JPS63158618A - クリ−ンル−ム用の移動車誘導設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ダウンフロー式のクリーンルームにおいて移
動車を自動走行させるためのクリーンルーム用の移動車
誘導設備に関する。

〔従来の技術〕

移動車を自動走行させるための誘導設備としては、移動
車の誘導帯を床面等に設置する誘導帯形式や、レーザ光
等の誘導用ビーム光を投射する誘導ビーム投射手段を地
上側に設置する誘導ビーム形式等があり、従来では、ク
リーンルームにおいても、一般に、上述の形式を用いて
移動車を誘導するようにしてあった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述の誘導帯形式や誘導ビーム形式にお
いては、移動車の誘導のために誘導帯や誘導ビーム投射
手段を設置する、手間の掛かる煩わしい作業を要するも
のであり、誘導のための特別な設置作業を省略できる誘
導設備が望まれている。

ことに、ダウンフロー式のクリーンルームにおいては、
竣工時等において、天井側の空気浄化用のフィルターの
設置箇所の漏洩存否をチェックする、いわゆるリークテ
ストを行うことになり、そして、そのリークテストを、
各種の測定機器を備えた移動車を自動走行させて自動的
に行うことが考えられているが、そのリークテストの際
に、移動車誘導のための特別な設置作業を要すると、リ
ークテストが長期間を要する面倒な作業となる不利があ
る。

ちなみに、ダウンフロー式のクリーンルームは、天井側
に空気浄化用のフィルターを設け、そのフィルターを通
過させながら空気を循環流動させるものである。そして
、空気浄化用のフィルターは、一般に所定面積の大きさ
に形成されるものであり、そのフィルターの多数個が、
天井側に設置した格子状の取り付け枠に組み付けられる
ことになる。従って、上述の漏洩は、フィルター自体の
他、フィルターと取り付け枠との接合部において発生す
ることになる。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、そ
の目的は、ダウンフロー式のクリーンルームが本来的に
備える構成を有効利用することにより、移動車誘導のた
めの特別な設置作業を省略できるクリーンルーム用の移
動車誘導設備を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕 本発明によるクリーンルーム用の移動車誘導設備の特徴
構成は、ダウンフロー式のクリーンルームにおける天井
側の空気浄化用のフィルターの格子状の取り付け枠に対
する移動車の位置を検出する位置検出手段、及び、その
位置検出手段の検出情報に基づいて前記移動車を設定経
路に沿って自動走行させる走行制御手段の夫々を、前記
移動車に設けた点にあり、その作用並びに効果は以下の
通りである。

〔作　用〕

すなわち、ダウンフロー式のクリーンルームにおける空
気浄化用フィルターの格子状の取り付け枠が、天井側の
全面に配設されていることを有効利用して、この取り付
け枠に対する移動車の位置を検出しながら、その検出情
報に基づいて前記移動車の走行を制御することにより、
移動車を自動走行させるようにするのである。

つまり、空気浄化用フィルターの格子状の取り付け枠を
ｆｆ１ｌガイドに利用して走行させるようにするのであ
る。

〔発明の効果〕

従って、クリーンルームに設けられた空気浄化用フィル
ターの取り付け枠を有効利用して自動走行させるので、
移動車を誘導するために特別な設置作業を要することな
く、リークテストを行うための移動車等を、自動走行さ
せることができるに至った。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を、リークテスト用の移動車（Ａ
）を誘導する場合にづいて、図面に基づいて説明する。

第２図〜第４図に示すように、移動車（Ａ）は、左右各
別に駆動並びに停止自在に構成された左右一対の推進車
輪（ＩＬ）　、　（ＩＲ）を、車体前後方向の中心に位
置する状態で備えると共に、車体の前後両端部に左右一
対のキャスタ式の遊転輪（２）を備え、前記両推進車輪
（ＩＬ）　、　（ＩＲ）の回転速度に差を付けるように
前記推進車輪（ＩＬ）　、　（ＩＲ）を駆動することに
より、操向並びにスピンターン自在に構成され、そして
、ダウンフロー式のクリーンルームの天井全面に亘って
設けられた空気浄化用フィルターとしてのＨＥＰＡフィ
ルター（３）の設置箇所に対するリークテストを行うた
めのリークテスター（１２）　（第１図参照）を搭載し
ている。

又、前記リークテスター（１２）に接続されて、測定用
の空気を吸引するプローブ（４）を、車体に対して前後
左右の水平方向に移動自在に載置されたＸＹテーブル（
５）に対して上下動自在に且つ着脱自在に取り付けたら
れたボール（６）の先端部に、測定用の空気吸引口が天
井側を向く状態で取り付けると共に、前記ボール（６）
に、前記天井面を撮像するイメージセンサ（７）及び照
光用のランプ（８）の夫々を取り付けである。

但し、前記ＸＹテーブル（５）の移動範囲は、前記天井
側に設けられた格子状の取り付け枠（９）にて囲まれた
一個のＨＥＰＡフィルター（３）に対して、車体がその
中央直下に停止した状態において、前記プローブ（４）
が−個のＨＥＰＡフィルター（３）の全面を走査できる
範囲以上に設定しである。

尚、図中、（１０）は、前記移動車（Ａ）並びに搭載さ
れたリークテスター（１２）に対して作動用の電力を供
給するための電源ケーブルである。

そして、上述した構成になる移動車（Ａ）を、詳しくは
後述するが、クリーンルームの天井側に格子状の取り付
け枠（９）を用いて所定間隔で折目状に配置された前記
ＨＥ　Ｐ　Ａフィルター（３）夫々の直下方位置に順次
移動させると共に、前記ＸＹテーブル（５）を、車体に
対して前後左右に水平移動させることにより、前記プロ
ーブ（４）を、前記取り付け枠（９）にて区画された各
ＨＥＰＡフィルター（３）の全面に亘って自動的に走査
させて、リークテストを自動的に行うように構成しであ
る。

次に、前記移動車（Ａ）の走行を制御する走行制御手段
（１０１）、並びに、前記前記プローブ（４）を前記取
り付け枠（９）にて区画された各ＨＥＰＡフィルター（
３）夫々の全面を自動的に走査させる走査手段の構成に
ついて説明する。

第１図に示すように、移動車全体の動作を制御するマス
ターコントローラ（１１）、前記プローブ（４）にて吸
引された空気内に含まれる微粒子濃度を計測して、その
計測位置や濃度を表示すると共に記録し、設定濃度以上
の微粒子濃度が検出されるに伴って、警報を発するよう
に構成されたリークテスター（１２）、前記イメージセ
ンサ（７）と、それの撮像画像情報を処理して前記取り
付け枠（９）に対する車体の位置を検出する画像処理装
置（１３）とからなる位置検出手段（１００）、前記イ
メージセンサ（７）による撮像画像並びに画像処理装置
（１３）にて処理された画像情報を表示するモニタテレ
ビ（１４）、移動車（Ａ）に対する各種動作情報を設定
するための設定装置（１５）、及び、前記走行用モータ
（Ｍ４）　、　（ＭＳ）の作動を制御する走行コントロ
ーラ（１６）の夫々を設けである。

そして、前記マスターコントローラ（１１）が、前記Ｘ
Ｙテーブル（４）の水平移動用モータ（Ｍ＋）。

（ｌ及びポール昇降用モータ（Ｍ、）に取り付けたエン
コーダ（ＰＥＡ）　、（ＰＥｚ）　、（ＰＥＩ）による
検出情報、前記画像処理装置（１３）にて検出された取
り付け枠（９）に対する車体の位置情報、及び、前記設
定装置（１５）にて設定された各種情報に基づいて、前
記走行コントローラ（１６）に対する制御指令並びに前
記ＸＹテーブル（５）の水平移動用モータ（Ｍ＋）、（
月２）及びポール昇降用モータ（？＋３）に対する作動
指令の夫々を出力するように構成しである。

尚、図中、（ＰＩＥ４）、（ＰＥｓ）は、前記走行用モ
ータ（Ｍ４．）　、　（ＭＳ）に取り付けたエンコーダ
であり、前記走行用モータ（Ｍ４）　、　（ＭＳ）の回
転数を検出することにより、走行速度や走行距離を検出
して、前記走行コントローラ（１６）を介して前記マス
ターコントローラ（１１）にフィードバンクするように
しである。そして、前記マスターコントローラ（１１）
及び走行コントローラ（１６）にて走行制御手段（１０
１）が構成されることになる。

次に、前記走行制御手段（１０１）及び走査手段につい
て、その制御動作を詳述しながら説明を加える。

先ず、前記ＨＥＰＡフィルター（３）のリークテストの
概略について説明すれば、第５図及び第６図に示すよう
に、車体を、クリーンルームの端に位置するＨＥＰＡフ
ィルター（３）の中央（第５図中、（ａ）で示す位置）
に位置させて、前記設定装置（１３）にて、−列当たり
のＨＥＰＡフィルター（３）の個数、測定対象ＨＥＰＡ
フィルター（３）の全個数、並びに、互いに隣接したＨ
ＥＰＡフィルター（３）の左右前後の間隔等やリークテ
ストの合否判定基準値等を設定する。

尚、車体を測定開始位置（ａ）に位置させる場合、前記
照光用のランプ（８）を点灯させて車体の位置決めの参
照にしたり、前記イメージセンサ（７）の撮像画像を表
示するモニタテレビ（１４）の画面を見ながら行うよう
にすればよい。但し、詳しくは後述するが、この車体の
位置決め操作は、測定開始位置（ａ）のみにおいて行う
だけでよく、以後は車体を自動走行させるので行う必要
はない。

次に、前記ＸＹテーブル（５）を左右前後に移勤させる
ことにより、前記プローブ（４）を、−個のＨＥＰＡフ
ィルター（３）の全面に亘って走査させて、−個のＨＥ
ＰＡフィルター（３）に対するリークテストを行い、そ
のリークテストを終了した個数と、前記設定された個数
とを比較することにより、設定個数分のリークテストが
終了したか否かを判別し、設定個数分のテストが終了し
ている場合は、全処理を終了する。

設定個数分のテストが終了していない場合は、−列分の
テストが終了したか否かを判別し、−列分のテストが終
了していない場合は、隣接する次のＨＥＰＡフィルター
（第５図中、（ｂ）で示す位ｉ！Ｆ）に車体を移動させ
ると共に、−列分のテストが終了している場合は、隣の
列の端に位置するＨＥＰＡフィルター（第５図中、（ｅ
）で示す位置）に車体を移動させる。尚、この隣の列の
端に位置するＨＥＰＡフィルターに車体を移動させる場
合には、位置ずれが少なくなるように移動させるために
、現在位置（第５図中、（ｄ）で示す位置）において、
先ず、９０度スピンターンして車体の向きを隣の列方向
に向けた後、−列間の距離分を直進し、更に９０度スピ
ンターンして車体の向きを隣の列における進行方向に向
けるように制御するようにしである。

そして、上述した処理を、設定個数分繰り返すことによ
り、互いに隣接したＨＥＰＡフィルター（３）間を自動
走行しながら、順次リークテストを自動的に行うのであ
る。

但し、前記−個のＨＩＦ、ＰＡフィルター（３）に対す
るリークテストは、車体が一個のＨＥＰＡフィルター（
３）の中央に位置する状態において、前記ＸＹテーブル
（５）を水平移動させて、先ず、前記取り付け枠（９）
に隣接するＨ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルター（３）の外周部に
沿って前記プローブ（４）を走査した後、その内部を一
端側から他端側に向かって順次左右に方向に往復走査す
ることにより、−個のＨＥＰＡフィルター（３）全面に
対するリークテストを行うようにしである。

尚、前記取り付け枠（９）に隣接するＨＥＰＡフィルタ
ー（３）の外周部に沿って前記プローブ（４）を走査す
る場合は、前記プローブ（４）が取り付け枠（９）に衝
突しないように、前記ボール（６）を所定量下げるよう
にしである。

以上の如く、移動車（＾）を自動的に走行させ、且つ、
プローブ（４）を自動的に走査させながら、リークテス
トを行うものであり、そして、移動車（＾）の走行制御
精度及び前記プローブ（４）の走査制御精度を高めるた
めに、次に述べるように、位置検出手段（１００）の横
出情輻が用いられることになる。

すなわち、第７図及び第９図に示すように、前記−個の
ＨＥＰＡフィルター（３）に対するリークテストを行う
際に、前記イメージセンサ（７）にて前記取り付け枠（
９）の前後２つの交点部分（をり付け枠コーナ一部分）
を撮像し、そして、その撮像画像情報に基づいて、前記
プローブ（４）がＨＥＰＡフィルター（３）の全面に対
して適正通り走査されるように、前記ＸＹテーブル（５
）を水平移動させる際の移動方向や移動量を補正すると
共に、次のＨＥＰＡフィルター（３）に移動する際の車
体の走行方向や走行距離を補正して、車体がＨＥＰＡフ
ィルター（３）の中央真下に停止するようにしである。

以下、取り付け枠（９）の撮像処理作動を詳述しながら
、説明を加える。

すなわち、移動車（Ａ）の中心に対して左側に位置する
２つの取り付け枠夫々の交点部分を、前記イメージセン
サ（７）にて順次撮像する。但し、その描像の際に、前
記イメージセンサ（７）の盪像視野内を前記証明用のラ
ンプ（８）にて照光し、前記取り付け枠（９）がＨＥＰ
Ａフィルター（３）よりも明るく見えるようにする。

そして、前記イメージセンサ（７）による撮像画像情報
（Ｓｔ＋）　（第８図（イ）参照）を設定闇値にて２値
化することにより、前記取り付け枠（９）の位置に対応
した２値化画像情報（Ｓ＋）（第８図（０）参照）を得
る。

次に、その２値化画像情報（Ｓ、）より、前記取り付け
枠（９）の移動車（＾）に対して前後に位置する交点部
分の位置を求め、それに基づいて、前記移動車（Ａ）の
中心つまり前記ＸＹテーブル（５）のプローブ（４）の
走査座標系の原点（０）に対する位置ずれ（Ｘｏ＋ｙｏ
）及び傾き（θ）を演算するようにしである。

つまり、第９図に示すように、車体がＨＥＰＡフィルタ
ー（３）の略中央真下に停止した状態において、先ず、
前記イメージセンサ（７）を、現在の車体中心（Ｔｔ”
）に対して前記取り付け枠（９）における交点位置間の
距離（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分に相当する位置（−
％Ｐｘ、−％Ｐｙ）に平行移動させて、前記イメージセ
ンサ（７）が一つのＨＥ　Ｐ　Ａフィルター（３）の測
定開始位置側の取り付け枠（９）の交点位置の略真下に
位置するようにする。

そして、前記イメージセンサ（７）にて前記取り付け枠
（９）の交点を含む範囲（第９図中、（Ｐ、）で示す）
を撮像し、前記プローブ（４）の走査座標系（Ｘ、Ｙ）
の原点（０）に対する一方の位置ずれ（ｘｌ、ｙ、）を
求める。

次に、前記イメージセンサ（７）を、車体中心に対して
前記取り付け枠（９）における交点位置間の距離（Ｐｘ
）　、　（Ｐｙ）の半分に相当する位置・（＋　％Ｐｘ
、　−％Ｐｙ）に平行移動させて、前記イメージセンサ
（７）が測定終了側つまり次のＨＥＰＡフィルター（３
）の測定開始側に位置する取り付け枠（９）の交点位置
の略真下に位置するようにした後、取り付け枠（９）の
交点を含む範囲（第９図中、（Ｐｚ）で示す）を撮像し
、前記取り付け枠（９）の交点位置に対する他方の位置
ずれ（にｚ＋Ｙｚ）を求める。

そして、前記取り付け枠（９）の前後２つの交点位置夫
々に対する位置ずれ（Ｘ＋＋ｙ＋）＋　（ｘｚ３ｙｚ）
から、前記プローブ（４）の走査座標系の原点（０）（
第９図参照）に対する位置ずれ（ｘｏ、ｙｏ）及び傾き
（θ）を、下記式（ｉ）、（ｉｉ）に基づいて求め、前
記プローブ（４）を走査するための前記ＸＹテーブル（
５）の実際の走査位置（Ｘ、Ｙ）を、下記式（ｉｉｉ　
）に基づいて自動補正することにより、車体中心（ｒ、
’）がＨＥＰＡフィルター（３）の中心（Ｔ、）に対し
て位置ずれがあり、且つ、傾いた状態となっていても、
そのずれや傾きに拘らず、前記プローブ（４）が、予め
設定されたＨＥＰＡフィルター（３）に対する絶対位置
がずれない状態で走査されるようにするのである。

ｘｏ＝ｘ、、　Ｙｏ＝ｙ＋　　　　　　　　　・＝−（
ｉ　）Ｐｘ＋ｘ、−ｘ。

・・・・・・（ｉｉｉ　） 但し、上記式（ｉｉｉ　）において、（ｘ、ｙ）は、前
記ＨＥ　Ｐ　Ａフィルター（３）の中心（Ｔ、）と車体
中心（Ｔ　Ｉ’　）が一致し、且つ、傾き（θ）が零で
ある場合において、前記プローブ（４）を走査するため
に、前記ＸＹテーブル（５）の目標移動位置として代入
される値である。

又、車体を次のＨＥＰＡフィルター（３）の中央真下に
移動させる際にも、上述した２箇所の取り付け枠（９）
の各交点位置に対する位置ずれ（Ｘｌ＋Ｙｌ）＋　（Ｘ
ｚ＋ｙｚ）の情報に基づいて、前記左右の走行用モータ
（Ｍ４）、　（ＭＳ）の作動を制御することにより、車
体の中心が、次のＨＥＰＡフィ）レター（３）の中央真
下に位置する状態で自動的に停止するようにしである。

すなわち、第９図に示すように、ＨＥＰＡフィルター（
３）の中心（Ｔ、）に対して、実際の車体中心が、前記
２箇所の取り付け枠（９）の各交点位置に対して前記位
置ずれ（ＸＩ＋ＶＩ）＋　（ｘｚ、Ｖｚ）及びその傾き
（θ）（第９図参照）に対応してずれた位置（Ｔ　＋　
’　）にあり、且つ、取り付け枠（９）の延長方向に対
して所定角度（θ）傾いた状態にある場合、車体の現在
位置（Ｔ　＋　’　）と次のＩ−Ｉ　Ｅ　Ｐ　Ａフィル
ター（３）の中心（Ｔｔ）とを結ぶ方向は、第１０図に
示すように、前記取り付け枠（９）の前後に位置する各
交点位置の延長方向に対して所定角度（θ２）傾いた状
態となる。

ところで、実際の車体中心位置（Ｔｌ’）は、前記プロ
ーブ（４）の走査座標系の原点（０）を、取り付け枠（
９）の交点位置間の距離（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分
を平行移動させた位置に等しいことから、現在のＨＥＰ
Ａフィルター（３）の中心（Ｔ１）に対する位置ずれ（
Ｘａ、Ｙａ）は、上記式（ｉｉｉ　）において、前記プ
ローブ（４）を走査するためのＸＹテーブル（５）の目
標駆動位置の値（ｘ、ｙ）として、前記取り付け枠（９
）の交点位置間の距Ｈ（Ｐｘ）　、　（Ｐｙ）の半分に
相当する値（！４Ｐｘ、！４Ｐｙ）を代入することによ
り求めることができる。

又、実際の車体中心（Ｔ、’）における、取り付け枠（
９）に対する車体の傾き（θＩ）は、上記式（ｉｉ）に
より求められた傾き（θ）と同じである。

従って、車体を次のＨＥＰＡフィルター（３）の中心（
Ｔ２）において前記取り付け枠（９）の延長方向に対し
て平行となる方向に向けて停止させるためには、前記各
角度（θυ、（θ２）と２個のＨＥ　Ｐ　Ａフィルター
（３）の中心（ＴＩ）、（Ｔ２）間の距離すなわち取り
付け枠（９）の交点位置間の距離（Ｐｘ）から、下記式
（ｉｖ）、（ｖ）に基づいて、車体の実際の移動距離（
ｓ）並びに移動方向を求めて補正するのである。

Ｐｘ＋Ｘａ 車体を現在位置（Ｔ　ｒ　’　）から次のＨＥＰＡフィ
ルター（３）の中心（Ｔ２）に向けて移動させるための
手順について説明すれば、車体が前記現在位置（Ｔｌ’
）に位置する状態において、現在のＨＥＰＡフィルター
（３）の中心（Ｔ、）に対してずれた角度（θＩ）と次
のＨＥＰＡフィルターの中心（Ｔよ）に対してずれた角
度（θ２）とを加算した角度（θ１＋０２）分を、前記
左右の走行用モータ（Ｍ、）。

（Ｍ、）夫々に付設のエンコーダ（ＰＥ４）　、　（Ｐ
Ｅｓ）による検出回転数に基づいて、前記左右画定行用
モータ（Ｍ４）　、　（ＭＳ）を逆転させることにより
スピンターンさせて、車体の向きを、前記次のＨＥＰＡ
フィルターの中心（Ｔ２）方向に向ける。次に、上記式
（ｉｖ　）にて求めた距離（ｓ）分を前記エンコーダ（
ＰＥ４）　、　（Ｐｔ！５）による検出回転数に基づい
て直進させた後、前記（ｖ）式にて求めた角度（００分
をスピンターンさせることにより、次のＨＥＰＡフィル
ターの中心（Ｔ２）に対して傾き零の状態で、車体を停
止させるようにするのである。

ところで、クリーンルームの外周部に位置する取り付け
枠（９）の外側には、クリーンルームの壁が隣接してい
るために、前記イメージセンサ（７）をクリーンルーム
の外周部に位置する取り付け枠（９）の交点位置下に移
動させるべく、前記ＸＹテーブル（５）を平行移動させ
ると、このＸＹテーブル（５）の端部や、照明用のラン
プ（８）が壁に衝突する虞れがあることから、クリーン
ルームの外周部に位置する取り付け枠（９）を撮像する
際には、前記イメージセンサ（７）及び照明用のランプ
（８）を９０度回転させて、壁に衝突しないようにする
と共に、撮像視野の座標を９０度回転させて画像処理す
ることにより、同一処理で、位置ずれ並びに傾きを検出
できるようにしである。

〔別実施例〕

又、上記実施例では、移動車を、クリーンルームの空気
浄化用フィルターのリークテストを行うための測定用の
移動車に構成した場合を例示したが、例えば、クリーン
ルーム内において、各種物品を搬送するための移動車に
構成してもよい。

ちなみに、本発明をクリーンルーム内において物品搬送
用の移動車を自動走行させる誘導設備に適用する場合、
例えば、搬送経路上に位置するフィルター（３）の取り
付け枠（９）の各交点位置の個数とその方向等を順次カ
ウントさせることにより、移動車（Ａ）を走行させるス
テーションに対する走行経路を形成することができる。

又、上記位置検出手段（１００）を、その検出情報に基
づいてステーションに対する移動車（Ａ）の停止位置等
を自動補正するための手段として用いることもできる。

又、移動車（Ａ）の各部の具体構成は、本発明を適用す
る移動車の構成に応じて各種変更できるものであって、
本発明は、上記実施例のみに限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るクリーンルーム用の移動車誘導設備
の実施例を示し、第１図は制御システムの全体構成を示
すブロック図、第２図は移動車の全体斜視図、第３図は
同側面図、第４図は同正面図、第５図は移動車の移動経
路並びにプローブの走査経路を示す説明図、第６図は移
動車の全体的な動作を示すフローチャート、第７図はリ
ークテスト時における取り付け枠に対するずれ検出作動
を示すフローチャート、第８図ｍ　、　（Ｅｌ）は取り
付け枠の撮像画像情報の説明図、第９図は車体と取り付
け枠の位置関係を示す説明図、第１０図は車体の位置ず
れ補正の説明図である。 （八）・・・・・・移動車、　（３）・・・・・・フィ
ルター、（９）・・・・・・取り付け枠、（１００）・
・・・・・位置検出手段、（１０１）・・・・・・走行
制御手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ダウンフロー式のクリーンルームにおける天井側の空気
   浄化用のフィルター（３）の格子状の取り付け枠（９）
   に対する移動車（Ａ）の位置を検出する位置検出手段（
   １００）、及び、その位置検出手段（１００）の検出情
   報に基づいて前記移動車（Ａ）を設定経路に沿って自動
   走行させる走行制御手段（１０１）の夫々を、前記移動
   車（Ａ）に設けたクリーンルーム用の移動車誘導設備。