JPS63137748A - 気体放電反応装置 - Google Patents
気体放電反応装置Info
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- JPS63137748A JPS63137748A JP28630686A JP28630686A JPS63137748A JP S63137748 A JPS63137748 A JP S63137748A JP 28630686 A JP28630686 A JP 28630686A JP 28630686 A JP28630686 A JP 28630686A JP S63137748 A JPS63137748 A JP S63137748A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 27
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｒ産業上の利用分野」
本発明は、絶縁性誘電体と７に極とによって構成されて
いる気体放７に反応装置に関するものである「従来の技
術」 現在最も多く利用されている放電反応装置は酸素を放電
反応によりオゾン化″４−るオゾン生成装置であり、こ
の技術は、従来は無声放′１“匡式と称する、誘電体と
この誘電体の一面側に数ミリの間隙を持って対設した平
行電極板とで構成され、この平行電極板と誘電体の反対
の面との間に高電圧を印加して誘電体面と平行電極板と
の空隙に多くの放電を行なう方式のものか知られている
。
いる気体放７に反応装置に関するものである「従来の技
術」 現在最も多く利用されている放電反応装置は酸素を放電
反応によりオゾン化″４−るオゾン生成装置であり、こ
の技術は、従来は無声放′１“匡式と称する、誘電体と
この誘電体の一面側に数ミリの間隙を持って対設した平
行電極板とで構成され、この平行電極板と誘電体の反対
の面との間に高電圧を印加して誘電体面と平行電極板と
の空隙に多くの放電を行なう方式のものか知られている
。
また、最近てはセラミック板に面状の電極を埋め込み、
この電極と該セラミックの表ｍ１にプリントした線状の
電極との間に高電圧を印加し、セラミック表面の線状の
電極の周囲に薄いストリーマ放電層を作り、気体を該放
電層に接触させる沿面放電方式も実用化されている。
この電極と該セラミックの表ｍ１にプリントした線状の
電極との間に高電圧を印加し、セラミック表面の線状の
電極の周囲に薄いストリーマ放電層を作り、気体を該放
電層に接触させる沿面放電方式も実用化されている。
「発明が解決しようとする問題点」
しかし、従来のこれら気体放電反応装置は、面者の無声
放電方式は比較的荒い放電を縁り返す数ミリの空隙に気
体を流すので放電反応時間がかかり、装置が大型高価と
なる欠点を有していた。
放電方式は比較的荒い放電を縁り返す数ミリの空隙に気
体を流すので放電反応時間がかかり、装置が大型高価と
なる欠点を有していた。
また、後者の沿面放電方式は、放電密度は無声放電に比
較して高ことは知られているも、セラミック表面にプリ
ントした数十ミクロンの線状の電極周囲に惹起した薄い
放電層に気体を接触させるため、通過気体のうち僅かな
量だけが接触することになり、高度な反応には適さない
という欠点を有している。
較して高ことは知られているも、セラミック表面にプリ
ントした数十ミクロンの線状の電極周囲に惹起した薄い
放電層に気体を接触させるため、通過気体のうち僅かな
量だけが接触することになり、高度な反応には適さない
という欠点を有している。
そこで本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、小型の
装置で高密度の高効率放電を行なう気体放電反応装置を
提供することを［１的としたものである。
装置で高密度の高効率放電を行なう気体放電反応装置を
提供することを［１的としたものである。
ｒ問題点を解決するための手段」
上記の目的に沿い、先述特許請求の範囲を要旨とする本
発明の構成は面述問題点を解決するために、３ｍｍ以下
の厚みを有する板状の絶縁性誘電体ｌの一面に導電性の
電極板２を他面に導電性の相手方電極板３を重合せしめ
、上記電極板２と相手方電極板３とのいずれか一方また
は双方の絶縁性誘電体１との接触面側には、註絶縁性誘
電体１に接触する接触部４と接触しない非接触部５とで
構成した通路６を形成し、上記？？を極板２と相手方電
極板３との間には交番高電圧を印加するとともに通路６
内に原料気体を通過せしめるようになした技術的手段を
講じたものである。
発明の構成は面述問題点を解決するために、３ｍｍ以下
の厚みを有する板状の絶縁性誘電体ｌの一面に導電性の
電極板２を他面に導電性の相手方電極板３を重合せしめ
、上記電極板２と相手方電極板３とのいずれか一方また
は双方の絶縁性誘電体１との接触面側には、註絶縁性誘
電体１に接触する接触部４と接触しない非接触部５とで
構成した通路６を形成し、上記？？を極板２と相手方電
極板３との間には交番高電圧を印加するとともに通路６
内に原料気体を通過せしめるようになした技術的手段を
講じたものである。
「作用」
そわ故本発明気体放電反応装置は、電極板２と相手方電
極板３との間に交番高電圧を印加するに際して、第４図
に示すごとく、初めは比較的低電圧（本実施例では３ｋ
ｖ程度）を印加し徐々にその′−゛「圧を高くすると、
放電は接触部４の近くで始まり、印加電圧を上昇せしめ
るにつけて放電域は該接触部４より遠い所に増え、ある
域値（本実施例では１２ｋｖ）で通路６内は完全に強い
放電で埋められる。この放電は、従来の無声放電とも沿
面放電とも異なる放電が生じるもので、強いて放電形態
を説明するなら、無声放電域と沿面放電域とが混在する
放電であることには相違がないか、両数電域が連続・融
合することで、接触部４近くに発生した放電密度の高い
沿面放電域が、上方域、すなわち非接触部５側に拡大せ
しめられ通路６内の放電密度を全体的に見て高密度化す
るものである。
極板３との間に交番高電圧を印加するに際して、第４図
に示すごとく、初めは比較的低電圧（本実施例では３ｋ
ｖ程度）を印加し徐々にその′−゛「圧を高くすると、
放電は接触部４の近くで始まり、印加電圧を上昇せしめ
るにつけて放電域は該接触部４より遠い所に増え、ある
域値（本実施例では１２ｋｖ）で通路６内は完全に強い
放電で埋められる。この放電は、従来の無声放電とも沿
面放電とも異なる放電が生じるもので、強いて放電形態
を説明するなら、無声放電域と沿面放電域とが混在する
放電であることには相違がないか、両数電域が連続・融
合することで、接触部４近くに発生した放電密度の高い
沿面放電域が、上方域、すなわち非接触部５側に拡大せ
しめられ通路６内の放電密度を全体的に見て高密度化す
るものである。
そして、この高密度放電を行なう通路６内を原料気体が
通過することで、該原料気体は強勢な放′−″に反応が
進行するものである。
通過することで、該原料気体は強勢な放′−″に反応が
進行するものである。
「実施例」
次に、本発明の実施例を第１図乃至第５図に従って説明
すれば以下の通りである。
すれば以下の通りである。
図中、ｌが絶縁性誘電体で、この絶縁性誘電体１は硬質
耐酸ガラス又は高純度セラミック等の耐酸性の絶縁性材
が使用され３ｍｍ以下の厚みを有する板状に形成されて
なる。
耐酸ガラス又は高純度セラミック等の耐酸性の絶縁性材
が使用され３ｍｍ以下の厚みを有する板状に形成されて
なる。
そして、上記絶縁性誘電体１の一面には導電性の電極板
２を、他面には導電性の相手方電極板３を重合せしめで
ある。この電極板２及び相手方電極板３も耐酸化材料を
使用することが望ましく、本実施例ではチタン材を使用
した。そして、この′１゛ニ極板２と相手方電極板３と
１−記絶縁性誘電体１とは三層構造に重合されることに
なるが、図では省略した絶縁性の締結具、固定ＪＩ−等
で三層構造に重合固定することは無論である。
２を、他面には導電性の相手方電極板３を重合せしめで
ある。この電極板２及び相手方電極板３も耐酸化材料を
使用することが望ましく、本実施例ではチタン材を使用
した。そして、この′１゛ニ極板２と相手方電極板３と
１−記絶縁性誘電体１とは三層構造に重合されることに
なるが、図では省略した絶縁性の締結具、固定ＪＩ−等
で三層構造に重合固定することは無論である。
また、上記電極板２と相手方電極板３とのいずれか一方
または双方の絶縁性誘電体１との接触面側には、該絶縁
性誘電体１に接触する接触部４と接触しない非接触部５
とで構成した通路６を形成しである。すなわち、電極板
２と相手方電極板３とのいずれか一方または双方の絶縁
性誘電体１との接触面は接触部４と非接触部５とからな
る凹凸面となして、連続する非接触部５で通路６を形成
しているもので、図示例においては、電極板２または相
手方電極板３の一面に断面三角形の溝を平行に配設して
該溝の山部が接触部４、谷部が非接触部５、溝自体か通
路６となるようになっているか、この通路６は必ずしも
直線」二となる必要はなく、電極板２または相手方電極
板３の一面に多数の突起部を突設して該突起部の先端が
接触部４、隣り合う突起部と突起部との間隙部が非接触
部５乃至通路６となるようにしてもよい。
または双方の絶縁性誘電体１との接触面側には、該絶縁
性誘電体１に接触する接触部４と接触しない非接触部５
とで構成した通路６を形成しである。すなわち、電極板
２と相手方電極板３とのいずれか一方または双方の絶縁
性誘電体１との接触面は接触部４と非接触部５とからな
る凹凸面となして、連続する非接触部５で通路６を形成
しているもので、図示例においては、電極板２または相
手方電極板３の一面に断面三角形の溝を平行に配設して
該溝の山部が接触部４、谷部が非接触部５、溝自体か通
路６となるようになっているか、この通路６は必ずしも
直線」二となる必要はなく、電極板２または相手方電極
板３の一面に多数の突起部を突設して該突起部の先端が
接触部４、隣り合う突起部と突起部との間隙部が非接触
部５乃至通路６となるようにしてもよい。
そして、上記電極板２と相手方電極板３との間には交番
高電圧を印加するとともに通路６内に原料気体を通過せ
しめるようになしである。すなわち上記電極板２は交流
高圧電源７の高圧側に相手方電極板３は接地側に連結さ
れ両者間に交番高電圧が印加されるようになっている。
高電圧を印加するとともに通路６内に原料気体を通過せ
しめるようになしである。すなわち上記電極板２は交流
高圧電源７の高圧側に相手方電極板３は接地側に連結さ
れ両者間に交番高電圧が印加されるようになっている。
また、通路６内に原料気体を通過せしめには、該通路６
の一端側を流入口として原料気体源に連結し他端を流出
口となせばよいが、第３図例では電極板２の中央に原料
気体注入口１０を設け、該電極板２の絶縁性誘電体１と
の接触面側にはこの原料気体注入［１１０ど各通路６，
６．６・・・とを連結する連結溝１１を配してあり、該
原料気体注入口１０より圧送された原料気体は連結溝１
１より各通路６゜６．６・・・に分流されて該電極板２
の端部より流出するようになしている。なお、この原料
気体注入口１０に吸気バイブを連結して、原料気体の流
れを上記とは逆にしても差し支えはないものである。
の一端側を流入口として原料気体源に連結し他端を流出
口となせばよいが、第３図例では電極板２の中央に原料
気体注入口１０を設け、該電極板２の絶縁性誘電体１と
の接触面側にはこの原料気体注入［１１０ど各通路６，
６．６・・・とを連結する連結溝１１を配してあり、該
原料気体注入口１０より圧送された原料気体は連結溝１
１より各通路６゜６．６・・・に分流されて該電極板２
の端部より流出するようになしている。なお、この原料
気体注入口１０に吸気バイブを連結して、原料気体の流
れを上記とは逆にしても差し支えはないものである。
「発明の効果」
本発明気体放電反応装置は上記のごときで、原料気体は
高密度な放電域である通路６内を通過するため、確実・
効率的に放電反応されるもので、具体例としては、絶縁
性誘電体１を厚み０．６ｍｍのセラミック板５０ ｍｍ
ｘ ５０ ｍｍで作り、この絶縁性誘電体１の裏面に１
ｍｍ厚みのチタン板製の相手方′電極板３を重合し、該
絶縁性誘電体１の表面には同じくチタン板製で厚みが５
ｍｍ通路６．６．６・・・を高さ２ｍｍの正三角形断面
とした電極板２を重合して第３図及び第４図例装置を製
作し、電極板２と相手方電極板３との間に最高１２に■
・５Ｋｚの交番高電圧を印加し、原料気体注入口１０よ
り毎分２リツトルの純酸素を供送したところ、第４図に
示すごとく最高４００００ｐｐｍの高濃度オゾンを得た
。でれは、僅か数十ミリの通路６で実に高濃度な放電反
応が行なわれていることを示し、無声放電式の数十分の
１、沿面放電式の数分の１の放電域で放電反応が進行し
たことを立証するもので、小型で高効率的な気体放電反
応装置を提供′１−ることができるものである。
高密度な放電域である通路６内を通過するため、確実・
効率的に放電反応されるもので、具体例としては、絶縁
性誘電体１を厚み０．６ｍｍのセラミック板５０ ｍｍ
ｘ ５０ ｍｍで作り、この絶縁性誘電体１の裏面に１
ｍｍ厚みのチタン板製の相手方′電極板３を重合し、該
絶縁性誘電体１の表面には同じくチタン板製で厚みが５
ｍｍ通路６．６．６・・・を高さ２ｍｍの正三角形断面
とした電極板２を重合して第３図及び第４図例装置を製
作し、電極板２と相手方電極板３との間に最高１２に■
・５Ｋｚの交番高電圧を印加し、原料気体注入口１０よ
り毎分２リツトルの純酸素を供送したところ、第４図に
示すごとく最高４００００ｐｐｍの高濃度オゾンを得た
。でれは、僅か数十ミリの通路６で実に高濃度な放電反
応が行なわれていることを示し、無声放電式の数十分の
１、沿面放電式の数分の１の放電域で放電反応が進行し
たことを立証するもので、小型で高効率的な気体放電反
応装置を提供′１−ることができるものである。
また、本発明気体放′１を反応装置は、極めて安定した
放電を発生するもで、第５図に示すごとく、電圧を徐々
に下げてゆくとオゾン発生量がほとんど直線的に低下し
、３Ｋｖにおいて約１１００ｐｐまで安定して下り、実
に１：４００の広い制御巾で放電反応を制御できるもの
である。従来の無声放電式又は沿面放電式は同図鎖線に
示すととく１：４程度の制御巾しかなく、６Ｋｖ以下で
は不安定域に入ることと比較すると本発明装置は通過す
る原料気体の反応条件に適合した放電状態を容易に制御
できる効果を有するものである。、また、特に低電圧に
おいて安定した放電を保持することは起動電圧による絶
縁性誘電体１または交流高圧電源７への電気的衝箪を緩
和するものであり破損の恐れが少ない気体放電反応装置
を提供できるものである。
放電を発生するもで、第５図に示すごとく、電圧を徐々
に下げてゆくとオゾン発生量がほとんど直線的に低下し
、３Ｋｖにおいて約１１００ｐｐまで安定して下り、実
に１：４００の広い制御巾で放電反応を制御できるもの
である。従来の無声放電式又は沿面放電式は同図鎖線に
示すととく１：４程度の制御巾しかなく、６Ｋｖ以下で
は不安定域に入ることと比較すると本発明装置は通過す
る原料気体の反応条件に適合した放電状態を容易に制御
できる効果を有するものである。、また、特に低電圧に
おいて安定した放電を保持することは起動電圧による絶
縁性誘電体１または交流高圧電源７への電気的衝箪を緩
和するものであり破損の恐れが少ない気体放電反応装置
を提供できるものである。
第１図は本発明気体放電反応装置の一実施例を示す縦断
面図、第２図は別の実施例縦断面図、第３図はさらに別
の実施例縦断面図、第４図は平面図、第５図は印加電圧
と放電により生成されたオゾンの濃度関係を示す特性図
である。
面図、第２図は別の実施例縦断面図、第３図はさらに別
の実施例縦断面図、第４図は平面図、第５図は印加電圧
と放電により生成されたオゾンの濃度関係を示す特性図
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ３ｍｍ以下の厚みを有する板状の絶縁性誘電体１の一面
に導電性の電極板２を他面に導電性の相手方電極板３を
重合せしめ、 上記電極板２と相手方電極板３とのいずれか一方または
双方の絶縁性誘電体１との接触面側には、該絶縁性誘電
体１に接触する接触部４と接触しない非接触部５とで構
成した通路６を形成し、上記電極板２と相手方電極板３
との間には交番高電圧を印加するとともに通路６内に原
料気体を通過せしめるようになした気体放電反応装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61286306A JPH0651113B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 気体放電反応装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61286306A JPH0651113B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 気体放電反応装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63137748A true JPS63137748A (ja) | 1988-06-09 |
| JPH0651113B2 JPH0651113B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=17702669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61286306A Expired - Lifetime JPH0651113B2 (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 | 気体放電反応装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651113B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003510587A (ja) * | 1999-09-24 | 2003-03-18 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性感知アレイ装置 |
| US6837372B1 (en) | 1999-07-16 | 2005-01-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Case |
| US6932946B2 (en) | 2000-06-29 | 2005-08-23 | Ebara Corporation | Ozone generator |
| JP2012150062A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Secure Design Solutions Inc | 静電気容量検知型指紋読取りセンサ |
| JP2022011543A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-17 | 日本特殊陶業株式会社 | プラズマ照射装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186403A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-01 | Senichi Masuda | セラミツクを用いたオゾナイザ−装置 |
-
1986
- 1986-12-01 JP JP61286306A patent/JPH0651113B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186403A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-01 | Senichi Masuda | セラミツクを用いたオゾナイザ−装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6837372B1 (en) | 1999-07-16 | 2005-01-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Case |
| US7225922B2 (en) | 1999-07-16 | 2007-06-05 | Fujifilm Corporation | Case |
| JP2003510587A (ja) * | 1999-09-24 | 2003-03-18 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 容量性感知アレイ装置 |
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| JP2022011543A (ja) * | 2020-06-30 | 2022-01-17 | 日本特殊陶業株式会社 | プラズマ照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0651113B2 (ja) | 1994-07-06 |
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