JPS63278020A - レーザビームスキャナ - Google Patents

レーザビームスキャナ

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JPS63278020A
JPS63278020A JP62253463A JP25346387A JPS63278020A JP S63278020 A JPS63278020 A JP S63278020A JP 62253463 A JP62253463 A JP 62253463A JP 25346387 A JP25346387 A JP 25346387A JP S63278020 A JPS63278020 A JP S63278020A
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light
scanning
light guide
laser beam
scanned
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JP62253463A
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シャレブ・ギラド
シムエル・サッカリ
ミカエル・ナグレル
アヴィドル・ベイベル
ドブ・ベルマン
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Original Assignee
Scitex Corp Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 この発明は一般的にはレーザビーム走査装置、レーザビ
ーム又はレーザ光検知装置に関し、さらに具体的にはレ
ーザプロッタ又はレーザスキャナに有用な上記検知装置
に関する。
発明の背景 レーザビームを測定し正確に位置付ける方法には種々の
ものがある。以下に挙げる今までの刊行物は従来技術の
一般的状態を表わしている。
[空間的誤差を補償したレーザ記碌法JS。
Bousky asd L、 Temple、 SP 
IE、 Vol、 53.1973゜この論文では、ポ
リゴン偏向器と共に基準線(デげ・デー5sas Li
%#)を使用してクロススキャン誤差を測定している。
差動的に測定されたビーム位置は2次元的に補正される
「高精度かつ精密なビーム偏向J D、P、Jαb−1
oso−waki and J、 Raatnot、 
5PIE 、 Vol、 84.1976゜この論文は
ガルバノメータ駆動ミラー又はポリゴンを使用するX−
Y偏向について記述し、交差した格子を使用して2次元
位置情報を測定する。参照ビームが位置測定のために偏
向され、書き込み中のビームの2次元位置を測定するの
に使用される。
「超高解像データターミナルJ M、R,5tnith
R,H,Bsrsa  asd  R,C,Taai、
5PIE 、Vol。
200.1979゜この論文は、レーザな用いて液晶ゲ
ートをアドレスする高−9解像デイスプレイについて述
べている。偏向はガルバノメータ駆動ミラーによって行
なわれる。参照ビームは交差したロンキー格子に当たり
、そこから得られる情報を用いてビームの2次元座標が
瞬時に測定される。
高品質レーザビーム走査で遭遇する主要な問題の1つは
、文献(たとえばJoxrtsal of Appl。
PILot 、 Eng、 Vol、 2.1976中
のEmstgnhai−marらの論文)中に言及され
ているように、レーザで発生したドツトを隣接するドツ
トに対して正確に位置づけることに関するものである。
人間の目はビームの行間隔の周期的誤差に対して高い感
度を有する。強度変化又は位置変動に起因する周期的誤
差によって高ビジビリティの縞(6α%disσ)が発
生することがある。これらの誤差を最小にするために、
これまで受動的な方法及び能動的な方法が採用されてき
た。
レーザビームスキャナの応用の1つは、前もって記録さ
れたデータから情報を読み出すことである。照明レーザ
ビームは普通指向性が強いので、スペックルノイズを最
小にし、信号対雑音比を高め、グラフィックアート貼り
込み台紙(2611g−’ups)のカットライン(c
ut−1ines)  を見えなくするためには、光線
を可能な限り広い角度から反射させなければならない。
この発明の1つの目的は、これら2つの問題を解決する
ことである。
発明の概要 この発明は、従来のレーザビームスキャナに比較して高
い性能を有するレーザビーム走査装置を提供しようとす
るものである。
この発明の1つの好適な実施例に従うと、レーザ光源と
、大略平行な走査ビームと参照ビームを発生するための
装置と、走査される表面に走査ビームを向けるための装
置と、参照ビームの位置を検知するこ・とによって走査
ビームの2次元位置を実時間で測定するための手段とを
含むレーザビームスキャナであって、上記参照ビームの
位置を検知するための装置は、走査軸に沿って配置され
かつ走査軸に沿って多数の周期的パターンを画成し、そ
のパターンによって第1の次元での参照ビームの位置を
決定可能にする格子と、上記多数の周期的パターンを横
切るように配置された格子線と、該格子線の両側に配置
されて格子線の上下に入射する光線の相対量を検知して
第2の次元での参照ビーム位置を決定可能にする第1及
び第2のセンサーからなり、それによって走査軸に沿う
全ての位置で走査軸方向及びそれに垂直な方向での参照
ビーム位置を決定できるようにしたレーザビームスキャ
ナが提供される。
さらにこの発明の好適な実施例に従うと、走査軸に沿っ
て配置されかつ走査軸に沿って多数の第1の格子線を画
成し、この第1の格子線によって第1の次元でのビーム
位置を決定可能にする格子と、上記多数の第1の格子線
を横切るように配置された第2の格子線と、該第2の格
子線の両側に配置されて第2の格子線の上下に入射する
光線の相対量を検知して第2の次元でのビーム位置を測
定可能にする第1及び第2のセンサーとからなり、それ
によって走査軸に沿5−iての位置で走査軸方向及びそ
れに垂直な方向でのビーム位置を測定できるようにした
、レーザビームの2次元位置を実時間で測定するための
装置が提供される。
さら罠この発明の好適な実施例に従うと、レーザ光源と
、走査ビームを発生するための装置と、走査される表面
上の走査線に走査ビームを向けるための装置と、走査さ
れる表面から反射された光線を受光するための装置とか
らなり、該受光手段は、走査される表面に対して受光関
係におかれて走査線の一方の側に走査線に並べて配置さ
れたライトガイドと、走査される表面から受光した光線
をライトガイド中に反射するために走査される表面に対
して受光関係におかれて走査線の反対側に走査線に並べ
て配置された円柱ミラーとからなっているレーザビーム
スキャナが提供される。
さらにこの発明の実施例に従うと、走査される表面に対
して受光関係におかれて走査線の一方の側に走査線に並
べて配置されたライトガイドと、走査される表面から受
光した光線をライトガイド中に反射するために走査され
る表面に対して受光関係におかれて走査線の反対側に走
査線に並べて配置された円柱ミラーとからなる、走査さ
れる表面から反射された光線を受光するための装置が提
供される。
さらにこの発明の実施例に従うと、上記ライトガイドは
走査線に平行に配置された細長い部分と、ライトガイド
に沿って通過する光線を隣接する軸方向端部から出射さ
せるように軸方向に通すライトパイプとからなる。光検
出器がライトガイドの軸方向端部に隣接して配置され、
ライトガイドを通過する光線を受光する。
さらにこの発明の実施例に従うと、走査線に平行に配置
された細長い部分を含むライトガイドと、ライトガイド
に沿って通過する光線を隣接する軸方向端部から出射さ
せるように軸方向に通すライトパイプと、ライトガイド
を通過する光線を受光するためにライトガイドの軸方向
端部に隣接して配置された光検出器からなる、走査線に
沿って物体から反射された光線を受光するための受光装
置が提供される。
さらにライトガイドは、集光されたレーザ波長の光線を
異なる波長に変換して光検出器に集光されるエネルギー
を最大化するように螢光材料で作ることかできる。
好適な実施例の詳細な説明 この発明の好適な実施例に従って構成されかつ作動する
スキャナ装置な略示する第1A図及び第1B図を参照す
る。このスキャナ装置は、光学テーブル10上にマウン
トされてレーザビームの光路中に配置されている光学要
素、電気光学的要素及び音響光学的要素を含む。光学要
素及びレーザビームの光路中におけるその位置は第1B
図に示されている。
レーザ12の出力ビームは、最初にビームスプリッタ1
8によってお照ビーム14と露光ビーム16に分割され
る。参照ビームは、走査線の2軸及びV軸の双方で露光
ビームの位置をトラッキングするのに利用される。これ
は、フィルム20に到達するまで2本のビームを平行な
経路に沿って進ませることによって達成される。露光ビ
ーム16はフィルム上に反射されるが、一方、参照ビー
ム14はビーム位置検出器(BPD) 22上に投射さ
れる。
参照ビーム14は音響光学的小角偏向器24に入る。こ
の偏向器は、回転ポリゴンミラー26からのビームの反
射角度を絶えず調整し、そうしてビーム位置検出器22
上のビーム位置を決定する。
この調整は、閉じたフィードバックループ中のEPD2
2からもたらされる情報に従って電圧制御発掘器、VC
036(第1A図)によって実行される。偏向後、参照
ビーム及び露光ビームの光路は、残りの光路の大部分に
わたって空間的にほぼ完全にオーバーラツプするように
結合される。
露光ビーム16は、最初にデータ変調を行う音響光学的
変調器28に入る。次に、露光ビームの一部をビームス
プリッタ30で分割して取出すことにより、露光ビーム
強度が光検出器組立体29によって測定される。光検出
器組立体29の出力は、ビーム強度調整のためのフィー
ドバックシステムで利用される。
光検出器組立体29は、また実際の露光に先立ってレー
ザ強度を設定し、参照ビーム強度がBPD22の動作の
ために最適となり、露光ビー“ム強度が露出解像度に適
合しフィルムの仕様に合致することを確実ならしめる。
露光ビーム16は次に、参照ビーム14の偏向器24と
同一の音響光学的小角偏向器25に入射する。この偏向
器は、偏向器24と同じVCO信号で駆動され、偏向器
24と全く同様にしてビーム角度を調整する。
参照ビームと露光ビームは、露光ビームカフイルムコ0
上に反射されるまで結合されているのであるが、ビーム
エキスパンダ組、立体40に入射す、る。この組立体は
、各々ピンホールシート45によって分離された2個の
レンズ41及び43からなる。拡大されたビームは、大
きなミラー42によって回転ミラー26上に反射される
。回転ミラー26で反射されたビームはfシータレンズ
(f −theta 1afLs ) 44を介して投
射される。
このfシータレンズはビームの焦点距離を円弧の両端の
方に向けて伸張し、円弧の大部分を平坦化して直線にす
る。直線の両端での最終的調整は、ビーム強度を増すこ
とによって電子的に行なわれる。従って、このfシータ
レンズは、走査線全体にわたってビームがフィルム20
及びEPD22上でシャープにフォーカスすることを保
証し、広角歪を実質的に除去する。
fシータレンズ44から、参照ビーム14はBPD22
上に直接投射されるが、露光ビーム16はミラー48に
よってフィルム20上に反射される。
データ変調がビーム位置に同期している場合、直線走査
が各走査線に沿って実行されねばならない。隣接点の中
心間距離及び点密度も走査線に沿って一様でなければな
らない。このことを実現するために、BPD22は参照
ビーム14をフィルム20のX軸及びV軸の両方向でト
ラッキングし、その位置情報を電気光学的電子制御(E
t−Op )サブシステムに供給する。
トラッキング及びそれに続くy軸方向のビーム調整によ
り、直線走査が確実に行なわれる。V軸上の参照ビーム
位置は、空気の乱れ及び構造上の限界による変動を調整
する閉ループに供給される。
最大の変動は回転ミラー26によってもたらされる、と
いうのも各ファセットの物理的特性が1つ1つ異なるか
らである。他の因子にはレーザの指向誤差、ミラーの動
揺、振動、タイミング誤差、及びシステム中の熱的変動
が含まれる。閉ループについては以下に説明する。
2軸方向のビーム位置は、データ変調をビーム位置に同
期させるために、また走査線に沿ってビーム強度を調整
するために連続的にトラッキングしなければならず、こ
れは一様な点密度を保証するために必要である。2軸上
のビーム位置はEl−op  サブシステムに入力され
る。Et−Opサブシステムはデータ変調を実行し、ま
た走査線中の各点に対する強度値を記憶し、読み出し、
そして゛適用する。
EPD22上の参照ビーム町14の位置は、フィルム2
0上の露光ビーム16の位置に対応する。
従って、参照ビームをトラッキングすることは、露光ビ
ームをフィルム上に位置決めするという目的に対して必
要かつ十分である。換言すると、必要な全ての位置情報
は参照ビームをトラッキングすることによって得られる
。走査線に沿っての参照ビーム位置の調整は全て露光ビ
ームに対しても等しく行なわれる。露光ビーム自体はト
ラッキングされない。
第1A図に戻って、フィルム20はキャリッジ50上に
支持されている。キャリッジ50は、リニヤDCモータ
−54(第6図)、たとえば米国ニューヨーク州ロング
7 イラン)”、 Ha%paqsm所在のAnora
d Corporation製作のモーター、を含んで
いてもよい、駆動機構によって移動軸52に沿って駆動
される。駆動機構に加えて、軸52に沿ってキャリッジ
50の位置を監視するためにリニヤエンコーダ56(第
6図)を設置してもよい。
万一データフローの中断が生じた場合にキャリッジ50
を正確に整復又は再設定できるように、位置及び速度制
御ループが設けられている。整復もまた最初の走査のと
きの速度と正確に同じ速度で実行される。速度制御ルー
プと位置制御ループを両方備えることにより、キャリッ
ジの移動が間欠的な場合であっても縞(stripin
g )が出現することはない。この装置は第6図に示さ
れている。
第2図は、走査ビーム及び参照ビームを発生しかつ利用
する装置を簡略化した光学線図で表わしている。レーザ
光源100から発せられたレーザビームは従来のビーム
分割光学系102を通って、以後参照ビーム104及び
走査ビーム106と呼ばれる2本の平行なレーザビーム
になる。両ビームは回転ポリゴンミラー108に入射す
る。
参照ビーム104は、のちに第5A図及び第5B図を参
照して詳細に説明される位置測定装置110上に反射さ
れる。
走査ビーム106は長い折り返しミラー112で遮断さ
れ、そこから典型的には幅0.025+m(0,001
インチ)の明確な走査線116に沿って走査すべき表面
114上に反射される。表面114の走査線116位置
で表面114から反射された光線は、第3図及び第4図
に詳細に図示されている受光組立体118によって受光
される。
受光組立体118は、走査線116に沿って延びる一般
に細長いライトガイド120を含む。ライトガイド12
0は、走査線116に面し表面114の平面から約45
°の角度をなし走査線116から典型的には0.15イ
ンチ離して配置されている、凹面湾曲端123を有する
大略平面状の部分122を含む。この平面状の部分12
2は、軸方向端部126.128を有する大略円柱状の
ライトパイプ124に終結しており、該端部126.1
28には各々光検出器130及び132、たとえば浜松
光電子増倍管が、受光関係において隣接配置されている
ライトガイド120は、柔科をドープしたポリカーボネ
ートのような螢光材料で作ってもよい。
染料は、レーザ波長での吸収が最大で螢光波長での吸収
が最小となるように反射レーザビームの波長に応じて選
択される。こうすることにより、受光された光は実質的
に全てより長い波長に変換され、ライトガイド中で実質
的に吸収を受けることなく反射体に伝達される。こうす
ることによって高い集光効率が保証される。
走査[116のライトガイド120とは反対の側にも円
柱ミラー134を配置するのが、この発明の1つの特徴
である。ミラー134は、表面114の走査線116位
置から飛来する光線をライトガイド120甲に反射する
ように配置されている。このようにして高い集光効率、
スペックルノイズ除去及びカットライン(clLt l
ine)M号の減少が達成される。2個の光検出器を使
用してそれからの信号を加算すると、信号が走査線全体
にわたって実質的に一様になる。
ライトガイド120は一体的に作ってもよいし、或いは
別々の平面状要素及び円柱状要素を光学セメントで適当
に接着して作ってもよい。
第5A図及び第5B図は、この発明の好適な実施例に従
って構成されかつ作動するレーザビーム位置検出装置を
示す。この装置は、第1の基準軸142に沿って配置さ
れた多数の直立する格子線114を含む格子140を有
する。格子140と交差し格子@144を横切って、典
型的には格子線144を2等分する横格子線146が配
置されている。格子140及び格子線146の下流側に
は一対の細長いセンサー148及び149、たとえば米
国カリフォルニア州ロサンゼルス所在のUnited 
DmLmon Technology jsa、から入
手可能な直線検出器が、格子線146の上下に配置され
てい工、格子の上下における相対的受光量を検知する。
格子140はセンサー148及び149と協働して11
1142方向のビーム位置の出力指示を発生し、一方セ
ンサー148及び149に入射する相対的光量を差動モ
ードで評価すると、検出器148及び1490面に平行
で軸142に垂直な軸方向でのビーム位置の出力指示が
同時に得られるということが理解されるであろう。
センサー148及び149かもの出力信号は、走査ビー
ム106及び参照ビーム104の両方の位置を同時にそ
れぞれ補正することのできる位置補正機構に供給される
ということが理解されるであろう。
第1A図及びfgIB図に戻ると、閉じたフィードバッ
クループは、ビーム位置検出器22、増幅゛器回路(図
示せず)、ビーム位置VCO36、及び音響光学的偏向
器24.25からなることが示されている。増幅器回路
は、センサー149の電圧からセンサー148の電圧を
差引く。この電圧差は正(すなわちA−B)O)又は*
(すなわちA−j9(0)のいずれかであジうる。この
電圧は、和(A十B)で割ることによって局所的強度に
正規化される。
VC036kS、BPD22かもの印加電圧がなければ
(露光性の最初又は最後でビームが存在しないと@) 
89MHz  の出力周波数を発生する。
この出力周波数はRF旧号である。電圧差がVCOに印
加されると、このRF周波数は印加電圧に比例して変化
する。変化の方向は電圧の符号(正又は負)によって決
まる。
VCO36からの同−RF周波数が両方の音響光学的偏
向器24及び25に印加される。一方の偏向器は露光ビ
ーム16の偏向角度を調整し、他方の偏向器は参照ビー
ム14の角度を調整する。
RF周波数が印加されていないときレーザビームが偏向
器に入射すると、ビームは乱されることなく偏向器から
射出する。偏向器にRF偏号が印加されていれば、ビー
ムはRF旧号の周波数に正比例する角度の偏向を受ける
BPD22から印加される電圧がないと、偏向角は一定
で80MHzのRF周波数に対応する。
VCO36に印加される電圧に基づ(RF周波数の変化
は、偏向器を通して投射されるビームの偏向角度変化に
比例的に変換される。
音響光学的偏向器24及び25かものビームは、次に回
転ポリゴン108 (i2図)からフィルム20及びB
PD22に反射されて、フィードバックループが閉じら
れる。音響光学的偏向器からのビーム偏向角が変化する
と、ミラー108からのビームの反射角がそれに応じて
変化する。これは、フィルム及びBPDのV軸方向にお
ける露光ビーム及び参照ビームの各々の位置変化となっ
て現われる。
要約すると、もし参照ビーム14がBPD22の中心線
よジ下方にあれば(すなわちa−B>o)、ビームはそ
のずれに比例してフィルム20及びBPD22上を上方
に移動させられる。もし参照ビーム14が中心線より上
方にあれば(すなわちA−B(0)、ビームは下方に移
動させられる。
参照ビーム14は、ストリップからの電圧を加算(A十
B )することによってフィルム20の2軸方向にトラ
ッキングされる。この和は、V@上のビーム位置によら
ず、参照ビームの全強度に比例する。そのため、参照ビ
ームが中心線からずれていても参照ビームをBPD22
の2軸方向に連続的にトラッキングすることができる。
このトラッキングは、行方向の露光ビームの位置にデー
タ変調を同期させ、またそのビーム位置に応じて強度変
調を行なうために必要である。
gt −opサブシステム中で、増幅器回路はBPDの
2つのセンサーからの電圧信号を受けてそれらを加算す
る。得られる電圧はビーム強度に比例しており、それは
次にクロック(CLK)パルスに変換される。電圧信号
は288ミクロン毎に発生される。したがって、パルス
幅288ミクロンのCLKパルス周波数が得られる。
ストロボPLL盤(5trobe PLL  Boar
d)は、このCLK周波数をEXP CLKi号のパル
ス列に変換する。各EXP CLK倍号はデータサブシ
ステム(図になし)及びビーム制御盤(図になし)に送
られる。各EXP CLK4M号は、データサブシステ
ムに指令して1つの露光点に対するデータをビーム制御
盤に送らせる。
ビーム制御盤は、データ変調を実行し、また走査線に沿
っての強度値を記憶するLUTを含む。
ビーム位置検出器パルスは、走査線全体にわたってレー
ザ強度が適切なものとなるようにLUTアドレスを進ま
せる。
要約すると、レーザビームの光路中に配置されている光
学要素は、変調された適正強度の露光ビームをフィルム
に向ける作用をする。これらの要素は、ビーム位置を調
整し、ビームを変調し、そしてビーム強度を調整するE
t−Opサブシステムによって制御される。
第2図〜第5B図の装置を除いた、pat−op サブ
システム、データサブシステム、ストロボPLLビーム
及びビーム制御盤を含む第1A図及び第1B図の装置は
既知であジ、イスラエル国11arzliα所在の5c
itaz Compxtar社から「レイ・スター・カ
ラーイメージセッター(Ray 5tar Color
Image Smttaデ)」として入手可能である。
この分野に精通した人は、この発明が上述した特定のも
のに限定されないことを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
第1A図はこの発明の1つの好適な実施例に従って構成
されかつ作動するスキャナ装置の概略図、第1B図は第
1A図のスキャナ装置の概略的光学線図、 第2図はこの発明の1つの好適な実施例に従う走査ビー
ム及び参照ビームの発生及び利用を示す概略的光学線図
、 第3図は第2図に示した装置の一部を構成する受光装置
の側面図、 第4図は第2図に示した装置の一部を構成するライトガ
イドを通る光路の一部を示す略図、第5A図及び第5B
図は第2図に示した装置の一部を構成する位置検出装置
の略図及び側面図、そして M6図は速度及び位置制御ループのブロック図である。 (外4名) 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、レーザ光源と、大略平行な走査ビームと参照ビーム
    を発生するための手段と、走査される表面に走査ビーム
    を向けるための手段と、参照ビームの位置を検知するこ
    とによつて走査ビームの2次元位置を実時間で測定する
    ための手段とを含むレーザビームスキャナであつて、 上記参照ビームの位置を検知するための手段は、走査軸
    に沿つて配置されかつ走査軸に沿つて多数の周期的パタ
    ーンを画成し、そのパターンによつて第1の次元での参
    照ビームの位置を決定可能にする格子と、上記多数の周
    期的パターンを横切るように配置された格子線と、該格
    子線の両側に配置されて格子線の上下に入射する光線の
    相対量を検知して第2の次元での参照ビーム位置を決定
    可能にする第1及び第2のセンサーとからなり、それに
    よつて走査軸に沿う全ての位置で走査軸方向及びそれに
    垂直な方向での参照ビーム位置を測定できるようにした
    、レーザビームスキャナ。 2、走査軸に沿つて配置されかつ走査軸に沿つて多数の
    周期的パターンを画成し、そのパターンによつて第1の
    次元でのビーム位置を決定可能にする格子と、上記多数
    の周期的パターンを横切るように配置された格子線と、
    該格子線の両側に配置されて格子線の上下に入射する光
    線の相対量を検知して第2の次元でのビーム位置を決定
    可能にする第1及び第2のセンサーとからなり、それに
    よつて走査軸に沿う全ての位置で走査軸方向及びそれに
    垂直な方向でのビーム位置を測定できるようにした、レ
    ーザビームの2次元位置を実時間で検知するためのレー
    ザビームスキャナ。 3、レーザ光源と、大略平行な走査ビームと参照ビーム
    を発生するための手段と、走査される表面に走査ビーム
    を向けるための手段と、走査される表面から反射された
    光線を受光するための手段とを含み、 上記受光手段は、走査される表面に対して受光関係にお
    かれて走査線の一方の側に走査線に並べて配置されたラ
    イトガイドと、走査される表面から受光した光線をライ
    トガイド中に反射するために走査される表面に対して受
    光関係におかれて走査線の反対側に走査線に並べて配置
    された円柱ミラーとを含んでいる、レーザビームスキャ
    ナ。 4、走査される表面に対して受光関係におかれて走査線
    の一方の側に走査線に並べて配置されたライトガイドと
    、走査される表面から受光した光線をライトガイド中に
    反射するために走査される表面に対して受光関係におか
    れて走査線の反対側に走査線に並べて配置された円柱ミ
    ラーとからなる、走査される表面から反射された光線を
    受光するためのレーザビームスキャナ。 5、前記ライトガイドは、走査線に平行に配置された細
    長い部分と、ライトガイドに沿つて通過する光線を隣接
    する軸方向端部から出射させるように軸方向に通すライ
    トパイプとからなる特許請求の範囲第3項又は第4項に
    記載のレーザビームスキャナ。 6、細長い部分とライトガイドに沿つて通過する光線を
    隣接する軸方向端部から出射させるように軸方向に通す
    ライトパイプとからなるライトガイド、及びライトガイ
    ドを通過する光線を受光するためにライトガイドの軸方
    向端部に隣接して配置されたレーザービームスキャナ。 7、ライトガイドを通過する光線を受光するためにライ
    トガイドの軸方向端部に隣接して配置された光検出器を
    有する特許請求の範囲第3項から第6項のいずれか1項
    に記載のレーザビームスキャナ。 8、集光効率を最適化するためにライトガイドが螢光材
    料で作られている特許請求の範囲第3項から第7項のい
    ずれか1項に記載のレーザビームスキャナ。 9、走査ビーム強度を走査軸に沿う相対的位置の関数と
    して調整するための手段を有する特許請求の範囲第1項
    から第8項のいずれか1項に記載のレーザビームスキャ
    ナ。 10、データフローを走査ビームの位置に同期させるた
    めの手段を有する特許請求の範囲第1項から第9項のい
    ずれか1項に記載のレーザビームスキヤナ。 11、データフローが中断した場合、走査ビームを走査
    される表面に対して正確に整復するための手段を有する
    特許請求の範囲第10項に記載のレーザビームスキャナ
    。 12、上記正確に整復するための手段が、再生結果に縞
    ができるのを防ぐために元の走査のときと正確に同じ速
    度で整復を行う手段からなる特許請求の範囲第11項に
    記載のレーザビームスキャナ。
JP62253463A 1986-10-07 1987-10-07 レーザビームスキャナ Pending JPS63278020A (ja)

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