JPS63223519A - 表面形状測定器 - Google Patents
表面形状測定器Info
- Publication number
- JPS63223519A JPS63223519A JP5928387A JP5928387A JPS63223519A JP S63223519 A JPS63223519 A JP S63223519A JP 5928387 A JP5928387 A JP 5928387A JP 5928387 A JP5928387 A JP 5928387A JP S63223519 A JPS63223519 A JP S63223519A
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- JP
- Japan
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- measured
- time
- optical
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(A)産業上の利用分野
この発明は、機械工業における表面粗さやうねりなとの
測定器に間するものである。
測定器に間するものである。
(B)従来の技術
従来レーザーディスク用光ピックアップと同様な検出器
を用いて、そのフォーカスエラー信号から換算して粗さ
を測定する方法は、高感度であるが測定範囲が狭く、ま
た反射率変化によって感度が変化する欠点があった。
を用いて、そのフォーカスエラー信号から換算して粗さ
を測定する方法は、高感度であるが測定範囲が狭く、ま
た反射率変化によって感度が変化する欠点があった。
(C)発明が解決しようとする問題点
本発明は、このような欠点を改善することにより、光学
式粗さ計の用途の拡大を図ることを目的としたものであ
る。
式粗さ計の用途の拡大を図ることを目的としたものであ
る。
(D)問題を解決するための手段
本発明においては
[イ]第1図の対物レンズ(3)をムービングコイル(
5)によって光軸方向に振動させるかまたは、[ロ]ピ
ックアップ筐体(7)全体を光軸方向に振動させること
により、レンズ(3)と被測定面(4)との距離を正弦
振動で変化させるかまたは、[ハ](3)と(4)との
間の光路の一部の媒質の屈折率を振動的に変化させる ことにより対物レンズ(3)と被測定面(4)との光学
距離を振幅A周期Tの正弦振動で変化させる。
5)によって光軸方向に振動させるかまたは、[ロ]ピ
ックアップ筐体(7)全体を光軸方向に振動させること
により、レンズ(3)と被測定面(4)との距離を正弦
振動で変化させるかまたは、[ハ](3)と(4)との
間の光路の一部の媒質の屈折率を振動的に変化させる ことにより対物レンズ(3)と被測定面(4)との光学
距離を振幅A周期Tの正弦振動で変化させる。
第21!Iに示すように基準時刻(8)から時間先の(
9)でフォーカスエラー信号の零値を検出したならば、 h=−A−s in ((t−T) π/T)により、
tを測定することにより変位の情報りが得られる。
9)でフォーカスエラー信号の零値を検出したならば、 h=−A−s in ((t−T) π/T)により、
tを測定することにより変位の情報りが得られる。
(E)発明の効果
本漬によれば、測定範囲を前記の振幅に近い1直まで拡
げることが可能になり、また反射率変化によるフォーカ
スエラー信号の感度変化も無視できた。レンズ撮動周波
数700H2で、測定範囲50μm、測定値の平均二乗
誤差30nm以下を得ているが、なお改善の余地がある
。
げることが可能になり、また反射率変化によるフォーカ
スエラー信号の感度変化も無視できた。レンズ撮動周波
数700H2で、測定範囲50μm、測定値の平均二乗
誤差30nm以下を得ているが、なお改善の余地がある
。
時間間隔tをデジタル測定して多量のデータをメモリに
蓄えこれを処理することにより、円筒研削面のうねりの
ような超低空間周波数成分と粗さとの同時測定が可能で
ある。
蓄えこれを処理することにより、円筒研削面のうねりの
ような超低空間周波数成分と粗さとの同時測定が可能で
ある。
第1図は本測定器の光学系の略図
第2図は測定原理図
1は光源(レーザーダイオード) 2は光源の実像 3
は対物レンズ 4は被測定面 5はレンズのムービング
コイル 6は光検出器 7は光ピックアップ筐体 8は
基準時点 9はフォーカスエラー信号零の時点
は対物レンズ 4は被測定面 5はレンズのムービング
コイル 6は光検出器 7は光ピックアップ筐体 8は
基準時点 9はフォーカスエラー信号零の時点
Claims (1)
- 小型光源(1)を内蔵しその実像(2)を外部に作る光
ピックアップ光学系の、対物レンズ(3)から被測定面
(4)までの光学距離を一定周波数一定振幅の正弦振動
で変化させ、表面に沿って、その振動の一定位相の時点
(8)と実像が被測定面に合致する時点(9)との時間
間隔を逐次サンプルすることにより、非接触で表面形状
を測定する測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5928387A JPS63223519A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 表面形状測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5928387A JPS63223519A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 表面形状測定器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63223519A true JPS63223519A (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=13108909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5928387A Pending JPS63223519A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 表面形状測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63223519A (ja) |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5928387A patent/JPS63223519A/ja active Pending
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