JPS63202095A - Parts mounter - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、チップコンデンサやチップ抵抗のような小型
の部品を基板に装着する装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to an apparatus for mounting small components such as chip capacitors and chip resistors on a substrate.

（口〉　従来の技術 上記の如き装置においては、真空吸着装置により部品の
ピックアンドプレースを行なうのが一般的である。この
種装置で高速生産を目積したものは、部品装着ステーシ
ョンにおいて、真空吸着装置を一定点に停止させ、この
真空吸着装置に基板の部品装着個所が一致するよう、基
板支持装置の方を適宜移ａきせる構成をとっている。そ
して多くの従来装置では、真空吸着装置が停止す゛べき
点を座標の基準点として、基板支持装置の位置決め制御
を行なっていたので、基板の目標個所に部品を精度良く
置くためには、真空吸着装置と部品との相対位置そのも
のを正確に設定する必要があった。このため、例えば特
開昭６０−６７０８９号公報に記１１２きれた装置では
、部品を四方から矯正爪で挾みつけて真空吸着装置に対
するセンタリングを行なっている。ところでこのように
部品を四方から挾む場合、実際には、１軸方向の力（部
品の長辺方向の力）と他軸方向の力（部品の短辺方向の
力）との干渉を避けるため、２対の相対向する矯正爪を
、１対づつ時間差をもって動作させることが必要になり
、これが装置全体としての動作の高速化を阻む一つの要
因となっていた。この問題を解決するのに、真空吸着装
置の側に矯正爪を組み込むというのも一方策である０例
えば特開昭６１−８２３４号公報に記載キれた装置のよ
うなものである。こうすれは、特開昭６０−６７０８９
号公報の装置のように、装置の停止期間中、それも真空
吸着装置の下降・上昇時間を除いた僅かな時間内にセン
タリング動作を完結する必要がなく、真空吸着装置が部
品を保持している期間であれば、停止期間、移動期間を
問わずセンタリングを行なえるから、これをもって動作
高速化の足を引っ張るようなことがない。しかしながら
反面、真空吸着装置のユニット毎の重量は増加し、ロー
タリーインデックステーブルに多数の真空吸着装置を配
備するような場合には回転系の質量が著しく大きくなり
、この面から動作の高速化に制約が生じる。それではど
うするか。全く別の方向からのアプローチとして、真空
吸着装置に対する部品のセンタリングを行なわない、と
いう考え方がある。その例を、特開昭５９−８４４９９
号公報、あるいは特開昭６０−２８２９８号公報に見る
ことができる。そこでは、真空吸着装置に吸着された部
品を視覚似、識し、真空吸着装置に対ｊる部品の位置ず
れ量を算出し、その位置ずれ量に見合う分だけ基板支持
装置の位置決め停止位置を補正しで、結果として基板の
所定個所に正しく部品が置かれるようにしている。この
方法ならば、矯正爪でセンタリングを行なうというメカ
ニカルな手法と異なり、質量のあるものを高速で動かす
ことに由来する、あるいは回転系の質量が増大すること
に由来する、物理的諸問題を免れることができ、部品供
給装置からの部品のピックアップに、または基板への部
品装着に必要な、最小限のタクトタイム内で所要の演算
処理を行なって、装置の作業能力を大幅に改善できる可
能性を秘めている。ところで上記特開昭５９−８４４９
９号、同６〇−２８２９８号公報記載の装置は、いずれ
も、部品の角度ずれをも視覚認識し、その結果に基き真
空吸着装置側で部品を角度補正、あるいは方向つけする
ようにしている。そのため、演算処理すべき情報量の増
大と、角度補正メカニズムの付設による移動系の質量増
大の２点が、動作高速化阻害要因として新たに浮上して
いた。(Example) Conventional technology In the above-mentioned equipment, it is common to pick and place parts using a vacuum suction device.In this type of equipment aimed at high-speed production, a vacuum suction device is used at the component mounting station. The structure is such that the suction device is stopped at a fixed point, and the substrate support device is moved as appropriate so that the part mounting location on the board matches the vacuum suction device.In many conventional devices, the vacuum suction device The positioning of the substrate support device was controlled using the point at which the vacuum suction device should stop as the coordinate reference point, so in order to accurately place the component at the target location on the substrate, the relative position of the vacuum suction device and the component must be precisely adjusted. For this reason, for example, in the device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-67089, the centering of the part with respect to the vacuum suction device is performed by pinching the part with straightening claws from all sides. In order to avoid interference between the force in one axis (force in the direction of the long side of the part) and the force in the other axis (force in the direction of the short side of the part), It became necessary to operate the two pairs of opposing correction claws at different times, which was one of the factors that prevented the overall operation of the device from increasing in speed.To solve this problem, One solution is to incorporate a correction claw on the side of the vacuum suction device.For example, there is a device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-8234.
Unlike the device in the publication, it is not necessary to complete the centering operation within a short period of time, excluding the descending and rising time of the vacuum suction device, while the device is stopped, and the vacuum suction device holds the parts. Since centering can be performed regardless of the stop period or the moving period, this will not hinder the speeding up of the operation. However, on the other hand, the weight of each vacuum suction device unit increases, and when a large number of vacuum suction devices are installed on a rotary index table, the mass of the rotating system becomes significantly large, which limits the speed of operation. occurs. So what should we do? As an approach from a completely different direction, there is the idea of not centering the part with respect to the vacuum suction device. An example of this is JP-A-59-84499.
This can be found in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-28298. In this process, the parts picked up by the vacuum suction device are visually recognized, the amount of positional deviation of the component with respect to the vacuum suction device is calculated, and the positioning and stopping position of the substrate support device is adjusted by an amount corresponding to the amount of positional deviation. By making corrections, the parts are placed correctly at predetermined locations on the board. Unlike the mechanical method of centering using straightening claws, this method avoids the physical problems caused by moving something with mass at high speed or by increasing the mass of the rotating system. It is possible to significantly improve the working capacity of the equipment by performing the necessary calculations within the minimum takt time required for picking up parts from the parts supply device or mounting parts on the board. is hidden. By the way, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-8449
No. 9 and No. 60-28298, both devices visually recognize the angular deviation of the component, and based on the result, the vacuum suction device side corrects the angle or orients the component. . As a result, two new factors have emerged as factors hindering speed-up of operation: an increase in the amount of information to be processed, and an increase in the mass of the moving system due to the addition of an angle correction mechanism.

（ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明は、上記諸例の有する問題点を克服し、更なる高
速化を目指すことのできる、新規な部品装着装置を提供
することを目的とする。(c) Problems to be Solved by the Invention It is an object of the present invention to provide a novel component mounting device that can overcome the problems of the above-mentioned examples and aim for further speeding up.

＜二）問題点を解決するための手段 本発明では、部品供給ステーションと部品装着ステーシ
ョンの間に部品方向ｉ！ステーションを置き、ここに１
対の方向調整爪を配置する。方向ｍ＊爪は回転台に支持
きれている。部品方向調整ステーションより後には、方
向調整後の部品の真空吸着装置に対する位置ずれ量を計
測する視覚センサを配置する。視覚センサは直交配置の
２個のラインセンサを含み、支持装置により方向可変に
支持されている。この視覚センサ支持装置には、制御装
置から方向制御信号が与えられる。更に、部品供給ステ
ーションの基板支持装置には、視覚センサからの計測デ
ータに基きその位置を補正する制御装置を付設する。<2) Means for Solving the Problems In the present invention, there is a component orientation i! between the component supply station and the component mounting station. Place the station and place 1 here.
Place a pair of direction adjustment claws. Direction m*The claw is fully supported by the rotary table. A visual sensor is disposed after the component orientation adjustment station to measure the amount of positional deviation of the component after orientation adjustment with respect to the vacuum suction device. The visual sensor includes two orthogonally arranged line sensors and is directionally supported by a support device. A direction control signal is given to this visual sensor support device from a control device. Further, the substrate support device of the component supply station is provided with a control device that corrects its position based on measurement data from the visual sensor.

（ホ）作用 方向調整爪は、真空吸着装置に吸着きれた部品を挾み、
部品の向きを、基板上における指定配置角度に合わせる
。この時、回転台が方向調整爪の方向を定める役割を担
う。この後、視覚センサで部品の真空吸着装置に対する
位置ずれ量を計測し、そのデータに基き基板支持装置の
移動補正量を算出して、基板の位置を補正する。位置ず
れ値計測の際、視覚センサは、２個のラインセンサの配
置方向が部品の辺の延在方向と一致するよう、視覚セン
サ支持装置により方向つけされる。(e) The action direction adjustment claws hold the parts that have been completely absorbed by the vacuum suction device,
Align the orientation of the component to the specified placement angle on the board. At this time, the rotary table plays the role of determining the direction of the direction adjustment claw. Thereafter, a visual sensor measures the amount of positional deviation of the component relative to the vacuum suction device, and based on the data, a movement correction amount of the substrate support device is calculated to correct the position of the substrate. When measuring the positional deviation value, the visual sensor is oriented by the visual sensor support device so that the direction in which the two line sensors are arranged coincides with the extending direction of the side of the component.

（へ）実施例 以下一実施例を図に基いて説明する。（１０）は移動装
置であるが、その構造は第２図及び第４図により良く理
解されるだろう、移動装置（１０）はロータリーインデ
ックステーブルの一種であり、一定方向に間歇回転を行
なう、移動装置（１０）は上部回転体（１１）と下部回
転体（１２）を有し、これらはいずれも平面形状円形で
、垂直なインデックスシャフト（１３）に固定きれてい
る。インデックスシャフト（１３）は図示しないインデ
ックス装置から立ち上がり、移動装置（１０）の上に差
し掛けられた支持デツキ〈１４）の軸受部（１５）に上
端を支えられている。インデックスジへ・フト（１３）
の内部には、図示しない真空源に連通ずる吸気路（１６
）が形設されている。(f) Example An example will be described below with reference to the drawings. (10) is a moving device, the structure of which will be better understood from FIGS. 2 and 4. The moving device (10) is a type of rotary index table, and performs intermittent rotation in a fixed direction. The moving device (10) has an upper rotating body (11) and a lower rotating body (12), both of which have a circular planar shape and are fixed to a vertical index shaft (13). The index shaft (13) rises from an indexing device (not shown), and its upper end is supported by a bearing portion (15) of a support deck (14) placed over the moving device (10). Index Jihe Futo (13)
Inside, there is an intake passage (16) that communicates with a vacuum source (not shown).
) has been established.

移動装置（１０）は８分の１回転、すなゎら４５°づつ
歩道回転するものであり、周囲には、第２図に示すよう
に、計８個所の作業ステーション（１）・・・（■）を
配している。そして作業ステーションの数に合わけ、下
部回転体（１２）から、計８本のアーム（１７〉が等間
隔で放射状に突出している。アーム（１７）は下部回転
体（１２〉の周面に垂直に取り付けたスライダ（１８）
に支持され、垂直方向に移動可能である。スライダ（１
８）は、上部回転体（１１）との間に張り渡した引張コ
イルばね（１９）により、上部回転体＜１１）にねし込
んだストッパボルト（２０）（第１図に示す〉に当たる
まで引き上げられている。スライダ（１８）は外向きに
ローラ（２１）を突出させており、所定の作業ステーシ
ョンで昇降体がローラ（２１）を押し、スライダ（１８
）を降下させる。昇降体とそお動作機構については後述
する。The moving device (10) rotates on the sidewalk by one-eighth rotation, or 45 degrees at a time, and there are a total of eight work stations (1) around it, as shown in Figure 2. ■) are arranged. A total of eight arms (17) protrude radially from the lower rotating body (12) at equal intervals, depending on the number of work stations.The arms (17) are attached to the circumferential surface of the lower rotating body (12). Vertically mounted slider (18)
supported and movable vertically. Slider (1
8) is a tension coil spring (19) stretched between the upper rotating body (11) until it hits the stopper bolt (20) (shown in Figure 1) screwed into the upper rotating body (11). The slider (18) has a roller (21) protruding outward, and at a predetermined work station, the lifting body pushes the roller (21) and the slider (18)
) to descend. The elevating body and its operating mechanism will be described later.

アニム（１７）が支持する部材、及びアーム（１７）自
身からなる構造体を、真空吸着装置（３０）と総称する
。真空吸着装置（３０）の詳細構造は次のようになって
いる。（３１）はアーム（１７）の先端に支持されたタ
レントである。タレメト（３１）は円筒形をしていて、
アーム（１７）の先端に外側から嵌合し、アーム（１７
）の軸線まわりに、すなわち水平軸まわりに、回転可能
である。タレット（３１）の、外向きの端面には従動ギ
ヤ（３２）が固設される。タレット（３１）の周面から
は、主に太さの面で規格の異なる４種類のノズル（３３
）（３４）（３５）（３６）が９０°間隔で放射状に突
出している。各ノズルはいずれもタレッｈ（３１）の中
心方向に退避可能であり、圧縮コイルばね（３７）によ
り突出位置に押し出されている。アーム（１７〉の中心
は吸気路（３８）となっている。この吸気路（３Ｂ）は
、ノズル（３３）（３４）＜３５）（３６）の内、真ド
に来たものとのみ、連通孔（３９）を介して連通する。The structure consisting of the member supported by the Anim (17) and the arm (17) itself is collectively referred to as a vacuum suction device (30). The detailed structure of the vacuum suction device (30) is as follows. (31) is a talent supported at the tip of arm (17). Talemet (31) has a cylindrical shape,
Fits into the tip of the arm (17) from the outside, and
), i.e., around the horizontal axis. A driven gear (32) is fixed to the outward end face of the turret (31). From the circumferential surface of the turret (31), four types of nozzles (33
)(34)(35)(36) project radially at 90° intervals. Each nozzle can be retracted toward the center of the tower h (31), and is pushed to a protruding position by a compression coil spring (37). The center of the arm (17>) is an intake passage (38).This intake passage (3B) is connected only to the nozzle (33) (34) < 35) (36) that comes to the center. They communicate through a communication hole (39).

（４０）は吸気路＜３８）の端を璽ぐねし栓で、タレメ
ト＜３１）の抜は止めとしての役割も果たす。(40) is a screw stopper at the end of the intake path <38), which also serves as a stopper to prevent the intake path <31) from being removed.

上部回転体（１１）はバルブ（５０）を支持する。バル
ブ（５０）はアーム（１７）と同数設けられており、吸
気路（３８）とホース（５１〉で接続する。バルブ（５
０）はホース（５２）により吸気路＜１６）に連結して
おり、吸気路（３８）の吸引を０Ｎ−ＯＦＦ制御するも
のである。バルブ（５０）の開閉操作は先端にローラを
有するレバー形アクチュエータ（５３）によって行なう
。The upper rotating body (11) supports the valve (50). The same number of valves (50) as arms (17) are provided, and they are connected to the intake path (38) with a hose (51>.
0) is connected to the intake passage <16) by a hose (52), and controls the suction of the intake passage (38) ON-OFF. The valve (50) is opened and closed by a lever-type actuator (53) having a roller at its tip.

すなわちアクチュエータ（５３）を押し下げた時がバル
ブ開、そうでない時がバルブ閉である。アクチュエータ
（５３）の制御は、作業ステーション＜１）においては
エアシリンダ（５４）によって上下する押圧子（５５）
により、作業ステーション（Ｖ）及び（ＶＩ）において
エアシリンダ（５６）によって上下する押圧子（５７〉
により、その間の作業ステーション（Ｉ［）（ＩＩＩ）
（ＩＶ）においては軸受部（１５）に固定した押圧板（
５８）により、それぞれ行なう。抑圧板（５８〉はエア
シリンダ（５４）（５６）の支持部材を兼ね、また押圧
子（５５）（５７）は降下した時その下面が押圧板（５
８）の下面にほぼ連続する平面を構成するようになって
いる。各バルブ（５０）がその属するアーム（１７）に
対し遅れ位置に配されているので、押圧子（５５）（５
７）もその属する作業ステーションより偏位した位置に
ある。That is, when the actuator (53) is pushed down, the valve is open, and when it is not, the valve is closed. The actuator (53) is controlled by a presser (55) that is moved up and down by an air cylinder (54) at the work station <1).
The presser (57) is moved up and down by the air cylinder (56) at the work stations (V) and (VI).
Therefore, the work station (I[)(III) between
In (IV), the pressure plate (
58) respectively. The suppressing plate (58) also serves as a support member for the air cylinders (54) and (56), and when the pressers (55) and (57) descend, the lower surface of the press plate (58)
8) constitutes a plane that is substantially continuous with the lower surface. Since each valve (50) is arranged at a delayed position with respect to the arm (17) to which it belongs, the presser (55) (5
7) is also located at a position offset from the work station to which it belongs.

作業ステーション〈Ｉ）（以後部品供給ステージ５）と
呼ぶ）には部品供給装置（６０）を配置する。部品供給
装置（６０）は部品供給用キャリヤテープ（６１）を１
ピツチづつ送り、部品（６２）を１個づつ真空吸着手段
（３０）に供給する。キャリヤテープ（６１）は、プラ
スチックシートをエンボス加工して部品（６２）を１個
つつ収納する凹所をつくり、その上をプラスチＶりのカ
バーフィルム（６３）で覆ったものである。スプロケッ
ト（６４）（爪は描いていない）に引かれて上下一対の
案内板（６５）（６６）の間をくぐり抜けて来たキャリ
ヤテープ〈６１）は、部品吸着位置の直前でカバーフィ
ルム＜６３〉を剥がされて行く。部品供給装置（６０）
はこのようなキャリヤテープ（６１）を第４図の紙面と
直角方向に多数並へており、全体を紙面と直角方向に動
かすことにより、必要とする部品を数紙したキャリヤテ
ープ（６１）を選択できるようになっている。A component supply device (60) is disposed at the work station (I) (hereinafter referred to as component supply stage 5). The parts supply device (60) carries one carrier tape (61) for parts supply.
The parts (62) are fed one by one to the vacuum suction means (30) by pitch-by-pitch feeding. The carrier tape (61) is a plastic sheet that is embossed to create a recess for storing each part (62), and the recess is covered with a plasti V-shaped cover film (63). The carrier tape (61), which has been pulled by the sprocket (64) (claws not shown) and has passed between the pair of upper and lower guide plates (65) and (66), reaches the cover film (63) just before the parts suction position. > is stripped off. Parts supply device (60)
A large number of such carrier tapes (61) are lined up in a direction perpendicular to the plane of the paper in Fig. 4, and by moving the entire carrier tape (61) in a direction perpendicular to the plane of the paper, the carrier tape (61) with several sheets of the necessary parts can be made. You can choose.

作業ステージ５ン（Ｖ）（以後部品装着ステーシヨンと
呼ぶ）には第１図に示すように基板（７１）を載せる基
板支持装ｆｌ（７０）を配置する。基板支持装置ｆ（７
０）はＸＹテーブルと一般に呼ばれるもので、Ｘ＠電動
機（７２）とＹ軸層動機（７３）により、図示しないボ
ールねじ機構を介して、水平面内を２次元的に移動せし
められる。基板（７１）には部品（６２ンを仮保持する
だめの接着剤が所定個所に塗られている。As shown in FIG. 1, a board support device fl (70) on which a board (71) is placed is arranged on work stage 5 (V) (hereinafter referred to as a component mounting station). Substrate support device f (7
0) is generally referred to as an XY table, and is moved two-dimensionally within a horizontal plane by an X@electric motor (72) and a Y-axis layer motor (73) via a ball screw mechanism (not shown). A predetermined adhesive is applied to the board (71) to temporarily hold the parts (62).

作業ステーション（■）（以後ノズル選択ステーション
と呼ぷ）には第６、第８図に示すノズル選択装置（８０
）を配置する。ノズル選択装置（８０）は支持デツキ（
１４）に支持させたエレベータ（８１）を主たる構成要
素としている。エレベータ（８１）は垂直方向に摺動す
るスライダ（８２）に取り付けられており、図示しない
カムの動きを伝えるレバー（８３）によって昇降動住を
与えられる。エレベータク８１）の下部にはセレクタギ
ヤ（８４）が、移動装置（１０〉の回転中心を向く形で
水平に軸支されている。セレクタギヤ（８４）はエレベ
ータ〈８１）に支持された電動機（８５）にベベルギヤ
（８６）（８７）を介して連結し、エレベータ（８１）
が降下するとタレット（３１）の従動ギヤ（３２）にか
み合い、従動ギヤ（３２）に電動機（８５）の回転を伝
える。（８８〉はエレベータク８１）の降下ノ下限を定
めるストッパである。The work station (■) (hereinafter referred to as the nozzle selection station) is equipped with a nozzle selection device (80
). The nozzle selection device (80) is connected to the support deck (
The main component is an elevator (81) supported by 14). The elevator (81) is attached to a slider (82) that slides in the vertical direction, and is given vertical movement by a lever (83) that transmits the movement of a cam (not shown). A selector gear (84) is horizontally supported at the bottom of the elevator truck (81) in a manner that faces the rotation center of the moving device (10).The selector gear (84) is connected to the electric motor (85) supported by the elevator (81) ) via bevel gears (86) (87), and the elevator (81)
When lowered, it engages with the driven gear (32) of the turret (31) and transmits the rotation of the electric motor (85) to the driven gear (32). (88> is a stopper that determines the lower limit of descent of the elevator truck 81).

アーム〈１７）の上面にはロックビン（９０）を装着す
る。ロックピン（９０）はアーム（１７）に固定したホ
ルダ（９１）に、アーム（１７）の軸線と平行にスライ
ドできるよう保持され、タレット（３１）の方へ圧縮コ
イルばね＜９２）で押されている。タレット（３１）の
端面には、ロックビン（９０）の先端を受は入れる溝（
９３）を、ノズル（３３）（３４）＜３５）（３６）の
背後に各１条づつ、計４条形設する。ロックピン（９０
）の後端にはＵ字形のレバー受（９４）と固定する。レ
バー受（９４）は支持デツキ（１４）に支持されたベル
クランク形レバー（９５）の一端を受は入れる。レバー
（９５）の他端はエレベータ（８１）にコネクティング
ロッド（９６）で連結建れている。A lock bin (90) is attached to the upper surface of the arm (17). The lock pin (90) is held in a holder (91) fixed to the arm (17) so that it can slide parallel to the axis of the arm (17), and is pushed toward the turret (31) by a compression coil spring <92). ing. The end face of the turret (31) has a groove (
93) is formed behind the nozzles (33), (34), < 35, and (36), one in total, four in total. Lock pin (90
) is fixed to the rear end with a U-shaped lever holder (94). The lever receiver (94) receives one end of a bell crank type lever (95) supported by the support deck (14). The other end of the lever (95) is connected to the elevator (81) by a connecting rod (96).

部品供給ステーション（Ｉ）、部品装着ステーション（
Ｖ）、及び作業ステーション＜Ｉ［）（ＬＶ）（■）に
は第４図に示すような昇降体（１００）を置く。昇降体
（１００）は支持デツキ（１４）の軸受部（１０１）に
支持されたロッド状部材で、下端にはスライダ（１８）
のローラ（２１）に対向する押圧ヘッド（１０２）を固
定しており、図示しないカムにより上下せしめられる。Parts supply station (I), parts mounting station (
A lifting body (100) as shown in FIG. 4 is placed at work station <I[) (LV) (■). The elevating body (100) is a rod-shaped member supported by the bearing part (101) of the support deck (14), and has a slider (18) at the lower end.
A pressing head (102) facing the roller (21) is fixed, and is moved up and down by a cam (not shown).

作業ステーション＜１［）（以後部品方向調整ステーン
リンと呼ぶ）には部品方向ＢＪ４整装置（１１０）（第
１図）を配置する。部品方向調整装置＜１１０＞は、円
盤状の回転台（１１１ンと、これに点対称的に支持され
た１対の方向調整風（１１２）とを主な構成要素とする
。回転台（１１１）は周囲に三角形断面のエツジ（１１
３）を有し、これを、図示しない支持構造体に取り付け
た複数個の支持ローラ（１１４）に係合さセで、垂直軸
まわりに回転できるよう支持されている。（１１５）は
回転台（１１１）を回転させるための電動機で、図示し
ないベルト（タイミングベルト）により回転台（１１１
）に連結する。方向調整風＜１１２）は回転台（１１１
）に対し求心方向及び遠心方向にスライド自在となって
おり、常時は引張コイルばね（１１６）により求心方向
に引き寄せられている。方向調整風（１１２）からは先
端にローラ（１１８）を有する脚部（１１７）が垂下す
る。（１１９）は２個のローラ（１１８）の間に割り込
む截頭円錐形のカムで、図示しないカムによって上下せ
しめられ、上昇時、方向調整風（１１２）の間隔を押し
拡げる。A part orientation BJ4 adjustment device (110) (FIG. 1) is disposed at the work station <1[) (hereinafter referred to as part orientation adjustment station ring). The main components of the component orientation adjustment device <110> are a disc-shaped rotating table (111) and a pair of direction adjusting winds (112) supported point-symmetrically on the rotating table (111). ) has a triangular cross-section edge (11
3), which is supported so as to be rotatable about a vertical axis by being engaged with a plurality of support rollers (114) attached to a support structure (not shown). (115) is an electric motor for rotating the rotary table (111), and a belt (timing belt) not shown is used to rotate the rotary table (111).
). Direction adjustment wind <112)
), and is freely slidable in the centripetal and centrifugal directions, and is normally drawn in the centripetal direction by a tension coil spring (116). Legs (117) having rollers (118) at their tips hang down from the direction adjusting wind (112). (119) is a frusto-conical cam that is inserted between two rollers (118), and is moved up and down by a cam (not shown), and when raised, it expands the gap between the direction adjustment winds (112).

作業ステーション（■）（以後部品認識ステーションと
呼ぶ）には部品認識装置（１２０）（第１図）を配置す
る６部品認識装置（１２０）は、視覚センサ（１２１）
と、視覚センサ支持装置（１２２＞とを主な構成要素と
する。視覚センサ支持装置（１２２）は回転台（１１１
）と同様のつくりの回転台（１２３）をベースとし、こ
れにエレベータ（１２４）を取り付けたものである０回
転台（１２３）は、図示しないベルト（タイミングベル
ト）を介して、電動機（１２５）により回転せしめられ
る。エレベータ（１２４）は、回転台（１２３）に装着
した電動機（１２６）がねじ軸（１２７）を回転させる
ことにより、ねじ作用で上下する。而して視覚センサ（
１２１＞は次のように構成きれる。すなわち第１０図に
示すように、２個のラインセンサ（１２Ｂ）（１２９）
をその配置方向が直交するように置き、これらのライン
センサ（１２８）（１２９）に向かい合う形で照射ユニ
ット（１３０）（１３１）を配置して、四角な枠組をつ
くる。ラインセンサ（１２８）（１２９）は、受光窓（
１３２）（１３３）の内側に、多数の受光素子を水平方
向に並へて配置している。照射ユニット（１３０）（１
３１）は受光窓（１３２）（１３３）に向は幅広の平行
光を照射する。かかる平行光は、第１１図に原理の概念
を示すように、半導体レーザー（１３４）と、凹レンズ
（１３５）及び凸レンズ（１３６）の組み合わせによっ
て得られるものである。A component recognition device (120) (Fig. 1) is arranged at the work station (■) (hereinafter referred to as the component recognition station).The component recognition device (120) is equipped with a visual sensor (121).
and a visual sensor support device (122>).The visual sensor support device (122)
), and an elevator (124) is attached to it. It is rotated by The elevator (124) is moved up and down by a screw action when an electric motor (126) attached to a rotary table (123) rotates a screw shaft (127). Then the visual sensor (
121> can be constructed as follows. That is, as shown in FIG. 10, two line sensors (12B) (129)
are placed so that their arrangement directions are perpendicular to each other, and irradiation units (130) (131) are placed facing these line sensors (128) (129) to form a rectangular framework. The line sensor (128) (129) has a light receiving window (
132) and (133), a large number of light receiving elements are arranged horizontally. Irradiation unit (130) (1
31) irradiates wide parallel light onto the light receiving windows (132) and (133). Such parallel light is obtained by a combination of a semiconductor laser (134), a concave lens (135), and a convex lens (136), as the concept of the principle is shown in FIG.

作業ステーション（■〉（以後真空吸着装置高さ測定ス
テーションと呼ぶ）には真空吸着装置（３０）の先端、
すなわちノズル（３３）（３４）（３５）（３６）のう
ち下を向いているものの先端の高さを測定する測定装置
（１４０＞（第１図）を配置する。これは、ラインセン
サ（１２８）と同様のラインセンサ（１４１）を、受光
素子が垂直に並ぶように置き、間隔を置いて、照射ユニ
ット（１３０）と同様の照射ユニット（１４２）を向か
い合わせたものである。The work station (■> (hereinafter referred to as the vacuum suction device height measurement station) includes the tip of the vacuum suction device (30),
That is, a measuring device (140> (Fig. 1)) that measures the height of the tip of the nozzle (33) (34) (35) (36) facing downward is arranged. A line sensor (141) similar to the one shown in FIG.

（１５０）（第１図）は、各種データの演算処理を含め
、装置全体の制御を司る制御装置、（１６０）（第１５
図〉は作業ステーション（ＶＩ）に配置した部品回収箱
である。(150) (Fig. 1) is a control device that controls the entire device, including arithmetic processing of various data, and (160) (15th
The figure above shows the parts collection box placed at the work station (VI).

部品供給装置（６０）、部品方向調整装置（１１０）、
部品￥′２．識装置＜１２０＞、基板支持装置（７０）
、及び測定装置（１４０＞の平面的配置関係を示すと第
３図のようになる。但しこの図は、あくまでも配置関係
を説明するためのものであって、図示の各要素の相互寸
法比率にはとりたてて意味はない。component supply device (60), component orientation adjustment device (110),
Parts ￥'2. identification device <120>, substrate support device (70)
, and the measuring device (140>) are shown in Fig. 3. However, this figure is only for explaining the arrangement relationship, and the mutual dimensional ratio of each element shown is There's no point in emphasizing it.

上記装置は次のように動作する。第１図は部品供給ステ
ーション（Ｉ）、部品方向調整ステーション（Ｉｔ）、
部品認識ステーション（Ｉ’／）、部品装着ステーショ
ン（Ｖ）、ならびに真空吸着装置高き測定ステーション
（■）において真空吸着装置（３０）に加えられる操作
の状況を示す。部品供給ステーション（Ｉ）に到着した
真空吸着装置（３０）は、図のケースでは、ノズル＜３
３）を下に向けた状態で停止する。到着時点では押圧子
（５５）は上昇位置にあり、真空吸着装置り３０）は吸
引力を発生していない。ここで、昇降体（１００）が降
下してスライダク１８）を押し下げ、ノズル（３３）を
部品＜６２）に押し付ける。この時エアシリンダ〈５４
ンが制御装置（１５０）からの制御信号によって押圧子
（５５）を降下許せ、バルブ（５０）は開となり、ノズ
ル（３３）は部品（６２）を吸着する。部品（６２）を
吸着した真空吸着装置（３０）は昇降体（１００＞の上
昇と共に上昇し、移動装置（１０）の間歇回転により、
部品供給ステーション（１）から部品方向調整ステーシ
ョン（Ｉｔ）へと運ばれて行く。The above device operates as follows. Figure 1 shows a parts supply station (I), a parts orientation adjustment station (It),
The situation of operations applied to the vacuum suction device (30) at the component recognition station (I'/), the component mounting station (V), and the vacuum suction device high measurement station (■) is shown. In the case shown, the vacuum suction device (30) that has arrived at the parts supply station (I) has nozzles <3
3) Stop with the button facing down. At the time of arrival, the presser (55) is in the raised position, and the vacuum suction device 30) is not generating suction force. Here, the elevating body (100) descends to push down the slide duct 18) and press the nozzle (33) against the component <62). At this time, the air cylinder
The presser (55) is allowed to fall in response to a control signal from the control device (150), the valve (50) is opened, and the nozzle (33) attracts the component (62). The vacuum suction device (30) that has suctioned the component (62) rises as the elevating body (100>) rises, and due to the intermittent rotation of the moving device (10),
The parts are transported from the parts supply station (1) to the part orientation adjustment station (It).

移動中、バルブ（５０）のアクチュエータ（５３）は押
圧板（５８）に押され続けており、部品〈６２）の吸着
は中断することがない。During the movement, the actuator (53) of the valve (50) continues to be pressed by the pressing plate (58), and the suction of the component (62) is not interrupted.

部品方向調整ステーション（ＩＩ）では、１対の方向￥
１４整爪（１１２）が、カム（１１９）により相互の間
隔を押し拡げられた状態で待機している。このステーシ
ョンに真空吸着装置（３０〉が到着し、昇降体（１（１
０）により部品（６２）が方向調整風（１１２）の間に
入り込むところまで降下せしめられると、カム＜１１９
）が下がって方向調整風（１１２＞同士が接近し、部品
（６２）の所定の２辺を挾みつける。キャリヤテープ（
６１）の部品収納用凹所にはゆとりがあるので、真空吸
着装置（３０）に吸着される時の部品（６２）の角度は
、一定範囲のばらつきを有しているが、そのばらつきは
この時点で矯正される。但し矯正するのは角度だけであ
って、ノズル（３３）の中心と部品（６２）の中心との
位置ずれを矯正することまでは考えていない、このよう
にして吸着角度のばらつきを矯正した後、制御装置（１
５０）からの制御信号に基き電動機（１１５）が回転台
（１１１）を回転きせて（あるいは回転許せずして）、
その部品に対する基板上における指定配置角度に部品（
６２）の向きを合わせる。この場合、当然のことながら
、部品装着スデーション（Ｖ）に到着した時点での部品
（６２）の角度が指定配置角度に一致するよう、方向調
整を行なう、方向調整完了後、カム（１１９）が上昇し
て方向調整風（１１２）を部品（６２）から離脱させ、
真空吸着装置（３０）は上昇する。部品（６２）が方向
調整風（１１２）の間から脱は出して行った後、カム＜
１１９）が降下してローラ（１１８）から離れ、電動機
（１１５）は回転台（１１１）を待機位置の角度に復帰
させ、カム（１１９）が再び上昇して、次の部品（６２
）に備えるべく方向調整風（１１２）を押し開く。At the part orientation adjustment station (II), a pair of orientations
No. 14 straightening claws (112) are on standby with their mutual spacing widened by a cam (119). The vacuum suction device (30) arrives at this station, and the elevating body (1 (1)
0), when the part (62) is lowered to the point where it enters between the direction adjusting wind (112), the cam <119
) is lowered and the directional adjustment winds (112> come closer together, sandwiching two predetermined sides of the part (62).The carrier tape (
Since there is ample space in the recess for storing components (61), the angle of the component (62) when it is picked up by the vacuum suction device (30) varies within a certain range. It will be corrected in time. However, only the angle is corrected, and we do not consider correcting the misalignment between the center of the nozzle (33) and the center of the component (62).After correcting the variation in the suction angle in this way, , control device (1
Based on the control signal from 50), the electric motor (115) rotates the rotary table (111) (or does not allow it to rotate),
The part (
62). In this case, as a matter of course, the direction is adjusted so that the angle of the component (62) when it arrives at the component mounting station (V) matches the specified arrangement angle. After the direction adjustment is completed, the cam (119) rises to separate the direction adjustment wind (112) from the part (62),
The vacuum suction device (30) rises. After the part (62) comes out from between the direction adjustment wind (112), the cam <
119) descends and leaves the roller (118), the electric motor (115) returns the turntable (111) to the angle of the standby position, and the cam (119) rises again to move the next part (62).
) The direction adjustment wind (112) is pushed open in preparation for

部品方向調整ステーション（ＩＩ）を離れた真空吸着装
置（３０）は、作業ステーション（Ｉｆｆ）を経て部品
認識ステーション（ＩＶ）に到着し、昇降体（１００）
により一定高さまで降下せしめられる。この場合、昇降
体（１００）の昇降ストロークが定まっているから一定
と言うのであって、真空吸着装置（３０）の先端たるノ
ズル端において高さが一定になるようにするということ
ではない、真空吸着装置（３０）の降下により、部品＜
６２）は視覚センサ（１２１）の部品認識領域のただ中
に突入する。部品認識領域、すなわち照射ユニット（１
３０）がラインセンサ（１２８）に向け、照射ユニ・ｙ
Ｎ１３１）がラインセンサ（１２９）に向け、各々平行
光を照射している領域に入り込んだ部品（６２）は、第
１２図に示すように、ラインセンサ（１２８）（１２９
）に自己のシルエンド（平行斜線で示す）を投じる。視
覚センサ（１２１）に対する、すなわちラインセンサ（
１２Ｂ）（１２９）に対するノズルの平面的位置関係は
一定不変のことときれているから、ラインセンサ（１２
８）（１２９）でシルエットの位置を計測すれば、ノズ
ル（３３）に対する部品（６２）の位置ずれ量を計測で
きることになる。計測データは制御装置（１５０）に伝
えられる。なお、部品（６２）のＸ、Ｙ２方向の位置ず
れ量を正確に知るためには、部品（６２）の直交する２
辺の延在方向と、ラインセンサ（１２８）＜１２９）の
配置方向とが、一致している、言葉を変えれば平行であ
ることが望ましい、このため、視ｔセンサ（１２１）は
予め部品り６２）の向きに自己の向きを一致させて待機
している。すなわち、部品方向ｉｔステーション（Ｉｔ
）で部品（６２）の角度をどのように設定したかにより
、それに応じた方向制御指令が制御装置（１５０）から
電動機（１２５）に与えられ、電動機（１２５）は視覚
センサ支持装置１ｆｆｉ（１２２）を所定角度回転きせ
る。視覚センサ（１２１）の方向変更範囲は９０°あれ
ば十分で、特にそれ以上大きくとる必要はない、このよ
うにして、ラインセンサ（１２８）（１２９）を部品（
６２）の辺と平行に置いた状態で計測した結果は制御装
置（１５０）に伝えられ、これに基き制御装置（１５０
）は、基板支持装置（７０〉の移動量をどのように補正
したら良いかを演算、する。計測完了後、真空吸着装置
（３０）は上昇し、視覚センサ（１２１）は、次に到来
する部品（６２）に備えてそれに応わしい方向を向く。The vacuum suction device (30) that has left the component orientation adjustment station (II) passes through the work station (Iff), arrives at the component recognition station (IV), and moves to the elevating body (100).
This allows the robot to descend to a certain height. In this case, it is said that the vertical stroke of the lifting body (100) is fixed, so it is said to be constant, but it does not mean that the height is constant at the nozzle end which is the tip of the vacuum suction device (30). Due to the descent of the suction device (30), the parts <
62) rushes into the part recognition area of the visual sensor (121). Part recognition area, i.e. irradiation unit (1
30) towards the line sensor (128),
As shown in FIG.
) to cast its own sill end (indicated by parallel diagonal lines). For the visual sensor (121), that is, for the line sensor (
Since the two-dimensional positional relationship of the nozzle with respect to (12B) (129) remains constant, the line sensor (12B)
8) If the position of the silhouette is measured in (129), the amount of positional deviation of the component (62) with respect to the nozzle (33) can be measured. The measurement data is transmitted to the control device (150). In addition, in order to accurately know the amount of positional deviation of the component (62) in the X and Y directions, it is necessary to
It is desirable that the extending direction of the side and the arrangement direction of the line sensor (128) < 129) match, or in other words, be parallel. 62) and waits with its own direction aligned with that of 62). That is, the part direction IT station (It
) Depending on how the angle of the component (62) is set, a corresponding direction control command is given from the control device (150) to the electric motor (125), and the electric motor (125) ) can be rotated by a predetermined angle. It is sufficient for the direction change range of the visual sensor (121) to be 90 degrees, and there is no need to make it larger than that.
The results measured while the device is placed parallel to the sides of the device (62) are transmitted to the control device (150), and based on this,
) calculates how to correct the amount of movement of the substrate support device (70〉). After the measurement is completed, the vacuum suction device (30) rises, and the visual sensor (121) detects the next arrival. Orient it accordingly in preparation for the part (62).

真空吸着装置（３０〉が部品装着ステーション（Ｖ）に
到着した時点では、基板支持装置（７０）は既に基板（
７１）を、部品（６２）を装着すべき個所をノズル（３
３）の真下に位置づけて、待機している。もちろんこの
場合、制御装置（１５０）からＸ動電動機（７２）及び
Ｙ軸貫動機（７３〉に与える指令には部品（６２〉の位
置ずれデータを織り込み済みで、基板支持装置（７０〉
は位置ずれに見合う分だけ補正された位置に停止してい
る。ここで昇降体（１００）が真空吸着装置（３０〉を
降下させ、部品（６２）を、基板（７１）の所定位置に
、所定角度で押しく寸ける。押圧子〈５７〉は、真空吸
着装置（３０〉が部品装着ステーション（Ｖ）に到着す
る時点では降下位置にあって部品（６２）の吸着を維持
きセでいるが、部品（６２）が基板（７１）上の接着剤
に押し付けられた時点で第１図のように上昇し、５ノス
ルク３３）の吸引を断つ。従ってこの後真空吸着装置（
３０）が、上昇する折には、部品（６２）は接着剤の粘
着力で基板（７１）の表面に残留するものである。By the time the vacuum suction device (30) arrives at the component mounting station (V), the substrate support device (70) has already attached the substrate (
71) and the nozzle (3) where the part (62) is to be installed.
3) It is positioned directly below and is on standby. Of course, in this case, the commands given from the control device (150) to the X-motor motor (72) and the Y-axis penetrator (73) have already incorporated the positional deviation data of the component (62),
is stopped at a position that has been corrected by an amount corresponding to the positional deviation. Here, the elevating body (100) lowers the vacuum suction device (30>, and presses the component (62) to a predetermined position on the substrate (71) at a predetermined angle. When the device (30) arrives at the component mounting station (V), it is in the lowered position and maintains adsorption of the component (62), but the component (62) is pressed against the adhesive on the board (71). At the point when the vacuum suction device (
30) rises, the component (62) remains on the surface of the substrate (71) due to the adhesive force of the adhesive.

部品装着ステーション（Ｖ）を離れた真空吸着装置（３
０）は作業ステーション（ｌを経てノズル選択ステーシ
ョン（■）に至る。ノズル選択ステーション（■）に真
空吸着装置り３０）が到着した時点では、セレクタギャ
ク８４）は第６図に示すように従動ギヤ（３２）の上方
にあり、レバー（９５）の先端はレバー受（９４）の中
に入り込んでいる。ロックピン（９０）は第７区のよう
に溝（９３）に係合しており、タレット（３１）をしっ
かりと固定している。ここで、使用するノズルを（３３
）から他のものに変える必要が生じたときは、第８図の
ようにエレベータ（８１）が降下し、セレクタギヤ（８
４）を従動ギヤ（３２）にかみ合わせる。エレベータ（
８１）の下降によりレバー（９５）も回動し、ロックビ
ン（９０〉を圧縮コイルばね（９２）に抗しスライドさ
せる。これによりロックビン〈９０）は溝（９３〉から
抜は出し、タレット（３１）は回転可能となる。この状
態で電動機（８５）を駆動し、タレット（３１）を所有
角度回転させる。タレット（３１）の角度変更を終えた
後エレベータ（８１）を上昇きせると、レバー（９５）
が旧位置に復帰してロックピン（９０）が再び溝（９３
）に係合し、タレット＜３１）をロックするものである
。Vacuum suction device (3) leaving the component mounting station (V)
0) reaches the nozzle selection station (■) via the work station (l). When the vacuum suction device 30) arrives at the nozzle selection station (■), the selector gak 84) is driven as shown in FIG. It is located above the gear (32), and the tip of the lever (95) is inserted into the lever receiver (94). The locking pin (90) engages in the groove (93) like the seventh section and securely fixes the turret (31). Here, change the nozzle to be used (33
) to another, the elevator (81) descends as shown in Figure 8, and the selector gear (81)
4) and mesh with the driven gear (32). elevator(
As the lever (95) descends, the lever (95) also rotates and slides the lock bin (90) against the compression coil spring (92).As a result, the lock bin (90) is pulled out of the groove (93) and the turret (31) ) becomes rotatable. In this state, the electric motor (85) is driven to rotate the turret (31) at its own angle. When the elevator (81) is raised after changing the angle of the turret (31), the lever ( 95)
has returned to its old position and the lock pin (90) is once again in the groove (93).
) to lock the turret <31).

ノズル選択ステーション（■）を離れた真空吸着装置！
！（３０）は最後の作業ステーションである真空吸着装
置高き測定ステーション（■）に到着する。ここで真空
吸着装置（３０）は、昇降体（１００）により、一定ス
トローク分だけ降下せしめられる。下向きになっている
ノズルは、これにより照射ユニット＜１４２）とライン
センサ（１４１）の間に入り込み、ラインセンサ（Ｌ４
１）によって先端の高さを測定される。測定データは制
御装置（１５０）に伝えられ、これに広き制御装置（１
５０）は、部品認識ステーション＜ＩＶ）において視覚
センサ（１２１）がこのノズルを迎え入れる際、視覚セ
ンサ（１２１）の支持レベルを、ノズルの先端の高さに
合わせて、丁度このノズルに吸着された部品（６２）の
、その主部（計測に関し最も重要な意味を持つ部分）を
ラインセンサ（１２８）（１２９）が水平方向から監視
することになるよう、調整する。この場合、部品＜６２
）の形状データも考慮対象となる。これは、電動機（１
２６）に指令を与えてエレベータ（１２４）を上下きせ
ることにより達成きれる。このようにするのは、タレッ
ト（３１）の中心からノズル先端までの距離を一定の小
さな公差内に保つことは、ノズル先端つぶれ等の理由で
新造ノズルに交換したり、あるいは別種の部品に対応す
るため別種ノズルに交換する場合、非常に困難だからで
ある。Vacuum suction device away from the nozzle selection station (■)!
! (30) arrives at the final work station, the measurement station (■) with a high vacuum suction device. Here, the vacuum suction device (30) is lowered by a certain stroke by the elevating body (100). The nozzle facing downward thereby enters between the irradiation unit <142) and the line sensor (141), and the line sensor (L4
1) The height of the tip is measured. The measurement data is transmitted to a control device (150), which is connected to a wide control device (150).
50), when the visual sensor (121) receives this nozzle at the parts recognition station The main part of the part (62) (the part that has the most important meaning regarding measurement) is adjusted so that the line sensors (128) and (129) will monitor it from the horizontal direction. In this case, parts <62
) shape data is also considered. This is an electric motor (1
This can be accomplished by giving commands to the elevator (124) to move the elevator (124) up and down. This is done in order to maintain the distance from the center of the turret (31) to the nozzle tip within a certain small tolerance, in order to replace it with a new nozzle if the nozzle tip is crushed, or to replace it with a different type of part. This is because it is extremely difficult to replace the nozzle with a different type.

さて真空吸着装置（３０）は、部品供給ＶＣ置（６０）
から部品（６２）を吸い上げる訳であるが、時として、
キルリヤテープ（６１）の送り運動のため部品（６２〉
がはね上がる等の理由により、部品（６２）の、本来吸
い付けるべきでない側面を吸い付けてしまうことがある
。このように異常姿勢で吸着された部品（６２）は、装
着に到らせることなく排除しなければならない。部品（
６２）の姿勢が正常であるか異常であるかは視覚センサ
（１２１）の計測データから判定する。第１２図のよう
にラインセンサ（１２８＞（１２９）に部品（６２）の
ツルエツトを投影すると、シルエットの位置と長さが計
測データとして得られることになる。この長さデータに
基き、制御装置（１５０）で部品（６２）の周囲方向長
さ量（水平方向のもの）を求めることができる。第１３
図に示す正常姿勢の場合と、第１４図に示す異常姿勢の
場合とでは、得られる結果に顕著な差が生じるから、こ
れをもって容易に正常・異常を判定できる。正常姿勢の
場合の周囲方向長さと異常姿勢の場合の周囲方向長さの
差が小さい、すなわち立方体に近い形状の部品というの
は殆んど例を見ないから、この判定手法は有効である０
部品姿勢が異常であるとの演算結果を得た場合には、制
御装置（１５０）は、その部品（６２）を装着対象から
除外する。すなわち、部品装着ステーションに配置され
た昇降体（１００）の駆動機構と、エアシリンダ（５６
）とに指令を発し、真空吸着装置（３０）が部品装着ス
テーション〈ｖ）に到着しても、これを降下させず、ま
た部品（６２）の吸着を終了させもしない、第１５図に
示すように、この真空吸着袋！（３０）が作業ステーシ
ョン（ＶＩ）に移ってしまうまで、押圧子（５７〉は降
下状態を保つ。入れ替りに部品装着ステーション（Ｖ）
に到着した真空吸着装置（３０）に対し通常の装着操作
が加えられ、押圧子（５７）が上昇して基板（７１）に
付着した部品（６２）に対する吸着を解除した時点で、
作業ステーション（Ｗ）においても部品装着が解除され
、異常姿勢の部品（６２）は部品回収箱（１６０）に投
棄される。装着し損ねた分の部品（６２）については、
直ちに装着プログラムが変更され、部品（６２）を投棄
した真空吸着装置（３０）によって、あるいは他の真空
吸着装置（３０）によってでも良いが、同種の部品（６
２）を指定個所に装着し直す回復措置がとられる。Now, the vacuum suction device (30) is connected to the parts supply VC device (60).
The part (62) is sucked up from the
Parts (62) for feeding movement of Kirriya tape (61)
Due to reasons such as springing up, the side of the component (62) that should not be attracted may end up being attracted. The component (62) thus attracted in an abnormal position must be removed without allowing it to be mounted. parts(
Whether the posture of 62) is normal or abnormal is determined from the measurement data of the visual sensor (121). When the silhouette of the part (62) is projected onto the line sensor (128>(129) as shown in Fig. 12), the position and length of the silhouette can be obtained as measurement data.Based on this length data, the control device The circumferential length (horizontal direction) of the component (62) can be found in (150). 13th
Since there is a significant difference in the results obtained between the normal posture shown in the figure and the abnormal posture shown in FIG. 14, it is possible to easily determine normality or abnormality based on this. This determination method is effective because there are almost no examples of parts in which the difference between the circumferential length in a normal posture and the circumferential length in an abnormal posture is small, that is, a part with a shape close to a cube.
When a calculation result indicating that the component orientation is abnormal is obtained, the control device (150) excludes the component (62) from the mounting target. That is, the drive mechanism of the elevating body (100) arranged at the component mounting station and the air cylinder (56)
), and even when the vacuum suction device (30) arrives at the component mounting station <v), it does not descend or end the suction of the component (62), as shown in FIG. Like this vacuum suction bag! The presser (57) remains in the lowered state until (30) moves to the work station (VI).In turn, it moves to the component mounting station (V).
A normal mounting operation is applied to the vacuum suction device (30) that has arrived, and when the presser (57) rises and releases the suction on the component (62) attached to the substrate (71),
At the work station (W), mounting of the parts is also released, and the parts (62) in the abnormal position are dumped into the parts collection box (160). Regarding the parts (62) that were not installed,
Immediately, the placement program is changed, and the same type of component (6
Recovery measures will be taken to reattach 2) to the designated location.

（ト）　発明の効果 本発明は、部品とこれを装着すべき基板との位置合わせ
を行なうに際し、爪による部品の矯正というメカニカル
な手法と、非接触計測による位置補正という電子工学的
な手法との折衷によって、動作高速化をな、し遂げよう
とするものである。爪に関しては１対のみを方向！ｉ整
爪として用意し、センタリングは二の次にして、部品の
方向調整のみを素速く行なうから従来性なっていた完全
なセンタリング動作を伴なう矯正作業に比べ時間を節約
できる。また電子工学的な部分に関しても、視覚センサ
で部品を計測するに際し、角度に関してはもはや考慮し
なくても良いものとして、位置ずれ量に関してのみデー
タを求め、これを演算処理して基板支持装置の位置補正
データを得れば良いから、演算処理に長時間を要しない
。移動系には部品センタリング機構も部品角度設定機構
も付随しないから質量を小さく抑えることができ、この
而で′＃３高速化に有利である。更に未発明では、直交
配置の２個のラインセンサをもって視覚センサを構成し
、このラインセンサに部品の直交２辺のシルエ／トを投
影して、直裁且つ明確な位置ずれデータを得るから、デ
ータ処理が楽であり、視覚センサの構成コストも高さを
要しない。また視覚センサの配置方向は、部品の向きを
調整するのに応動して目動的に変わるから、基板上の部
品配置方向が如何に多様に設定きれていようとも、単一
の視覚センサユニットでＤＲ作業をこなして行くことが
十分可能である。(G) Effects of the Invention When aligning a component with a board on which it is to be mounted, the present invention uses a mechanical method of correcting the component using claws, and an electronic method of position correction using non-contact measurement. The aim is to achieve faster operation through a compromise between the two. As for the nails, only one pair should be oriented! Since the tool is prepared as an i-alignment tool, centering is secondary, and only the orientation of the component is quickly adjusted, time can be saved compared to the conventional correction work that involves a complete centering operation. Regarding the electronics part, when measuring parts with a visual sensor, it is no longer necessary to consider the angle; instead, data is obtained only regarding the amount of positional deviation, and this data is processed by calculation to determine the position of the substrate support device. Since it is sufficient to obtain position correction data, a long time is not required for calculation processing. Since neither a component centering mechanism nor a component angle setting mechanism is attached to the moving system, the mass can be kept small, which is advantageous for increasing the speed of '#3. Furthermore, in the uninvention, a visual sensor is configured with two orthogonally arranged line sensors, and the silhouettes of the two orthogonal sides of the part are projected onto the line sensors to obtain direct cutting and clear positional deviation data. Data processing is easy, and the construction cost of the visual sensor is not high. In addition, the orientation of the visual sensor changes dynamically in response to adjusting the orientation of the components, so no matter how diverse the orientation of the components on the board can be, a single visual sensor unit can It is fully possible to carry out DR work.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は本発明の一実施例を示し、第１図は主な作業ステー
ションにおける工程の推移を示す説明用展開図、第２図
は移動装置の平面図、第３図は主要構成要素の平面的配
置関係を示を説明図、第４図及び第５図は各々別の作業
ステーションにおける、部分的には断面しないで残した
垂直断面図、第６図はノズル選択装置の側面図、ｖＪ７
図は第６図に関連した真空吸着装置の平面図、第８図は
第６図と同様ノズル選択装置の側面図にして異なる動作
状態のもの、第９図は第８図に関連した真空吸着装置の
平面図、第１０図は視覚センサの斜視図、第１１図は視
覚センサの照射ユニットの概要説明図、第１２ＶｙＪ、
第１３図、第１４図は視覚センサの計測状況説明図、第
１５図は部品装着ステーションとその後続ステーション
における特殊状況下での動作を示す説明用展開図である
。 （Ｉ＞・・・部品供給ステーション、（６０）・・・部
品供給装置、（Ｖ）・・・部品装着ステーション、（７
０）・・・基板支持装置、（６２）・・・部品、（７１
）・・・基板、＜３０）・・・真空吸着装置、（１０）
・・・移動装置、（ｎ）・・・部品方向調整ステーショ
ン、（１１２）・・・方向ｙＪ４整爪、＜１１１）・・
・回転台、（１２１）・・・視覚センサ、＜１２８）＜
１２９）・・・ラインセンサ、（１２２＞・・・視覚セ
ンサ支持装置、（１５０）・・・制御装置（視覚センサ
支持装置に方向制御指令を谷える制御装置と基板支持装
置の位置を補正する制御装置を兼ねる）。The drawings show one embodiment of the present invention; Fig. 1 is an explanatory developed view showing the process progress at the main work stations; Fig. 2 is a plan view of the moving device; and Fig. 3 is a plan view of the main components. 4 and 5 are vertical cross-sectional views partially left unsectioned at different work stations, and FIG. 6 is a side view of the nozzle selection device, vJ7.
The figure is a plan view of the vacuum adsorption device related to Fig. 6, Fig. 8 is a side view of the nozzle selection device similar to Fig. 6, but in a different operating state, and Fig. 9 is the vacuum adsorption device related to Fig. 8. A plan view of the device, FIG. 10 is a perspective view of the visual sensor, FIG. 11 is a schematic explanatory diagram of the irradiation unit of the visual sensor, 12th VyJ,
FIGS. 13 and 14 are explanatory diagrams of the measurement situation of the visual sensor, and FIG. 15 is an explanatory expanded view showing the operation under special circumstances at the component mounting station and its subsequent station. (I>... parts supply station, (60)... parts supply device, (V)... parts mounting station, (7
0)...Substrate support device, (62)...Parts, (71
)...Substrate, <30)...Vacuum suction device, (10)
...Movement device, (n)...Part direction adjustment station, (112)...Direction yJ4 alignment claw, <111)...
・Rotary table, (121)...Visual sensor, <128)<
129)...Line sensor, (122>...Visual sensor support device, (150)...Control device (corrects the position of the control device that sends direction control commands to the visual sensor support device and the substrate support device) (also serves as a control device).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １）次の構成要素を備えた部品装着装置 （ａ）部品供給ステーションに配置した部品供給装置 （ｂ）部品装着ステーションに配置した基板支持装置 （ｃ）前記部品供給装置から前記基板支持装置上の基板
へ、部品のピックアンドプレース作業を行なうべく用意
された真空吸着装置 （ｄ）前記真空吸着装置を、作業ステーションから作業
ステーションへと移動させる移動装置 （ｅ）部品供給ステーションと部品装着ステーションの
間の部品方向調整ステーンョンに配置され、真空吸着装
置に吸着された部品を挾みつける１対の方向調整爪 （ｆ）前記方向調整爪を支持し、この方向調整爪の挾む
部品の向きが基板上における指定配置角度に合致するよ
う、方向調整爪の方向を定める回転台 （ｇ）方向調整後の部品の直交２辺の投影シルエットに
基き部品の真空吸着装置に対する位置ずれ量を計測する
、直交配置の２個のラインセンサを含む視覚センサ （ｈ）前記視覚センサを方向可変に支持する視覚センサ
支持装置 （ｉ）部品の辺の延在方向と前記ラインセンサの配置方
向とが一致する如く前記視覚センサ支持装置に方向制御
指令を与える制御装置 （ｊ）視覚センサの計測データに基き、基板支持装置の
位置を補正する制御装置。[Claims] 1) A component mounting device comprising the following components: (a) a component supply device disposed at a component supply station; (b) a board support device disposed at the component mounting station; (c) from the component supply device; (d) a vacuum suction device prepared to pick and place components onto the substrate on the substrate support device; (d) a moving device for moving the vacuum suction device from work station to work station; (e) component supply station; a pair of direction adjustment claws (f) disposed on the component orientation adjustment station between the component mounting station and the component mounting station, and for sandwiching the components picked up by the vacuum suction device; A rotary table (g) that determines the direction of the direction adjustment claw so that the orientation of the component matches the specified placement angle on the board.The amount of positional deviation of the component relative to the vacuum suction device based on the projected silhouette of two orthogonal sides of the component after direction adjustment. (h) A visual sensor support device that supports the visual sensor in a variable direction (i) The extending direction of the side of the component and the arrangement direction of the line sensor. (j) A control device for correcting the position of the substrate support device based on the measurement data of the visual sensor.