JPS63230989A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPS63230989A JPS63230989A JP6383887A JP6383887A JPS63230989A JP S63230989 A JPS63230989 A JP S63230989A JP 6383887 A JP6383887 A JP 6383887A JP 6383887 A JP6383887 A JP 6383887A JP S63230989 A JPS63230989 A JP S63230989A
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- JP
- Japan
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- ceramic
- metal
- heat treatment
- tic
- pump
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
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Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空ポンプに係り、特に半導体製造装置のよう
に、腐食性ガスを取扱うプロセスに使用するのに好適な
真空ポンプに関する。
に、腐食性ガスを取扱うプロセスに使用するのに好適な
真空ポンプに関する。
従来の装置は、特開昭６１−２４７８９３号あるいは特
開昭６１−２４７８９４号に記載のように、ポンプの機
械的な構成及びそれによる排気性能について論じている
。あるいは、特開昭５９−４１６９９に記載のよう
−に有機物の膜によって、タービン翼を薬品雰囲気から
保護する方法について論じられている。
開昭６１−２４７８９４号に記載のように、ポンプの機
械的な構成及びそれによる排気性能について論じている
。あるいは、特開昭５９−４１６９９に記載のよう
−に有機物の膜によって、タービン翼を薬品雰囲気から
保護する方法について論じられている。
（発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術は、ポンプの構成部品の全て、あるいは一
部について、腐食性有害ガスによる腐食の防止について
配慮がなされておらず、腐食性有害ガスを排気する目的
でポンプが使用された場合に、ポンプの全体あるいは一
部分が腐食されて寿命が短くなるという問題があった。
部について、腐食性有害ガスによる腐食の防止について
配慮がなされておらず、腐食性有害ガスを排気する目的
でポンプが使用された場合に、ポンプの全体あるいは一
部分が腐食されて寿命が短くなるという問題があった。
また、従来技術は、保護膜の付着力について配慮がなさ
れておらず、回転にもとづく遠心力や振動による応力に
よって、膜の剥れ易さが問題となる可能性があった。
れておらず、回転にもとづく遠心力や振動による応力に
よって、膜の剥れ易さが問題となる可能性があった。
本発明の目的は、密着強度の大きな耐食性被膜を有し、
かつ高温加熱による脱ガス処理の容易な真空ポンプを提
供することにある。
かつ高温加熱による脱ガス処理の容易な真空ポンプを提
供することにある。
上記目的は、腐食性の排気ガスと接触する、真空ポンプ
の部分を、熱処理を施すことによってその表面にＴｉＣ
，ＴｉＮあるいはＺｒＣ等の金属化合物が析出する金属
材料でもって構成し、その表面を耐腐食性のセラミック
スで被覆した後、熱処理を行うことにより達成される。
の部分を、熱処理を施すことによってその表面にＴｉＣ
，ＴｉＮあるいはＺｒＣ等の金属化合物が析出する金属
材料でもって構成し、その表面を耐腐食性のセラミック
スで被覆した後、熱処理を行うことにより達成される。
セラミックスを被覆した金属部分を熱処理することによ
って、セラミックスと金属の界面にＴｉＣ＊Ｔ ｉ Ｎ
あるいはＺｒＣ等の金属化合物が析出する。
って、セラミックスと金属の界面にＴｉＣ＊Ｔ ｉ Ｎ
あるいはＺｒＣ等の金属化合物が析出する。
これらの金属化合物は被覆したセラミックスと金属のい
ずれにも侵入しており、セラミックスと金属との接着性
を高める作用をするので、セラミックス被膜がはがれに
くくなる。また、ポンプによって排気されるガスは、被
覆したセラミックスにのみ接触するので、金属部分が腐
食されることがなく、腐食性のガスを排気してもポンプ
の記械的寿命が短くなることがない、また、高温での後
処理に耐える金属材料、及びセラミックスを用いている
ので、高温での加熱脱ガスを行うことができる。
ずれにも侵入しており、セラミックスと金属との接着性
を高める作用をするので、セラミックス被膜がはがれに
くくなる。また、ポンプによって排気されるガスは、被
覆したセラミックスにのみ接触するので、金属部分が腐
食されることがなく、腐食性のガスを排気してもポンプ
の記械的寿命が短くなることがない、また、高温での後
処理に耐える金属材料、及びセラミックスを用いている
ので、高温での加熱脱ガスを行うことができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ロータ１．動翼２．静翼３．ケーシング４及び排気管８
を、熱処理することによって表面にＴｉＣが偏析する金
属材料１例えば炭素を０．１重量％以下、Ｔｉを０．４
重量％以上含むステンレス鋼ＳＵＳ ３２１を用いて
作製し、その排気ガスと接触する部分には耐腐食性のあ
るセラミックス、例えばＡｊｌｚＯａを厚さ１μｍから
数μｍにコーティング９する。セラミックスを被覆した
部品を約７００℃で、１時間から数時間加熱処理する。
を、熱処理することによって表面にＴｉＣが偏析する金
属材料１例えば炭素を０．１重量％以下、Ｔｉを０．４
重量％以上含むステンレス鋼ＳＵＳ ３２１を用いて
作製し、その排気ガスと接触する部分には耐腐食性のあ
るセラミックス、例えばＡｊｌｚＯａを厚さ１μｍから
数μｍにコーティング９する。セラミックスを被覆した
部品を約７００℃で、１時間から数時間加熱処理する。
この加熱処理によって、被覆したセラミックスと下地の
金属との界面に°ｒｉＣが析出するとともに、このＴｉ
Ｃが被覆セラミックス及び下地金属の両方に侵入する。
金属との界面に°ｒｉＣが析出するとともに、このＴｉ
Ｃが被覆セラミックス及び下地金属の両方に侵入する。
このため、被覆したセラミックスと金属とがあたかもＴ
ｉＣで接合されたようになって、密着強度が増大するの
で、被覆したセラミックスは剥がれ難くなる。こうして
熱処理した後にポンプとして組立てると、排気ガスに接
触するポンプの部分は、全てセラミックスに被われるこ
ととなり、このセラミックスは強固に付着しているため
振動。
ｉＣで接合されたようになって、密着強度が増大するの
で、被覆したセラミックスは剥がれ難くなる。こうして
熱処理した後にポンプとして組立てると、排気ガスに接
触するポンプの部分は、全てセラミックスに被われるこ
ととなり、このセラミックスは強固に付着しているため
振動。
遠心力及び熱にもとづく応力にさらされても容易に剥が
れることはない、またポンプの主要な構成材料である金
属部分は、被覆したセラミックスにへだてられて、排気
に直接に接触することがない。
れることはない、またポンプの主要な構成材料である金
属部分は、被覆したセラミックスにへだてられて、排気
に直接に接触することがない。
また、セラミックス被覆した部分を加熱することによっ
て、容易に脱ガスすることができる。
て、容易に脱ガスすることができる。
本実施例においては、ＴＭＰへの適用について説明した
が、その他の形式のポンプであるロータリーポンプ、ス
クリューポンプ、遠心式ポンプ。
が、その他の形式のポンプであるロータリーポンプ、ス
クリューポンプ、遠心式ポンプ。
スクロールポンプ等においても、排気ガスに接触する部
分に、上記実施例と同様に、付着力の強固なセラミック
被膜を形成することができ、ポンプの耐腐食性を向上す
ることができる。
分に、上記実施例と同様に、付着力の強固なセラミック
被膜を形成することができ、ポンプの耐腐食性を向上す
ることができる。
（発明の効果〕
本発明によれば、ポンプの主要構成材料である金属は被
覆したセラミックスに保護されて排気ガスに接触しない
ので腐食されることがない。また。
覆したセラミックスに保護されて排気ガスに接触しない
ので腐食されることがない。また。
被覆したセラミックスは、加熱処理によって析出したＴ
ｉＣ，ＴｉＮ、ＺｒＣ等の金属化合物によって強固に金
属に接合されるので、振動、遠心力及び熱によって容易
に剥がれることがない。このように、腐食性のガスを排
気するポンプに用いても、腐食することなく長持ちする
真空ポンプを形成することができる。また、ポンプの主
要部分である排気ガスに接触する部分が、同一の高温処
理に耐える材料によって構成されているため、ポンプ使
用時において高温の加熱脱ガスを行うことができるので
、排気性能を高めることが容易である。
ｉＣ，ＴｉＮ、ＺｒＣ等の金属化合物によって強固に金
属に接合されるので、振動、遠心力及び熱によって容易
に剥がれることがない。このように、腐食性のガスを排
気するポンプに用いても、腐食することなく長持ちする
真空ポンプを形成することができる。また、ポンプの主
要部分である排気ガスに接触する部分が、同一の高温処
理に耐える材料によって構成されているため、ポンプ使
用時において高温の加熱脱ガスを行うことができるので
、排気性能を高めることが容易である。
加熱はＴ ｉ Ｃ、Ｔ ｉ Ｎ 、 Ｚ ｒ Ｃ等の金
属化合物の析出を促進する作用があるので、加熱脱ガス
によって被覆したセラミックスの付着が強固となり、一
層剥がれにくくなる。
属化合物の析出を促進する作用があるので、加熱脱ガス
によって被覆したセラミックスの付着が強固となり、一
層剥がれにくくなる。
第１図は、本発明の一実施例を示すポンプの縦断面図で
ある。 １・・・ロータ、２・・・動翼、３・・・静翼、４・・
・ケーシング、５・・・駆動装置、６・・・吸気口、７
・・・排気口、８第 １ 図
ある。 １・・・ロータ、２・・・動翼、３・・・静翼、４・・
・ケーシング、５・・・駆動装置、６・・・吸気口、７
・・・排気口、８第 １ 図
Claims (1)
- １、排気するべき気体に接触する部分を、加熱処理によ
って表面にＴｉＣ（炭化チタン）、ＴｉＮ（窒化チタン
）、ＺｒＣ（炭化ジルコニウム）等の金属化合物が析出
する金属材料を用いて構成し、その表面にセラミックス
を被覆し、その熱加熱処理を行うことによって、金属材
料と被覆セラミックスとの界面に、ＴｉＣ、ＴｉＮ及び
ＺｒＣ等の金属化合物を析出させ耐食性に優れたことを
特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6383887A JPS63230989A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6383887A JPS63230989A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63230989A true JPS63230989A (ja) | 1988-09-27 |
Family
ID=13240886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6383887A Pending JPS63230989A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63230989A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5350275A (en) * | 1992-06-05 | 1994-09-27 | Zaidan Houjin Shinku Kagaku Kenkyujo | Turbomolecular pump having vanes with ceramic and metallic surfaces |
| WO2000045054A1 (fr) * | 1999-01-27 | 2000-08-03 | Seiko Seiki Co., Ltd. | Pompe a vide |
| EP1314891A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-28 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP6383887A patent/JPS63230989A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5350275A (en) * | 1992-06-05 | 1994-09-27 | Zaidan Houjin Shinku Kagaku Kenkyujo | Turbomolecular pump having vanes with ceramic and metallic surfaces |
| WO2000045054A1 (fr) * | 1999-01-27 | 2000-08-03 | Seiko Seiki Co., Ltd. | Pompe a vide |
| EP1314891A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-28 | BOC Edwards Technologies, Limited | Vacuum pump |
| KR100880504B1 (ko) * | 2001-11-16 | 2009-01-28 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
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