JPS63167246U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63167246U JPS63167246U JP6082187U JP6082187U JPS63167246U JP S63167246 U JPS63167246 U JP S63167246U JP 6082187 U JP6082187 U JP 6082187U JP 6082187 U JP6082187 U JP 6082187U JP S63167246 U JPS63167246 U JP S63167246U
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- Japan
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- inspected
- light
- reflected light
- detection device
- defect detection
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を略示した斜視
図、第２図は第１図−線の矢視図、第３図は
本考案装置における干渉フイルタの特性を示した
説明図、第４図は従来装置を略示した斜視図、第
５図は従来装置における回折パターンを示した説
明図である。 １１……光照射系、１２……レーザ光源、１３
……レンズ系、１４……多面体鏡、２１……受光
検出系、２２……受光器、２３……干渉フイルタ
、２４……検出器、Ａ……被検査物。
図、第２図は第１図−線の矢視図、第３図は
本考案装置における干渉フイルタの特性を示した
説明図、第４図は従来装置を略示した斜視図、第
５図は従来装置における回折パターンを示した説
明図である。 １１……光照射系、１２……レーザ光源、１３
……レンズ系、１４……多面体鏡、２１……受光
検出系、２２……受光器、２３……干渉フイルタ
、２４……検出器、Ａ……被検査物。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被検査物表面に向けて光照射するための光
照射系と、被検査物表面からの反射光を受光して
被検査物表面の欠陥を検出するための受光検出系
とを備えた被検査物の表面欠陥検出装置において
、上記被検査物の幅方向にわたる受光検出系の受
光器に、乱反射光を遮断して正反射光のみを入射
させるための干渉フイルタが設けられている被検
査物の表面欠陥検出装置。 (2) 干渉フイルタが、そのフイルタ面に対して
垂直に正反射光を入射させるための曲率を有する
実用新案登録請求の範囲第１項記載の被検査物の
表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082187U JPS63167246U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6082187U JPS63167246U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167246U true JPS63167246U (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=30893584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6082187U Pending JPS63167246U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167246U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58204353A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | Kawasaki Steel Corp | 金属物体表面探傷方法 |
| JPS58214805A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-14 | Toppan Printing Co Ltd | 絵柄面積率測定装置 |
-
1987
- 1987-04-22 JP JP6082187U patent/JPS63167246U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58204353A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | Kawasaki Steel Corp | 金属物体表面探傷方法 |
| JPS58214805A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-14 | Toppan Printing Co Ltd | 絵柄面積率測定装置 |