JPS63201808A - Alignment device - Google Patents
Alignment deviceInfo
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- JPS63201808A JPS63201808A JP62035348A JP3534887A JPS63201808A JP S63201808 A JPS63201808 A JP S63201808A JP 62035348 A JP62035348 A JP 62035348A JP 3534887 A JP3534887 A JP 3534887A JP S63201808 A JPS63201808 A JP S63201808A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q16/00—Equipment for precise positioning of tool or work into particular locations not otherwise provided for
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はアライメント装置に関し、例えばプリント基板
の製造工程において、描画装置、検査装置等の加工装置
にプリント基板を高い精度でアライメントする必要があ
る場合に適用して好適なものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an alignment device, and for example, in a printed circuit board manufacturing process, it is necessary to align a printed circuit board with processing equipment such as a drawing device and an inspection device with high precision. It is suitable for application in various cases.
例えばプリント基板検査装置においては、被検査対象で
あるプリント基板をプリント基板検査装置の載置テーブ
ル上に、予め決められた位置に精度良くアライメントす
る必要がある。For example, in a printed circuit board inspection apparatus, it is necessary to accurately align a printed circuit board to be inspected at a predetermined position on a mounting table of the printed circuit board inspection apparatus.
このため従来においては、プリント基板にアライメント
用基準孔を設け、当該アライメント用基準孔に基準ピン
を差し込むことにより、プリント基板を載置テーブル上
にアライメントするといった方法が知られている。For this reason, a conventional method is known in which a printed circuit board is provided with an alignment reference hole and a reference pin is inserted into the alignment reference hole to align the printed circuit board on a mounting table.
すなわち、載置テーブル上にアライメント基準位置を例
えば２箇所決め、プリント基板上の当該アライメント基
準位置に相当する位置にアライメント用基準孔を設ける
。そして、プリント基板を載置テーブル上に置いたとき
、先端部が円錐状に成形された基準ピンをプリント基板
のアライメント用基準孔を通して、載置テーブル上のア
ライメント基準位置に対向するよう突き立てる。このと
き、アライメント用基準孔のアライメント基準位置から
のずれが微少であれば、基準ピンの作用によりアライメ
ント用基準孔を強制的にアライメント基準位置上に位置
合わせすることができることにより、プリント基板をア
ライメント基準位置、に対し正確に載置し得る。That is, for example, two alignment reference positions are determined on the mounting table, and alignment reference holes are provided at positions corresponding to the alignment reference positions on the printed circuit board. Then, when the printed circuit board is placed on the mounting table, a reference pin having a conical tip is pushed through the alignment reference hole of the printed circuit board so as to face the alignment reference position on the mounting table. At this time, if the deviation of the alignment reference hole from the alignment reference position is slight, the alignment reference hole can be forcibly positioned on the alignment reference position by the action of the reference pin, and the printed circuit board can be aligned. It can be placed accurately relative to the reference position.
ところがこのようにした場合、載置テーブル上に載置し
たプリント基板が載置テーブルに密着したときには、プ
リント基板及び載置テーブル間に実用上過大な摩擦力が
生じ、基準ピンがプリント基板をずらそうとしても、当
該摩擦力がプリント基板の摺動するのを妨げて正確なア
ライメントができなかったり、当該摩擦力によってプリ
ント基板が摺動し得ない状態のまま強い力で基準ピンを
降下させることによりアライメント用基準孔を損傷する
おそれがあった。However, in this case, when the printed circuit board placed on the mounting table comes into close contact with the mounting table, an excessive frictional force is generated between the printed circuit board and the mounting table, causing the reference pin to shift the printed circuit board. Even if you do so, the frictional force may prevent the printed circuit board from sliding and accurate alignment may not be possible, or the reference pin may be lowered with strong force while the printed circuit board cannot slide due to the frictional force. There was a risk of damaging the alignment reference hole.
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、プリント
基板及び載置テーブル間の摩擦力をできるだけ低下させ
た状態で、プリント基板をアライメント処理し得るよう
にすることにより、プリント基板を円滑かつ、高精度で
アラビノ７’）し得るアライメント装置を提案しようと
するものである。The present invention has been made in consideration of the above points, and is capable of smoothly aligning a printed circuit board while reducing the frictional force between the printed circuit board and the mounting table as much as possible. In addition, the purpose is to propose an alignment device that can perform arabino7') with high accuracy.
〔問題点を解決するための手段〕 ′かかる問
題点を解決するため本発明においては、複数の基準ピン
（４，６）を、アライメント対象２上のアライメント用
基準孔（ＡＨＩ、ＡＨ２）に挿入することにより、アラ
イメント対象２を載置テーブル３上にアライメントする
ようになされたアライメント装置１において、載置テー
ブル３は、多数の通気孔ＨＬを有し、基準ピン（４，６
）をアライメント用基準孔（ＡＨＩ、ＡＨ２）に挿入す
る際に、多数の通気孔ＨＬから圧縮空気を噴射すること
により、アライメント対象２を僅かに浮上させることが
できるようにする。[Means for solving the problem] 'In order to solve this problem, in the present invention, a plurality of reference pins (4, 6) are inserted into the alignment reference holes (AHI, AH2) on the alignment target 2. In the alignment device 1 configured to align the alignment target 2 on the mounting table 3 by doing this, the mounting table 3 has a large number of ventilation holes HL,
) is inserted into the alignment reference holes (AHI, AH2), by injecting compressed air from a large number of ventilation holes HL, the alignment target 2 can be slightly floated.
載置テーブル３の表面に設けられた多数の通気孔ＨＬよ
り圧縮空気を噴射することにより、載置テーブル３上の
プリント基板２を僅かに浮上させた状態にする。By jetting compressed air from a large number of ventilation holes HL provided on the surface of the mounting table 3, the printed circuit board 2 on the mounting table 3 is brought into a slightly floating state.
この摩擦力の十分小さい状態において、プリント基板２
上に設けられたアライメント用基準孔ＡＨ１及びＡＨ２
に順次基準ピン４及び６を差し込むことによりプリント
基板２をアライメント固定する。In this state where the frictional force is sufficiently small, the printed circuit board 2
Alignment reference holes AH1 and AH2 provided on the top
The printed circuit board 2 is aligned and fixed by sequentially inserting the reference pins 4 and 6 into the .
かくして、アライメント対象を傷付けることなく、滑ら
かに、かつ高い精度でアライメントし得るアライメント
装置を容易に実現し得る。In this way, it is possible to easily realize an alignment device that can perform alignment smoothly and with high precision without damaging the alignment target.
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。 An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第１図において、１は全体としてアライメント装置を□
示し、アライメント対象ヤあるプリント基板２を載置す
る載置テーブル３と、円錐形状先端５一
部を有する第１の基準ピン４を駆動する基準ピン駆動機
構５と、同様に円錐形状先端部を有する第２の基準ピン
６を駆動する基準ピン駆動機構７とからなる。In Figure 1, 1 represents the alignment device as a whole.
A mounting table 3 on which a printed circuit board 2 to be aligned is placed; a reference pin drive mechanism 5 that drives a first reference pin 4 having a part of a conical tip 5; and a reference pin drive mechanism 7 that drives a second reference pin 6 having a second reference pin 6.
プリント基板２には、第２図に示すように、例えば長手
方向の一側縁部に第１の基準ピン４を挿入するためのア
ライメント用基準孔ＡＨＩと、第２の基準ピン６を挿入
するためのアライメント用基準孔ＡＨ２とが、所定距離
ｄだけ離れて設けられている。このアライメント用基準
孔ＡＨＩ及びＡＨ２の内径は、第１の基準ピン４及び第
２の基準ピン６の根元部分の最外径よりも小さい値に予
め選定されており、これにより、第１の基準ピン４がア
ライメント用基準孔ＡＨＩに挿入されたとき、あるいは
第２の基準ピン６がアライメント用基準孔ＡＨ２に挿入
されたとき、円錐形状先端部の外表面が基準孔ＡＨＩ及
び基準孔ＡＨ２に当接することにより、先端部がその先
端を基準孔ＡＨ１及びＡＨ２内に差し込んで行くに従っ
て基準孔ＡＨＩ及びＡＨ２を第１の基準ピン４及び第２
の基準ピン６の中心軸上に位置決めできるようになされ
ている。As shown in FIG. 2, an alignment reference hole AHI for inserting the first reference pin 4 and a second reference pin 6 are inserted into the printed circuit board 2, for example, at one edge in the longitudinal direction. An alignment reference hole AH2 is provided at a predetermined distance d. The inner diameters of the alignment reference holes AHI and AH2 are pre-selected to be smaller than the outermost diameters of the root portions of the first reference pin 4 and the second reference pin 6. When the pin 4 is inserted into the alignment reference hole AHI or when the second reference pin 6 is inserted into the alignment reference hole AH2, the outer surface of the conical tip touches the reference hole AHI and the reference hole AH2. By contacting the reference holes AHI and AH2, as the tips are inserted into the reference holes AH1 and AH2, the first reference pin 4 and the second reference pin 4
It is designed so that it can be positioned on the central axis of the reference pin 6.
載置テーブル３は第３図に示すように、その上面に多数
の通気孔ＨＬを有し、載置テーブル３内部の通気路３Ａ
に通じている。このため、通気路３Ａに外部から圧縮空
気を流入させることにより、当該圧縮空気が通気孔ＨＬ
を通して載置テーブル３の表面に噴射され、プリント基
板２を僅かに浮上させることができ、実際上、プリント
基板２及び載置テーブル３間の摩擦力を十分小さくし得
る。As shown in FIG. 3, the mounting table 3 has a large number of ventilation holes HL on its upper surface, and a ventilation passage 3A inside the mounting table 3.
It is familiar to Therefore, by allowing compressed air to flow into the ventilation passage 3A from the outside, the compressed air can flow into the ventilation hole HL.
The liquid is sprayed onto the surface of the mounting table 3 through the wafer, making it possible to slightly levitate the printed circuit board 2, and in fact, the frictional force between the printed circuit board 2 and the mounting table 3 can be made sufficiently small.
また載置テーブル３上には、基準孔ＡＨＩ及びＡＨ２に
対向するように、互いに距離ｄだけ離れた位置に、それ
ぞれ第１の基準ピン４、第２の基準ピン６の下降を妨げ
ないように、十分な内径及び深さを有する逃げ穴ＡＰＩ
及びＡＰ２が設けられている。Further, on the mounting table 3, a first reference pin 4 and a second reference pin 6 are placed at positions separated by a distance d from each other so as to face the reference holes AHI and AH2, so as not to prevent the lowering of the first reference pin 4 and the second reference pin 6, respectively. , relief hole API with sufficient inner diameter and depth
and AP2 are provided.
基準ピン駆動機構５は、載置テーブル３に立設された支
柱８、支柱８に互いに並行するように垂設された上下運
動用ガイド部９及びアクチュエータ１０からなり、第１
の基準ピン４は、ガイド捧９Ｃ上を上下方向に移動する
ガイド９Ａの下端部に固定された連結部材９Ｂに垂設さ
れており、矢印ａで示すように上下方向に運動可能に案
内される。The reference pin drive mechanism 5 includes a support 8 erected on the mounting table 3, a vertical movement guide 9 vertically installed parallel to the support 8, and an actuator 10.
The reference pin 4 is vertically installed on a connecting member 9B fixed to the lower end of the guide 9A that moves vertically on the guide bar 9C, and is guided so as to be movable in the vertical direction as shown by arrow a. .
アクチュエータ１０はエアシリンダＩＯＡ及びピストン
ＩＯＢからなる複動型空気圧シリンダでなり、ピストン
ＩＯＢには、スプリングＩＯＥを介して連結部材９Ｂが
連結されている。この実施例の場合、ピストンＩＯＢは
連結部材９Ｂに穿設された透孔を摺動自在に挿通し、根
元側に設けたストッパＩＯＣ及び連結部材９Ｂの上面間
に介挿されたスプリング１０Ｅによって連結部材９Ｂを
先端側に設けたストッパＩＯＤに押圧偏倚するようにな
されている。The actuator 10 is a double-acting pneumatic cylinder consisting of an air cylinder IOA and a piston IOB, and a connecting member 9B is connected to the piston IOB via a spring IOE. In the case of this embodiment, the piston IOB is slidably inserted through a through hole drilled in the connecting member 9B, and is connected by a spring 10E inserted between a stopper IOC provided on the base side and the upper surface of the connecting member 9B. The member 9B is pressed against a stopper IOD provided on the distal end side.
以上のように構成することにより、基準ピン駆動機構５
のエアシリンダＩＯＡによってピストン１０Ｂが下方に
突出駆動されたとき、連結部材９Ｂを介して第１の基準
ピン４に対してスプリング１０Ｅの弾発力に相当する適
度な押下刃を与えるようになされている。By configuring as described above, the reference pin drive mechanism 5
When the piston 10B is driven to protrude downward by the air cylinder IOA, an appropriate pressing edge corresponding to the elastic force of the spring 10E is applied to the first reference pin 4 via the connecting member 9B. There is.
一方、基準ピン駆動機構７は、第２の基準ピン６を矢印
ａで示すように上下運動させるもので、対応部分に同一
符号を付して示すように、第２の基準ピン６が水平方向
に僅かに移動できるように支持されていることを除いて
、基準ピン駆動機構４と同様の構成を有する。すなわち
、載置テーブル３に立設された支柱８、支柱８に垂設さ
れた上下運動用ガイド部９及びアクチュエータ１０から
なる。このような構成に加えて、第２の基準ピン６は、
ストッパ１１により移動量を制限されながら水平方向に
移動自在の左右方向ガイド１２に垂設されており、左右
方向ガイド１２が連結部材９Ｂに矢印すで示す方向に摺
動可能に取り付けられていることにより、処理対象であ
るプリント基板２のアライメント用基準孔ＡＨＩ及びＡ
Ｈ２間の距離ｄにばらつきがあっても、このばらつきを
左右方向ガイド１２が吸収して第２の基準ピン６をアラ
イメント用基準孔ＡＨ２に挿入させることができる。On the other hand, the reference pin drive mechanism 7 moves the second reference pin 6 up and down as shown by arrow a, and as shown by assigning the same reference numerals to corresponding parts, the second reference pin 6 moves horizontally. It has the same configuration as the reference pin drive mechanism 4 except that it is supported so as to be able to move slightly. That is, it consists of a column 8 erected on the mounting table 3, a vertical movement guide section 9 vertically disposed on the column 8, and an actuator 10. In addition to such a configuration, the second reference pin 6 is
It is vertically installed on a left-right guide 12 that is movable in the horizontal direction while the amount of movement is limited by a stopper 11, and the left-right guide 12 is attached to the connecting member 9B so as to be slidable in the direction already indicated by the arrow. Accordingly, the alignment reference holes AHI and A of the printed circuit board 2 to be processed are
Even if there is variation in the distance d between H2, the left-right guide 12 can absorb this variation and insert the second reference pin 6 into the alignment reference hole AH2.
以上の構成において、プリント基板２は以下の手順に従
って載置テーブル３上にアライメントされる。In the above configuration, the printed circuit board 2 is aligned on the mounting table 3 according to the following procedure.
先ず、第４図に示すように、載置テーブル３上にプリン
ト基板２を載置した状態において、外部から空気路３Ａ
に圧縮空気を送り込むことにより、載置テーブル３上に
載置されたプリント基板２を、通気孔ＨＬを通して噴射
される圧縮空気によって僅かに浮上させる状態を得る。First, as shown in FIG. 4, with the printed circuit board 2 placed on the mounting table 3, the air passage 3A is
By sending compressed air into the mounting table 3, a state is obtained in which the printed circuit board 2 placed on the mounting table 3 is slightly floated by the compressed air jetted through the ventilation hole HL.
この状態において、基準ピン駆動機構５のアクチュエー
タ１０を駆動して、ピストンＩＯＢを降下させて行き、
かくして第１の基準ピン４をプリント基板２上のアライ
メント用基準孔ＡＨＩに挿入して行く。このとき、プリ
ント基板２は僅かに浮上しているため、載置テーブル３
との摩擦力が十分小さい状態にあるので、アライメント
用基準孔ＡＨＩは、第１の基準ピン４の先端部の表面に
よって案内されて第１の基準ピン４が降下する位置へ滑
らかに、かつ高い精度でアライメントされる。In this state, the actuator 10 of the reference pin drive mechanism 5 is driven to lower the piston IOB,
In this manner, the first reference pin 4 is inserted into the alignment reference hole AHI on the printed circuit board 2. At this time, the printed circuit board 2 is slightly floating, so the mounting table 3
Since the frictional force between the first reference pin 4 and the first reference pin 4 is in a sufficiently small state, the alignment reference hole AHI is guided by the surface of the tip of the first reference pin 4 and moves smoothly and high to the position where the first reference pin 4 descends. Aligned with precision.
なお、アライメント用基準孔ＡＨＩの全内周に第１の基
準ピン４の側面が当接しても、ピストン１０Ｂは降下し
続けるが、スプリングＩＯＥによって、プリント基板２
に無理な力をかけないようにし得る。Note that even if the side surface of the first reference pin 4 contacts the entire inner circumference of the alignment reference hole AHI, the piston 10B continues to descend, but the spring IOE causes the printed circuit board 2
You can avoid applying excessive force to the
この状態に続いて、第５図に示すように、アライメント
用基準孔ＡＨＩがアライメントされた後圧縮空気は噴射
させたまま基準ピン駆動機構７のアクチュエータ１０を
駆動し、第２の基準ピン６を降下させ、当該第２の基準
ピン６をプリント基板２上のアライメント用基準孔ＡＨ
２に挿入させることにより、基準孔ＡＨ２を第２の基準
ピン６の位置にアライメントさせる。Following this state, as shown in FIG. 5, after the alignment reference hole AHI has been aligned, the actuator 10 of the reference pin drive mechanism 7 is driven while the compressed air is being injected to move the second reference pin 6. lower the second reference pin 6 to the alignment reference hole AH on the printed circuit board 2.
2, the reference hole AH2 is aligned with the position of the second reference pin 6.
かくして、アライメント用基準孔ＡＨＩ及びＡＨ２のア
ライメントが終了すると、圧縮空気の噴射を止めた後、
通気路３Ａに負圧空気を送り込む。In this way, when the alignment of the alignment reference holes AHI and AH2 is completed, after stopping the injection of compressed air,
Negative pressure air is sent into the ventilation path 3A.
かくしてプリント基板２は第１の基準ピン４及び第２の
基準ピン６によってアライメントされた状態を維持しな
がら通気孔ＨＬに吸着固定される。In this way, the printed circuit board 2 is suctioned and fixed to the ventilation hole HL while maintaining the aligned state by the first reference pin 4 and the second reference pin 6.
その後、基準ピン駆動機構５及び７を駆動して、第１の
基準ピン４及び第２の基準ピン６を上昇させ、かくして
プリント基板２のアライメントが完了する。Thereafter, the reference pin drive mechanisms 5 and 7 are driven to raise the first reference pin 4 and the second reference pin 6, thus completing the alignment of the printed circuit board 2.
以上の構成によれば、アライメント時、プリント基板２
を僅かに浮上させるようにすることにより、プリント基
板２及び載置テーブル３間の摩擦力を十分小さくでき、
その結果プリント基板を傷つけることなく、滑らかに、
かつ高い精度でアライメントし得るアライメント装置１
を容易に実現し得る。According to the above configuration, during alignment, the printed circuit board 2
By making it float slightly, the frictional force between the printed circuit board 2 and the mounting table 3 can be sufficiently reduced.
As a result, the printed circuit board can be smoothly cleaned without damaging it.
Alignment device 1 that can perform alignment with high precision
can be easily realized.
実験によれば、第１図において矢印すに示す方向に対す
るアライメント再現性は、本実施例によるアライメント
装置の方（第６図（Ａ））が、従来の方法によるアライ
メント装置の場合（第６図（Ｂ））より格段的に良好で
あることを確認し得た。According to experiments, the alignment reproducibility in the direction indicated by the arrow in FIG. It was confirmed that this was significantly better than (B)).
かくするにつき、上述の実施例によれば、第２の基準ピ
ン６を左右方向ガイド１２により水平方向に摺動可能と
なることにより、プリント基板２上のアライメント用基
準孔ＡＨＩ及びＡＨ２間の距離ｄにばらつきが生じても
、プリント基板２を滑らかに、かつ高い精度でアライメ
ントし得る。Accordingly, according to the embodiment described above, the distance between the alignment reference holes AHI and AH2 on the printed circuit board 2 can be adjusted by making the second reference pin 6 horizontally slidable by the left-right guide 12. Even if variations occur in d, the printed circuit board 2 can be aligned smoothly and with high precision.
さらに上述の実施例によれば、第１の基準ピン４、第２
の基準ピン６を適度な力で下降させるように構成したこ
とにより、プリント基板２上のアライメント用基準孔Ａ
ＨＩ及びＡＨ２を傷付けることなくアライメントし得る
。Furthermore, according to the embodiment described above, the first reference pin 4, the second
By configuring the reference pin 6 to be lowered with an appropriate force, the alignment reference hole A on the printed circuit board 2
Alignment can be performed without damaging HI and AH2.
なお、上述の実施例においては、第２の基準ピン６が左
右方向ガイド１２により水平方向に摺動し得るように構
成されているが、当該第２の基準ピン６の左右方向の移
動量を公知の測定方法で測定することにより、プリント
基板２上のアライメント用基準孔ＡＨＩ及びＡＨ２間の
距離ｄのばらつき量を測定することができる。この測定
値は、例えばプリント基板の製造工程において、アライ
メント処理後の工程（例えばりソゲラフイエ程など）で
、有効に活用し得る。In the above embodiment, the second reference pin 6 is configured to be able to slide in the horizontal direction by the left-right guide 12, but the amount of movement of the second reference pin 6 in the left-right direction is By measuring using a known measuring method, it is possible to measure the amount of variation in the distance d between the alignment reference holes AHI and AH2 on the printed circuit board 2. This measured value can be effectively utilized, for example, in the process of manufacturing printed circuit boards, in a process after an alignment process (for example, a sogerafue process, etc.).
さらに上述においては、プリント基板をアライメント対
象としたが、他のアライメント対象の場合も同様の効果
を得ることができる。Further, in the above description, the printed circuit board is the object of alignment, but the same effect can be obtained with other objects of alignment.
上述のように本発明によれば、アライメント対象を傷付
けることなく、滑らかに、かつ高い精度でアライメント
し得るアライメント装置を容易に実現し得る。As described above, according to the present invention, it is possible to easily realize an alignment device that can perform alignment smoothly and with high accuracy without damaging the alignment target.
第１図は本発明によるアライメント装置の一実施例を示
す路線図、第２図はプリント基板上のアライメント用基
準孔の説明に供する路線図、第３図は載置テーブルの細
部の様子を示す路線的斜視図、第４図及び第５図はアラ
イメント手順の説明に供する路線図、第６図はアライメ
ント再現性の説明に供する路線図である。
１・・・・・・アライメント装置、２・・・・・・プリ
ント基板、３・・・・・・載置テーブル、４・・・・・
・第１の基準ピン、５．７・・・・・・基準ピン駆動機
構、６・・・・・・第２の基準ピン、１０・・・・・・
アクチュエータ。Fig. 1 is a route map showing an embodiment of the alignment device according to the present invention, Fig. 2 is a route map for explaining alignment reference holes on a printed circuit board, and Fig. 3 is a detailed view of the mounting table. A perspective view of the route, FIGS. 4 and 5 are route maps for explaining the alignment procedure, and FIG. 6 is a route map for explaining the alignment reproducibility. 1... Alignment device, 2... Printed circuit board, 3... Placement table, 4...
・First reference pin, 5.7... Reference pin drive mechanism, 6... Second reference pin, 10...
actuator.
Claims (1)
ト用基準孔に挿入することにより、上記アライメント対
象を載置テーブル上にアライメントするようになされた
アライメント装置において、上記載置テーブルは、多数
の通気孔を有し、上記基準ピンを上記アライメント用基
準孔に挿入する際に、上記多数の通気孔から圧縮空気を
噴射することにより、上記アライメント対象を僅かに浮
上させる ことを特徴とするアライメント装置。[Claims] In an alignment device, the alignment target is aligned on a mounting table by inserting a plurality of reference pins into alignment reference holes on the alignment target, wherein the mounting table is , having a large number of ventilation holes, and when inserting the reference pin into the alignment reference hole, the alignment target is slightly floated by injecting compressed air from the large number of ventilation holes. alignment device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035348A JPS63201808A (en) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | Alignment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62035348A JPS63201808A (en) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | Alignment device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201808A true JPS63201808A (en) | 1988-08-19 |
Family
ID=12439355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62035348A Pending JPS63201808A (en) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | Alignment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63201808A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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