JPS63220512A - 電解コンデンサ用電極箔 - Google Patents
電解コンデンサ用電極箔Info
- Publication number
- JPS63220512A JPS63220512A JP62053322A JP5332287A JPS63220512A JP S63220512 A JPS63220512 A JP S63220512A JP 62053322 A JP62053322 A JP 62053322A JP 5332287 A JP5332287 A JP 5332287A JP S63220512 A JPS63220512 A JP S63220512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- electrolytic capacitor
- electrode foil
- micropores
- valve metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims description 22
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 29
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電解コンデンサ用電極箔に関するものである
。
。
従来の技術
電解コンデンサの電極箔は、コンデンサの小型化および
大容量化をねらいとして、従来からその表面をできる限
り巧妙にエツチングして表面積を増加する方法が行なわ
れてきた。たとえば、特開昭６１−５１８１７号公報お
よび同じく特開昭６１−５１８１８号公報には、アルミ
ニウム箔の表面に、電解エツチング液に対して耐性を有
すし、かつエツチング核を形成すべき多数の微細孔の形
成された耐性被膜が一体的に付着されてなる電解コンデ
ンサ用アルミニウム電極材、また、微細孔の形成にあた
っては、アルミニウム箔の表面に、金属若くは非金属の
微粒子を混入した被覆材を塗布した後、微粒子を除去す
ることにより、多数の微細孔の形成された耐性被膜を形
成できることが開示されている。
大容量化をねらいとして、従来からその表面をできる限
り巧妙にエツチングして表面積を増加する方法が行なわ
れてきた。たとえば、特開昭６１−５１８１７号公報お
よび同じく特開昭６１−５１８１８号公報には、アルミ
ニウム箔の表面に、電解エツチング液に対して耐性を有
すし、かつエツチング核を形成すべき多数の微細孔の形
成された耐性被膜が一体的に付着されてなる電解コンデ
ンサ用アルミニウム電極材、また、微細孔の形成にあた
っては、アルミニウム箔の表面に、金属若くは非金属の
微粒子を混入した被覆材を塗布した後、微粒子を除去す
ることにより、多数の微細孔の形成された耐性被膜を形
成できることが開示されている。
発明が解決しようとする問題点
従来技術の構成においては、第２図に示すように被膜１
０に設けた微細孔１３での弁作用金属１）のエツチング
にさいして、金属表面の状態によっては、微細孔ではエ
ツチングが起りに＜＜、ややもするとその表面に所望の
エッチピット１２の発生が行なわれない微細孔１３が、
かなりの割合で残ることになり、その結果、弁作用金属
１）の粗面化の程度がきわめてわるいものとなり、コン
デンサ容量の低下を招くことになる。
０に設けた微細孔１３での弁作用金属１）のエツチング
にさいして、金属表面の状態によっては、微細孔ではエ
ツチングが起りに＜＜、ややもするとその表面に所望の
エッチピット１２の発生が行なわれない微細孔１３が、
かなりの割合で残ることになり、その結果、弁作用金属
１）の粗面化の程度がきわめてわるいものとなり、コン
デンサ容量の低下を招くことになる。
本発明は、上記の問題点に鑑みて、弁作用金属上にまん
べんなく、均一にエッチピッＩ・を形成させることので
きる電極箔を提供する。
べんなく、均一にエッチピッＩ・を形成させることので
きる電極箔を提供する。
問題点を解決するだめの手段
上記のような問題点を解決するために、本発明は、アル
ミニウム、タンタル、チタニウム等の代表的な弁作用金
属の表面に多数の微細孔を有する被膜を形成し、これら
の微細孔を通して露出している弁作用金属の表面にべつ
の金属を付着させるというものである。
ミニウム、タンタル、チタニウム等の代表的な弁作用金
属の表面に多数の微細孔を有する被膜を形成し、これら
の微細孔を通して露出している弁作用金属の表面にべつ
の金属を付着させるというものである。
作用
本発明は、上記の構成によって、比較的にエツチングの
起りにくい微細孔でも、弁作用金属の上には、べつの金
属とりわけ責な金属を付着させると、局部電池作用によ
って、弁作用金属のエツチングが、はとんどすべての微
細孔で確実に行なわれることになり、表面積のきわめて
大きい所望のエツチング箔が得られることになる。
起りにくい微細孔でも、弁作用金属の上には、べつの金
属とりわけ責な金属を付着させると、局部電池作用によ
って、弁作用金属のエツチングが、はとんどすべての微
細孔で確実に行なわれることになり、表面積のきわめて
大きい所望のエツチング箔が得られることになる。
実施例
以下本発明の一実施例の電解コンデンサ用電極箔につい
て、第１図を参照しながら説明する。
て、第１図を参照しながら説明する。
代表的な弁作用金属１の一例としてアルミニウム箔上に
、直径２ミクロン程度のスチレン樹脂の微粒子を多数融
着させてから、７０ｇ／ｆｆはう酸水溶液で９０゛Ｃで
５０ｍＡ／ｃＪの電流密度で化成処理を行なって、約０
．２ミクロンの酸化物からなる被膜２を形成後、スチレ
ン微粒子トルエンで処理することによって除去すると、
アルミニウム箔上に、多数の微細孔３を有する被膜２が
形成できる。
、直径２ミクロン程度のスチレン樹脂の微粒子を多数融
着させてから、７０ｇ／ｆｆはう酸水溶液で９０゛Ｃで
５０ｍＡ／ｃＪの電流密度で化成処理を行なって、約０
．２ミクロンの酸化物からなる被膜２を形成後、スチレ
ン微粒子トルエンで処理することによって除去すると、
アルミニウム箔上に、多数の微細孔３を有する被膜２が
形成できる。
また、このような微細孔３を多数有する被膜のべつの形
成法は、アルミニウム箔にホトレジストを塗布してのち
に、マスクを用いて、露光、現像を順次行なうごとによ
って、微細孔３を有するレジストからなる被膜２を形成
してもよい。こうして多数の微細孔３を有する被膜を形
成したアルミニウム箔を０．０１％硫酸銅水溶液で３５
℃の音頭で１．５分間処理することによって、イオン化
傾向の差で、微細孔３から露出している金属表面に、貴
金属４の銅を付着させる。このとき、銅は、微粒子とな
って、弁作用金属１に付着する。しかるのちに、アルミ
ニウム箔を塩素イオン系水溶液で、通常の陽極溶解によ
るエバｙ・ングを行なうと、アルミニウムには、まんべ
んなく、かつ、均一にエッチピット５が生じ、その結果
、所望の非常に粗面化されたエツチング状８６が得られ
る。このようにしてエツチングされたアルミニウム箔を
用いてコンデンサを作製して、その容量を測定したとこ
ろ、このような処理を施さない従来例の場合と比べて、
コンデンサ容量は、１５〜２０％増加した。
成法は、アルミニウム箔にホトレジストを塗布してのち
に、マスクを用いて、露光、現像を順次行なうごとによ
って、微細孔３を有するレジストからなる被膜２を形成
してもよい。こうして多数の微細孔３を有する被膜を形
成したアルミニウム箔を０．０１％硫酸銅水溶液で３５
℃の音頭で１．５分間処理することによって、イオン化
傾向の差で、微細孔３から露出している金属表面に、貴
金属４の銅を付着させる。このとき、銅は、微粒子とな
って、弁作用金属１に付着する。しかるのちに、アルミ
ニウム箔を塩素イオン系水溶液で、通常の陽極溶解によ
るエバｙ・ングを行なうと、アルミニウムには、まんべ
んなく、かつ、均一にエッチピット５が生じ、その結果
、所望の非常に粗面化されたエツチング状８６が得られ
る。このようにしてエツチングされたアルミニウム箔を
用いてコンデンサを作製して、その容量を測定したとこ
ろ、このような処理を施さない従来例の場合と比べて、
コンデンサ容量は、１５〜２０％増加した。
発明の効果
以」二のように本発明は、弁作用金属の表面に、多数の
微細孔を有する被膜を形成し、微細孔から露出している
弁作用金属の表面に、べつの金属を付着させることによ
って、弁作用金属の微細孔でのエソチンにさいて、局部
電池作用を利用して、より確実にエツチングを行なわせ
ることが可能であり、その結果、電極箔の粗面化が従来
より格段に大きくなることから、電解コンデンサの小型
化ないしは、大容量化に大いに貢献できるものとなる。
微細孔を有する被膜を形成し、微細孔から露出している
弁作用金属の表面に、べつの金属を付着させることによ
って、弁作用金属の微細孔でのエソチンにさいて、局部
電池作用を利用して、より確実にエツチングを行なわせ
ることが可能であり、その結果、電極箔の粗面化が従来
より格段に大きくなることから、電解コンデンサの小型
化ないしは、大容量化に大いに貢献できるものとなる。
第１図は、本発明の一実施例における電解コンデンサ用
電極箔の断面図、第２図は、従来例の電解コンデンサ用
電極箔の断面図である。 １．１）・・・・・・弁作用金属、２，１０・・・・・
・被膜、３゜１３・・・・・・微細孔、４・・・・・・
金属、５，１２・・・・・・エッチピット、１・・・・
・・エツチング状態。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図 ４全属 ５エツチピント 第２図
電極箔の断面図、第２図は、従来例の電解コンデンサ用
電極箔の断面図である。 １．１）・・・・・・弁作用金属、２，１０・・・・・
・被膜、３゜１３・・・・・・微細孔、４・・・・・・
金属、５，１２・・・・・・エッチピット、１・・・・
・・エツチング状態。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図 ４全属 ５エツチピント 第２図
Claims (5)
- （１）弁作用金属の表面に多数の微細孔を有する被膜を
形成し、前記微細孔から露出している前記弁作用金属の
前記表面に金属を付着させてなる電解コンデンサ用電極
箔。 - （２）被膜が弁作用金属の酸化物である特許請求の範囲
第（１）項記載の電解コンデンサ用電極箔。 - （３）被膜がホトレジストの如き樹脂膜である特許請求
の範囲第（１）項記載の電解コンデンサ用電極箔。 - （４）金属は、弁作用金属自体より、イオン化序列でよ
り貴である特許請求の範囲第（１）項記載の電解コンデ
ンサ用電極箔。 - （５）金属は、微粒子である特許請求の範囲第（１）項
記載の電解コンデンサ用電極箔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62053322A JPS63220512A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 電解コンデンサ用電極箔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62053322A JPS63220512A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 電解コンデンサ用電極箔 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63220512A true JPS63220512A (ja) | 1988-09-13 |
Family
ID=12939483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62053322A Pending JPS63220512A (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 電解コンデンサ用電極箔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63220512A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022024431A (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910571A (ja) * | 1982-06-18 | 1984-01-20 | テア（テラプテイク・エ・アプリカシオン）エス・ア− | 医薬品として使用可能なピリダジノンの誘導体、及びそれの製造方法 |
| JPS6151817A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材及びその製造方法 |
| JPS6151818A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 |
-
1987
- 1987-03-09 JP JP62053322A patent/JPS63220512A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910571A (ja) * | 1982-06-18 | 1984-01-20 | テア（テラプテイク・エ・アプリカシオン）エス・ア− | 医薬品として使用可能なピリダジノンの誘導体、及びそれの製造方法 |
| JPS6151817A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材及びその製造方法 |
| JPS6151818A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-14 | 昭和アルミニウム株式会社 | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022024431A (ja) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | ニチコン株式会社 | 電解コンデンサ用電極箔およびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009235438A (ja) | エッチング液、該エッチング液を用いたエッチング方法および被エッチング基板 | |
| JPS6146560B2 (ja) | ||
| US3294653A (en) | Method for fabricating printed circuit components | |
| JPS63220512A (ja) | 電解コンデンサ用電極箔 | |
| US3816273A (en) | Method of chemically forming wire | |
| JPH11307400A (ja) | 固体電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPS6151817A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材及びその製造方法 | |
| JPH043409A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 | |
| JPS6151818A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 | |
| JPS6379311A (ja) | 電解コンデンサ用電極箔とその製造方法 | |
| JPS59161808A (ja) | 電解コンデンサの製造方法 | |
| JPS6328027A (ja) | 電解コンデンサ用電極箔とその製造方法 | |
| Allen et al. | Manufacture of stainless steel edge filters: an application of electrolytic photopolishing | |
| JPH09111499A (ja) | 超硬鋼板材のパターン形成方法 | |
| JP3248251B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPH01282813A (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム材料の製造方法 | |
| JPH0566007B2 (ja) | ||
| JPH01189907A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 | |
| JP2001297950A (ja) | アルミ電解コンデンサ用陽極箔の製造方法 | |
| JPS63299309A (ja) | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JP2638038B2 (ja) | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 | |
| JPH037756B2 (ja) | ||
| JPS61288411A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム電極材の製造方法 | |
| JPH0113097B2 (ja) | ||
| JPH108299A (ja) | アルミニウムエッチング箔とその製造方法 |