JPS63225718A - 平面ベアリング - Google Patents
平面ベアリングInfo
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- JPS63225718A JPS63225718A JP5647787A JP5647787A JPS63225718A JP S63225718 A JPS63225718 A JP S63225718A JP 5647787 A JP5647787 A JP 5647787A JP 5647787 A JP5647787 A JP 5647787A JP S63225718 A JPS63225718 A JP S63225718A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/0633—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being retained in a gap
- F16C32/0637—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being retained in a gap by a magnetic field, e.g. ferrofluid bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えばクリーンルーム内でウェハや磁気ディ
スク等のワークを搬送するワーク搬送ユニットの直線案
内機構等に用いる平面ベアリングに関し、特に発塵量が
少なく高クリーン化を達成できる平面ベアリングに関す
る。
スク等のワークを搬送するワーク搬送ユニットの直線案
内機構等に用いる平面ベアリングに関し、特に発塵量が
少なく高クリーン化を達成できる平面ベアリングに関す
る。
従来のこの種の平面ベアリングは、第４図に示すように
、固定側のガイド部分としての支持部材１の摺動面に潤
滑剤としてグリース２を薄く塗布すると共に、この支持
部材１の摺動面に移動側の運動部分としての可動部材３
を載置して組み合わせ、上記支持部材１と可動部材３と
の摺動面間にグリース２を介在させた状態で、両者のす
べり接触により支持部材１の長手方向に沿って矢印Ａ。
、固定側のガイド部分としての支持部材１の摺動面に潤
滑剤としてグリース２を薄く塗布すると共に、この支持
部材１の摺動面に移動側の運動部分としての可動部材３
を載置して組み合わせ、上記支持部材１と可動部材３と
の摺動面間にグリース２を介在させた状態で、両者のす
べり接触により支持部材１の長手方向に沿って矢印Ａ。
Ｂ方向に可動部材３が直線運動するのを案内していた。
しかし、このような従来の平面ベアリングにおいては、
潤滑剤としてのグリース２が蒸発したり、可動部材３の
直線運動に伴って飛び散ったりして塵が発生するもので
あった。特に、温度が上昇すると上記グリース２が液状
となり、塵の発生量が多くなるものであった。従って、
クリーンルーム内のクリーン度を高くしておいても、ウ
ェハや磁気ディスク等のワークを所定箇所から他の所定
箇所へ搬送するワーク搬送ユニットの直線案内機構等の
平面ベアリングから上記のように塵が発生することによ
り、該クリーンルーム内のクリーン度が低下することが
あった。このことから、ワークに塵が付着して半導体製
品や磁気ディスク等の品質が低下すると共に、歩留まり
も低下するものであった。
潤滑剤としてのグリース２が蒸発したり、可動部材３の
直線運動に伴って飛び散ったりして塵が発生するもので
あった。特に、温度が上昇すると上記グリース２が液状
となり、塵の発生量が多くなるものであった。従って、
クリーンルーム内のクリーン度を高くしておいても、ウ
ェハや磁気ディスク等のワークを所定箇所から他の所定
箇所へ搬送するワーク搬送ユニットの直線案内機構等の
平面ベアリングから上記のように塵が発生することによ
り、該クリーンルーム内のクリーン度が低下することが
あった。このことから、ワークに塵が付着して半導体製
品や磁気ディスク等の品質が低下すると共に、歩留まり
も低下するものであった。
そこで１本発明は、発塵量が少なく高クリーン化を達成
することができる平面ベアリングを提供することを目的
とする。
することができる平面ベアリングを提供することを目的
とする。
上記の問題点を解決する本発明の手段は、固定側の支持
部材と移動側の可動部材とを組み合わせ、該両者の摺動
面間に潤滑剤を介在させ１両者のすべり接触により上記
支持部材の長手方向に沿う可動部材の直線運動を案内す
る平面ベアリングにおいて、上記可動部材または支持部
材のどちらか一方側の摺動面に゛は磁石を固定すると共
に、この磁石が相手側部材に接触する面を平面形成部材
で覆って平坦に仕上げ、かつ上記潤滑剤は磁性流体とし
た平面ベアリングによってなされる。
部材と移動側の可動部材とを組み合わせ、該両者の摺動
面間に潤滑剤を介在させ１両者のすべり接触により上記
支持部材の長手方向に沿う可動部材の直線運動を案内す
る平面ベアリングにおいて、上記可動部材または支持部
材のどちらか一方側の摺動面に゛は磁石を固定すると共
に、この磁石が相手側部材に接触する面を平面形成部材
で覆って平坦に仕上げ、かつ上記潤滑剤は磁性流体とし
た平面ベアリングによってなされる。
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明による平面ベアリングの第一の実施例を
示す側面図である０図において、支持部材４は、例えば
クリーンルーム内でウェハや磁気ディスク等のワークを
所定・箇所から他の所定箇所へ搬送するワーク搬送ユニ
ットの直線案内機構等における固定側のガイド部分とな
るもので、所定箇所と他の所定箇所との間で例えばレー
ル状に形成されている。なお、この支持部材４は、アル
ミニウムなどの常磁性体でできている。そして、上記支
持部材４の上面の摺動面には、可動部材５が載置され組
み合わされている。この可動部材５は、例えば上記ワー
ク搬送ユニットの直線案内機構等における移動側の運動
部分となるもので、例えば適宜の大きさのブロック状に
形成されている。
示す側面図である０図において、支持部材４は、例えば
クリーンルーム内でウェハや磁気ディスク等のワークを
所定・箇所から他の所定箇所へ搬送するワーク搬送ユニ
ットの直線案内機構等における固定側のガイド部分とな
るもので、所定箇所と他の所定箇所との間で例えばレー
ル状に形成されている。なお、この支持部材４は、アル
ミニウムなどの常磁性体でできている。そして、上記支
持部材４の上面の摺動面には、可動部材５が載置され組
み合わされている。この可動部材５は、例えば上記ワー
ク搬送ユニットの直線案内機構等における移動側の運動
部分となるもので、例えば適宜の大きさのブロック状に
形成されている。
ここで１本発明においては、上記可動部材５の底面側に
て支持部材４の摺動面と対向する部分には、磁石６が接
着剤７にて固定されると共に、この磁石６の外周面は平
面形成部材８で覆われている。上記磁石６は、後述の磁
性流体１０を支持部材４の摺動面との間で可動部材５の
底面側に吸引するもので１例えば永久磁石から成る。ま
た、平面形成゛部材８は、上記可動部材５の底面と磁石
６との間の接着剤７の不均一や上記磁石６自体の寸法誤
差等のため平面精度が不十分な磁石６を覆ってその底面
を平坦に仕上げるもので１例えばアルミニウムなどの常
磁性体とエポキシ樹脂系の接着剤とを混合した接着充て
ん剤９から成る。そして。
て支持部材４の摺動面と対向する部分には、磁石６が接
着剤７にて固定されると共に、この磁石６の外周面は平
面形成部材８で覆われている。上記磁石６は、後述の磁
性流体１０を支持部材４の摺動面との間で可動部材５の
底面側に吸引するもので１例えば永久磁石から成る。ま
た、平面形成゛部材８は、上記可動部材５の底面と磁石
６との間の接着剤７の不均一や上記磁石６自体の寸法誤
差等のため平面精度が不十分な磁石６を覆ってその底面
を平坦に仕上げるもので１例えばアルミニウムなどの常
磁性体とエポキシ樹脂系の接着剤とを混合した接着充て
ん剤９から成る。そして。
この接着充てん剤９を上記磁石６の外周面に塗り付けて
被覆し、その後上記支持部材４の摺動面と接触する底面
を精密加工により寸法精度を出すと共に、平坦に仕上げ
る。なお、上記可動部材５は。
被覆し、その後上記支持部材４の摺動面と接触する底面
を精密加工により寸法精度を出すと共に、平坦に仕上げ
る。なお、上記可動部材５は。
磁石６に接する下部側５Ｑはアルミニウムなどの常磁性
体でできており、上部側５ｕは鉄などの強磁性体であっ
てもよい。
体でできており、上部側５ｕは鉄などの強磁性体であっ
てもよい。
さらに、上記支持部材４の摺動面と、可動部材５の底面
側の平面形成部材８の底面との間には、磁性流体１０が
介在されている。この磁性流体１０は、上記支持部材４
と可動部材５との摺動面間の潤滑剤となるもので、鉱物
油系で低蒸発率の合成油をキャリア液としその中に例え
ば酸化鉄の粉をコロイド状に分散させて成り、潤滑性能
と磁化性とを併有している。そして、上記磁性流体１０
は、支持部材４の摺動面の全長にねたって薄く塗布され
ており、可動部材５に固定された磁石６の底面において
は、第１図に黒く塗りつぶして示すように該磁石６に吸
引されて略三角形状となり、その略三角形の底辺部分が
磁石６側に付着し、頂点部分が支持部材４の摺動面に付
着する。
側の平面形成部材８の底面との間には、磁性流体１０が
介在されている。この磁性流体１０は、上記支持部材４
と可動部材５との摺動面間の潤滑剤となるもので、鉱物
油系で低蒸発率の合成油をキャリア液としその中に例え
ば酸化鉄の粉をコロイド状に分散させて成り、潤滑性能
と磁化性とを併有している。そして、上記磁性流体１０
は、支持部材４の摺動面の全長にねたって薄く塗布され
ており、可動部材５に固定された磁石６の底面において
は、第１図に黒く塗りつぶして示すように該磁石６に吸
引されて略三角形状となり、その略三角形の底辺部分が
磁石６側に付着し、頂点部分が支持部材４の摺動面に付
着する。
このような状態で、上記支持部材４の摺動面と。
可動部材５の底面側の平面形成部材８の底面に形成され
た摺動面とのすべり接触により、支持部材４の長手方向
に沿って可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動が案内
される。このとき、上記可動部材５の底面においては、
上記のように略三角形状に吸引された磁性流体１０の流
体密度の低下した頂点部分で支持部材４と摺動すること
となり、摺動抵抗は小さくなる。また、可動部材５が例
えば矢印Ａ方向に前進するときは、該可動部材５の前進
に従って支持部材４の摺動面の前方側から磁性流体１０
が上記可動部材５の底面に順次補充されつつ磁石６によ
って吸引され、後方側には順次排出しながら前進して行
く。従って、上記可動部材５の直線運動において、支持
部材４との摺動面間を潤滑する磁性流体１０は磁石６に
より吸引されているので、その前進または後退運動によ
って磁性流体１０が飛び散るのを抑えることができる。
た摺動面とのすべり接触により、支持部材４の長手方向
に沿って可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動が案内
される。このとき、上記可動部材５の底面においては、
上記のように略三角形状に吸引された磁性流体１０の流
体密度の低下した頂点部分で支持部材４と摺動すること
となり、摺動抵抗は小さくなる。また、可動部材５が例
えば矢印Ａ方向に前進するときは、該可動部材５の前進
に従って支持部材４の摺動面の前方側から磁性流体１０
が上記可動部材５の底面に順次補充されつつ磁石６によ
って吸引され、後方側には順次排出しながら前進して行
く。従って、上記可動部材５の直線運動において、支持
部材４との摺動面間を潤滑する磁性流体１０は磁石６に
より吸引されているので、その前進または後退運動によ
って磁性流体１０が飛び散るのを抑えることができる。
また、上記磁性流体１０自身の特性として蒸発量も少な
い。
い。
第２図は本発明の第二の実施例を示す側面図である。こ
の実施例は、磁石６を支持部材４の上面側にて可動部材
５の摺動面と対向するようにその長手方向の全長にわた
って接着剤で多数個固定すると共に、これらの磁石６，
６．・・・の上面をアルミニウムなどの常磁性体で出来
た薄板１１から成る平面形成部材８で覆って平坦に仕上
げたものである。なお、上記薄板１１は、磁石６，６．
・・・の上面に接着剤で固定される。この実施例の場合
は。
の実施例は、磁石６を支持部材４の上面側にて可動部材
５の摺動面と対向するようにその長手方向の全長にわた
って接着剤で多数個固定すると共に、これらの磁石６，
６．・・・の上面をアルミニウムなどの常磁性体で出来
た薄板１１から成る平面形成部材８で覆って平坦に仕上
げたものである。なお、上記薄板１１は、磁石６，６．
・・・の上面に接着剤で固定される。この実施例の場合
は。
支持部材４の上面側の平面形成部材８が摺動面となり、
この摺動面の全長にわたって磁性流体１０が磁石６，６
．・・・に吸引されて略三角形状に並び、その略三角形
状に吸引された磁性流体１ｏの頂点部分で可動部材５が
摺動するので、その可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線
運動をより滑らかに案内することができる。また、上記
磁性流体１０は。
この摺動面の全長にわたって磁性流体１０が磁石６，６
．・・・に吸引されて略三角形状に並び、その略三角形
状に吸引された磁性流体１ｏの頂点部分で可動部材５が
摺動するので、その可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線
運動をより滑らかに案内することができる。また、上記
磁性流体１０は。
常に支持部材４側の磁石６，６．・・・によって吸引さ
れているので、可動部材５の前進または後退運動によっ
て該磁性流体１０が飛び散るのをより強く抑えることが
できる。
れているので、可動部材５の前進または後退運動によっ
て該磁性流体１０が飛び散るのをより強く抑えることが
できる。
第３図は上記第二の実施例の変形例を示す側面図である
。この変形例は、第２図において磁石６゜６、・・・の
上面を覆う平面形成部材８を、第１図に示す第一の実施
例と同様に接着充てん剤９を塗り付けて被覆し、その後
その上面を精密加工により平坦に仕上げたものである。
。この変形例は、第２図において磁石６゜６、・・・の
上面を覆う平面形成部材８を、第１図に示す第一の実施
例と同様に接着充てん剤９を塗り付けて被覆し、その後
その上面を精密加工により平坦に仕上げたものである。
この場合は、第２図に示す実施例と比べて、支持部材４
の上面側の平面形成部材８からなる摺動面の平坦度を精
度の高いものとすることができる。従って、可動部材５
の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動をさらに滑らかに案内する
ことができる。
の上面側の平面形成部材８からなる摺動面の平坦度を精
度の高いものとすることができる。従って、可動部材５
の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動をさらに滑らかに案内する
ことができる。
本発明は以上説明したように、固定側の支持部材４と移
動側の可動部材５との摺動面間を潤滑する磁性流体１０
は、上記可動部材５または支持部材４のどちらか一方側
の摺動面に設けられた磁石６により吸引されているので
、可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動によって上記
磁性流体１０が飛び散るのを抑えることができる。また
、その磁性流体１０自身の特性として蒸発量も少ない。
動側の可動部材５との摺動面間を潤滑する磁性流体１０
は、上記可動部材５または支持部材４のどちらか一方側
の摺動面に設けられた磁石６により吸引されているので
、可動部材５の矢印Ａ、Ｂ方向の直線運動によって上記
磁性流体１０が飛び散るのを抑えることができる。また
、その磁性流体１０自身の特性として蒸発量も少ない。
従って１本発明によれば、潤滑剤としての磁性流体１０
からの発塵量が少ない平面ベアリングを提供することが
できる。このことから、本発明の平面ベアリングを、ク
リーンルーム内のワーク搬送ユニットの直線案内機構等
に用いた場合は、該クリーンルーム内のクリーン度を低
下させることなく、高クリーン化を達成することができ
る。従って、ワークに塵が付着するのを減少または防止
して、半導体製品や磁気ディスク等の品質を向上できる
と共に、歩留まりも向上することができる。
からの発塵量が少ない平面ベアリングを提供することが
できる。このことから、本発明の平面ベアリングを、ク
リーンルーム内のワーク搬送ユニットの直線案内機構等
に用いた場合は、該クリーンルーム内のクリーン度を低
下させることなく、高クリーン化を達成することができ
る。従って、ワークに塵が付着するのを減少または防止
して、半導体製品や磁気ディスク等の品質を向上できる
と共に、歩留まりも向上することができる。
また、磁性流体１０が飛び散らないと共にほとんど蒸発
しないことから、潤滑剤の減り方が少なくなり、平面ベ
アリングを長寿命化することができる。
しないことから、潤滑剤の減り方が少なくなり、平面ベ
アリングを長寿命化することができる。
第１図は本発明による平面ベアリングの第一の実施例を
示す側面図、第２図は本発明の第二の実施例を示す側面
図、第３図は第二の実施例の変形例を示す側面図、第４
図は従来の平面ベアリングを示す側面図である。 ４・・・支持部材、 ５・・・可動部材、 ６・・・磁
石。 ７・・・接着剤、 ８・・・平面形成部材、 ９・・・
接着充てん剤、 １０・・・磁性流体、 １１・・・
常磁性体の薄板。 出願人 日立電子エンジニアリング株式会社第１図 第 ２ｍ
示す側面図、第２図は本発明の第二の実施例を示す側面
図、第３図は第二の実施例の変形例を示す側面図、第４
図は従来の平面ベアリングを示す側面図である。 ４・・・支持部材、 ５・・・可動部材、 ６・・・磁
石。 ７・・・接着剤、 ８・・・平面形成部材、 ９・・・
接着充てん剤、 １０・・・磁性流体、 １１・・・
常磁性体の薄板。 出願人 日立電子エンジニアリング株式会社第１図 第 ２ｍ
Claims (3)
- （１）固定側の支持部材と移動側の可動部材とを組み合
わせ、該両者の摺動面間に潤滑剤を介在させ、両者のす
べり接触により上記支持部材の長手方向に沿う可動部材
の直線運動を案内する平面ベアリングにおいて、上記可
動部材または支持部材のどちらか一方側の摺動面には磁
石を固定すると共に、この磁石が相手側部材に接触する
面を平面形成部材で覆って平坦に仕上げ、かつ上記潤滑
剤は磁性流体としたことを特徴とする平面ベアリング。 - （２）上記平面形成部材は、常磁性体を含有する接着充
てん剤であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の平面ベアリング。 - （３）上記平面形成部材は、常磁性体の板材であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の平面ベアリン
グ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5647787A JPS63225718A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 平面ベアリング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5647787A JPS63225718A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 平面ベアリング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63225718A true JPS63225718A (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=13028180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5647787A Pending JPS63225718A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 平面ベアリング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63225718A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003071143A3 (en) * | 2002-02-19 | 2003-12-18 | Rockwell Scient Licensing Llc | Mechanical translator with ultra low friction ferrofluid bearings |
| US6768230B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-07-27 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Multiple magnet transducer |
| US6798090B2 (en) | 2002-04-18 | 2004-09-28 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Electrical power generation by coupled magnets |
| US6812598B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-11-02 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Multiple magnet transducer with differential magnetic strengths |
| US7288860B2 (en) | 2002-02-19 | 2007-10-30 | Teledyne Licensing, Inc. | Magnetic transducer with ferrofluid end bearings |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5647787A patent/JPS63225718A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003071143A3 (en) * | 2002-02-19 | 2003-12-18 | Rockwell Scient Licensing Llc | Mechanical translator with ultra low friction ferrofluid bearings |
| US6768230B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-07-27 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Multiple magnet transducer |
| US6812598B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-11-02 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Multiple magnet transducer with differential magnetic strengths |
| US6833780B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-12-21 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Mechanical translator with ultra low friction ferrofluid bearings |
| US6917131B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-07-12 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Transverse mechanical translator with ferrofluid support |
| CN1333177C (zh) * | 2002-02-19 | 2007-08-22 | 洛克威尔科学许可有限公司 | 具有超低摩擦铁磁流体轴承的机械平移器 |
| US7288860B2 (en) | 2002-02-19 | 2007-10-30 | Teledyne Licensing, Inc. | Magnetic transducer with ferrofluid end bearings |
| USRE41626E1 (en) * | 2002-02-19 | 2010-09-07 | Teledyne Licensing, Llc | Multiple magnet transducer with differential magnetic strengths |
| US6798090B2 (en) | 2002-04-18 | 2004-09-28 | Rockwell Scientific Licensing, Llc | Electrical power generation by coupled magnets |
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