JPS63289827A - プロ−ブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、プローブ装置に関する。

（従来の技術） 近年の半導体製造工程の技術革新により、特定用途向け
のＩＣチップが要求されており、このため少量多品種生
産工程が増加してきている。しかしながら、　ＩＣの高
集積化のため半導体ウェハ１枚の測定時間は長くなり、
プローブ装置のウェハ搬送部の稼働率は低下する一方で
ある。

従来、このようなウェハ搬送部の稼働率の低下を防止す
るには１つの搬送部に対して、ウェハを測定するための
複数のステージ機構を配置したプローブ装置は、特開昭
６１−１６８２３６号公報で周知である。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記のような従来のプローブ装置では、
２系統の測定ステージ間に単一の搬送部を配設する場合
は開運はないが、実際に測定ステージが３系統以上とな
ると、単一の搬送部の他に特別な搬送部を設けなければ
ウェハを測定ステージに搬送ができないという問題点が
あった。

この発明は上記点を改善するためになされたもので、搬
送部の稼働率を高め、プローブ装置のコンパクト化によ
るコスト低減を可能とならしめる効果を得るプローブ装
置を提供するものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） この発明は、被測定体収納容器から上記被測定体を供給
する機構を有する搬送部と、この搬送部からの被測定体
を測定する測定部を有するプローブ装置において、上記
搬送部を少なくとも２系統の上記測定部間へ移動可能に
構成したことを特徴とするプローブ装置を得るものであ
る。

（作用効果） 搬装部を少なくとも２系統の測定部間へ移動可能に構成
したことにより、ウェハ搬送部の稼動率を高めプローブ
装置のコンパクト化によるコスト低減を可能とならしめ
る効果が得られる。

（実施例） 次に本発明プローブ装置を半導体ウエハプローバに適用
した一実施例を図面を参照して説明する。

このウエハプローバは、主に搬送部■と測定部■で構成
されている。搬送部のには、第１図のように半導体ウェ
ハ■を夫々適当な間隔を設けて例えば２５枚収納されて
いるカセット（イ）を収納するカセット収納部０が設け
られ、この収納部■がらウェハ■を一枚づつ取出すため
のウェハ取出し機構が設置されている。この取出し機構
は、例えば真空吸着ピンセット（０であり、このピンセ
ット（０で取出されたウェハ■を予備位置合わせするた
めの予備ステージ■に搬送する。この予備ステージ■で
ウェハ（３）を回転させ反射型センサ（８）でオリフラ
などを検出する。この搬送部■の床接地面には、モータ
■に係合したキャスター（１０）が設けられ、モータ■
を回転することにより累合作用でキャスター（１０）を
回転させ、搬送部ωごと移動可能となっている。又この
搬送部■の移動方向の制御手段としては、床構造を利用
する。即ち、床に予め設けられた案内ライン（１１）を
、搬送部■に設けられた視覚センサ（１２）で確認しな
がら移動するのが望ましい、他の方法としては、搬送部
■と測定部■に、夫々発光センサおよび受光センサを設
置し。

互いに情報交換をしながら移動してもよく、発光センサ
・受光センサの代役として電波を用いた方法でもかまわ
ない０次に第２図に示す如く測定部■の構成は、搬送部
ωの予備ステージ■がら測定ステージ（１３）にウェハ
■を搬送する真空吸着回転アーム例えばロードアーム（
１４）が設けられており、このロードアーム（１４）に
所定の間隔を設けて同形状のアンロード用のアームが設
けられている。このロードアーム（１４）により搬送さ
れたウェハ■をアライメントブリッヂ（１５）のＣＣＤ
カメラを用いたパターン認識機構又はレーザを用いた認
識機構で微細位置合わせした後に、ウェハ■と図示しな
いプローブカードに取着しているプローブ針とを相対的
に移動させ例えば下方からプローブ針に自動的にウェハ
■上にソフトタッチさせ、この接触させることによりプ
ローブカードとテスタは配線されているため、ウェハ■
に形成されたＩＣチップの電気的特性を測定可能とする
０次にブローバのＣＰＵに予め定められたプログラムに
従かっての動作作用を説明する。

第３図に示すように、まず搬送部■を第１の測定部（２
ａ）まで移動する。この時、移動期間を利用して搬送部
■において、真空吸着ピンセット■をウェハ■の間隙に
挿入し、ここで図しない昇降機構でカセット（至）を降
下させ、上記ピンセット■でウェハ（３）を吸着挿出す
る。次にウェハ■を予備ステージ■に搬送し、ここでオ
リフラなどを基準に予備位置決めする０次に第１の測定
部（２ａ）のロードアーム（１４）でウェハ■を測定ス
テージ（１３）に搬送し、正確な位置決め後ウェハ■を
プローブ針と相対的に移動させて、下方からプローブ針
に自動的にウェハ■上にソフトタッチし、この接触状態
でＩＣチップの電気的特性を測定する。この第１の測定
部（２ａ）にウェハ■を搬送した後に搬送部■を第２の
測定部（２ｂ）まで移動し、搬送部■から第２の測定部
（２ｂ）にウェハ■を供給搬送し、第１の測定部（２ａ
）と同様にウェハ■の測定を実行する。さらに搬送部■
を移動して第３の測定部（２ｃ）および第４の測定部（
２ｄ）に夫々ウェハ■を搬送する。この第１〜４の測定
部（２ａ＝ｄ）でのウェハ■の測定期間を利用して、各
測定部（２ａ”ｄ）に、次に測定すべきウェハ■を待機
させる。このウェハ■の待機は搬送部■を移動させ各測
定部（２ａ−ｄ）のロードアーム（１４）にウェハ（３
）を真空吸着させておく。

次に測定法のウェハ（３）を各測定部（２ａ−ｄ）がら
搬送部■のカセットに）の元の位置にアンロードするに
は、第１の測定部（２ａ）で測定を終了したウエノ１■
をアンロードアームで搬送部■に搬送すると同時にロー
ドアーム（１３）に待機中の次に測定すべきウェハ■を
測定ステージ（１２）に搬送する。この後、再び測定対
称ウェハ■をロードアーム（１４）に待機させる。この
ように第１の測定部（２ａ）においてロード・アンロー
ド動作を終了後搬送部■を移動して第２〜４の測定部（
２ｂ−ｄ）にロード・アンロード動作をくり返し搬送部
■に収納されているウェハ■の測定を実行する。このよ
うな測定動作を繰り返し、カセットに）に収納しである
総てのウェハ■の測定を終了した時点で、搬送部■を複
数のカセット（６）を収納しであるストッカー（１６）
まで移動させ、図示しないロボット等で測定部ウェハを
収納しているカセットをストッカー（１６）に収納し、
未測定ウェハを収納しているカセットをストッカー（１
６）から搬送部■に搬入する。ここで上記の測定動作を
繰り返し未測定ウェハを測定する。

この発明は上記実施例に限定するものではなく、単一の
搬送部に対応する測定部の数は、他の製造工程や緊急度
などを参考にしながら決定するのが望ましく、測定部に
ウェハの供給が遅れることなく、搬送部の稼動率が１０
０％に近く設定するのが好ましい、さらに、測定部にウ
ェハ待機位置を設けたことで、一系統の搬送部で多系統
の測定部にも対応可能であり汎用性も優れている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するためのウエハプロ
ーバの搬送部の構成図、第２図は第１図の搬送部に対応
した測定部の構成図、第３図は第１図のウエハプローバ
の説明図である。 １・・・搬送部　　　　　２・・・測定部３・・・ウェ
ハ　　　　　９・・・モータｌＯ・・・キャスター　　
　１２・・・視覚センサ特許出願人　東京エレクトロン
株式会社第１図 （Ａ） 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定体収納容器から上記被測定体を供給する機構を有
   する搬送部と、この搬送部からの被測定体を測定する測
   定部を有するプローブ装置において、上記搬送部を少な
   くとも２系統の上記測定部間へ移動可能に構成したこと
   を特徴とするプローブ装置。