JPS63216933A - アルミニウム溶湯の濾過方法 - Google Patents
アルミニウム溶湯の濾過方法Info
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- JPS63216933A JPS63216933A JP62047807A JP4780787A JPS63216933A JP S63216933 A JPS63216933 A JP S63216933A JP 62047807 A JP62047807 A JP 62047807A JP 4780787 A JP4780787 A JP 4780787A JP S63216933 A JPS63216933 A JP S63216933A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、アルミニウムまたはアルミニウム合金（以下
、両者を併せて単にアルミニウムという）溶湯中に含ま
れる介在物の濾過方法に関するものある。
、両者を併せて単にアルミニウムという）溶湯中に含ま
れる介在物の濾過方法に関するものある。
従来の技術
近年、アルミニウム製品の高品質化の要求に伴い、鋳塊
の溶解鋳造における溶湯処理の品質管理、特に溶湯中の
介在物の管理については、その重要性が強く認識されて
きている。この背景には、電子機器などの先端技術分野
へのアルミニウム材料の適用範囲が拡大されてきたこと
と、磁気ディスク材、スパッターターゲット材、ボンデ
ィングワイヤー、箔地に代表されるように、製品の薄肉
化および表面の加工精度などが著しく進んできたことが
ある。従って、従来では全く問題視されなかった微小介
在物や晶出物の大きさが、製品欠陥に直接結び付くよう
になり、磁気ディスクメディアの性能欠陥、スパッター
性能の劣化、伸線破断等のトラブルとして現れるので、
高品質素材への要求は一段と厳しいものとなってきてい
る。
の溶解鋳造における溶湯処理の品質管理、特に溶湯中の
介在物の管理については、その重要性が強く認識されて
きている。この背景には、電子機器などの先端技術分野
へのアルミニウム材料の適用範囲が拡大されてきたこと
と、磁気ディスク材、スパッターターゲット材、ボンデ
ィングワイヤー、箔地に代表されるように、製品の薄肉
化および表面の加工精度などが著しく進んできたことが
ある。従って、従来では全く問題視されなかった微小介
在物や晶出物の大きさが、製品欠陥に直接結び付くよう
になり、磁気ディスクメディアの性能欠陥、スパッター
性能の劣化、伸線破断等のトラブルとして現れるので、
高品質素材への要求は一段と厳しいものとなってきてい
る。
溶融アルミニウムを濾過する濾過機としては、フィルタ
ーに米国特許第３，５２４，５４８号又は特開昭５２−
２２，３２７号に提案されているようなセラミック製の
多孔質体を使用する例が多い。
ーに米国特許第３，５２４，５４８号又は特開昭５２−
２２，３２７号に提案されているようなセラミック製の
多孔質体を使用する例が多い。
またその介在物除去性能に着目すると、従来の濾過機の
中では最も微細なものまで除去する。
中では最も微細なものまで除去する。
しかし、前記濾過機は、濾過機の入湯と出湯の湯面のレ
ベル差に基づくメタルヘッド差を利用して濾過する機構
であるので、フィルターの気孔径は通常２００μｍ以上
であって、使用開始時の抵抗が高くなることから、これ
より細かい孔径とすることは不可能である。また、この
場合の′ｐｉ過状況を顕微鏡観察すると、非金属介在物
は凝集フロックとして存在し、フィルター孔にブリッジ
を形成し、そのケーキ層によって濾過が行われるため、
現実には孔径より遥かに細かな粒子まで捕捉されている
。しかし、介在物除去効率を高めるため濾過速度を最小
にして運転しても、その介在物除去効率は、溶湯不溶性
微細ＴｉＢ２をアルミニウム溶湯の介在物として添加し
て濾過し、濾過された溶湯中の酸不溶性Ｔｉを化学分析
して求めた結果、従来の濾過効率は第１図（Ｂ）に示す
ように５０％以下であった。
ベル差に基づくメタルヘッド差を利用して濾過する機構
であるので、フィルターの気孔径は通常２００μｍ以上
であって、使用開始時の抵抗が高くなることから、これ
より細かい孔径とすることは不可能である。また、この
場合の′ｐｉ過状況を顕微鏡観察すると、非金属介在物
は凝集フロックとして存在し、フィルター孔にブリッジ
を形成し、そのケーキ層によって濾過が行われるため、
現実には孔径より遥かに細かな粒子まで捕捉されている
。しかし、介在物除去効率を高めるため濾過速度を最小
にして運転しても、その介在物除去効率は、溶湯不溶性
微細ＴｉＢ２をアルミニウム溶湯の介在物として添加し
て濾過し、濾過された溶湯中の酸不溶性Ｔｉを化学分析
して求めた結果、従来の濾過効率は第１図（Ｂ）に示す
ように５０％以下であった。
発明が解決しようとする問題点
本発明は、前記従来濾過機での介在物捕捉粒子よりさら
に微細な、従来方法では除去が困難であった細かな粒径
の介在物（単粒子径として２μｍ以下）をも捕捉し、高
い介在物除去効率を達成する紹過方法を提供するもので
ある。
に微細な、従来方法では除去が困難であった細かな粒径
の介在物（単粒子径として２μｍ以下）をも捕捉し、高
い介在物除去効率を達成する紹過方法を提供するもので
ある。
問題点を解決するための手段
かくして、本発明によれば、アルミニウムまたはアルミ
ニウム合金を濾過する方法において、平均気孔径が１０
〜５０μｍであるフィルターを使用し、フィルター部で
の濾過速度が０．０５〜０゜８ ｃ＋＋／ｓｅｃとなる
ように加圧濾過することを特徴とするアルミニウム溶湯
の濾過方法が提供される。
ニウム合金を濾過する方法において、平均気孔径が１０
〜５０μｍであるフィルターを使用し、フィルター部で
の濾過速度が０．０５〜０゜８ ｃ＋＋／ｓｅｃとなる
ように加圧濾過することを特徴とするアルミニウム溶湯
の濾過方法が提供される。
即ち、従来の溶湯の重力濾過の代わりに、・逼かに微細
平均孔径のフィルターを用いて加圧濾過することにより
、微細介在物の除去を行なうものである。
平均孔径のフィルターを用いて加圧濾過することにより
、微細介在物の除去を行なうものである。
本発明における濾過の機構は濾過後のフィルターを観察
した結果、フィルター表面に介在物をトラップする表面
濾過主体の濾過機構である。
した結果、フィルター表面に介在物をトラップする表面
濾過主体の濾過機構である。
発明者らは、アルミニウム溶湯にＴｉＢ２ハードナーを
添加し、溶湯中のＴｉＢ２微細粒子を介在物の指標とし
、平均孔径の異なるフィルターを用い、溶湯の加圧濾過
速度とＴｉｈ除去率の関係を調べ、第１図曲線（Ａ）の
如き関係を得た。この結果等を考慮し、フィルターの平
均気孔径は、１０−５０μｍ、好ましくは１０〜３０μ
ｍの範囲であって、１０μｍ未満では濾過抵抗が大とな
り現実的に使用不適当で、また５０μｍを超える場合は
微小介在物が漏出し易く介在物の除去効率が低下する。
添加し、溶湯中のＴｉＢ２微細粒子を介在物の指標とし
、平均孔径の異なるフィルターを用い、溶湯の加圧濾過
速度とＴｉｈ除去率の関係を調べ、第１図曲線（Ａ）の
如き関係を得た。この結果等を考慮し、フィルターの平
均気孔径は、１０−５０μｍ、好ましくは１０〜３０μ
ｍの範囲であって、１０μｍ未満では濾過抵抗が大とな
り現実的に使用不適当で、また５０μｍを超える場合は
微小介在物が漏出し易く介在物の除去効率が低下する。
このような気孔径を有するフィルターを使用し、アルゴ
ンガス等の不活性ガスの加圧下で溶湯が通過する実用最
小濾過速度範囲で濾過することにより微小介在物をトラ
ップするプレコート層が絶層に形成され、微小介在物の
除去効果を著しく改善することができる。濾過速度とし
ては、０．０５〜０゜８ ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは、
０．０５〜０．３ ｃｍ／ｓｅｃの範囲で、０ 、０５
ｃｍ／ｓｅｃ未満では、濾過時間が長くなり実用的で
なく、また、加圧圧力を増し、濾過速度が０・８ ｃｍ
／ｓｅｃを超えると形成されたプレコート層が破れる恐
れがあり、微小介在物の除去効率が低下し好ましくなく
、上記範囲の濾過速度となるよう加圧圧力を調整する。
ンガス等の不活性ガスの加圧下で溶湯が通過する実用最
小濾過速度範囲で濾過することにより微小介在物をトラ
ップするプレコート層が絶層に形成され、微小介在物の
除去効果を著しく改善することができる。濾過速度とし
ては、０．０５〜０゜８ ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは、
０．０５〜０．３ ｃｍ／ｓｅｃの範囲で、０ 、０５
ｃｍ／ｓｅｃ未満では、濾過時間が長くなり実用的で
なく、また、加圧圧力を増し、濾過速度が０・８ ｃｍ
／ｓｅｃを超えると形成されたプレコート層が破れる恐
れがあり、微小介在物の除去効率が低下し好ましくなく
、上記範囲の濾過速度となるよう加圧圧力を調整する。
なお、フィルターとしては、Ａｌ２Ｏ３，ＳｉＣ，Ｓｉ
３Ｎ４等を主成分とするセラミック材を骨材としたもの
が好適に使用される。
３Ｎ４等を主成分とするセラミック材を骨材としたもの
が好適に使用される。
更にアルミニウムーマグネシウム合金系へＴｉｈを添加
した溶湯の場合、より良好な介在物除去効率を得たが、
これはＭｇＯあるいはスピネルとＴｉＢ＋の凝集フロッ
ク化が促進されるためと解釈される。
した溶湯の場合、より良好な介在物除去効率を得たが、
これはＭｇＯあるいはスピネルとＴｉＢ＋の凝集フロッ
ク化が促進されるためと解釈される。
ここに示した濾過圧及び濾過速度はアルニウム及びアル
ミニウム合金地金を通常の溶製法で前処理した溶湯につ
い、ての値であり、特殊な溶湯（例えば介在物を大量に
含むもの）は、この限りでない。
ミニウム合金地金を通常の溶製法で前処理した溶湯につ
い、ての値であり、特殊な溶湯（例えば介在物を大量に
含むもの）は、この限りでない。
本発明の後述する実施例で使用したアルミニウム溶湯濾
過装置の概念図を第２図の縦断面図に示す。るつぼ（２
）は装置本体く１）内に配置され、電熱コイルク３）に
よりるつぼ内に投入した供試材を溶融して、約７２０℃
の温度に保持する。本装置例では濾過後の溶湯をアルゴ
ンガス等の不活性ガスを供給し、ルツボ同様電熱コイル
で加熱した樋（７）を介して次の装置に供給するもので
あるが、濾過溶湯を直接黒鉛るつぼ等に不活性ガス雰囲
気下で受は取ることもてきる。
過装置の概念図を第２図の縦断面図に示す。るつぼ（２
）は装置本体く１）内に配置され、電熱コイルク３）に
よりるつぼ内に投入した供試材を溶融して、約７２０℃
の温度に保持する。本装置例では濾過後の溶湯をアルゴ
ンガス等の不活性ガスを供給し、ルツボ同様電熱コイル
で加熱した樋（７）を介して次の装置に供給するもので
あるが、濾過溶湯を直接黒鉛るつぼ等に不活性ガス雰囲
気下で受は取ることもてきる。
濾過処理に際しては、加圧蓋（４）を閉じて導管（５）
からアルゴンガス等の加圧気体をるつぼ（７）の溶湯上
面空間に導き、この加圧により溶湯をるつぼ底部に設け
た所定のフィルター（６）に通し、前記樋を介して黒鉛
るつぼで受は取り、冷却固化するものである。
からアルゴンガス等の加圧気体をるつぼ（７）の溶湯上
面空間に導き、この加圧により溶湯をるつぼ底部に設け
た所定のフィルター（６）に通し、前記樋を介して黒鉛
るつぼで受は取り、冷却固化するものである。
本濾過装置に関しては、るつぼ内のメタルレベル検出、
または濾過メタル量を計量し、アルゴンガス等による加
圧を停止して、再び注湯し、加圧するように、操作を全
て自動化することも可能である。また、装置本体（１）
及びるつぼ（２）をフィルター部（６）で二分割し、フ
ィルターの交換を容易にすることもできる。
または濾過メタル量を計量し、アルゴンガス等による加
圧を停止して、再び注湯し、加圧するように、操作を全
て自動化することも可能である。また、装置本体（１）
及びるつぼ（２）をフィルター部（６）で二分割し、フ
ィルターの交換を容易にすることもできる。
実施例
以下、実施例により本発明をさらに具体的に説明する。
実施例 １
９９ 、９９７＄Ａ Ｉ Ｃ： Ｔ ｉ ８２ バー
トナー（５ＸＴｉ＋１＄８＋残ＡＩ）をｏ、ｉ％添加し
た地金２０ｋｇを７３０℃で、第２図に示す濾過装置の
上部るつぼ内でアルゴン雰囲気中で溶解した。溶解後、
Ｃ１２ガスで脱ガス処理し、７１０±５℃で、１．０時
間鎮静した。続いて直径１００ｍｍ、厚さ１５ｍｍ、平
均気孔径２１ Ｂ ｎｔのアルミナを骨材としたアイコ
ー（株）製フィルターを使用し、濾過圧１ 、０ ｋｇ
７ｃｍ２（ｙＪ！過速度０．］６ＣＦｌｌ／５ｅｃ）で
アルゴンガスにより加圧濾過した。濾過溶湯な樋下流に
設けた黒鉛るつぼにアルゴンガス雰囲気下で受は取り冷
却固化した。酸不溶性Ｔｉを化学分析した結果、濾過前
はｓ＜ｐｐｍ、濾過後は１．０ｐｐｍで介在物除去効率
８８．１％が得られた。
トナー（５ＸＴｉ＋１＄８＋残ＡＩ）をｏ、ｉ％添加し
た地金２０ｋｇを７３０℃で、第２図に示す濾過装置の
上部るつぼ内でアルゴン雰囲気中で溶解した。溶解後、
Ｃ１２ガスで脱ガス処理し、７１０±５℃で、１．０時
間鎮静した。続いて直径１００ｍｍ、厚さ１５ｍｍ、平
均気孔径２１ Ｂ ｎｔのアルミナを骨材としたアイコ
ー（株）製フィルターを使用し、濾過圧１ 、０ ｋｇ
７ｃｍ２（ｙＪ！過速度０．］６ＣＦｌｌ／５ｅｃ）で
アルゴンガスにより加圧濾過した。濾過溶湯な樋下流に
設けた黒鉛るつぼにアルゴンガス雰囲気下で受は取り冷
却固化した。酸不溶性Ｔｉを化学分析した結果、濾過前
はｓ＜ｐｐｍ、濾過後は１．０ｐｐｍで介在物除去効率
８８．１％が得られた。
Ｔｉｈハードナーに使用したＴｉ［ｈの粒度分布は測定
の結果、次の第１表に示すとおりて、２μｍ未満が９８
．７％を占めており、本発明濾過方法では２μｍ以下の
微細介在物を大部分除去していることが判る。
の結果、次の第１表に示すとおりて、２μｍ未満が９８
．７％を占めており、本発明濾過方法では２μｍ以下の
微細介在物を大部分除去していることが判る。
第 ｌ 衷
また、上記と同様の操作を濾過圧２ 、０ ｋｇ／ｃｍ
２（濾過速度０ 、２４ ｃｍ／５ｅｃ）で実施した場
合の酸不溶性ＴＩは濾過前７．５ｐｐｍに対し、濾過後
１．３ｐｐｍであり、介在物除去効率は８２．７％であ
った。
２（濾過速度０ 、２４ ｃｍ／５ｅｃ）で実施した場
合の酸不溶性ＴＩは濾過前７．５ｐｐｍに対し、濾過後
１．３ｐｐｍであり、介在物除去効率は８２．７％であ
った。
実施例 ２
実施例１と同様の濾過操作を平均気孔径４５μｍのフィ
ルターで行なった。濾過圧０ 、２ ｋｇ／ｃｍ２（濾
過速度０ 、１２ ｃｍ／５ｅｅ）で酸不溶性Ｔｉは目
通前７ 、７ ｐｐｍ、 ｉｇ過後後３、６ ｐｐｍで
あり、介在物除去前７．７ｐｐｍ、 濾過後３ 、６
ＴＩＰＩＩＩであり、介在物除去効率は５３．３％であ
った。
ルターで行なった。濾過圧０ 、２ ｋｇ／ｃｍ２（濾
過速度０ 、１２ ｃｍ／５ｅｅ）で酸不溶性Ｔｉは目
通前７ 、７ ｐｐｍ、 ｉｇ過後後３、６ ｐｐｍで
あり、介在物除去前７．７ｐｐｍ、 濾過後３ 、６
ＴＩＰＩＩＩであり、介在物除去効率は５３．３％であ
った。
実施例 ３
９９．９％ＡＩニＴｉＢ２バーＦす（５ＸＴｉ＋０．１
７Ｂ＋残ＡＩ）を０．６％添加した溶製１０ｔを東京高
級濾材（株）製のセラミック製多孔質体のポーラス・チ
ューブフィルターで濾過後、ＤＣ鋳造した。
７Ｂ＋残ＡＩ）を０．６％添加した溶製１０ｔを東京高
級濾材（株）製のセラミック製多孔質体のポーラス・チ
ューブフィルターで濾過後、ＤＣ鋳造した。
スラブサンプル１０ｋｇを実施例１と同様、アルゴン雰
囲気下、７２０℃±５℃で溶製し、２１μｍフィルター
を使用し、濾過圧１．０ｋｇ／ｃｍ２（ＦＪ過速度０
、０９ ｃｎ＋／５ｅｃ）で加圧濾過した。酸不溶性Ｔ
ｉは濾過前３．６ｐｐＲ＋、 １過後０ 、１ ｐｐｎ
＋であり、介在物除去効率は９７．２％が得られた。
囲気下、７２０℃±５℃で溶製し、２１μｍフィルター
を使用し、濾過圧１．０ｋｇ／ｃｍ２（ＦＪ過速度０
、０９ ｃｎ＋／５ｅｃ）で加圧濾過した。酸不溶性Ｔ
ｉは濾過前３．６ｐｐＲ＋、 １過後０ 、１ ｐｐｎ
＋であり、介在物除去効率は９７．２％が得られた。
実施例 ４
ＡＩ−４％Ｍｇ合金（Ｍｇ ４．０６χ、 Ｓｉ Ｏ，
００５％、 Ｆｅ Ｏ，００１Ｚ、 Ｃｕ Ｏ，００１
３χ）ニＴｉＢ２ハードナー （５＄Ｔｉ＋ｌＸ８＋残
ＡＩ）を０．１％添加した地金１０ｋｇを、実施例Ｉと
同様アルゴン雰囲気下、７１０±５℃で溶製し、平均気
孔径４５μｍのフィルターでアルゴン加圧下で濾過圧（
濾過速度）を所定範囲内で種々変更し濾過した。結果を
第２表に示す。
００５％、 Ｆｅ Ｏ，００１Ｚ、 Ｃｕ Ｏ，００１
３χ）ニＴｉＢ２ハードナー （５＄Ｔｉ＋ｌＸ８＋残
ＡＩ）を０．１％添加した地金１０ｋｇを、実施例Ｉと
同様アルゴン雰囲気下、７１０±５℃で溶製し、平均気
孔径４５μｍのフィルターでアルゴン加圧下で濾過圧（
濾過速度）を所定範囲内で種々変更し濾過した。結果を
第２表に示す。
第２表から判るように、高い介在物除去効率が示される
。
。
第２表
発明の効果
本発明によれば、アルミニ”ｙ Ａ溶湯の濾過に、従来
試みられなかった微細気孔径のフィルターを用い加圧濾
過することにより、アルミニウム中の微細な介在物を高
い除去効率で除去することができ、本発明は高品位アル
ミニラ１１材に対する要請に応える優れた工業的発明で
ある。
試みられなかった微細気孔径のフィルターを用い加圧濾
過することにより、アルミニウム中の微細な介在物を高
い除去効率で除去することができ、本発明は高品位アル
ミニラ１１材に対する要請に応える優れた工業的発明で
ある。
第１図はアルミニウム溶湯のｌ！過における濾材の平均
気孔径と介在物除去効果の関係を示す図面で、第２図は
本発明に使用した絶後装置の概略構造を示す縦断面図で
ある。 （１）・・・装置本体、（２）・・・るつぼ、（３）・
・・電熱コイル。 （４）・・・加圧蓋、（５）・・・不活性ガス導管、（
６）・・・フィルター、（７）・・・樋。
気孔径と介在物除去効果の関係を示す図面で、第２図は
本発明に使用した絶後装置の概略構造を示す縦断面図で
ある。 （１）・・・装置本体、（２）・・・るつぼ、（３）・
・・電熱コイル。 （４）・・・加圧蓋、（５）・・・不活性ガス導管、（
６）・・・フィルター、（７）・・・樋。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、アルミニウムまたはアルミニウム合金を濾過する方
法において、平均気孔径が１０〜５０μｍであるフィル
ターを使用し、フィルター部での濾過速度が０．０５〜
０．８ｃｍ／ｓｅｃとなるように加圧濾過することを特
徴とするアルミニウム溶湯の濾過方法。 ２、前記フィルターが、Ａｌ＿２Ｏ＿３、ＳｉＣまたは
Ｓｉ＿３Ｎ＿４を主成分とするセラミック材を骨材とす
るものである特許請求の範囲第１項記載のアルミニウム
溶湯の濾過方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62047807A JPS63216933A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | アルミニウム溶湯の濾過方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62047807A JPS63216933A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | アルミニウム溶湯の濾過方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63216933A true JPS63216933A (ja) | 1988-09-09 |
| JPH0422977B2 JPH0422977B2 (ja) | 1992-04-21 |
Family
ID=12785636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62047807A Granted JPS63216933A (ja) | 1987-03-04 | 1987-03-04 | アルミニウム溶湯の濾過方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63216933A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03281738A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-12 | Ngk Insulators Ltd | 金属溶湯用濾材とそれを用いた金属溶湯の濾過方法 |
| JP2003531289A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | トーソー エスエムディー，インク． | スパッターリング時の粒子状放出物を少なくするためのスパッターターゲットとそれを製造する方法 |
| US7138084B2 (en) | 2000-08-31 | 2006-11-21 | Foseco International Limited | Refractory articles |
-
1987
- 1987-03-04 JP JP62047807A patent/JPS63216933A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03281738A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-12 | Ngk Insulators Ltd | 金属溶湯用濾材とそれを用いた金属溶湯の濾過方法 |
| JP2003531289A (ja) * | 2000-04-14 | 2003-10-21 | トーソー エスエムディー，インク． | スパッターリング時の粒子状放出物を少なくするためのスパッターターゲットとそれを製造する方法 |
| US7138084B2 (en) | 2000-08-31 | 2006-11-21 | Foseco International Limited | Refractory articles |
| EP1282477B2 (en) † | 2000-08-31 | 2007-10-03 | Foseco International Limited | Refractory articles |
| US8158053B2 (en) | 2000-08-31 | 2012-04-17 | Foseco International Limited | Refractory articles |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0422977B2 (ja) | 1992-04-21 |
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Legal Events
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