JPS6311989B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6311989B2 JPS6311989B2 JP58218745A JP21874583A JPS6311989B2 JP S6311989 B2 JPS6311989 B2 JP S6311989B2 JP 58218745 A JP58218745 A JP 58218745A JP 21874583 A JP21874583 A JP 21874583A JP S6311989 B2 JPS6311989 B2 JP S6311989B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- glass plate
- chuck
- suction
- press position
- Prior art date
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- Expired
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
Landscapes
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、2枚の板状体(例えば液晶用ガラス
板)を効率良く、しかも高精度に貼り合すプレス
装置に関する。
板)を効率良く、しかも高精度に貼り合すプレス
装置に関する。
液晶セルを使用した製品は、光学機器、電子機
器、時計……等の部品として、すでに確立されて
いる。しかし、その用途は、増々拡大されてい
る。例えば、液晶テレビ、大型ドツトデイスプレ
ー、自動車用表示系、温度計……等などが次々に
開発されているように液晶を使用した製品が極め
て広い分野にわたつて生産されている。この液晶
セルを生産するためには、以下の工程を完了しな
ければならない。すなわち、「ガラス洗浄、パタ
ーン蒸着、レジスト印刷、露光、エツチング、配
向膜コート、ストリツピング、ラビング工程、接
着剤塗布……等」の工程である。ところで上記の
工程を終了した二枚のガラス板の合せマークを位
置決めして、貼り合せるという工程上、最も重要
な処理がある。この時の、貼り合せ精度が、また
は、作業者の能率が全くでき上つた液晶セルの信
頼性及び生産性に直接結び付くものであるため、
いかに精度よく、しかも効率よく貼り合せること
ができるかが、液晶製造する業者の大きなポイン
トとなつている。
器、時計……等の部品として、すでに確立されて
いる。しかし、その用途は、増々拡大されてい
る。例えば、液晶テレビ、大型ドツトデイスプレ
ー、自動車用表示系、温度計……等などが次々に
開発されているように液晶を使用した製品が極め
て広い分野にわたつて生産されている。この液晶
セルを生産するためには、以下の工程を完了しな
ければならない。すなわち、「ガラス洗浄、パタ
ーン蒸着、レジスト印刷、露光、エツチング、配
向膜コート、ストリツピング、ラビング工程、接
着剤塗布……等」の工程である。ところで上記の
工程を終了した二枚のガラス板の合せマークを位
置決めして、貼り合せるという工程上、最も重要
な処理がある。この時の、貼り合せ精度が、また
は、作業者の能率が全くでき上つた液晶セルの信
頼性及び生産性に直接結び付くものであるため、
いかに精度よく、しかも効率よく貼り合せること
ができるかが、液晶製造する業者の大きなポイン
トとなつている。
ここで、従来の液晶貼り合せ装置を第1図につ
いて説明する。
いて説明する。
まず、初期設定位置でガラス吸着移動板1に上
ガラス板を貼り合わせ面が下となるように吸着す
る。又、ガラス吸着移動板1に上ガラス板と所定
距離、離して、下ガラス板を貼り合せ面が上とな
るように吸着する。
ガラス板を貼り合わせ面が下となるように吸着す
る。又、ガラス吸着移動板1に上ガラス板と所定
距離、離して、下ガラス板を貼り合せ面が上とな
るように吸着する。
そして、ガラス吸着移動板1上の上ガラス板が
上ガラス吸着板2の真下にくるように手動にてガ
ラス吸着移動板を直線移動する。次に基台3で支
持された球受8の上に載置された位置合せ基板9
から4本柱5とバネ6でつり上げられている上ガ
ラス吸着板2の中心部をテコ棒4で押しつけると
ガラス吸着移動板1に吸着している上ガラス板に
上ガラス吸着板2が接触する。
上ガラス吸着板2の真下にくるように手動にてガ
ラス吸着移動板を直線移動する。次に基台3で支
持された球受8の上に載置された位置合せ基板9
から4本柱5とバネ6でつり上げられている上ガ
ラス吸着板2の中心部をテコ棒4で押しつけると
ガラス吸着移動板1に吸着している上ガラス板に
上ガラス吸着板2が接触する。
そして上ガラス吸着板2が吸着を開始する一
方、ガラス吸着移動板1の吸着を解除することに
より上ガラスをガラス吸着移動板1から上ガラス
吸着板2に移す。
方、ガラス吸着移動板1の吸着を解除することに
より上ガラスをガラス吸着移動板1から上ガラス
吸着板2に移す。
続いて、ガラス吸着移動板1に吸着している下
ガラス板が上ガラス吸着板2の真下位置にくるよ
うにガラス吸着移動板1を直線移動し、位置決め
ピン7にて固定する。
ガラス板が上ガラス吸着板2の真下位置にくるよ
うにガラス吸着移動板1を直線移動し、位置決め
ピン7にて固定する。
ここで、上下のガラス板は対向した状態になる
が上下のガラス板に設けられた位置合せマークを
2台の観察装置10で観察する。すなわち、上下
の位置合せマークのずれを観察装置10で目視し
位置合せ基板9に連結した2つのマニプレータで
位置合せ基板9を操作して上下の位置合せマーク
のずれを修正する。
が上下のガラス板に設けられた位置合せマークを
2台の観察装置10で観察する。すなわち、上下
の位置合せマークのずれを観察装置10で目視し
位置合せ基板9に連結した2つのマニプレータで
位置合せ基板9を操作して上下の位置合せマーク
のずれを修正する。
そして、位置合せマークが合致した後、テコ棒
4を再び手動で押し付けて上下ガラス板の貼り合
せを行なう。
4を再び手動で押し付けて上下ガラス板の貼り合
せを行なう。
しかしながら斯かる従来例においては上下のガ
ラス板をプレス位置にセツトするまでに時間に要
する等効率が悪いという欠点がある。しかも作業
操作が全て手動であるため作業者が直接、ガラス
板を取り扱うためにガラス板にゴミや指紋等の汚
れ又は傷等が付きやすいという欠点がある。又、
作業者による能力によつて位置合せ精度とか、貼
り合せ時のプレス圧力等が安定せず、作業効率が
著しくばらつく等、生産性の点で欠点がある。
ラス板をプレス位置にセツトするまでに時間に要
する等効率が悪いという欠点がある。しかも作業
操作が全て手動であるため作業者が直接、ガラス
板を取り扱うためにガラス板にゴミや指紋等の汚
れ又は傷等が付きやすいという欠点がある。又、
作業者による能力によつて位置合せ精度とか、貼
り合せ時のプレス圧力等が安定せず、作業効率が
著しくばらつく等、生産性の点で欠点がある。
本発明の目的は、液晶ガラス板等の貼り合せに
おいて、効率良く、しかも高精度に貼り合すこと
ができる装置を提供することにある。更に本発明
の目的は液晶ガラス板等がテーパをもつていても
高精度に貼り合わすことができる装置を提供する
ことにある。以下、本発明の実施例を示す。
おいて、効率良く、しかも高精度に貼り合すこと
ができる装置を提供することにある。更に本発明
の目的は液晶ガラス板等がテーパをもつていても
高精度に貼り合わすことができる装置を提供する
ことにある。以下、本発明の実施例を示す。
第2図において、上ガラス板搬送台11と上ガ
ラス板用チヤツク13とは、一体剛性箱14に設
置されている。一体剛性箱14の右側にはゼネバ
機構16があり、このゼネバ機構16によつて、
上ガラス板搬送台11が水平位置に反時計方向に
又は時計方向に90゜回動するようにしてある。そ
して上ガラス板搬送台11の上面には吸着溝を具
備し、XY方向に設けられる吸着板15が取付け
てあり、更にガラス板等の位置決め用ピンが上ガ
ラス板搬送台11の上面に組み込んである。又、
上ガラス板搬送台11の下面にはたわみ防止用の
水平押え板18があり、左側には位置固定用の上
フツク17がある。又上ガラス板用チヤツク13
は一体剛性箱14に組み込まれて支持されている
四本の柱19で吊設保持されている。又、上ガラ
ス板用チヤツク13と四本の柱19とは吸着穴付
球受19′で吸着固定されていて、その四本の柱
19をZ方向(図面における上下方向)にのみ移
動するポールプツシユでガイドしている。更に、
上ガラス板用チヤツク13の上面中心には、押棒
20がバネ12′を介して立設されていて、一体
剛性箱14にZ方向に移動可能に組込まれてい
る。押し棒20は上ガラス板用チヤツク13と連
動しており、上ガラス板用チヤツク13を上下す
る為に一体剛性箱14に設置してある。押し棒2
0の上端には、テコ棒21が設けてあり、このテ
コ棒21は駆動源であるモーター14′及び押し
ネジ等で作動するようにしてある。押棒20はバ
ネ12′を介して上ガラス板用チヤツク13に保
持されている。又、下ガラス板搬送台26には、
数個の切欠部が設けてあり、これ等の切欠部に
は、授受ピン34が設けてあり、下ガラス板搬送
台26の上面には、吸着板21′及びピン20′が
取付けてあり、下ガラス板用チヤツク29は該吸
着板21′及びピン20′を介して下ガラス板搬送
台26の上に載置されている。37は、下ガラス
板用チヤツク29に取付けたギヤツプセンサであ
る。このギヤツプセンサ37は、上ガラス板用チ
ヤツク13と下ガラス板用チヤツク29の設定基
準位置での平行出しのために使用するものであ
る。なお、下ガラス板搬送台26の右側には、位
置固定用のフツク18′が設けてある。又前記下
ガラス板搬送台26の数個の切欠部内を、後述す
る三点支持授受軸35が上下方向に摺動するよう
にしてある。
ラス板用チヤツク13とは、一体剛性箱14に設
置されている。一体剛性箱14の右側にはゼネバ
機構16があり、このゼネバ機構16によつて、
上ガラス板搬送台11が水平位置に反時計方向に
又は時計方向に90゜回動するようにしてある。そ
して上ガラス板搬送台11の上面には吸着溝を具
備し、XY方向に設けられる吸着板15が取付け
てあり、更にガラス板等の位置決め用ピンが上ガ
ラス板搬送台11の上面に組み込んである。又、
上ガラス板搬送台11の下面にはたわみ防止用の
水平押え板18があり、左側には位置固定用の上
フツク17がある。又上ガラス板用チヤツク13
は一体剛性箱14に組み込まれて支持されている
四本の柱19で吊設保持されている。又、上ガラ
ス板用チヤツク13と四本の柱19とは吸着穴付
球受19′で吸着固定されていて、その四本の柱
19をZ方向(図面における上下方向)にのみ移
動するポールプツシユでガイドしている。更に、
上ガラス板用チヤツク13の上面中心には、押棒
20がバネ12′を介して立設されていて、一体
剛性箱14にZ方向に移動可能に組込まれてい
る。押し棒20は上ガラス板用チヤツク13と連
動しており、上ガラス板用チヤツク13を上下す
る為に一体剛性箱14に設置してある。押し棒2
0の上端には、テコ棒21が設けてあり、このテ
コ棒21は駆動源であるモーター14′及び押し
ネジ等で作動するようにしてある。押棒20はバ
ネ12′を介して上ガラス板用チヤツク13に保
持されている。又、下ガラス板搬送台26には、
数個の切欠部が設けてあり、これ等の切欠部に
は、授受ピン34が設けてあり、下ガラス板搬送
台26の上面には、吸着板21′及びピン20′が
取付けてあり、下ガラス板用チヤツク29は該吸
着板21′及びピン20′を介して下ガラス板搬送
台26の上に載置されている。37は、下ガラス
板用チヤツク29に取付けたギヤツプセンサであ
る。このギヤツプセンサ37は、上ガラス板用チ
ヤツク13と下ガラス板用チヤツク29の設定基
準位置での平行出しのために使用するものであ
る。なお、下ガラス板搬送台26の右側には、位
置固定用のフツク18′が設けてある。又前記下
ガラス板搬送台26の数個の切欠部内を、後述す
る三点支持授受軸35が上下方向に摺動するよう
にしてある。
そして、基板33の上には四本のZ方向支持軸
23が立設してあり、該四本のZ方向支持軸23
には基板33の上に載置されたXY方向ステージ
24が嵌入支持されている。また基板33には、
Z方向支持軸23に対向して下搬送軸22が嵌装
し立設してある。Z方向ステージ25は、該Z方
向支持軸23と下搬送軸22に嵌装されている。
下搬送軸22の下端にはゼネバ機構16′が設け
てあり、下搬送軸22の上端には、下ガラス板搬
送台26が支持されている。Z方向ステージ25
に凹部が形成されていて、この凹部には回転方向
の角度θを変えるθステージ27が嵌合されてい
る。又、θステージ27には、三点支持授受軸3
5が組み込んであり、この三点支持授受軸35に
は、その上端にセンサー36が取付けてある。こ
の取付位置は下ガラス板用チヤツク29の最外周
の等分位置に対応している。
23が立設してあり、該四本のZ方向支持軸23
には基板33の上に載置されたXY方向ステージ
24が嵌入支持されている。また基板33には、
Z方向支持軸23に対向して下搬送軸22が嵌装
し立設してある。Z方向ステージ25は、該Z方
向支持軸23と下搬送軸22に嵌装されている。
下搬送軸22の下端にはゼネバ機構16′が設け
てあり、下搬送軸22の上端には、下ガラス板搬
送台26が支持されている。Z方向ステージ25
に凹部が形成されていて、この凹部には回転方向
の角度θを変えるθステージ27が嵌合されてい
る。又、θステージ27には、三点支持授受軸3
5が組み込んであり、この三点支持授受軸35に
は、その上端にセンサー36が取付けてある。こ
の取付位置は下ガラス板用チヤツク29の最外周
の等分位置に対応している。
下ガラス板搬送台26の上にある下ガラス板用
チヤツク29の裏面には前記したように授受ピン
34が取付けてあり、そして、授受ピン34の下
面と三点支持受軸35とが対面している。前述し
た下搬送軸22と四本の支持軸23の下端は結合
板28で固定してある。結合板28にはエアシリ
ンダー28′が設けてあり、エアシリンダー2
8′はプツシヤーを介して、Z方向ステージ25
及びθステージ27を上昇固定させるようにして
ある。又、結合板28は、連結板39で結合して
あり、手動用マニプレータ及び自動用に切替える
ためのエアークラツチ板30と連結している。そ
して、四本の支持軸23及び下搬送軸22は基台
33を貫通している。又、XY方向ステージ24
を固定するためのエヤーパツト31は、四本の支
持軸23に取付けている板バネ32によつて保持
されていて、エヤーパツト31は基台33に接触
している。エヤーパツト31は空気の吸着及び排
出が可能になつている。下ガラス板用チヤツク2
9又は、上ガラス板用チヤツク13には少くとも
3個以上の平行出しギヤツプセンサー37が取付
けてあり、又2台以上の観察装置38が一体剛性
箱14に取付けてあり、上下ガラスのマーク位置
を観察し、さらにギヤツプ量を測定する。観察装
置38で計測したマーク位置のズレ量およびギヤ
ツプ量は、映像信号としてTVに取出し、TVの
走査線を利用してマークのズレ量を検知し、
CPVにて演算処理し、各駆動系をコントロール
して自動位置決めをすることができる。又、ギヤ
ツプ量においては、周知の技術である白色照明と
ウオラストンプリズムを利用し白色干渉縞を使用
することで上下のガラス間の光路差を有した反射
光を取り出し、干渉縞を形整させその干渉縞のピ
ツチを電気的に交換して得られた信号により各軸
35を個別に駆動させることにより平行ギヤツプ
を設定することができるようになつている。
チヤツク29の裏面には前記したように授受ピン
34が取付けてあり、そして、授受ピン34の下
面と三点支持受軸35とが対面している。前述し
た下搬送軸22と四本の支持軸23の下端は結合
板28で固定してある。結合板28にはエアシリ
ンダー28′が設けてあり、エアシリンダー2
8′はプツシヤーを介して、Z方向ステージ25
及びθステージ27を上昇固定させるようにして
ある。又、結合板28は、連結板39で結合して
あり、手動用マニプレータ及び自動用に切替える
ためのエアークラツチ板30と連結している。そ
して、四本の支持軸23及び下搬送軸22は基台
33を貫通している。又、XY方向ステージ24
を固定するためのエヤーパツト31は、四本の支
持軸23に取付けている板バネ32によつて保持
されていて、エヤーパツト31は基台33に接触
している。エヤーパツト31は空気の吸着及び排
出が可能になつている。下ガラス板用チヤツク2
9又は、上ガラス板用チヤツク13には少くとも
3個以上の平行出しギヤツプセンサー37が取付
けてあり、又2台以上の観察装置38が一体剛性
箱14に取付けてあり、上下ガラスのマーク位置
を観察し、さらにギヤツプ量を測定する。観察装
置38で計測したマーク位置のズレ量およびギヤ
ツプ量は、映像信号としてTVに取出し、TVの
走査線を利用してマークのズレ量を検知し、
CPVにて演算処理し、各駆動系をコントロール
して自動位置決めをすることができる。又、ギヤ
ツプ量においては、周知の技術である白色照明と
ウオラストンプリズムを利用し白色干渉縞を使用
することで上下のガラス間の光路差を有した反射
光を取り出し、干渉縞を形整させその干渉縞のピ
ツチを電気的に交換して得られた信号により各軸
35を個別に駆動させることにより平行ギヤツプ
を設定することができるようになつている。
次に、作用を説明するに、初期の上下ガラス板
授受位置では、上ガラス板搬送台11と下ガラス
板搬送台26とが、ガラス板が自動的に載置され
るのを待つている。上ガラス板搬送台11及び下
ガラス板搬送台26にそれぞれ板ガラスが載せら
れると、セネバ機構16及び16′により、水平
位置に保持されて、上ガラス板搬送台11及び下
ガラス板搬送台26はそれぞれ時計方向及反時計
方向に90゜回転し、ほぼ同時に第2図の位置に来
る。この位置に来ると、センサー等で検知し、そ
の信号で、上ガラス板搬送台11は、上フツク1
7と水平おさえ板18′の作動により、所定の位
置に固定される。そして、上板ガラスは、上板ガ
ラス搬送台上にあるXY方向ガラス吸着板15に
より位置決めされる。そして、モーター14′及
び押しネジを作動させて、テコ棒21を作動させ
ると、押し棒20が下降しバネ12を押し付け、
更に上ガラス板用チヤツク13を下降させる。こ
れにより、上ガラス板搬送台11上の上ガラス板
に上ガラス板チヤツク板13を接触させる。次に
エヤー圧力センサー等で、上ガラス板用チヤツク
13の吸着を検知し、上ガラス板搬送台11の吸
着を解除し、吸着穴付球受にエヤー吸着が開始さ
れ、上ガラス板用チヤツク13の下面に上ガラス
板を吸着させる。そして、モーター14′及び押
しネジの作動により、上ガラス板用チヤツク13
を一体剛性箱14のつき当て面に引き上げる。こ
こで前記したように、下ガラス板搬送台26も上
ガラス板搬送台11とほぼ同時に90゜反時計方向
に回転して第2図の位置に来る。そして、センサ
ー等により位置を検知されて、フツク18′で固
定される。下ガラス板用チヤツク29はピン2
0′と3ケの吸着板21′により、下ガラス板搬送
台26上に固定されて位置決めされている。次
に、マニプレーターにより、連結板39及び結合
板28を介して4本の支持軸23によつて一体に
支持されたXY方向ステージ24を移動させ、基
台33に固定させるために、板バネ32及びエア
ーパツトにエアーを吸着させるようにする。次に
上ガラス板搬送台11をゼネパ機構16の作動に
より、水平方向に90゜反時計方向に回動させて、
元のガラス板の受け渡しの位置に移動させる。次
に、三点支持授受軸35をZ駆動部により上昇さ
せると前記したセンサー36の作動により下ガラ
ス板用チヤツク29と下ガラス搬送台26との吸
着結合を解除し続いて下ガラス板用チヤツク29
と三点支持授受軸35を吸着結合することによつ
て、下ガラス板チヤツク板29の授受ピン34が
三点支持授受軸35に挿入され一体となる。次
に、結合板28に取付けてあるエアーシリンダー
28′によつてZ方向ステージ25を上昇すると
θステージ27と共に三点支持授受軸35に支持
された下ガラス板用チヤツク板29が位置合せす
る位置まで上昇する。この時において、上ガラス
板用チヤツク13に保持された上ガラス板と下ガ
ラス板用チヤツク29に保持された下ガラス板と
は接着面に向き合つた状態となる。下ガラス板用
チヤツク29には、少くとも3ケ以上の平行出し
ギヤツプセンサー37が取付けてあり、(上ガラ
ス板用チヤツク13に上記のギヤツプセンサーを
取付けてもよい)、これ等のギヤツプセンサー3
7によつて、上下2枚の板ガラスの平行度を感知
させる。更に、一体剛性箱14に取付けた観察装
置38によつて上下のガラス板のマーク位置を観
察し、更にギヤツプの量を測定する。観察装置3
8で計測したマークのズレ量及びギヤツプ量は映
像信号としてTVに取出され、TVの走査線を利
用して、マークのズレ量を検出し、CPUで演算
処理しXY方向ステージ24、θステージ27及
び3つの独立した軸35を制御して自動位置合わ
せすることができる。
授受位置では、上ガラス板搬送台11と下ガラス
板搬送台26とが、ガラス板が自動的に載置され
るのを待つている。上ガラス板搬送台11及び下
ガラス板搬送台26にそれぞれ板ガラスが載せら
れると、セネバ機構16及び16′により、水平
位置に保持されて、上ガラス板搬送台11及び下
ガラス板搬送台26はそれぞれ時計方向及反時計
方向に90゜回転し、ほぼ同時に第2図の位置に来
る。この位置に来ると、センサー等で検知し、そ
の信号で、上ガラス板搬送台11は、上フツク1
7と水平おさえ板18′の作動により、所定の位
置に固定される。そして、上板ガラスは、上板ガ
ラス搬送台上にあるXY方向ガラス吸着板15に
より位置決めされる。そして、モーター14′及
び押しネジを作動させて、テコ棒21を作動させ
ると、押し棒20が下降しバネ12を押し付け、
更に上ガラス板用チヤツク13を下降させる。こ
れにより、上ガラス板搬送台11上の上ガラス板
に上ガラス板チヤツク板13を接触させる。次に
エヤー圧力センサー等で、上ガラス板用チヤツク
13の吸着を検知し、上ガラス板搬送台11の吸
着を解除し、吸着穴付球受にエヤー吸着が開始さ
れ、上ガラス板用チヤツク13の下面に上ガラス
板を吸着させる。そして、モーター14′及び押
しネジの作動により、上ガラス板用チヤツク13
を一体剛性箱14のつき当て面に引き上げる。こ
こで前記したように、下ガラス板搬送台26も上
ガラス板搬送台11とほぼ同時に90゜反時計方向
に回転して第2図の位置に来る。そして、センサ
ー等により位置を検知されて、フツク18′で固
定される。下ガラス板用チヤツク29はピン2
0′と3ケの吸着板21′により、下ガラス板搬送
台26上に固定されて位置決めされている。次
に、マニプレーターにより、連結板39及び結合
板28を介して4本の支持軸23によつて一体に
支持されたXY方向ステージ24を移動させ、基
台33に固定させるために、板バネ32及びエア
ーパツトにエアーを吸着させるようにする。次に
上ガラス板搬送台11をゼネパ機構16の作動に
より、水平方向に90゜反時計方向に回動させて、
元のガラス板の受け渡しの位置に移動させる。次
に、三点支持授受軸35をZ駆動部により上昇さ
せると前記したセンサー36の作動により下ガラ
ス板用チヤツク29と下ガラス搬送台26との吸
着結合を解除し続いて下ガラス板用チヤツク29
と三点支持授受軸35を吸着結合することによつ
て、下ガラス板チヤツク板29の授受ピン34が
三点支持授受軸35に挿入され一体となる。次
に、結合板28に取付けてあるエアーシリンダー
28′によつてZ方向ステージ25を上昇すると
θステージ27と共に三点支持授受軸35に支持
された下ガラス板用チヤツク板29が位置合せす
る位置まで上昇する。この時において、上ガラス
板用チヤツク13に保持された上ガラス板と下ガ
ラス板用チヤツク29に保持された下ガラス板と
は接着面に向き合つた状態となる。下ガラス板用
チヤツク29には、少くとも3ケ以上の平行出し
ギヤツプセンサー37が取付けてあり、(上ガラ
ス板用チヤツク13に上記のギヤツプセンサーを
取付けてもよい)、これ等のギヤツプセンサー3
7によつて、上下2枚の板ガラスの平行度を感知
させる。更に、一体剛性箱14に取付けた観察装
置38によつて上下のガラス板のマーク位置を観
察し、更にギヤツプの量を測定する。観察装置3
8で計測したマークのズレ量及びギヤツプ量は映
像信号としてTVに取出され、TVの走査線を利
用して、マークのズレ量を検出し、CPUで演算
処理しXY方向ステージ24、θステージ27及
び3つの独立した軸35を制御して自動位置合わ
せすることができる。
次に、前記三点支持授受軸35を同時に作動さ
せて、平行ギヤツプ及び位置を保持させて、下ガ
ラス板用チヤツク29を上昇させ、上ガラス板と
下ガラス板とを圧接させてプレスする。任意の時
間セツトされてから、上ガラス板用チヤツク13
と上ガラス板との吸着を解除し、上ガラス板と下
ガラス板とが接着したまゝ下ガラス板用チヤツク
29上に保持される。更に下ガラス板搬送台26
と下ガラス板用チヤツク29を吸着させ、下ガラ
ス板搬送台26をゼネパ機構16′により、水平
方向に90゜時計方向に取出し位置へ回動させる。
そして、貼り合せた二枚の板ガラスを取り出す。
せて、平行ギヤツプ及び位置を保持させて、下ガ
ラス板用チヤツク29を上昇させ、上ガラス板と
下ガラス板とを圧接させてプレスする。任意の時
間セツトされてから、上ガラス板用チヤツク13
と上ガラス板との吸着を解除し、上ガラス板と下
ガラス板とが接着したまゝ下ガラス板用チヤツク
29上に保持される。更に下ガラス板搬送台26
と下ガラス板用チヤツク29を吸着させ、下ガラ
ス板搬送台26をゼネパ機構16′により、水平
方向に90゜時計方向に取出し位置へ回動させる。
そして、貼り合せた二枚の板ガラスを取り出す。
さて、貼り合すべき二枚のガラス板の貼り合す
べき面が傾斜している場合には、平行出しギヤツ
プセンサー37により、ギヤツプ量を出し、二枚
のガラス板の貼り合せ面のギヤツプを調整しなけ
ればならない。そのためには、下ガラス板チヤツ
ク板1aを上昇させるべき三点支持授受軸35が
同時だけでなく、個々単独に上昇しなければなら
ない。そのための装置が第3図に示してある。
べき面が傾斜している場合には、平行出しギヤツ
プセンサー37により、ギヤツプ量を出し、二枚
のガラス板の貼り合せ面のギヤツプを調整しなけ
ればならない。そのためには、下ガラス板チヤツ
ク板1aを上昇させるべき三点支持授受軸35が
同時だけでなく、個々単独に上昇しなければなら
ない。そのための装置が第3図に示してある。
第3図は、プレス駆動部及びギヤツプ駆動部の
要部を示す。吸着パツト付き支持軸35の各々は
θステージ27に対してベアリング42、ポール
ブツシユ43を組込んでいる。吸着パツト付き支
持軸35の各々には、その下方に同時ギヤー46
が設けてあり、この同時ギヤー46を吸着するた
めのエヤーパツト板44が板バネ45に支持され
ている。この板バネ45は同時ギヤー46の上面
に接触している。又、同時ギヤー46の中心部に
は、ネジ穴が有り、単独ギヤー付ネジ棒48が精
度よく中心部にネジ挿入されており、さらに、軸
35と同時ギヤー46とはベアリング53,54
と、該ベアリング53,54を押えている押リン
グ55によつて連結している。又、単独ギヤー付
ネジ棒48の軸は、ベアリング56で支持され、
θステージ27の底面に固定してある。単独ギヤ
ー付ネジ棒48を駆動するモーター50はギヤー
49を介して、ギヤー49に噛合している大歯車
により、単独ギヤー付ネジ棒48に伝動してい
る。
要部を示す。吸着パツト付き支持軸35の各々は
θステージ27に対してベアリング42、ポール
ブツシユ43を組込んでいる。吸着パツト付き支
持軸35の各々には、その下方に同時ギヤー46
が設けてあり、この同時ギヤー46を吸着するた
めのエヤーパツト板44が板バネ45に支持され
ている。この板バネ45は同時ギヤー46の上面
に接触している。又、同時ギヤー46の中心部に
は、ネジ穴が有り、単独ギヤー付ネジ棒48が精
度よく中心部にネジ挿入されており、さらに、軸
35と同時ギヤー46とはベアリング53,54
と、該ベアリング53,54を押えている押リン
グ55によつて連結している。又、単独ギヤー付
ネジ棒48の軸は、ベアリング56で支持され、
θステージ27の底面に固定してある。単独ギヤ
ー付ネジ棒48を駆動するモーター50はギヤー
49を介して、ギヤー49に噛合している大歯車
により、単独ギヤー付ネジ棒48に伝動してい
る。
一方、各同時ギヤー46は、前記した吸着パツ
ト付き支持軸35に具備してあり、この三つの同
時ギヤー46を同時に駆動できるように、連動ギ
ヤー51を噛合させて設置してあり、同時ギヤー
46はそれぞれθステージ27に支持されてい
る。又、連動ギヤー51には、θステージ27に
よつて支持されたフリクシヨン機構57が噛合し
ており、このフリクシヨン機構57はモーターで
駆動されるようになつている。
ト付き支持軸35に具備してあり、この三つの同
時ギヤー46を同時に駆動できるように、連動ギ
ヤー51を噛合させて設置してあり、同時ギヤー
46はそれぞれθステージ27に支持されてい
る。又、連動ギヤー51には、θステージ27に
よつて支持されたフリクシヨン機構57が噛合し
ており、このフリクシヨン機構57はモーターで
駆動されるようになつている。
次にギヤツプ駆動及びプレス駆動の動作を説明
する。先づギヤツプ駆動の場合には、三つの吸着
パツト付支持軸35の各々を個々単独にモーター
50(パルスモーター)を駆動させて、所要のギ
ヤツプ量の移動を行うためのパルスにて、前記し
たギヤー49を介して単独ギヤー付ネジ棒48に
伝達する。この時に、吸着パツト付支持軸35に
設けてあるエアーパツト44とバネ45とで吸着
パツト付支持軸35と同時ギヤー46とを吸着固
定する。この時他の支持軸との間では吸着しな
い。それ故に、同時ギヤー46と吸着パツト付支
持軸35は回転を拘束された状態になつており、
そのために単独ギヤー付ネジ棒48の回転によ
り、同時ギヤー46を含む吸着パツト付支持軸3
5は垂直方向に移動することができる。それ故
に、モーター50を、3個、個々に発信するパル
スにより、別々に駆動させて、所望のギヤツプに
調整できる。
する。先づギヤツプ駆動の場合には、三つの吸着
パツト付支持軸35の各々を個々単独にモーター
50(パルスモーター)を駆動させて、所要のギ
ヤツプ量の移動を行うためのパルスにて、前記し
たギヤー49を介して単独ギヤー付ネジ棒48に
伝達する。この時に、吸着パツト付支持軸35に
設けてあるエアーパツト44とバネ45とで吸着
パツト付支持軸35と同時ギヤー46とを吸着固
定する。この時他の支持軸との間では吸着しな
い。それ故に、同時ギヤー46と吸着パツト付支
持軸35は回転を拘束された状態になつており、
そのために単独ギヤー付ネジ棒48の回転によ
り、同時ギヤー46を含む吸着パツト付支持軸3
5は垂直方向に移動することができる。それ故
に、モーター50を、3個、個々に発信するパル
スにより、別々に駆動させて、所望のギヤツプに
調整できる。
次に、三つの吸着パツト付支持軸35を用いて
プレス駆動させるには単独ギヤー付ネジ棒48を
固定するために、モータ50の自己トルクを利用
して、単独ギヤー付ネジ棒48を固定しておく。
又、エヤーパツト板44の吸着を解除すること
で、軸35と同時ギヤー46との連結を切り離す
と、同時ギヤー46は回転可能となる。連動ギヤ
ー51に噛合つているフリクシヨン機構57をモ
ーターで駆動すると、連動ギヤー51に噛合つて
いる同時ギヤー46が回転し、その回転で軸35
を垂直方向に移動させる。垂直方向に移動された
軸35はプレス物体に接触し押しつける。この押
し付け圧力はモーターの出力とフリクシヨン機構
57に具備されているすべり摩擦力によつて規制
されている。任意のすべり摩擦力を設定すること
により、フリクシヨン機構57ですべりによるカ
ラ廻りを起させて、一定のプレスを提供する。
プレス駆動させるには単独ギヤー付ネジ棒48を
固定するために、モータ50の自己トルクを利用
して、単独ギヤー付ネジ棒48を固定しておく。
又、エヤーパツト板44の吸着を解除すること
で、軸35と同時ギヤー46との連結を切り離す
と、同時ギヤー46は回転可能となる。連動ギヤ
ー51に噛合つているフリクシヨン機構57をモ
ーターで駆動すると、連動ギヤー51に噛合つて
いる同時ギヤー46が回転し、その回転で軸35
を垂直方向に移動させる。垂直方向に移動された
軸35はプレス物体に接触し押しつける。この押
し付け圧力はモーターの出力とフリクシヨン機構
57に具備されているすべり摩擦力によつて規制
されている。任意のすべり摩擦力を設定すること
により、フリクシヨン機構57ですべりによるカ
ラ廻りを起させて、一定のプレスを提供する。
ところで以上の説明において下ガラス板が傾斜
していて下ガラス板の上面が、上ガラス板搬送台
11の上面に対して傾いても3本の軸35を個別
に作動させて下ガラス板用チヤツク29を傾ける
ことにより下ガラス板の上面が上ガラス板搬送台
11の上面と平行にすることができることが理解
される。
していて下ガラス板の上面が、上ガラス板搬送台
11の上面に対して傾いても3本の軸35を個別
に作動させて下ガラス板用チヤツク29を傾ける
ことにより下ガラス板の上面が上ガラス板搬送台
11の上面と平行にすることができることが理解
される。
ところで、上ガラス板が傾斜していて上ガラス
板の上面が上ガラス板搬送台11の上面と傾いて
いる場合には、上ガラス板用チヤツク13が上ガ
ラスの傾きに応じて傾き、上ガラス板の上面と良
くなじんで吸着できるようになつているため、上
ガラス板用チヤツク13に吸着された後の上ガラ
スの下面は上ガラス板搬送台11の上面と平行と
なる。すなわち、上下のガラス板に傾きがあつて
も下ガラス板の上面と上ガラスの下面という2つ
の接触面を平行にすることができる。
板の上面が上ガラス板搬送台11の上面と傾いて
いる場合には、上ガラス板用チヤツク13が上ガ
ラスの傾きに応じて傾き、上ガラス板の上面と良
くなじんで吸着できるようになつているため、上
ガラス板用チヤツク13に吸着された後の上ガラ
スの下面は上ガラス板搬送台11の上面と平行と
なる。すなわち、上下のガラス板に傾きがあつて
も下ガラス板の上面と上ガラスの下面という2つ
の接触面を平行にすることができる。
なお、第4図は、本発明の実施例の全体図であ
り、11は上ガラス板搬送台、26は下ガラス板
搬送台、29は下ガラス板用チヤツク、24は
XY方向ステージ、25はZ方向ステージ、27
はθステージ、13は上ガラス板用チヤツク、3
8は観察装置である。この観察装置38には、
TV、検出処理器、演算処理器及びX、Y、θ、
Z方向の駆動制御器が連結されている。そして
X、Y、Z方向の駆動制御器は基板33に連結し
てある。上ガラス板搬送台11は、右側にあるコ
ンベアから、上ガラス板を受取つて水平方向にお
いて時計方向に90゜、反時計方向に90゜回動するよ
うにしてある。下ガラス板搬送台26は、左側の
コンベアから、下ガラス板を受取つて、水平位置
において、90゜反時計方向に、又、時計方向に90゜
回動するようにしてある。又、基板33の上には
XY方向ステージ24が載せてあり、XY方向ス
テージ24の上にはZ方向ステージ25が載せて
あり、Z方向ステージ25の上にはθステージ2
7が載せてある。
り、11は上ガラス板搬送台、26は下ガラス板
搬送台、29は下ガラス板用チヤツク、24は
XY方向ステージ、25はZ方向ステージ、27
はθステージ、13は上ガラス板用チヤツク、3
8は観察装置である。この観察装置38には、
TV、検出処理器、演算処理器及びX、Y、θ、
Z方向の駆動制御器が連結されている。そして
X、Y、Z方向の駆動制御器は基板33に連結し
てある。上ガラス板搬送台11は、右側にあるコ
ンベアから、上ガラス板を受取つて水平方向にお
いて時計方向に90゜、反時計方向に90゜回動するよ
うにしてある。下ガラス板搬送台26は、左側の
コンベアから、下ガラス板を受取つて、水平位置
において、90゜反時計方向に、又、時計方向に90゜
回動するようにしてある。又、基板33の上には
XY方向ステージ24が載せてあり、XY方向ス
テージ24の上にはZ方向ステージ25が載せて
あり、Z方向ステージ25の上にはθステージ2
7が載せてある。
以上、本発明によれば液晶ガラス板等の貼り合
せにおいて、効率良く、しかも高精度に貼り合す
ことができる。更には液晶ガラス板等がテーパ
(傾き)をもつていても高精度に貼り合すことが
可能となる。
せにおいて、効率良く、しかも高精度に貼り合す
ことができる。更には液晶ガラス板等がテーパ
(傾き)をもつていても高精度に貼り合すことが
可能となる。
第1図は、従来例における液晶貼り合せ装置を
示し、第2図は本発明の実施例を示し、第3図は
本発明の実施例におけるギヤツプ駆動部及びプレ
ス駆動部を示し、第4図は全体の構成図を示す。
図中、11は上ガラス板搬送台、13は上ガラス
板用チヤツク、24はXY方向ステージ、25は
Z方向ステージ、26は下ガラス板搬送台、27
はθステージ、29は下ガラス板用チヤツク、3
3は基板、38は観察装置である。
示し、第2図は本発明の実施例を示し、第3図は
本発明の実施例におけるギヤツプ駆動部及びプレ
ス駆動部を示し、第4図は全体の構成図を示す。
図中、11は上ガラス板搬送台、13は上ガラス
板用チヤツク、24はXY方向ステージ、25は
Z方向ステージ、26は下ガラス板搬送台、27
はθステージ、29は下ガラス板用チヤツク、3
3は基板、38は観察装置である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 プレス位置に設置された第1のチヤツクに第
1板状体を保持させるために、上記第1板状体搬
送する第1搬送台と、第2板状体を保持する第2
チヤツクをプレス位置へ搬送する第2搬送台と、
上記第2チヤツクをプレス位置で上記第2搬送台
に対して分離して支持する支持手段と、プレス位
置で上記第1並びに第2板状体を所定の位置関係
にアライメントするために、上記支持手段を介し
て上記第2チヤツクの移動を制御する移動制御手
段を有し、アライメント終了後、上記第1チヤツ
クに保持された上記第1板状体と上記第2チヤツ
クに保持された上記第2板状体の一方を他方に対
して所定の圧力でプレスすることにより、上記第
1ならびに第2板状体を貼り合せることを特徴と
する貼り合せ装置。 2 上記第1ならび第2搬送台はプレス位置へ回
転移動することを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の貼り合せ装置。 3 上記第1ならびに第2搬送台はゼネバ機構に
より回転移動することを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の貼り合せ装置。 4 上記第1ならびに第2搬送台は互いに逆方向
に回転することによりプレス位置へ移動すること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の貼り合
せ装置。 5 上記支持手段は上記第2チヤツクの異なる部
分に接触する少なくとも3本の支持軸を有し、上
記支持軸を介して上記第2チヤツクの移動を制御
することにより上記第1ならびに第2板状体間の
平行出しならびにプレスを行なうことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の貼り合せ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58218745A JPS60110448A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 貼り合せ装置 |
US06/670,008 US4637850A (en) | 1983-11-22 | 1984-11-09 | Press apparatus for planar members |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58218745A JPS60110448A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 貼り合せ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60110448A JPS60110448A (ja) | 1985-06-15 |
JPS6311989B2 true JPS6311989B2 (ja) | 1988-03-16 |
Family
ID=16724752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58218745A Granted JPS60110448A (ja) | 1983-11-22 | 1983-11-22 | 貼り合せ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60110448A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2594812B1 (fr) * | 1986-02-27 | 1988-05-27 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif pour l'assemblage automatique des vitrages feuilletes |
JP3329586B2 (ja) * | 1994-07-08 | 2002-09-30 | 新東工業株式会社 | ガラスパネルのギャップ出し治具 |
JP2005331672A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Joyo Kogaku Kk | 透明基板のアライメント装置 |
-
1983
- 1983-11-22 JP JP58218745A patent/JPS60110448A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60110448A (ja) | 1985-06-15 |
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