JPS6326553A - 液中微粒子の計測装置 - Google Patents
液中微粒子の計測装置Info
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- JPS6326553A JPS6326553A JP61169728A JP16972886A JPS6326553A JP S6326553 A JPS6326553 A JP S6326553A JP 61169728 A JP61169728 A JP 61169728A JP 16972886 A JP16972886 A JP 16972886A JP S6326553 A JPS6326553 A JP S6326553A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 18
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 210000000601 blood cell Anatomy 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 1
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、極微小物体の計数方法に係り、特に半導体プ
ロセスの純水に不溶解物として存在する不純物を容易に
計数する装置に関する。
ロセスの純水に不溶解物として存在する不純物を容易に
計数する装置に関する。
半導体素子製造プロセス中で用いられる水を含めた各種
洗浄水に微粒子(ゴミ、sto、)−微生物(生菌、死
菌)などの不純物が混入していると最終製品に悪影響を
与え、場合によっては不良品ができてしまう。
洗浄水に微粒子(ゴミ、sto、)−微生物(生菌、死
菌)などの不純物が混入していると最終製品に悪影響を
与え、場合によっては不良品ができてしまう。
このよう々影響に関しては従来から問題となっていたが
近来、集積度の増加に伴って早急な対応が必要となって
きた。上記の不純物の検出に当っては、メンブランフィ
ルタで0.2μmから10μmまでの粒子に分類し、そ
こで集められた粒子を走査型電子顕微鏡(8EM)で形
状分類したシ。
近来、集積度の増加に伴って早急な対応が必要となって
きた。上記の不純物の検出に当っては、メンブランフィ
ルタで0.2μmから10μmまでの粒子に分類し、そ
こで集められた粒子を走査型電子顕微鏡(8EM)で形
状分類したシ。
X線分光分析で元素分析する方法があった。また、微生
物の測定には、螢光色素で染色した後、螢光顕微鏡下で
観測する方法があった。さらに、StO。
物の測定には、螢光色素で染色した後、螢光顕微鏡下で
観測する方法があった。さらに、StO。
の測定法に関しても工業用水試験方法JISKO101
44,1,2モリブデン青硬質ガラスからの溶出法があ
る。このような種々の測定法は概して大きさ、形状検査
に要する時間が長いとか、上記のような単機能的な目的
にしか適応できない、あるい′iEM等の高価な装置を
必要とするなどの欠点があった。
44,1,2モリブデン青硬質ガラスからの溶出法があ
る。このような種々の測定法は概して大きさ、形状検査
に要する時間が長いとか、上記のような単機能的な目的
にしか適応できない、あるい′iEM等の高価な装置を
必要とするなどの欠点があった。
〔発明が解決しようとする問題点3
以上で述べた従来計測装置では、不純物の大きさ、形状
1種類判別を行うに肖って、種々の測定法を導入する必
要があった。前者の微粒子の大きさ、形状を測定するだ
けでも、メンブランフィルタとSEMの組み合わせで対
応してきたのが実情である。課題の一つである微粒子の
大きさを測定するということに対して適応可能性を持つ
ものとして二本のビームをある任意間隔離して、それに
対して直角方向に微粒子(例えば血球やラテックス粒子
)を含む液体を流し、そのとき発生する何個のパルスの
間隔から流速を求めるとともに微粒子の大きさを固定す
る方式がある(インターナル・キャリブレーション・ツ
ウ・アブソリュート・バリュー−イン・フロースルー・
パーfイlル・サイズ・アナリンス、レビュー・オブ・
サイエンティクイック・インストルメント(工n te
rnalcalibration to absolu
te values inflowthrough p
article 5ize analysis。
1種類判別を行うに肖って、種々の測定法を導入する必
要があった。前者の微粒子の大きさ、形状を測定するだ
けでも、メンブランフィルタとSEMの組み合わせで対
応してきたのが実情である。課題の一つである微粒子の
大きさを測定するということに対して適応可能性を持つ
ものとして二本のビームをある任意間隔離して、それに
対して直角方向に微粒子(例えば血球やラテックス粒子
)を含む液体を流し、そのとき発生する何個のパルスの
間隔から流速を求めるとともに微粒子の大きさを固定す
る方式がある(インターナル・キャリブレーション・ツ
ウ・アブソリュート・バリュー−イン・フロースルー・
パーfイlル・サイズ・アナリンス、レビュー・オブ・
サイエンティクイック・インストルメント(工n te
rnalcalibration to absolu
te values inflowthrough p
article 5ize analysis。
Rev、Sci、Instrum)1617−(622
(1978))。
(1978))。
しかし本方式では形状分類2種類判別は不可能であった
。
。
このことから本発明の目的は、液中における不純物の大
きさ測定と種類判別を同時に達成し得る計測装置を提供
することにある。
きさ測定と種類判別を同時に達成し得る計測装置を提供
することにある。
上記で述べた目的を達成するため、白色光源からの光を
回折格子あるいはプリズムで分光するとともに多波長の
情報を得るための光検出器を多数個配置する。このとき
目的とする波長以外の隣合った波長の影響を除去するた
め各光検出器の入射部に特定波長のみを透過する干渉フ
ィルタが取シ付けられる。また受光立体角を制限するた
めの開口も干渉フィルタと対になった状態で各々の光検
出器に設けられる。
回折格子あるいはプリズムで分光するとともに多波長の
情報を得るための光検出器を多数個配置する。このとき
目的とする波長以外の隣合った波長の影響を除去するた
め各光検出器の入射部に特定波長のみを透過する干渉フ
ィルタが取シ付けられる。また受光立体角を制限するた
めの開口も干渉フィルタと対になった状態で各々の光検
出器に設けられる。
とのような構成とすることで、多波長からなる多数本の
ビームが得られることになる。回折格子。
ビームが得られることになる。回折格子。
プリズムによる分光で生じるスペクトルは、可視光線の
場合赤色から紫色に至る連続スペクトルであるが1本発
明における計測装置では、ビームの間隔が一定となるよ
うに構成される。このような方法で多波長ビームによる
情報を検出する。
場合赤色から紫色に至る連続スペクトルであるが1本発
明における計測装置では、ビームの間隔が一定となるよ
うに構成される。このような方法で多波長ビームによる
情報を検出する。
半導体洗浄工程で用いる純水中に含まれる微粒子(ゴミ
2 81 ot) %微生物(生菌、死菌)等の種類判
別は、分光特性を評価することで達成できる。
2 81 ot) %微生物(生菌、死菌)等の種類判
別は、分光特性を評価することで達成できる。
例えば、Sin、では各波長からの出力は同じ割合で強
度が減衰するのに対して、微生物(生菌、死菌)には金
属イオンであるCu、 Zn、 Na、 K等が
複合化した状態で含まれることから各検出器からの出力
にパラツ中が生じる。このように多波長の個々の出力値
を評価することで種類判別が実現できる。
度が減衰するのに対して、微生物(生菌、死菌)には金
属イオンであるCu、 Zn、 Na、 K等が
複合化した状態で含まれることから各検出器からの出力
にパラツ中が生じる。このように多波長の個々の出力値
を評価することで種類判別が実現できる。
また微粒子の大きさの同定は、基本的には公知例で取シ
上げた二本のビームによシ太・きさを求める方式と同じ
である。しかし公知例の場合、顕微鏡対物レンズを通し
て数朗の間隔で二本のビームとすることから、光学系の
配列が困難であったシ。
上げた二本のビームによシ太・きさを求める方式と同じ
である。しかし公知例の場合、顕微鏡対物レンズを通し
て数朗の間隔で二本のビームとすることから、光学系の
配列が困難であったシ。
あるいはビームに直角に交わる液体の流速が大きいと間
隔が狭いため検出器が応答しきれず微粒子の検出が不可
能となってしまう、ことなどが起こる。本発明では、隣
り合うビーム間の間隔は数十−とすることができるし、
またプリズムあるいは回折格子と光検出器等の配置は比
較的容易にできることから上記の間型は克服できる。
隔が狭いため検出器が応答しきれず微粒子の検出が不可
能となってしまう、ことなどが起こる。本発明では、隣
り合うビーム間の間隔は数十−とすることができるし、
またプリズムあるいは回折格子と光検出器等の配置は比
較的容易にできることから上記の間型は克服できる。
プリズムあるいは回折格子は、多波長成分全書るための
連続スペクトルを与え、数個の光検出器の前に組み込ま
れる開口の大きさで照射光径?限定する。また、光検出
器の後段には電流、電圧変換回路が接続され光検出器の
感度ムラを含めて初期出力を均一化することが行われる
。
連続スペクトルを与え、数個の光検出器の前に組み込ま
れる開口の大きさで照射光径?限定する。また、光検出
器の後段には電流、電圧変換回路が接続され光検出器の
感度ムラを含めて初期出力を均一化することが行われる
。
対象とする微粒子の大きさを同定するには流速を一定と
する必要があることから、微粒子を含む流体及びそれを
取り巻く流れを層流状態に保つ必要がある。
する必要があることから、微粒子を含む流体及びそれを
取り巻く流れを層流状態に保つ必要がある。
上記の構成をとることで、各検出器から異なる波長の情
報が得られ種類判別を可能とするとともに、隣合った光
検出器からの出力パルスの状態?評価することで大きさ
も求めることができる。
報が得られ種類判別を可能とするとともに、隣合った光
検出器からの出力パルスの状態?評価することで大きさ
も求めることができる。
以下、実施例の構成及び動作の説明を第1図。
第2図に従って説明する。また、第4図では実施例の全
体構成を示す。
体構成を示す。
第1図は1本発明実施例の主要部を示す。プリズム6に
平行光束とした白色光を入射し赤から紫色に至るスペク
トルを形成する。多波長情報を得ること、それから粒径
を求めるためプリズム6の出射点を基準として等角度θ
で分離した位置に開口2を設ける。このときの開口2は
、光検出器4における入射像1ft−一定とするためプ
リズム6の出射点から等距離にある。
平行光束とした白色光を入射し赤から紫色に至るスペク
トルを形成する。多波長情報を得ること、それから粒径
を求めるためプリズム6の出射点を基準として等角度θ
で分離した位置に開口2を設ける。このときの開口2は
、光検出器4における入射像1ft−一定とするためプ
リズム6の出射点から等距離にある。
開口2の大きさが不純物5を含む流路における照射ビー
ム径を決める。開口2の後段には光検出器4に目的とす
る波長以外の光が混入するのを防ぐため目的とする波長
のみが透過する干渉フィルタを組み込む必要がある。
ム径を決める。開口2の後段には光検出器4に目的とす
る波長以外の光が混入するのを防ぐため目的とする波長
のみが透過する干渉フィルタを組み込む必要がある。
細管7内を流れるノズル6からの不純物5t−含む流れ
は粒径を精度よく測定するうえで層流となっている。そ
の流れを安定状態とするための周辺の流れ(シース流)
8も細管径や流速を考慮し層流状態とする。
は粒径を精度よく測定するうえで層流となっている。そ
の流れを安定状態とするための周辺の流れ(シース流)
8も細管径や流速を考慮し層流状態とする。
光検出器4で得られた情報は第2図に示すように信号変
換回路9で各波長に対応して電気信号に変換される。信
号変換回路9の各々の出力端は、測定開始時、雑音成分
を含めて同一値に調整される。
換回路9で各波長に対応して電気信号に変換される。信
号変換回路9の各々の出力端は、測定開始時、雑音成分
を含めて同一値に調整される。
不純物5による信号変換回路93〜9dからの出力信号
は種類判定回路10及び粒径判別回路11に同時に入力
される。種類判定回路10では、各々の出力レベルを比
較し、微粒子(ゴミ、 8i01)ことになるつλ1.
λ、の光の間隔が明らかとなっていれば、t、から流速
を求め、tlと流速を乗算することで粒径がわかる。第
4図は、第1図。
は種類判定回路10及び粒径判別回路11に同時に入力
される。種類判定回路10では、各々の出力レベルを比
較し、微粒子(ゴミ、 8i01)ことになるつλ1.
λ、の光の間隔が明らかとなっていれば、t、から流速
を求め、tlと流速を乗算することで粒径がわかる。第
4図は、第1図。
第2図を含めた構成から成っていて、不純物、シース流
体導入系、排気系が省略されている。この両系に対する
必要条件は、照射部において層流が実現されていること
である。
体導入系、排気系が省略されている。この両系に対する
必要条件は、照射部において層流が実現されていること
である。
本発明によれば、多波長ビームを利用することから、物
質に対する波長依存性が明らかとなり。
質に対する波長依存性が明らかとなり。
半導体プロセス中の純水に含まれる微粒子(ゴミ。
8i0x)微生物(生菌、死菌)などを識別することが
できる。また、等間隔からなる多数本のビームからの信
号を評価することで不純物の粒径も同時に求めることが
できる。
できる。また、等間隔からなる多数本のビームからの信
号を評価することで不純物の粒径も同時に求めることが
できる。
さらに本発明の光学素子配列に当っては、隣合う波長で
数十一種変の間隔があることから比較的容易に実現する
ことができる。
数十一種変の間隔があることから比較的容易に実現する
ことができる。
第1図は本発明の測定主要部を示す横断面図、4図は本
発明の実施例の全体構成の横断面図である。 1・・・プリズム、2・・・開口、3・・・干渉フィル
タ、4・・・光検出器、5・・・不純物、6・・・ノズ
ル、7・・・細管、訃・・シース液、9・・・信号変換
回路、10・・・種類判定回路、11・・・粒径判別回
路、12・・・表示装置、13・・・表示装置。 第 37 (ム)
発明の実施例の全体構成の横断面図である。 1・・・プリズム、2・・・開口、3・・・干渉フィル
タ、4・・・光検出器、5・・・不純物、6・・・ノズ
ル、7・・・細管、訃・・シース液、9・・・信号変換
回路、10・・・種類判定回路、11・・・粒径判別回
路、12・・・表示装置、13・・・表示装置。 第 37 (ム)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、不純物を含む純水の流れに、直角に近い角度で多数
本の波長が異なる光を入射し、不純物による透過光を開
口、干渉フィルタ、光検出器から成る構成で検出し、各
波長の情報を評価することで種類判定を行うようにした
ことを特徴とする液中微粒子の計測装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の液中微粒子の計測装置
において、出力パルスの時間的な情報を評価することで
粒径測定を行うようにした液中微粒子の計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61169728A JPS6326553A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 液中微粒子の計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61169728A JPS6326553A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 液中微粒子の計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6326553A true JPS6326553A (ja) | 1988-02-04 |
Family
ID=15891749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61169728A Pending JPS6326553A (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 液中微粒子の計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6326553A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02226046A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-07 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
JP2009008602A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Hokuto Denshi Kogyo Kk | 液体中の粒子のサイズの検出方法および装置 |
JP2011059047A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Hokuto Denshi Kogyo Kk | 液体中の粒子のサイズの検出方法および装置並びに光学装置 |
WO2020017183A1 (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | ソニー株式会社 | 微小粒子測定用スペクトロメータ、該微小粒子測定用スペクトロメータを用いた微小粒子測定装置及び微小粒子測定用光電変換システムの校正方法 |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP61169728A patent/JPS6326553A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02226046A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-07 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
JP2009008602A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Hokuto Denshi Kogyo Kk | 液体中の粒子のサイズの検出方法および装置 |
JP2011059047A (ja) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Hokuto Denshi Kogyo Kk | 液体中の粒子のサイズの検出方法および装置並びに光学装置 |
WO2020017183A1 (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | ソニー株式会社 | 微小粒子測定用スペクトロメータ、該微小粒子測定用スペクトロメータを用いた微小粒子測定装置及び微小粒子測定用光電変換システムの校正方法 |
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