JPS63182627A - カラ−液晶素子 - Google Patents
カラ−液晶素子Info
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- JPS63182627A JPS63182627A JP62014924A JP1492487A JPS63182627A JP S63182627 A JPS63182627 A JP S63182627A JP 62014924 A JP62014924 A JP 62014924A JP 1492487 A JP1492487 A JP 1492487A JP S63182627 A JPS63182627 A JP S63182627A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、表示要素の単位をつくる複数個の電極を備え
た一対の基板間て生じる電気光学的変化によって表示を
行なう、特にカラーフィルターを基板内面に設けたカラ
ー液晶素子に関し、更に詳しくは、感光性の着色樹脂に
より形成されるカラーフィルターを用いる場合、その着
色材料の樹脂に対する含有比率を規制することにより、
配向欠陥の無い表示品位の優れた高品質なカラー液晶素
子に関するものである。
た一対の基板間て生じる電気光学的変化によって表示を
行なう、特にカラーフィルターを基板内面に設けたカラ
ー液晶素子に関し、更に詳しくは、感光性の着色樹脂に
より形成されるカラーフィルターを用いる場合、その着
色材料の樹脂に対する含有比率を規制することにより、
配向欠陥の無い表示品位の優れた高品質なカラー液晶素
子に関するものである。
[従来の技術]
従来、前述のような液晶素子としては、上下基板で直行
した透明電極か形成された2枚の基板間に、電気光学的
変調材料としてTN (twistednematic
)液晶や強誘電性液晶等を挟持してなる構造の時分割駆
動型液晶素子(通称、単純マトリクス方式という)ある
いは各々の表示画素ブσに薄膜トランジスター(通称T
PT)等のスイッチング素子を設けた構造のアクティブ
マトリクス駆動型液晶素子(通称、アクティブマトリク
ス方式という)が用いられている。
した透明電極か形成された2枚の基板間に、電気光学的
変調材料としてTN (twistednematic
)液晶や強誘電性液晶等を挟持してなる構造の時分割駆
動型液晶素子(通称、単純マトリクス方式という)ある
いは各々の表示画素ブσに薄膜トランジスター(通称T
PT)等のスイッチング素子を設けた構造のアクティブ
マトリクス駆動型液晶素子(通称、アクティブマトリク
ス方式という)が用いられている。
この様なパネル構成において、カラー表示をする為には
、液晶素子面に、赤、緑、青色の色彩を有する透過型の
カラーフィルターを配置することが必要である。この場
合、カラー表示素子を斜めから見たときの視差を極力減
らすために、カラーフィルターを液晶素子内部に配置す
るように専ら構成されている。
、液晶素子面に、赤、緑、青色の色彩を有する透過型の
カラーフィルターを配置することが必要である。この場
合、カラー表示素子を斜めから見たときの視差を極力減
らすために、カラーフィルターを液晶素子内部に配置す
るように専ら構成されている。
この様なカラーフィルター内設タイプのカラー液晶素子
は、通常、以下に述べる2つの方法により形成される。
は、通常、以下に述べる2つの方法により形成される。
すなわち、第1の方法としては、第4図(a)に示す様
に透明電極2のパターンを形成した基板l上に該電極パ
ターンとアライメントしたカラーフィルター3のパター
ンを形成し、必要に応じて保護層4を形成した後、配向
膜5を積層し、該配向膜5をラビング処理し、対向基板
と貼り合わせ、基板間の間隙に液晶を注入することによ
りカラー液晶素子を得ることができる。
に透明電極2のパターンを形成した基板l上に該電極パ
ターンとアライメントしたカラーフィルター3のパター
ンを形成し、必要に応じて保護層4を形成した後、配向
膜5を積層し、該配向膜5をラビング処理し、対向基板
と貼り合わせ、基板間の間隙に液晶を注入することによ
りカラー液晶素子を得ることができる。
また第2の方法としては、第4図(b)に示す様に基板
l上にカラーフィルター3を形成し、必要に応じ保護層
4を形成した後、ITO[インジウムチン オキサイド
(Indius−Tin−Oxide) ]等の透明電
極2の層をスパッタや蒸着により形成し、該透明電極2
の層上にフォトレジストパターンを設けた後、エツチン
グにより透明電極2のパターンをカラーフィルターパタ
ーンにアライメントして形成する。次いでフォトレジス
トパターンを除去し、更に配向膜5を積層し、ラビング
処理をした後、対向基板と貼り合わせ、基板間の間隙に
液晶を注入することによりカラー液晶素子を得ることが
できる。
l上にカラーフィルター3を形成し、必要に応じ保護層
4を形成した後、ITO[インジウムチン オキサイド
(Indius−Tin−Oxide) ]等の透明電
極2の層をスパッタや蒸着により形成し、該透明電極2
の層上にフォトレジストパターンを設けた後、エツチン
グにより透明電極2のパターンをカラーフィルターパタ
ーンにアライメントして形成する。次いでフォトレジス
トパターンを除去し、更に配向膜5を積層し、ラビング
処理をした後、対向基板と貼り合わせ、基板間の間隙に
液晶を注入することによりカラー液晶素子を得ることが
できる。
上記の如き、カラーフィルターを液晶素子内部に配置す
る各構成においては、カラーフィルターパターンの表面
、側面形状の状態及びカラーフィルター自体の物性が液
晶素子に及ぼす影響に大きく関与してくる。
る各構成においては、カラーフィルターパターンの表面
、側面形状の状態及びカラーフィルター自体の物性が液
晶素子に及ぼす影響に大きく関与してくる。
ところで、カラーフィルターには、プロセス特性上有利
な方法として、フォトリソ工程のみで微細パターン化て
きる感光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂を用いて
形成することを特徴とするものが従来知られていたが、
この様なカラーフィルターにおいては、予め感光性樹脂
中に着色材料が混入されており、その混入量によって主
に光硬化に対する挙動及び形成後の着色樹脂膜の特性等
に種々の問題が生じていた。
な方法として、フォトリソ工程のみで微細パターン化て
きる感光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂を用いて
形成することを特徴とするものが従来知られていたが、
この様なカラーフィルターにおいては、予め感光性樹脂
中に着色材料が混入されており、その混入量によって主
に光硬化に対する挙動及び形成後の着色樹脂膜の特性等
に種々の問題が生じていた。
例えば、光硬化不良による膜剥離とが、パターンエツジ
部の粗れ、パターン表面の粗れ等のバターニング精度の
問題、さらに、カラーフィルター形成後のプロセスにお
ける膜のクラック、ワレ等であり、これらのカラーフィ
ルターでの欠陥は、そのまま液晶の配向欠陥へと結びつ
き、表示品位の劣ったカラー液晶素子が得られる欠点が
あった。
部の粗れ、パターン表面の粗れ等のバターニング精度の
問題、さらに、カラーフィルター形成後のプロセスにお
ける膜のクラック、ワレ等であり、これらのカラーフィ
ルターでの欠陥は、そのまま液晶の配向欠陥へと結びつ
き、表示品位の劣ったカラー液晶素子が得られる欠点が
あった。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明は、以上の様な問題点に鑑みてなされたもので、
プロセス特性上有利な感光性着色樹脂のフォトリソ工程
によりカラーフィルターを形成する方法において、感光
性樹脂中に分散させる着色材料の比率を規制することに
より、薄膜で、カラーフィルターパターンの表面、側面
形状を良好な状態に保ち、かつパターン欠陥の無い、品
質の良いカラーフィルターを形成すると共に配向欠陥の
無い、表示品位の優れたカラー液晶素子を提供すること
を目的とするものである。
プロセス特性上有利な感光性着色樹脂のフォトリソ工程
によりカラーフィルターを形成する方法において、感光
性樹脂中に分散させる着色材料の比率を規制することに
より、薄膜で、カラーフィルターパターンの表面、側面
形状を良好な状態に保ち、かつパターン欠陥の無い、品
質の良いカラーフィルターを形成すると共に配向欠陥の
無い、表示品位の優れたカラー液晶素子を提供すること
を目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]および[作用]本発明
者らは、上記の目的を達成するため、カラーフィルター
を形成する際に用いられる感光性着色樹脂を構成する着
色材料と感光性樹脂の重量比に着目し、実験により液晶
の配向欠陥を生じさせないカラーフィルターを有するカ
ラー液晶素子を見い出したものである。
者らは、上記の目的を達成するため、カラーフィルター
を形成する際に用いられる感光性着色樹脂を構成する着
色材料と感光性樹脂の重量比に着目し、実験により液晶
の配向欠陥を生じさせないカラーフィルターを有するカ
ラー液晶素子を見い出したものである。
即ち、本発明は、透明電極の形成された一対の平行基板
間に液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間
に、あるいは透明電極上に、感光性樹脂と着色材料から
なる複数色のカラーフィルターを配設してなるカラー液
晶素子において、該カラーフィルター各色を構成する着
色材料の重量をP、感光性樹脂の重量なVとした場合の
重量比(P/V比)が173≦P/v≦3/2ノ関係か
らなルコとを特徴とするカラー液晶素子である。
間に液晶を挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間
に、あるいは透明電極上に、感光性樹脂と着色材料から
なる複数色のカラーフィルターを配設してなるカラー液
晶素子において、該カラーフィルター各色を構成する着
色材料の重量をP、感光性樹脂の重量なVとした場合の
重量比(P/V比)が173≦P/v≦3/2ノ関係か
らなルコとを特徴とするカラー液晶素子である。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明に適するカラーフィルターを形成する為に用いら
れる感光性樹脂としては、通常のレジスト材料を用いる
ことが可能であるが、特にカラー液晶素子を構成する際
に機械的特性をはじめ、耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の
緒特性に優れた以下のものを用いることが好ましい。
れる感光性樹脂としては、通常のレジスト材料を用いる
ことが可能であるが、特にカラー液晶素子を構成する際
に機械的特性をはじめ、耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の
緒特性に優れた以下のものを用いることが好ましい。
すなわち、200°C以下にて硬化膜が得られるもの、
例えば、 150℃×30分程度の熱で硬化膜を形成て
きる、例えば、感光性基をその分子内に持つ芳香族系の
ポリアミド樹脂及びポリイミド樹脂で、特に、可視光波
長城(400〜7(10nm)で特定の光吸収特性を持
たないもの(光透過率で90%程度以上のもの)か好ま
しい。この観点からは、特に芳香族系のポリアミド樹脂
が好ましい。
例えば、 150℃×30分程度の熱で硬化膜を形成て
きる、例えば、感光性基をその分子内に持つ芳香族系の
ポリアミド樹脂及びポリイミド樹脂で、特に、可視光波
長城(400〜7(10nm)で特定の光吸収特性を持
たないもの(光透過率で90%程度以上のもの)か好ま
しい。この観点からは、特に芳香族系のポリアミド樹脂
が好ましい。
また、本発明における感光性を有する基としては、以下
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 (1)安息香酸エステル類 (式中R1はCHX=CY−COO−Z−1Xは−■又
は−Ca Hs、Yは一■又は−CH3、Zは−又はエ
チル基又はグリシジル基を示す) (2)ベンジルアクリレート類 (式中Yは−H又はCH,を示す) (3)ジフェニルエーテル類 (式中R2はCHX=CY−CONH−、CI□=CY
−000−(CIlg) 2−OCO−又はCH2=C
Y−COO−CH□−をlヶ以上含むもの、X、Yは前
記と同大を示す) (4)カルコン類及びその他化合物鎖 (式中R3は11−、アルキル基、アルコシキ基を示す
) 等が挙げられる。
に示す様な感光性の炭化水素不飽和基をもつ芳香族鎖で
あれば良く、例えば、 (1)安息香酸エステル類 (式中R1はCHX=CY−COO−Z−1Xは−■又
は−Ca Hs、Yは一■又は−CH3、Zは−又はエ
チル基又はグリシジル基を示す) (2)ベンジルアクリレート類 (式中Yは−H又はCH,を示す) (3)ジフェニルエーテル類 (式中R2はCHX=CY−CONH−、CI□=CY
−000−(CIlg) 2−OCO−又はCH2=C
Y−COO−CH□−をlヶ以上含むもの、X、Yは前
記と同大を示す) (4)カルコン類及びその他化合物鎖 (式中R3は11−、アルキル基、アルコシキ基を示す
) 等が挙げられる。
これ等の基を分子内に持つ芳香族系のポリアミド樹脂及
びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートPA−
1000(宇部興産輛製)、リソコートPI−400(
宇部興産輛製)等が挙げられる。
びポリイミド樹脂の具体例を示すと、リソコートPA−
1000(宇部興産輛製)、リソコートPI−400(
宇部興産輛製)等が挙げられる。
一般にフォトリソ工程で用いられる感光性樹脂は、その
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはしめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記ポリアミド樹脂及びポリイミド
樹脂等の感光性ポリアミノ系樹脂は、化学構造的にも、
これらの耐久性に優れた樹脂系であり、これらを用いて
形成したカラーフィルターの耐久性も非常に良好なもの
となる。
化学構造によって差はあるものの、機械的特性をはしめ
耐熱性、耐光性、耐溶剤性等の耐久性に優れたものは少
ない。これに対し、上記ポリアミド樹脂及びポリイミド
樹脂等の感光性ポリアミノ系樹脂は、化学構造的にも、
これらの耐久性に優れた樹脂系であり、これらを用いて
形成したカラーフィルターの耐久性も非常に良好なもの
となる。
本発明のカラーフィルターを形成するために用いられる
着色材料としては、有機顔料、無機顔料、染料等のうち
所望の分光特性を得られるものであれば、特に限定され
るものではない。この場合、各材料を単体で用いること
も、これらのうちのいくつかの混合物として用いること
もできる。
着色材料としては、有機顔料、無機顔料、染料等のうち
所望の分光特性を得られるものであれば、特に限定され
るものではない。この場合、各材料を単体で用いること
も、これらのうちのいくつかの混合物として用いること
もできる。
ただし、染料を用いた場合には、染料自体の耐久性によ
り、カラーフィルターの性能が支配されてしまうが、上
記の樹脂系を用いれば、通常の染色カラーフィルターに
比べ性能の優れたものか形成可能である。従って、カラ
ーフィルターの色特性及び諸性能から勘案すると有機顔
料か着色材料として最も好ましい。
り、カラーフィルターの性能が支配されてしまうが、上
記の樹脂系を用いれば、通常の染色カラーフィルターに
比べ性能の優れたものか形成可能である。従って、カラ
ーフィルターの色特性及び諸性能から勘案すると有機顔
料か着色材料として最も好ましい。
有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ系、縮合ア
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料、
そしてインジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ペ
リノン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、イソイン
ドリノン系、フタロン系、メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
ゾ系等のアゾ系顔料をはじめ、フタロシアニン系顔料、
そしてインジゴ系、アントラキノン系、ペリレン系、ペ
リノン系、ジオキサジン系、キナクリドン系、イソイン
ドリノン系、フタロン系、メチン・アゾメチン系、その
他金属錯体系を含む縮合多環系顔料、あるいはこれらの
うちのいくつかの混合物が用いられる。
本発明において、カラーフィルターを形成するために使
用する着色樹脂は、上記感光性ポリアミノ系樹脂溶液に
所望の分光特性を有する上記着色材料を感光性樹脂量を
V (gr)、着色材料の量をP(g「)とした場合ノ
Plv比テ1/3≦P/v≦3/2ノ範囲の割合で配合
し、超音波あるいは三木ロール、ボールミル、サンドミ
ル等により充分に分散させた後、1終鳳程度のフィルタ
ーにて粒径の大きいものを除去して調製する。
用する着色樹脂は、上記感光性ポリアミノ系樹脂溶液に
所望の分光特性を有する上記着色材料を感光性樹脂量を
V (gr)、着色材料の量をP(g「)とした場合ノ
Plv比テ1/3≦P/v≦3/2ノ範囲の割合で配合
し、超音波あるいは三木ロール、ボールミル、サンドミ
ル等により充分に分散させた後、1終鳳程度のフィルタ
ーにて粒径の大きいものを除去して調製する。
ここで、本発明で規定した1/3≦P/V≦3/2につ
いて具体的に説明すると、今所望の分光特性を得るため
に着色材料の種類と量が設定された場合、主にカラーフ
ィルターの形成上の観点、あるいは液晶への配向欠陥発
生の観点から、感光性樹脂量Vの値は、実験よりある範
囲に設定される。
いて具体的に説明すると、今所望の分光特性を得るため
に着色材料の種類と量が設定された場合、主にカラーフ
ィルターの形成上の観点、あるいは液晶への配向欠陥発
生の観点から、感光性樹脂量Vの値は、実験よりある範
囲に設定される。
すなわち、P/V >3/2においては着色材料分が多
くなりすぎる為、以下の様な問題が発生する。
くなりすぎる為、以下の様な問題が発生する。
■均一分散された着色樹脂の調製が難しく、これにより
色のバラツキか大きくなる上、特に形成されたカラーフ
ィルター表面の粗さがあらくなり、液晶に対する配向の
乱れを誘発する。
色のバラツキか大きくなる上、特に形成されたカラーフ
ィルター表面の粗さがあらくなり、液晶に対する配向の
乱れを誘発する。
■光硬化時の着色材料の光吸収が大きくなり、感光性樹
脂自体の光硬化不良か発生し、現像時にクラック、ワレ
、膜ハガレ等の欠陥に結びつき、液晶に対する配向の乱
れを誘発する。
脂自体の光硬化不良か発生し、現像時にクラック、ワレ
、膜ハガレ等の欠陥に結びつき、液晶に対する配向の乱
れを誘発する。
■光硬化時の着色材料による散乱が増し、かつバインダ
ー成分が少ないことから、カラーフィルターエツジ部分
かきれいにバターニングできず、ギザギザ状になり、こ
れにより液晶に対する配向の乱れを誘発する。
ー成分が少ないことから、カラーフィルターエツジ部分
かきれいにバターニングできず、ギザギザ状になり、こ
れにより液晶に対する配向の乱れを誘発する。
■カラーフィルター形成後の膜質も、着色材料分が多い
為、もろく、液晶素子形成時に、主にスペーサー等によ
る割れ、クラック等の欠陥に結びつき、液晶に対する配
向の乱れを誘発する。
為、もろく、液晶素子形成時に、主にスペーサー等によ
る割れ、クラック等の欠陥に結びつき、液晶に対する配
向の乱れを誘発する。
等の問題が発生し、表示品位の優れたカラー液晶素子を
形成することが難しい。
形成することが難しい。
逆に、P/V<1/3の場合には、樹脂分が多くなりす
ぎる為、以下の様な問題点が発生する。
ぎる為、以下の様な問題点が発生する。
すなわち。
■カラーフィルタ一層の膜厚が厚くなり、画素間段差が
大きくなり、これにより液晶に対する配向の乱れを誘発
する。
大きくなり、これにより液晶に対する配向の乱れを誘発
する。
■カラーフィルタ一層の膜厚が厚くなり、感光性樹脂の
パターニングがきれいにできなくなる。
パターニングがきれいにできなくなる。
これによってパターンの乱れた所から液晶に対する配向
の乱れを誘発する。
の乱れを誘発する。
■カラーフィルタ一層の膜厚が厚くなり、液晶素子を形
成する際、スペーサーによるカラーフィルタ一層のへこ
み量も大きくなり、均一なセルギャップ保持が難しい上
、このへこみ部分からカラーフィルターのクラック、割
れ等が発生し、液晶に対する配向の乱れを誘発する。
成する際、スペーサーによるカラーフィルタ一層のへこ
み量も大きくなり、均一なセルギャップ保持が難しい上
、このへこみ部分からカラーフィルターのクラック、割
れ等が発生し、液晶に対する配向の乱れを誘発する。
等であリミこれらにおいても表示品位の優れた力ラー液
晶素子を形成することが難しい。
晶素子を形成することが難しい。
以上の各問題は、カラーフィルタ一層上に、たとえ保護
膜、透明電極、配向膜等でカバーしても、液晶と接する
面での配向膜の乱れは保持され、配向欠陥へと結びつく
。
膜、透明電極、配向膜等でカバーしても、液晶と接する
面での配向膜の乱れは保持され、配向欠陥へと結びつく
。
従って、表示品位の優れたカラー液晶素子を構成するに
は、特に液晶の配向に乱れを誘発しない観点から、P/
V比を1/3≦P/V≦3/2の範囲に規制した感光性
着色樹脂により形成されるカラーフィルターが必要とな
る。
は、特に液晶の配向に乱れを誘発しない観点から、P/
V比を1/3≦P/V≦3/2の範囲に規制した感光性
着色樹脂により形成されるカラーフィルターが必要とな
る。
なお、本発明で規定したP/V比の範囲においては、液
晶の配向の観点以外のカラーフィルターの基本的な色特
性、膜厚及び性能等でも充分に実用上、支障のないもの
が形成できる。
晶の配向の観点以外のカラーフィルターの基本的な色特
性、膜厚及び性能等でも充分に実用上、支障のないもの
が形成できる。
本発明のカラーフィルターは、前記着色樹脂をスピンナ
ー、ロールコータ−等の塗布装置により基板上に塗布し
、フォトリソ工程によりパターン状に形成され、その層
厚は所望とする分光特性に応じて決定されるが、通常は
0.5〜5ILm程度、好ましくは、1〜2pm程度が
望ましい。
ー、ロールコータ−等の塗布装置により基板上に塗布し
、フォトリソ工程によりパターン状に形成され、その層
厚は所望とする分光特性に応じて決定されるが、通常は
0.5〜5ILm程度、好ましくは、1〜2pm程度が
望ましい。
なお、本発明のカラーフィルターは、それ自体充分な耐
久性を有する良好な材料で構成されているが、特に、よ
り各種の環境条件から、カラーフィルタ一層を保護する
ためには、カラーフィルタ一層表面に、ポリアミド、ポ
リイミド、ポリウレタン、ポリカーボネート、シリコン
系等の有機樹脂や5iJ4.5i02. Sin、 A
j’20+、 Ta2O+等の無機膜をスピンコード、
ロールコートの塗布法で、あるいは蒸着法によって、保
護層として設けることができる。さらに、上記保護層を
形成した後、材料によっては、配向処理を施すことによ
り、液晶を用いたデバイスへの適用も可能となる。
久性を有する良好な材料で構成されているが、特に、よ
り各種の環境条件から、カラーフィルタ一層を保護する
ためには、カラーフィルタ一層表面に、ポリアミド、ポ
リイミド、ポリウレタン、ポリカーボネート、シリコン
系等の有機樹脂や5iJ4.5i02. Sin、 A
j’20+、 Ta2O+等の無機膜をスピンコード、
ロールコートの塗布法で、あるいは蒸着法によって、保
護層として設けることができる。さらに、上記保護層を
形成した後、材料によっては、配向処理を施すことによ
り、液晶を用いたデバイスへの適用も可能となる。
この保護層の層厚は、一般的には、0.2〜101、好
ましくは0.5〜5piの範囲に設定される。
ましくは0.5〜5piの範囲に設定される。
カラーフィルタ一層と下地の基板間との接着性を更に増
す必要かある場合には、基板上にあらかじめシラン力・
ンブリング剤等で薄く塗布した後にカラーフィルターパ
ターンを形成するが、あるいは、あらかじめ着色樹脂中
にシランカップリング剤等を少量添加したものを用いて
カラーフィルターを形成することにより、一層効果的で
ある。
す必要かある場合には、基板上にあらかじめシラン力・
ンブリング剤等で薄く塗布した後にカラーフィルターパ
ターンを形成するが、あるいは、あらかじめ着色樹脂中
にシランカップリング剤等を少量添加したものを用いて
カラーフィルターを形成することにより、一層効果的で
ある。
また、場合によっては表示特性を向上させる目的及び各
画素間の間隙をうめる目的で、各画素間に合わせて、遮
光層をクロム、アルミニウム等の遮光能力をもつ金属薄
膜を蒸着法で、あるいは感光性ポリアミノ系樹脂中にカ
ーボンブラック、複合酸化物思顔料、金属粉等の遮光能
力をもった材料を分散させた遮光樹脂層を塗布法で形成
することかてきる。
画素間の間隙をうめる目的で、各画素間に合わせて、遮
光層をクロム、アルミニウム等の遮光能力をもつ金属薄
膜を蒸着法で、あるいは感光性ポリアミノ系樹脂中にカ
ーボンブラック、複合酸化物思顔料、金属粉等の遮光能
力をもった材料を分散させた遮光樹脂層を塗布法で形成
することかてきる。
未発°明に用いられる配向膜の材料としては1例えば、
ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミドイミド
、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリビニルアセタ
ール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、
ポリスチレン、セルロース樹脂、メラミン樹脂、ユリア
樹脂、アクリル樹脂などの樹脂類、あるいは感光性ポリ
イミド、感光性ポリアミド、環化ゴム系フォトレジスト
、フェノールノボラック系フォトレジストあるいは電子
線フォトレジスト[メタクリレート(モノマー、オリゴ
マー)、エポキシ化−1,4−ポリブタジェンなど]な
どから選択して形成することができる。
ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミドイミド
、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリビニルアセタ
ール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、
ポリスチレン、セルロース樹脂、メラミン樹脂、ユリア
樹脂、アクリル樹脂などの樹脂類、あるいは感光性ポリ
イミド、感光性ポリアミド、環化ゴム系フォトレジスト
、フェノールノボラック系フォトレジストあるいは電子
線フォトレジスト[メタクリレート(モノマー、オリゴ
マー)、エポキシ化−1,4−ポリブタジェンなど]な
どから選択して形成することができる。
本発明で用いる液晶材料としては、一般的なTN型液晶
のほが、特に適したものは双安定性を有する液晶であっ
て、強誘電性を有するものであり、具体的にはカイラル
スメクティックC相(Sac”) 、 H相(SmH”
) 、 I相(Sml”) 、 J相(SmJ’) 、
K相(S+*K”) 、 G相(SmG”)またはF
相(SmF’)の液晶を用いることかできる。
のほが、特に適したものは双安定性を有する液晶であっ
て、強誘電性を有するものであり、具体的にはカイラル
スメクティックC相(Sac”) 、 H相(SmH”
) 、 I相(Sml”) 、 J相(SmJ’) 、
K相(S+*K”) 、 G相(SmG”)またはF
相(SmF’)の液晶を用いることかできる。
この強誘電性液晶については、ル・ジュールナル・ド・
フィジーク・ルチール” (”LEJOURNAL D
E PHYSIQUE LETTRES”) 1975
年、36(L−69)号、「フェロエレクトリック・リ
キッド・クリスタルスJ (’Ferroelectr
ic LiquidCrystals」); “アプ
ライド・フィジックス・レターズ” (”Applie
d Physics Letters ” )1980
年、36 (11)号 、「サブミクロ・セカンド・ハ
イスティプル・エレクトロオプチック・スイッチング・
イン・リキッド・クリスタルス」(’Submicro
5econd B15table Electroo
pticSwitcbing in Liquid C
rystals」) ; “固体物理1981年 16
(14])号、「液晶」等に記載されており、本発明
においては、これらに開示された強誘電性液晶を使用す
ることができる。
フィジーク・ルチール” (”LEJOURNAL D
E PHYSIQUE LETTRES”) 1975
年、36(L−69)号、「フェロエレクトリック・リ
キッド・クリスタルスJ (’Ferroelectr
ic LiquidCrystals」); “アプ
ライド・フィジックス・レターズ” (”Applie
d Physics Letters ” )1980
年、36 (11)号 、「サブミクロ・セカンド・ハ
イスティプル・エレクトロオプチック・スイッチング・
イン・リキッド・クリスタルス」(’Submicro
5econd B15table Electroo
pticSwitcbing in Liquid C
rystals」) ; “固体物理1981年 16
(14])号、「液晶」等に記載されており、本発明
においては、これらに開示された強誘電性液晶を使用す
ることができる。
強誘電性液晶の具体例としては、例えばデシロキシベン
ジリデン−p′−アミノ−2−メチルツチルシンナメー
ト(DOBAMRC) 、ヘキシルオキシベンジリデン
−p′−アミノ−2−クロルプロピルシンナメ−)−(
HOBACPC)、4−o−(2−メチル)−ブチルレ
ゾルシリダン−4′−オクチルアニリン(MBRA8)
等が挙げられる。
ジリデン−p′−アミノ−2−メチルツチルシンナメー
ト(DOBAMRC) 、ヘキシルオキシベンジリデン
−p′−アミノ−2−クロルプロピルシンナメ−)−(
HOBACPC)、4−o−(2−メチル)−ブチルレ
ゾルシリダン−4′−オクチルアニリン(MBRA8)
等が挙げられる。
これらの材料を用いて素子を構成する場合、液晶化合物
かカイラルスメクティック相となるような温度状態に保
持するため、必要に応じて素子をヒーターか埋め込まれ
たブロック等により支持することかできる。
かカイラルスメクティック相となるような温度状態に保
持するため、必要に応じて素子をヒーターか埋め込まれ
たブロック等により支持することかできる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の代表的なカラーフィ
ルターの形成方法を説明する。
ルターの形成方法を説明する。
第1図は本発明のカラーフィルター基板の形成方法を説
明する工程図である。まず、第1図(a)に示すごとく
、予め、所望の分光特性を有する着色材料がP/V比で
1/3〜3/2の範囲で所定量配合されたポリアミノ系
樹脂液(NMP溶液)等の樹脂液を用い、第1色目の着
色樹脂@7を所定の基板l上に、スピンナー等の任意の
塗布方法を用い、所定の膜厚になるように塗布形成し、
適当な温度条件下でプリベークを行なう。次いで、第1
図(b)に示すごとく、感光性樹脂の感度を有する光(
例えば、高圧水銀灯等からの紫外線)で、形成しようと
するパターンに対応した所定のパターン形状を有するフ
ォトマスク8を介して着色樹脂膜を露光し、パターン部
の光硬化を行なう。
明する工程図である。まず、第1図(a)に示すごとく
、予め、所望の分光特性を有する着色材料がP/V比で
1/3〜3/2の範囲で所定量配合されたポリアミノ系
樹脂液(NMP溶液)等の樹脂液を用い、第1色目の着
色樹脂@7を所定の基板l上に、スピンナー等の任意の
塗布方法を用い、所定の膜厚になるように塗布形成し、
適当な温度条件下でプリベークを行なう。次いで、第1
図(b)に示すごとく、感光性樹脂の感度を有する光(
例えば、高圧水銀灯等からの紫外線)で、形成しようと
するパターンに対応した所定のパターン形状を有するフ
ォトマスク8を介して着色樹脂膜を露光し、パターン部
の光硬化を行なう。
そして第1図(C)に示すごとく、光硬化部分7aを有
した着色樹脂膜7を、未露光部分のみを溶解する溶剤(
例えば、N−メチル−2−ピロリドン系溶剤等を主成分
とするもの)にて超音波等により現像した後、リンス処
理(例えば、1,1.1− トリクロロエタン等)を行
なう。次いて、ボストベーク処理を行ない、第1図(d
)に示すごとき本発明のパターン状着色樹脂膜9を得る
ことができ q る。
した着色樹脂膜7を、未露光部分のみを溶解する溶剤(
例えば、N−メチル−2−ピロリドン系溶剤等を主成分
とするもの)にて超音波等により現像した後、リンス処
理(例えば、1,1.1− トリクロロエタン等)を行
なう。次いて、ボストベーク処理を行ない、第1図(d
)に示すごとき本発明のパターン状着色樹脂膜9を得る
ことができ q る。
更に必要に応じて、すなわち用いられるカラーフィルタ
ーの色の数に応じて、第1図(a)から第1図(d)ま
での工程を、各色に対応した着色材料なP/V比で1/
3〜3/2の範囲で分散させた着色樹脂液をそれぞれ用
いて繰り返して行ない、例えば、第1図(e)に示した
様な異なる色のパターン状着色樹脂s9.9aおよび9
bの3色からなるカラーフィルターを形成することがで
きる。
ーの色の数に応じて、第1図(a)から第1図(d)ま
での工程を、各色に対応した着色材料なP/V比で1/
3〜3/2の範囲で分散させた着色樹脂液をそれぞれ用
いて繰り返して行ない、例えば、第1図(e)に示した
様な異なる色のパターン状着色樹脂s9.9aおよび9
bの3色からなるカラーフィルターを形成することがで
きる。
また、本発明で使用するカラーフィルターは、第1図(
f)に示すように、フィルター上部に、先に挙げたよう
な材料から形成した保護層4を有しているものであって
もよい。
f)に示すように、フィルター上部に、先に挙げたよう
な材料から形成した保護層4を有しているものであって
もよい。
[実施例]
以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明する。尚、
文中%とあるのは重量基準である。
文中%とあるのは重量基準である。
実施例1
ガラス基板上に、所望の分光特性を得ることのできる青
色着色樹脂材[へりオゲン ブ ル −(Heliog
en Blue) L7080 (商品名、 BAS
F社製。
色着色樹脂材[へりオゲン ブ ル −(Heliog
en Blue) L7080 (商品名、 BAS
F社製。
C,1,No、 74160)をPA−1000C(商
品名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶剤=N−
メチルー2−ピロリドン)に下記の表1に示す各P/V
比で配合して分散させて作製した感光性の着色樹脂材]
をスピンナー塗布法により1表1に示す各膜厚で塗布し
た。
品名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶剤=N−
メチルー2−ピロリドン)に下記の表1に示す各P/V
比で配合して分散させて作製した感光性の着色樹脂材]
をスピンナー塗布法により1表1に示す各膜厚で塗布し
た。
次に、該着色樹脂層に70℃、30分間のプリベークを
行なった後、形成しようとするパターン形状に対応した
パターンマスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光
終了後、該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現
像液(N−メチル−2−ピロリドンを主成分とする現像
液)にて超音波を使用して現像し、専用リンス液(1,
1,1−トリクロロエタンを主成分とするリンス液)で
処理した後、200℃、30分間のボストベークを行な
い、パターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
行なった後、形成しようとするパターン形状に対応した
パターンマスクを介して高圧水銀灯にて露光した。露光
終了後、該着色樹脂膜の未露光部のみを溶解する専用現
像液(N−メチル−2−ピロリドンを主成分とする現像
液)にて超音波を使用して現像し、専用リンス液(1,
1,1−トリクロロエタンを主成分とするリンス液)で
処理した後、200℃、30分間のボストベークを行な
い、パターン形状を有した青色着色樹脂膜を形成した。
続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上に
、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール クリー
ン(Lionol Green) 6YK (商品名。
、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール クリー
ン(Lionol Green) 6YK (商品名。
東洋インキ社製、 C,1,No、 74265)をP
A−1000C(商品名、宇部興産社製、ポリマー分=
10%、溶剤=N−メチルー2−ピロリドン)に下記の
表1に示す各P/V比で配合して分散させて作製した感
光性の着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にして
緑色着色パターンをガラス基板上の所定の位置に形成し
た。
A−1000C(商品名、宇部興産社製、ポリマー分=
10%、溶剤=N−メチルー2−ピロリドン)に下記の
表1に示す各P/V比で配合して分散させて作製した感
光性の着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にして
緑色着色パターンをガラス基板上の所定の位置に形成し
た。
さらに、この様にして青色及び緑色パターンが形成され
ているガラス基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂
材[イルガジン し ッ ド(Irgazin R
ed) BPT (商品名、チバガイギー(Ciba−
Geigy)社製、 C,1,No、 71127)を
PA−1000C(商品名、宇部興産社製、ポリマー分
=10%、溶剤=N−メチルー2−ピロリドン)に下記
の表1に示す各P/V比で配合して分散させて作製した
感光性の着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にし
て赤色着色パターンをガラス基板上の所定の位置に形成
し、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色ストライプの
着色パターンを得た。
ているガラス基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂
材[イルガジン し ッ ド(Irgazin R
ed) BPT (商品名、チバガイギー(Ciba−
Geigy)社製、 C,1,No、 71127)を
PA−1000C(商品名、宇部興産社製、ポリマー分
=10%、溶剤=N−メチルー2−ピロリドン)に下記
の表1に示す各P/V比で配合して分散させて作製した
感光性の着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にし
て赤色着色パターンをガラス基板上の所定の位置に形成
し、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色ストライプの
着色パターンを得た。
この様にして得られたカラーフィルターパターン上に保
護層および平坦化層として透明樹脂材[PA−1000
G (商品名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶
剤二N−メチルー2−ピロリドン)]をスピンナー塗布
法により約0.5pm厚の膜厚にて形成した。
護層および平坦化層として透明樹脂材[PA−1000
G (商品名、宇部興産社製、ポリマー分=10%、溶
剤二N−メチルー2−ピロリドン)]をスピンナー塗布
法により約0.5pm厚の膜厚にて形成した。
次に該保護層および平坦化層上に ITOを500人の
厚さにスパッタリング法により成膜し、カラーフィルタ
ーパターンにアライメントしてパターニングして透明電
極パターンを得、この上に配向膜として、ポリイミド形
成溶液(日立化成工業’PIQJ)を3000rp鳳で
回転するスピンナーて塗布し、150°Cて30分間加
熱を行なって2000人のポリイミド被膜を形成した。
厚さにスパッタリング法により成膜し、カラーフィルタ
ーパターンにアライメントしてパターニングして透明電
極パターンを得、この上に配向膜として、ポリイミド形
成溶液(日立化成工業’PIQJ)を3000rp鳳で
回転するスピンナーて塗布し、150°Cて30分間加
熱を行なって2000人のポリイミド被膜を形成した。
しかる後、このポリイミド被膜表面をラビング処理した
。このようにして形成したカラーフィルター基板と、対
向する基板を貼り合わせてセル組し、強誘電性液晶であ
るチッソ社製のr C3−1014J (商品名)を
注入、封口して本発明のカラー液晶素子を得た。
。このようにして形成したカラーフィルター基板と、対
向する基板を貼り合わせてセル組し、強誘電性液晶であ
るチッソ社製のr C3−1014J (商品名)を
注入、封口して本発明のカラー液晶素子を得た。
得られたカラー液晶素子をクロスニコルの偏光顕微鏡て
観察し、内部の液晶分子の配向欠陥状態を評価した。こ
の結果を表1に記す。
観察し、内部の液晶分子の配向欠陥状態を評価した。こ
の結果を表1に記す。
表 1
oO・・・・・・配向欠陥のない良好な状態×・・・・
・・配向欠陥を生じている状態実施例2 薄膜トランジスターを用いた本発明のカラー液晶素子を
以下の様に形成した。
・・配向欠陥を生じている状態実施例2 薄膜トランジスターを用いた本発明のカラー液晶素子を
以下の様に形成した。
まず薄膜トランジスター基板を第2図に示す様に順次形
成した。すなわち、第2図(a)に示すように、ガラス
基板(商品名: 7059、コーニング社製)1上に1
000人の層厚の1.T、O,画素電極10をフォトリ
ソ工程により所望のパターンに成形した後、この面に更
にAI!を1000人の層厚に真空蒸着し、この蒸着層
をフォトリソ工程により所望の形状にパターンニングし
て第2図(b)に示すようなゲート電極11を形成した
。
成した。すなわち、第2図(a)に示すように、ガラス
基板(商品名: 7059、コーニング社製)1上に1
000人の層厚の1.T、O,画素電極10をフォトリ
ソ工程により所望のパターンに成形した後、この面に更
にAI!を1000人の層厚に真空蒸着し、この蒸着層
をフォトリソ工程により所望の形状にパターンニングし
て第2図(b)に示すようなゲート電極11を形成した
。
続いて、感光性ポリイミド樹脂(商品名:セミコファイ
ン、東し社製)を前記電極の設けられた基板1面上に塗
布し絶縁層I3を形成し、パターン露光及び現像処理に
よってトレイン電極17と画素電極IOとのコンタクト
部を構成するスルーホール12を第2図(C)に示すよ
うに形成した。
ン、東し社製)を前記電極の設けられた基板1面上に塗
布し絶縁層I3を形成し、パターン露光及び現像処理に
よってトレイン電極17と画素電極IOとのコンタクト
部を構成するスルーホール12を第2図(C)に示すよ
うに形成した。
ここで、基板lを堆積槽内の所定の位置にセットシ、堆
積槽内にH2で希釈されたSiH4を導入し、真空中て
グロー放電法により、前記電極10.11及び絶縁層1
3の設けられた基板l全面に2000人の層厚のa−8
iからなる光導電層(イントリンシック層)14を堆積
させた後、この光導電層14上に引続き同様な操作によ
って、1000人の層厚のn+層I5を第2図(d)に
示したように積層した。この基板lを堆積槽から取り出
し、前記n+層15及び光導電層14のそれぞれを、こ
の順にトライエツチング法により所望の形状に第2図(
e)に示したようにパターンニングした。
積槽内にH2で希釈されたSiH4を導入し、真空中て
グロー放電法により、前記電極10.11及び絶縁層1
3の設けられた基板l全面に2000人の層厚のa−8
iからなる光導電層(イントリンシック層)14を堆積
させた後、この光導電層14上に引続き同様な操作によ
って、1000人の層厚のn+層I5を第2図(d)に
示したように積層した。この基板lを堆積槽から取り出
し、前記n+層15及び光導電層14のそれぞれを、こ
の順にトライエツチング法により所望の形状に第2図(
e)に示したようにパターンニングした。
次に、このようにして光導電層14及びn+層15が設
けられている基板面に、AI!を1000人の層厚で真
空蒸着した後、このAI!蒸着層をフォトリソ工程によ
り所望の形状にパターンニングして、第2図(f)に示
すようなソース電極16及びトレイン電極17を形成し
た。
けられている基板面に、AI!を1000人の層厚で真
空蒸着した後、このAI!蒸着層をフォトリソ工程によ
り所望の形状にパターンニングして、第2図(f)に示
すようなソース電極16及びトレイン電極17を形成し
た。
最後に第2図(g)に示したように基板上の全面に透明
絶縁層13aとしてネガレジスト(例、東京応化部0D
OR)を形成し、更にその全面にポリイミド樹脂を12
00人厚に塗布し、250°C,1時間の加熱硬化を行
なってポリイミド樹脂層からなる配向[5bを形成し、
しかる後に、該ポリイミド樹脂層の配向膜5bの表面な
ラビング処理して液晶を配向させる配向機能を付与させ
た。
絶縁層13aとしてネガレジスト(例、東京応化部0D
OR)を形成し、更にその全面にポリイミド樹脂を12
00人厚に塗布し、250°C,1時間の加熱硬化を行
なってポリイミド樹脂層からなる配向[5bを形成し、
しかる後に、該ポリイミド樹脂層の配向膜5bの表面な
ラビング処理して液晶を配向させる配向機能を付与させ
た。
この様にして配向機能を付与したポリイミド樹脂層から
なる電極基板(第2図(h))を形成した。
なる電極基板(第2図(h))を形成した。
次に、対向電極基板としてカラーフィルターを実施例1
と同様にして形成した。
と同様にして形成した。
この様にして得られたカラーフィルターパターン上に
ITOをスパッタリング法により 500人の厚さに成
膜して透明電極層を形成した後、ボリイミト樹脂を12
00人厚に塗布し、250°c、 i時間の加熱硬化
を行なってポリイミド樹脂層を形成した後、該樹脂層の
表面をラビング処理により配向機能を付与して、カラー
フィルター基板を形成した。
ITOをスパッタリング法により 500人の厚さに成
膜して透明電極層を形成した後、ボリイミト樹脂を12
00人厚に塗布し、250°c、 i時間の加熱硬化
を行なってポリイミド樹脂層を形成した後、該樹脂層の
表面をラビング処理により配向機能を付与して、カラー
フィルター基板を形成した。
そして、この基板と先に形成した薄膜トランジスターを
有する基板とを対向させ、貼り合わせた後、その間隙に
TN型液晶を注入、封口して本発明のカラー液晶素子を
得た。
有する基板とを対向させ、貼り合わせた後、その間隙に
TN型液晶を注入、封口して本発明のカラー液晶素子を
得た。
得られたカラー液晶素子の配向状態は、実施例1と同様
の結果を得た。
の結果を得た。
実施例3
3色カラーフィルターを対向基板の電極上に設ける以外
は実施例2と同様にして本発明のカラー液晶素子を得た
。
は実施例2と同様にして本発明のカラー液晶素子を得た
。
得られたカラー液晶素子の配向状態は、実施例1と同様
の結果を得た。
の結果を得た。
実施例4
3色カラーフィルターを対向電極基板上に設ける代わり
に第3図に示すような薄膜トランジスター基板上に設け
た。すなわちガラス基板上に形成した画素電極パターン
上にモザイク状のカラーフィルターパターンを形成する
以外は実施例2と同様にしてカラーフィルターを有する
薄膜トランジスター基板を形成した。この様にして得ら
れた基板と対向電極基板とを対向させ、貼り合わせ、そ
の間隙にTN型液晶を注入および封口して本発明のカラ
ー液晶素子を得た。
に第3図に示すような薄膜トランジスター基板上に設け
た。すなわちガラス基板上に形成した画素電極パターン
上にモザイク状のカラーフィルターパターンを形成する
以外は実施例2と同様にしてカラーフィルターを有する
薄膜トランジスター基板を形成した。この様にして得ら
れた基板と対向電極基板とを対向させ、貼り合わせ、そ
の間隙にTN型液晶を注入および封口して本発明のカラ
ー液晶素子を得た。
得られたカラー液晶素子の配向状態は実施例1と同様の
結果を得た。
結果を得た。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、感光性樹脂中に
分散させる着色材料の比率、すなわちP/V比を1/3
≦P/V≦3/2の範囲に規制することにより、薄膜で
精度良く、きれいな表面、側面形状をもったカラーフィ
ルターを得ることができる上、さらに欠陥が少なく、均
一で強度的にも安定したカラーフィルターを得ることが
できる。従って、この様な品質の良いカラーフィルター
を液晶素子内部に配置することにより、配向欠陥のない
、表示品位の優れたカラー液晶素子を提供することがて
きる。
分散させる着色材料の比率、すなわちP/V比を1/3
≦P/V≦3/2の範囲に規制することにより、薄膜で
精度良く、きれいな表面、側面形状をもったカラーフィ
ルターを得ることができる上、さらに欠陥が少なく、均
一で強度的にも安定したカラーフィルターを得ることが
できる。従って、この様な品質の良いカラーフィルター
を液晶素子内部に配置することにより、配向欠陥のない
、表示品位の優れたカラー液晶素子を提供することがて
きる。
また、本発明によれば、高性能の樹脂材料および着色材
料を用いていることから、緒特性に優れた、微細パター
ンを有するカラーフィルターを簡便に作製することかで
き、結果として信頼性の高いカラー液晶素子を提供する
ことができる。
料を用いていることから、緒特性に優れた、微細パター
ンを有するカラーフィルターを簡便に作製することかで
き、結果として信頼性の高いカラー液晶素子を提供する
ことができる。
第1図(a)〜(f)は、本発明によるカラーフィルタ
ー基板の形成方法を説明するための工程図、第2図(a
)〜(h)は、薄膜トランジスターを用いたカラー液晶
素子における薄膜トランジスター基板の形成方法を説明
するための工程図、第3図は、本発明の実施例4に示す
カラーフィルターを有する薄膜トランジスター基板の斜
視図および第4図(a)、(b)は、従来のカラー液晶
素子に用いられるカラーフィルター基板の概略断面図で
ある。 l、S・・・基板 2・・・透明電極3・・・カ
ラーフィルター 4・・・保護層 5,5b・・・配向膜7・・
・着色樹脂膜 7a・・・光硬化部分8・・・フォ
トマスク
ー基板の形成方法を説明するための工程図、第2図(a
)〜(h)は、薄膜トランジスターを用いたカラー液晶
素子における薄膜トランジスター基板の形成方法を説明
するための工程図、第3図は、本発明の実施例4に示す
カラーフィルターを有する薄膜トランジスター基板の斜
視図および第4図(a)、(b)は、従来のカラー液晶
素子に用いられるカラーフィルター基板の概略断面図で
ある。 l、S・・・基板 2・・・透明電極3・・・カ
ラーフィルター 4・・・保護層 5,5b・・・配向膜7・・
・着色樹脂膜 7a・・・光硬化部分8・・・フォ
トマスク
Claims (2)
- (1)透明電極の形成された一対の平行基板間に液晶を
挟持し、少なくとも一方の透明電極と基板間に、あるい
は透明電極上に、感光性樹脂と着色材料からなる複数色
のカラーフィルターを配設してなるカラー液晶素子にお
いて、該カラーフィルター各色を構成する着色材料の重
量をP、感光性樹脂の重量をVとした場合の重量比(P
/V比)が1/3≦P/V≦3/2の関係からなること
を特徴とするカラー液晶素子。 - (2)前記カラーフィルターが、感光性基を分子内に有
する芳香族系のポリアミド樹脂または芳香族系のポリイ
ミド樹脂中に着色材料を分散してなる感光性着色樹脂か
らのフォトリソ工程により形成されたカラーフィルター
である特許請求の範囲第1項記載のカラー液晶素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1492487A JP2739315B2 (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | カラーフィルターおよびカラー液晶素子 |
US07/140,093 US4818075A (en) | 1987-01-23 | 1987-12-31 | Color liquid crystal device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1492487A JP2739315B2 (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | カラーフィルターおよびカラー液晶素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8093013A Division JPH08248222A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | カラーフィルターおよびカラー液晶素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63182627A true JPS63182627A (ja) | 1988-07-27 |
JP2739315B2 JP2739315B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=11874508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1492487A Expired - Lifetime JP2739315B2 (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | カラーフィルターおよびカラー液晶素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4818075A (ja) |
JP (1) | JP2739315B2 (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US5229039A (en) * | 1988-11-11 | 1993-07-20 | International Business Machines Corporation | Color liquid crystal display and method of manufacture |
DE68922470T2 (de) * | 1988-11-26 | 1995-09-07 | Toppan Printing Co Ltd | Farbfilter für eine Vielfarben-Flüssigkristallanzeigetafel. |
DE4015869A1 (de) * | 1990-05-17 | 1991-11-21 | Nokia Unterhaltungselektronik | Hochaufloesende passiv angesteuerte fluessigkristallanzeige |
KR920702506A (ko) * | 1990-08-31 | 1992-09-04 | 이데미쯔 아끼스께 | 칼라필터 및 그 제조방법과 그 칼라필터를 사용한 칼라 액정 패널 및 구동방법 |
EP0499979A3 (en) | 1991-02-16 | 1993-06-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
JP2835787B2 (ja) * | 1991-03-22 | 1998-12-14 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子 |
JP2794499B2 (ja) | 1991-03-26 | 1998-09-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP2847331B2 (ja) * | 1991-04-23 | 1999-01-20 | キヤノン株式会社 | 液晶表示装置 |
JP2974520B2 (ja) * | 1991-10-25 | 1999-11-10 | キヤノン株式会社 | 電極基板及び液晶素子 |
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EP0905544B1 (en) * | 1992-06-01 | 2003-05-21 | LG.Philips LCD Co., Ltd. | A method of fabricating a liquid crystal display |
JPH0667142A (ja) * | 1992-08-21 | 1994-03-11 | Fujitsu Ltd | 空間光変調装置 |
US5552911A (en) * | 1992-10-19 | 1996-09-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Color liquid crystal display device having varying cell thickness and varying pixel areas |
TW417034B (en) * | 1993-11-24 | 2001-01-01 | Canon Kk | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel |
US6686104B1 (en) | 1993-11-24 | 2004-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel |
JP3332515B2 (ja) * | 1993-11-24 | 2002-10-07 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタ、その製造方法及び液晶パネル |
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ATE207620T1 (de) | 1994-01-28 | 2001-11-15 | Canon Kk | Farbfilter, verfahren zu seiner herstellung, und flüssigkristalltafel |
DE19514374C2 (de) * | 1994-04-18 | 1997-05-28 | Canon Kk | Flüssigkristallvorrichtung und Flüssigkristallgerät, das dieselbe enthält |
JP3376169B2 (ja) * | 1994-06-17 | 2003-02-10 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及びその方法により製造されたカラーフィルタ |
JP3014923B2 (ja) * | 1994-06-24 | 2000-02-28 | キヤノン株式会社 | カラーフィルターおよびその製造方法ならびにそのフィルターを用いた液晶表示装置 |
JPH08146214A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-06-07 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、液晶パネル、および同液晶パネルを備えた情報処理装置 |
JP3372724B2 (ja) * | 1994-09-21 | 2003-02-04 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタおよびその製造方法、液晶パネルならびに情報処理装置 |
JPH08227011A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-09-03 | Canon Inc | カラーフィルタ、その製造方法、液晶パネル、及びこれを備えた情報処理装置 |
US5543958A (en) * | 1994-12-21 | 1996-08-06 | Motorola | Integrated electro-optic package for reflective spatial light modulators |
US5905558A (en) * | 1995-08-29 | 1999-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Circuit plate, process for producing same and liquid crystal device including same |
JP3305212B2 (ja) * | 1995-11-09 | 2002-07-22 | キヤノン株式会社 | 液晶素子用の基板、液晶素子、およびそれらの製造方法 |
US5717475A (en) * | 1996-01-30 | 1998-02-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrode substrate, process for producing the substrate, liquid crystal device and process for producing the device |
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