlはこの変形によって第2図(
b)のように伸長する。又、第7図(c)に示すように
、前記と反対に第一の電極部7に一電位を印加し第二の
電極部8に十電位を印加すると、第一の電極部7側では
第二′の圧電素子3が伸長し第二の電極部8側では第一
の圧電素子2が伸長し圧電フィルムlは第7図(d)に
示すような波形(01S記と反対の波形)に変形する。
し第二の電極部8に一電位を印加すると、第一の電極部
7側では第一の圧電素子2が伸長し第二の電極部8側で
は第二の圧電素子3が伸長し圧電フィルム1は第7図(
b)に示すような波形に変形する。この変形は第7図(
b)に示すようなねじりモーメントが作用したときに生
じこのねじりモーメントの方向は第6図(b)と同じ方
向なので、圧電フィルムlはこの変形によって第2図(
b)のように伸長する。又、第7図(c)に示すように
、前記と反対に第一の電極部7に一電位を印加し第二の
電極部8に十電位を印加すると、第一の電極部7側では
第二′の圧電素子3が伸長し第二の電極部8側では第一
の圧電素子2が伸長し圧電フィルムlは第7図(d)に
示すような波形(01S記と反対の波形)に変形する。
この変形は第7図(d)に示すようなねじりモーメント
が作用したときに生じこのねじりモーメントの方向は第
6図(c)と同じ方向なので、圧電フィルムlは第2図
(c)のように収縮する。
が作用したときに生じこのねじりモーメントの方向は第
6図(c)と同じ方向なので、圧電フィルムlは第2図
(c)のように収縮する。
上記圧電フィルムlの伸長時・収縮時において電圧の印
加をストップするか又は逆の電圧を印加することによっ
て圧電フィルムlは二点間を往復運動する。連続的な位
置決めにはPWM制御が望ましく、又、このPWM制御
にあって電圧レベルを制御すれば伸縮ストロークの制御
ができる。
加をストップするか又は逆の電圧を印加することによっ
て圧電フィルムlは二点間を往復運動する。連続的な位
置決めにはPWM制御が望ましく、又、このPWM制御
にあって電圧レベルを制御すれば伸縮ストロークの制御
ができる。
本発明の圧電アクチュエータをマニュピレータに適用し
た例が第8図に示されている。
た例が第8図に示されている。
第8図において、取付台25には肩関節部26を介して
上腕骨部27が回転自在に支持されている。
上腕骨部27が回転自在に支持されている。
この上腕骨部27の他端には肘関節部28を介して前腕
骨部29が回転自在に設けられている。
骨部29が回転自在に設けられている。
この面腕骨部29の他端には手関節部30を介して母指
骨部31及び中手骨部32がそれぞれ回転自在に支持さ
れている。
骨部31及び中手骨部32がそれぞれ回転自在に支持さ
れている。
この中手骨部32の他端には指関節部33と指骨部34
とがこの順序で複数個接続されている。
とがこの順序で複数個接続されている。
これら上腕骨部27.前腕骨部29等の骨格部が圧電ア
クチュエータにて可動される。
クチュエータにて可動される。
圧電アクチュエータは、前記上腕骨部27.前腕骨部2
9等の骨格部をボディ35にて披い、このボディ35の
形状はほぼ人間の上枝の形状を有している。
9等の骨格部をボディ35にて披い、このボディ35の
形状はほぼ人間の上枝の形状を有している。
このボディ35は、肘関節部28等の関節部付近か蛇腹
状に形成され骨格部の可動と共に変形自在に構成されて
いると共にこのボディ35内には収納室36が設けられ
ている。
状に形成され骨格部の可動と共に変形自在に構成されて
いると共にこのボディ35内には収納室36が設けられ
ている。
この収納室36は、密閉されてこの中に潤滑兼冷却油a
が充填されていると共に四本の圧電フィルムlが配置さ
れている。前記潤滑兼冷却油aは接触による摩擦抵抗を
極力低下させる等の目的で充填されているが何も充填せ
ずとも出力は得られる。
が充填されていると共に四本の圧電フィルムlが配置さ
れている。前記潤滑兼冷却油aは接触による摩擦抵抗を
極力低下させる等の目的で充填されているが何も充填せ
ずとも出力は得られる。
この四本の圧電フィルムlは、人間の上肢の主要な運動
を行うべく各骨格部に接続されている。
を行うべく各骨格部に接続されている。
即ち、二本の圧電フィルムlは、前記上腕骨部27をは
さんで対向位置に配され、これら二本の圧電フィルムl
の両端は上腕骨部27の上部−と前腕骨部29の上部と
にワイヤ9を介してそれぞれ接続されている。また、他
の二本の圧電フィルムlの一方は、前記前腕骨部29に
添うよう配され、この圧電フィルムlの両端は前腕骨部
29の上部と母指骨部と31.中手骨部32及び各指骨
部34とにそれぞれ接続されている。前記中手骨部32
及び三本の指骨部34とは一本のワイヤ9にて接続され
さらにこのうち前記中手骨部32と二本の指骨部34と
は滑車37を介して接続されている。他方の圧電フィル
ムlは、前記前腕骨部29に添うよう配され、この圧電
フィルム1の両端は前腕骨部29の上部と中手骨部32
とにそれぞれワイヤ9を介して接続されている。
さんで対向位置に配され、これら二本の圧電フィルムl
の両端は上腕骨部27の上部−と前腕骨部29の上部と
にワイヤ9を介してそれぞれ接続されている。また、他
の二本の圧電フィルムlの一方は、前記前腕骨部29に
添うよう配され、この圧電フィルムlの両端は前腕骨部
29の上部と母指骨部と31.中手骨部32及び各指骨
部34とにそれぞれ接続されている。前記中手骨部32
及び三本の指骨部34とは一本のワイヤ9にて接続され
さらにこのうち前記中手骨部32と二本の指骨部34と
は滑車37を介して接続されている。他方の圧電フィル
ムlは、前記前腕骨部29に添うよう配され、この圧電
フィルム1の両端は前腕骨部29の上部と中手骨部32
とにそれぞれワイヤ9を介して接続されている。
而して、各圧電フィルムlの各導電部4に電圧を印加し
て四本の圧電フィルムlを適宜に伸縮制御することによ
り人間の腕に模した運動−を行わせることができる。
て四本の圧電フィルムlを適宜に伸縮制御することによ
り人間の腕に模した運動−を行わせることができる。
また、前記マニュピレータの応用例においては、第8図
に示すように一本の圧電フィルムlが人体筋38を構成
しているが、厚さか数μm程度の圧電素子2.3を使用
して圧電フィルムlの外形を100μ肩程度に形成すれ
ば人体筋38の筋線維39と同じ太さになるので、多数
の圧電フィルムlを束ね合わせて第9図に示すような各
種の人体筋38と同型のモデルを作ることができる。
に示すように一本の圧電フィルムlが人体筋38を構成
しているが、厚さか数μm程度の圧電素子2.3を使用
して圧電フィルムlの外形を100μ肩程度に形成すれ
ば人体筋38の筋線維39と同じ太さになるので、多数
の圧電フィルムlを束ね合わせて第9図に示すような各
種の人体筋38と同型のモデルを作ることができる。
H,発明の効果
以上述べたように本発明によれば、圧電フィルムを略コ
イル状に巻き付け、この中心軸方向の両端の少な(とも
一方を被作動部に接続し、前記圧電フィルムは巻き付け
方向に添って第一の圧電素子と第二の圧電素子とが積層
され且つ互いの一面が固定され、又、巻き付け方向に添
って略中央を分岐点として前記第一の圧電素子と前記第
二の圧電素子とに電圧を印加できる第一の電極部と第二
の電極部とが設けられ、この第一の電極部と第二の電極
部とに前記第一の圧電素子と前記第二の圧電素子とのい
ずれか一方で、且つ、互いに異なる圧電素子が前記圧電
フィルムの中心軸方向に伸びるべく電圧を印加したので
、電気エネルギーを機械エネルギーに直接変換するため
エネルギー変換効率がよく省エネルギー化に供する、圧
電素子を伸縮させるため独立性が高く小型化できる、ア
クチュエータ本体を溶液内に浸漬すればアクチュエータ
自体を生体に近い柔軟性を備えたものにすることが可能
である、等の効果を奏する。この生体に近い柔軟性を有
するため医療・看護、リハビリテーション、アミューズ
メント、家庭用サービスなどの人間と直接液する機会が
多いロボット等に極めて使用価値が高い。
イル状に巻き付け、この中心軸方向の両端の少な(とも
一方を被作動部に接続し、前記圧電フィルムは巻き付け
方向に添って第一の圧電素子と第二の圧電素子とが積層
され且つ互いの一面が固定され、又、巻き付け方向に添
って略中央を分岐点として前記第一の圧電素子と前記第
二の圧電素子とに電圧を印加できる第一の電極部と第二
の電極部とが設けられ、この第一の電極部と第二の電極
部とに前記第一の圧電素子と前記第二の圧電素子とのい
ずれか一方で、且つ、互いに異なる圧電素子が前記圧電
フィルムの中心軸方向に伸びるべく電圧を印加したので
、電気エネルギーを機械エネルギーに直接変換するため
エネルギー変換効率がよく省エネルギー化に供する、圧
電素子を伸縮させるため独立性が高く小型化できる、ア
クチュエータ本体を溶液内に浸漬すればアクチュエータ
自体を生体に近い柔軟性を備えたものにすることが可能
である、等の効果を奏する。この生体に近い柔軟性を有
するため医療・看護、リハビリテーション、アミューズ
メント、家庭用サービスなどの人間と直接液する機会が
多いロボット等に極めて使用価値が高い。
また、アクチュエータ本体に与える電圧を可変すれば直
接アクチュエータ本体の伸縮を制御できるので、連応性
に優れた制御ができ、又、伸縮速度や伸縮方向の制御も
簡単に行うことができるという効果を奏する。
接アクチュエータ本体の伸縮を制御できるので、連応性
に優れた制御ができ、又、伸縮速度や伸縮方向の制御も
簡単に行うことができるという効果を奏する。
第1図乃至第9図は本発明の実施例を示し、第1図は圧
電アクチュエータの正面図、第2図(a)。 (b)、(c)は圧電アクチュエータの縦断面図、第3
図は第1図のA−A線断面図、第4図は第1図のB−B
線断面図、第5図(a)及び(b)は圧電フィルムの製
造方法を示すための展開図、第6図(a)、(b)、(
c)はコイルバネの断面図、第7図(a)、(b)、(
c)、(d)は圧電アクチュエータの動作原理を説明す
るための図、第8図はマニュピレータの断面図、第9図
は人体筋のモデル図である。 1・・・圧電フィルム、2・・・第一の圧電素子、3・
・・第二の圧電素子、7・・・第一の電極部、8・・・
第二の電極部。 第1図 、圧電アクチュエータの正元図 第5図(b) 第5図(a) ffEψざフィルムcy)臂視近ジ方法と示す政めの辰
間目 第3図 第10C7)A−へ練を面図 第4図 璽1図のB−B線を面図 第7図(0) 軟わ榊′qF:熱麟月P1図 第7図(b) イ中(=−Σ哩テ 第7図(c) #ブT−λ呵;−3却葺tz2=町=ジ)シ≧王甲グ:
9”2ri5z堺4烏ヨ呼
電アクチュエータの正面図、第2図(a)。 (b)、(c)は圧電アクチュエータの縦断面図、第3
図は第1図のA−A線断面図、第4図は第1図のB−B
線断面図、第5図(a)及び(b)は圧電フィルムの製
造方法を示すための展開図、第6図(a)、(b)、(
c)はコイルバネの断面図、第7図(a)、(b)、(
c)、(d)は圧電アクチュエータの動作原理を説明す
るための図、第8図はマニュピレータの断面図、第9図
は人体筋のモデル図である。 1・・・圧電フィルム、2・・・第一の圧電素子、3・
・・第二の圧電素子、7・・・第一の電極部、8・・・
第二の電極部。 第1図 、圧電アクチュエータの正元図 第5図(b) 第5図(a) ffEψざフィルムcy)臂視近ジ方法と示す政めの辰
間目 第3図 第10C7)A−へ練を面図 第4図 璽1図のB−B線を面図 第7図(0) 軟わ榊′qF:熱麟月P1図 第7図(b) イ中(=−Σ哩テ 第7図(c) #ブT−λ呵;−3却葺tz2=町=ジ)シ≧王甲グ:
9”2ri5z堺4烏ヨ呼
Claims (1)
- 圧電フィルムを略コイル状に巻き付け、この中心軸方
向の両端の少なくとも一方を被作動部に接続し、前記圧
電フィルムは巻き付け方向に添って第一の圧電素子と第
二の圧電素子とが積層され且つ互いの一面が固定され、
又、巻き付け方向に添って略中央を分岐点として前記第
一の圧電素子と前記第二の圧電素子とに電圧を印加でき
る第一の電極部と第二の電極部とが設けられ、この第一
の電極部と第二の電極部とに前記第一の圧電素子と前記
第二の圧電素子とのいずれか一方で、且つ、互いに異な
る圧電素子が前記圧電フィルムの中心軸方向に伸びるべ
く電圧を印加したことを特徴とする圧電アクチュエータ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62125121A JPS63289976A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 圧電アクチュエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62125121A JPS63289976A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 圧電アクチュエ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63289976A true JPS63289976A (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=14902365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62125121A Pending JPS63289976A (ja) | 1987-05-22 | 1987-05-22 | 圧電アクチュエ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63289976A (ja) |
-
1987
- 1987-05-22 JP JP62125121A patent/JPS63289976A/ja active Pending
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