JPS63223519A - 表面形状測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （Ａ）産業上の利用分野 この発明は、機械工業における表面粗さやうねりなとの
測定器に間するものである。

（Ｂ）従来の技術 従来レーザーディスク用光ピックアップと同様な検出器
を用いて、そのフォーカスエラー信号から換算して粗さ
を測定する方法は、高感度であるが測定範囲が狭く、ま
た反射率変化によって感度が変化する欠点があった。

（Ｃ）発明が解決しようとする問題点 本発明は、このような欠点を改善することにより、光学
式粗さ計の用途の拡大を図ることを目的としたものであ
る。

（Ｄ）問題を解決するための手段 本発明においては ［イ］第１図の対物レンズ（３）をムービングコイル（
５）によって光軸方向に振動させるかまたは、［ロ］ピ
ックアップ筐体（７）全体を光軸方向に振動させること
により、レンズ（３）と被測定面（４）との距離を正弦
振動で変化させるかまたは、［ハ］（３）と（４）との
間の光路の一部の媒質の屈折率を振動的に変化させる ことにより対物レンズ（３）と被測定面（４）との光学
距離を振幅Ａ周期Ｔの正弦振動で変化させる。

第２１！Ｉに示すように基準時刻（８）から時間先の（
９）でフォーカスエラー信号の零値を検出したならば、 ｈ＝−Ａ−ｓ　ｉｎ　（（ｔ−Ｔ）　π／Ｔ）により、
ｔを測定することにより変位の情報りが得られる。

（Ｅ）発明の効果 本漬によれば、測定範囲を前記の振幅に近い１直まで拡
げることが可能になり、また反射率変化によるフォーカ
スエラー信号の感度変化も無視できた。レンズ撮動周波
数７００Ｈ２で、測定範囲５０μｍ、測定値の平均二乗
誤差３０ｎｍ以下を得ているが、なお改善の余地がある
。

時間間隔ｔをデジタル測定して多量のデータをメモリに
蓄えこれを処理することにより、円筒研削面のうねりの
ような超低空間周波数成分と粗さとの同時測定が可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本測定器の光学系の略図 第２図は測定原理図 １は光源（レーザーダイオード）　２は光源の実像　３
は対物レンズ　４は被測定面　５はレンズのムービング
コイル　６は光検出器　７は光ピックアップ筐体　８は
基準時点　９はフォーカスエラー信号零の時点

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 小型光源（１）を内蔵しその実像（２）を外部に作る光
   ピックアップ光学系の、対物レンズ（３）から被測定面
   （４）までの光学距離を一定周波数一定振幅の正弦振動
   で変化させ、表面に沿って、その振動の一定位相の時点
   （８）と実像が被測定面に合致する時点（９）との時間
   間隔を逐次サンプルすることにより、非接触で表面形状
   を測定する測定器。