JPS63111410A - 直線状の目盛を有するスケールのための保持装置 - Google Patents
直線状の目盛を有するスケールのための保持装置Info
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- JPS63111410A JPS63111410A JP62205314A JP20531487A JPS63111410A JP S63111410 A JPS63111410 A JP S63111410A JP 62205314 A JP62205314 A JP 62205314A JP 20531487 A JP20531487 A JP 20531487A JP S63111410 A JPS63111410 A JP S63111410A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は寸法具現手段および形状具現手段のための保持
装置に関する。
装置に関する。
従来技術
中でも座標測定装置または工作機械で利用される測長装
置は通常ガラススケールを備えておシ、ガラススケール
には光電式のセンサ系によって走査される目盛りのピッ
チが設けられている。最近では本来の目盛シビツテと並
んでスケールの長手方向に延びた多数の平行な線の形状
の直線性基準具現手段を有するスケールも知られるよう
になった。例えばヨーロッパ特許出願公開第00824
41号明細書並びに西ドイツ国特許出願p354251
4.8号明細書に記載されている。
置は通常ガラススケールを備えておシ、ガラススケール
には光電式のセンサ系によって走査される目盛りのピッ
チが設けられている。最近では本来の目盛シビツテと並
んでスケールの長手方向に延びた多数の平行な線の形状
の直線性基準具現手段を有するスケールも知られるよう
になった。例えばヨーロッパ特許出願公開第00824
41号明細書並びに西ドイツ国特許出願p354251
4.8号明細書に記載されている。
上記のスケール上の直線性基準具現手段としての線は測
定装置もしくは工作機械のガイド誤差を把握するために
用いられるので、その担体、すなわちスケールの形状安
定性に関する要求は高い。ここでの特別な問題はスケー
ル、その保持装置もしくは取付は装置の長さの熱膨張の
相違および固定の形式と方法から生じる横力によるスケ
ールの変形である。
定装置もしくは工作機械のガイド誤差を把握するために
用いられるので、その担体、すなわちスケールの形状安
定性に関する要求は高い。ここでの特別な問題はスケー
ル、その保持装置もしくは取付は装置の長さの熱膨張の
相違および固定の形式と方法から生じる横力によるスケ
ールの変形である。
熱的な負荷を回避するためには担体上のスケールを弾性
的な接着層を用いて固定することが既に公知である(例
えば西ドイツ国特許出願公開第2505587号明細書
)。更に一貫した弾性的な接着層の代わりに中空間によ
って中断された多数のゴム片を使用することが提案され
た。該ゴム片上にスケールが固定され、かつゴム片がス
ケールと取付は装置との間の熱的な負荷の補償を配慮す
る。この、例えば西ドイツ国特許出願公開第33125
34号明細書および米国特許第4569137号明細書
に記載された固定の形式でもスケールを認容し得ない程
度に変形させるオーダの残留力が残る。この構成では特
に、スケールが温度補償後も再現可能に出発位置へ戻ら
ずに、摩擦力のために不確定の、新しい位置を取るのが
欠点である。長期間続いた強制力の結果としてスケール
材料のガラスの溶融として説明し得る変形も認められた
。これらすべてがスケールの縦方向における位置測定で
の測定誤差を、またはるかに大きな程度で直線性基準具
現手段での減らされた並進測定値についても測定誤差を
招くことがある。
的な接着層を用いて固定することが既に公知である(例
えば西ドイツ国特許出願公開第2505587号明細書
)。更に一貫した弾性的な接着層の代わりに中空間によ
って中断された多数のゴム片を使用することが提案され
た。該ゴム片上にスケールが固定され、かつゴム片がス
ケールと取付は装置との間の熱的な負荷の補償を配慮す
る。この、例えば西ドイツ国特許出願公開第33125
34号明細書および米国特許第4569137号明細書
に記載された固定の形式でもスケールを認容し得ない程
度に変形させるオーダの残留力が残る。この構成では特
に、スケールが温度補償後も再現可能に出発位置へ戻ら
ずに、摩擦力のために不確定の、新しい位置を取るのが
欠点である。長期間続いた強制力の結果としてスケール
材料のガラスの溶融として説明し得る変形も認められた
。これらすべてがスケールの縦方向における位置測定で
の測定誤差を、またはるかに大きな程度で直線性基準具
現手段での減らされた並進測定値についても測定誤差を
招くことがある。
発明が解決しようとする問題点
本発明の課題は、スケールができる限り強制されずに保
持され、かつスケールとその取付は装置との間の熱によ
る負荷が回避される、測長itにおけるスケールのよう
な寸法具現手段お主び形状具現手段のための保持装置を
見出すことである。
持され、かつスケールとその取付は装置との間の熱によ
る負荷が回避される、測長itにおけるスケールのよう
な寸法具現手段お主び形状具現手段のための保持装置を
見出すことである。
問題点を解決するだめの手段
上記の課題を解決するための本発明の手段は、寸法具現
手段ないしは形状具現手段が小さな範囲内で転動するよ
うに保持されたボール上に固定されていることである。
手段ないしは形状具現手段が小さな範囲内で転動するよ
うに保持されたボール上に固定されていることである。
発明の効果
本発明による固定の形式によって寸法具現手段とその取
付は装置とは機械的に十分に互いに分離される。寸法具
現手段ないしは形状具現手段は温度変化に際して取付は
装置に対して相対的に移動することができ、そのために
熱作用の結果としての残留する変形は生じない。
付は装置とは機械的に十分に互いに分離される。寸法具
現手段ないしは形状具現手段は温度変化に際して取付は
装置に対して相対的に移動することができ、そのために
熱作用の結果としての残留する変形は生じない。
実施態様
寸法具現手段および形状具現手段、例えばスケールまた
は定規は通常直方形を有している。
は定規は通常直方形を有している。
したがって組込み位置に左右されずに確実に固定するた
めには、寸法具現手段ないしは形状具現手段をその広幅
側でのみならず狭幅側でも、転動可能に保持されたボー
ルに接触せしめると有利である。
めには、寸法具現手段ないしは形状具現手段をその広幅
側でのみならず狭幅側でも、転動可能に保持されたボー
ルに接触せしめると有利である。
固定自体による横力が生じないように固定そのものを、
その作用線がボールの転動に対して直角の方向に延びて
いて、しかも支承ざ−ルを貫通して延びているばねによ
って行なうと有利である。更にばね力が同様に転動可能
に保持されたボールを介して間接的にスケールに対して
適用されると有利である。ボールをその間で締付けてい
る面が充分に平行になるように配慮されている場合には
、長さの変化時にスケールはこれを締付けているボール
間でこのボールの転動によって自由に移動することがで
きる。
その作用線がボールの転動に対して直角の方向に延びて
いて、しかも支承ざ−ルを貫通して延びているばねによ
って行なうと有利である。更にばね力が同様に転動可能
に保持されたボールを介して間接的にスケールに対して
適用されると有利である。ボールをその間で締付けてい
る面が充分に平行になるように配慮されている場合には
、長さの変化時にスケールはこれを締付けているボール
間でこのボールの転動によって自由に移動することがで
きる。
スケールと取付は装置との間の長さの変化は実地では比
較的僅かであるために、ボールの転動性を保証するため
には、ボールを柔軟に撓む受容部、例えばプム舌片、フ
ェルトリングまたは他の、弾性的に撓む壁を備えたボー
ルケージ内に保持すれば充分である。このような受容部
は、ボールが所定の支承箇所で固定保持されることを保
証し、かつスケールの取付けを著しく容易にする。
較的僅かであるために、ボールの転動性を保証するため
には、ボールを柔軟に撓む受容部、例えばプム舌片、フ
ェルトリングまたは他の、弾性的に撓む壁を備えたボー
ルケージ内に保持すれば充分である。このような受容部
は、ボールが所定の支承箇所で固定保持されることを保
証し、かつスケールの取付けを著しく容易にする。
支承箇所自体とその数はスケールの弾性度に関連して、
すなわち主としてスケールの長さと厚さに関連して選択
されると有利である。短いスケールについては水平の組
込み位置でも2つのベッセル点(Be5selpunk
t )での支承で光分である。それとは異なシよシ長い
スケールについては、特にこのスケールが僅かな厚さし
か持っていない場合には、自重による変形と大きすぎる
たわみを避けるために2箇所よりも多数の箇所で保持装
置が必要である。支承箇所間のたわみは、スケールとこ
れを走査するセンサ系との間の距離の変動をもたらし、
これは測定誤差の原因となる。
すなわち主としてスケールの長さと厚さに関連して選択
されると有利である。短いスケールについては水平の組
込み位置でも2つのベッセル点(Be5selpunk
t )での支承で光分である。それとは異なシよシ長い
スケールについては、特にこのスケールが僅かな厚さし
か持っていない場合には、自重による変形と大きすぎる
たわみを避けるために2箇所よりも多数の箇所で保持装
置が必要である。支承箇所間のたわみは、スケールとこ
れを走査するセンサ系との間の距離の変動をもたらし、
これは測定誤差の原因となる。
スケールが充分に平らである場合には、スケールは直接
保持装置のボール上に載置することができ、この場合に
はボールは例えば鋼球または他の硬質の材料、例えばサ
ファイヤまたはルビー類のものを使用することができる
。取付は部材側ではボールは硬化され、かつ研磨された
鋼製挿入体上かまたは直接測定装置の花こう岩製の基板
上を転動する。
保持装置のボール上に載置することができ、この場合に
はボールは例えば鋼球または他の硬質の材料、例えばサ
ファイヤまたはルビー類のものを使用することができる
。取付は部材側ではボールは硬化され、かつ研磨された
鋼製挿入体上かまたは直接測定装置の花こう岩製の基板
上を転動する。
実施例
第1a図から第1C図には固定すべきスケールが符号1
で示されている。スケール1は上面にワンピッチ16μ
mの線目盛りから成るピッチ8を支持している。このピ
ッチ8は本来の目盛シぎツチであり、これはスケール1
の縦方向における位置測定のために光電式のセンサ系(
図示せず)によって走査される。スケール1の上面には
この本来の目盛シピツチ8の他に、スケールの縦方向へ
延びた多数の平行な線の形の修正線9が設けられている
。修正線9は第2のセンサ系(同様に図示せず)によっ
て走査される。
で示されている。スケール1は上面にワンピッチ16μ
mの線目盛りから成るピッチ8を支持している。このピ
ッチ8は本来の目盛シぎツチであり、これはスケール1
の縦方向における位置測定のために光電式のセンサ系(
図示せず)によって走査される。スケール1の上面には
この本来の目盛シピツチ8の他に、スケールの縦方向へ
延びた多数の平行な線の形の修正線9が設けられている
。修正線9は第2のセンサ系(同様に図示せず)によっ
て走査される。
スケール1は4つのボール2 a e 2 be 2
C+2dを介して転動可能に取付は装置内の固定の部分
3上に配置されている。組込み位置に左右されずにより
確実な固定を保証するためには4つのはね4 a 、4
b 、4 c * 4 dが設けられており、このば
ねによってスケール1はボール2a〜2dに対して押圧
されている。ばね4a〜4dの及ぼすばね力の作用線が
スケール1の表面に対して直角の方向に延びていて、し
かも支承点を通るように設計されており、これにより固
定自体によって惹起されるスケール1に対する横力は回
避される。
C+2dを介して転動可能に取付は装置内の固定の部分
3上に配置されている。組込み位置に左右されずにより
確実な固定を保証するためには4つのはね4 a 、4
b 、4 c * 4 dが設けられており、このば
ねによってスケール1はボール2a〜2dに対して押圧
されている。ばね4a〜4dの及ぼすばね力の作用線が
スケール1の表面に対して直角の方向に延びていて、し
かも支承点を通るように設計されており、これにより固
定自体によって惹起されるスケール1に対する横力は回
避される。
スケール1はその狭幅側でもって同様にしてボールを介
して取付は装置の側面に当接している。しかし第1b図
に示された2つのボール5.6のうちボール6のみが転
動可能にスケール1と取付は装置との間に保持されてお
シ、他のボール5はスケール1の狭幅側および取付は装
置に互いに向合って設けられた切欠き内に配置されてい
る。スケール1はこの位置で取付は装置に対して固定的
に保持されているが、スケール材料と取付は装置との間
で熱膨張の差があった場合にはスケールはボール6上お
よび下面のボール2b〜2d上を転動することができる
。
して取付は装置の側面に当接している。しかし第1b図
に示された2つのボール5.6のうちボール6のみが転
動可能にスケール1と取付は装置との間に保持されてお
シ、他のボール5はスケール1の狭幅側および取付は装
置に互いに向合って設けられた切欠き内に配置されてい
る。スケール1はこの位置で取付は装置に対して固定的
に保持されているが、スケール材料と取付は装置との間
で熱膨張の差があった場合にはスケールはボール6上お
よび下面のボール2b〜2d上を転動することができる
。
スケールをボール5.6へ当付けているばね7a、7b
の作用線も支承点を通っている。
の作用線も支承点を通っている。
ボールによって構成される、スケール1の支承点を固定
的に保持し、しかも同時にボールの転動性が損なわれな
いことを保証するためには、第2図に符号12で示され
たボールはボールケージ内に保持されている。ボールケ
ージは一番簡単な例では取付は装置部分13に形成され
た切欠き15から成っておシ、切欠きの大きさはボール
が予想される運動を行なうことができる程度である。ボ
ールの柔軟なセンタリングが4つのばね14a、14b
、14c、14dによって達成される。
的に保持し、しかも同時にボールの転動性が損なわれな
いことを保証するためには、第2図に符号12で示され
たボールはボールケージ内に保持されている。ボールケ
ージは一番簡単な例では取付は装置部分13に形成され
た切欠き15から成っておシ、切欠きの大きさはボール
が予想される運動を行なうことができる程度である。ボ
ールの柔軟なセンタリングが4つのばね14a、14b
、14c、14dによって達成される。
・第1a図から第1C図並びに第2図は本発明による支
承の基本原理を明らかに示すために簡単にした略示図で
ある。実際の構成では若干異なる形状をもたらす副条件
に留意すべきであることは明らかである。したがって例
えば第6図に示されているようにボール22を柔軟に受
容するためにボールケージの代わシにゴム条片24を使
用することができる。ゴム条片は弾性材料から切断され
るかまたは打抜きされ、かつねじ23を用いて取付は部
材部分に固定されている。
承の基本原理を明らかに示すために簡単にした略示図で
ある。実際の構成では若干異なる形状をもたらす副条件
に留意すべきであることは明らかである。したがって例
えば第6図に示されているようにボール22を柔軟に受
容するためにボールケージの代わシにゴム条片24を使
用することができる。ゴム条片は弾性材料から切断され
るかまたは打抜きされ、かつねじ23を用いて取付は部
材部分に固定されている。
更に第4図、第5図に示されているように、それぞれ引
張シばね34もしくは37を用いてスケールを下面と狭
幅側でボール上に固定することが可能である。そのため
には支承体33が設けられておシ、支承体上にスケール
31がボール32a、32bを介して配置されている。
張シばね34もしくは37を用いてスケールを下面と狭
幅側でボール上に固定することが可能である。そのため
には支承体33が設けられておシ、支承体上にスケール
31がボール32a、32bを介して配置されている。
スケール31の上面の支承点の上方に当る位置に孔36
a、36bが形成されており、かっこの孔36にスケー
ルを左右からつかんでいる2つのU字形部材39a、3
9bのピン38a。
a、36bが形成されており、かっこの孔36にスケー
ルを左右からつかんでいる2つのU字形部材39a、3
9bのピン38a。
38bが係合している。U字形部材の下端に引張シばね
34a 、34bが懸吊されている。
34a 、34bが懸吊されている。
この固定形式ではスケール31の上面の測定ピッチの走
査は妨げられず、更にばね34の作用点がずれないよう
に保証される。スケール31の支承には第4図に示され
た支承体を少なくとも2つ使用する。
査は妨げられず、更にばね34の作用点がずれないよう
に保証される。スケール31の支承には第4図に示され
た支承体を少なくとも2つ使用する。
引張りはね37を用いてスケール31をボール42上で
側方でばね負荷するためには、第5図に示された形式が
使用される。この形式ではスケール31の上面を若干覆
ってつかんだクランプ40が、ばね37が及ぼす力の作
用点が移動しないように配慮している。
側方でばね負荷するためには、第5図に示された形式が
使用される。この形式ではスケール31の上面を若干覆
ってつかんだクランプ40が、ばね37が及ぼす力の作
用点が移動しないように配慮している。
第6図と第7図には、できる限り小さな技術的費用およ
び簡単な取付けの観点において特に有利である、符号1
01で示されたスケールを複数座標測定装置の機床に機
械的な連結なしに固定するだめの実施例が示されている
。スケール101も本来のスケールぎツチ108の他に
付加的に直線性基準具現手段としての修正線を有してい
る。
び簡単な取付けの観点において特に有利である、符号1
01で示されたスケールを複数座標測定装置の機床に機
械的な連結なしに固定するだめの実施例が示されている
。スケール101も本来のスケールぎツチ108の他に
付加的に直線性基準具現手段としての修正線を有してい
る。
スケール101は5箇所(第6図のLユ、L2゜L、3
. L4. L、5)で互いに向合って配置された板ば
ね対(104a、104b)によって支承ボール102
a、102b上に押圧されている。
. L4. L、5)で互いに向合って配置された板ば
ね対(104a、104b)によって支承ボール102
a、102b上に押圧されている。
支承ざ一ルは座標測定装置の花こう岩テーブル103上
に直接配置されており、かつ可撓性のフェルトリング1
13a、113bによって所定位置で保持されている。
に直接配置されており、かつ可撓性のフェルトリング1
13a、113bによって所定位置で保持されている。
フェル) IJングは第2図に示されたボールケージの
役目をしている、すなわちボール102はフェルトリン
グ内で全方向に転動可能に保持されている。
役目をしている、すなわちボール102はフェルトリン
グ内で全方向に転動可能に保持されている。
板ばね104a 、104bがスケール101を押圧す
る力は板ばね104とスケール101の上面との間のボ
ール122a 、122bを介して間接的に伝えられる
。ボール122もフェルトリング123a 、123b
の形のボールケージ内に配置されている。したがってス
ケール101と花こう岩プレート103との間で長さの
相違もしくは形状変化が生じるときにスケール101は
自由にボール102.122間で転動し、かつ常に強制
的な力がなくても静止位置へ戻る、それというのもスケ
ールは転動摩擦のみを克服すればいいからである。
る力は板ばね104とスケール101の上面との間のボ
ール122a 、122bを介して間接的に伝えられる
。ボール122もフェルトリング123a 、123b
の形のボールケージ内に配置されている。したがってス
ケール101と花こう岩プレート103との間で長さの
相違もしくは形状変化が生じるときにスケール101は
自由にボール102.122間で転動し、かつ常に強制
的な力がなくても静止位置へ戻る、それというのもスケ
ールは転動摩擦のみを克服すればいいからである。
上述したように、スケールが自重により撓みすぎること
および変形することを回避するためにスケール101は
下面でもって5つの支承箇所Lユ〜L5上に載置されて
いる。スケール101が狭幅側でもって接触する側方の
支承部は2つのボールios、iosによって構成され
ている。ボール105はスケール101に平行に延びた
、スケール取付は装置の条板116a内のVみぞ内に配
置されている。スケール101はこのスケール101に
接着された、同様にVみぞを有する固定部材111でも
ってボール105に接触している。押圧力は反対側から
条板116b内のばね107aによってもう1つのボー
ル117aを用いてスケールに適用される。
および変形することを回避するためにスケール101は
下面でもって5つの支承箇所Lユ〜L5上に載置されて
いる。スケール101が狭幅側でもって接触する側方の
支承部は2つのボールios、iosによって構成され
ている。ボール105はスケール101に平行に延びた
、スケール取付は装置の条板116a内のVみぞ内に配
置されている。スケール101はこのスケール101に
接着された、同様にVみぞを有する固定部材111でも
ってボール105に接触している。押圧力は反対側から
条板116b内のばね107aによってもう1つのボー
ル117aを用いてスケールに適用される。
したがってスケールはこの箇所で取付は装置に対して相
対的に位置が固定される。
対的に位置が固定される。
スケール101の他方の端部では第2のばね107bが
ボール117bを介してスケールをボール106によっ
て構成された側方のストッパに対して押圧している。ボ
ール106は(他のボール107a、107bも)同様
にフェルトリング内に転動可能に保持されており、かつ
深さを調節可能な挿入ピン126の研磨された端面に接
触している。ボール106は挿入ピン上で殆ど摩擦なし
に転動することができる。
ボール117bを介してスケールをボール106によっ
て構成された側方のストッパに対して押圧している。ボ
ール106は(他のボール107a、107bも)同様
にフェルトリング内に転動可能に保持されており、かつ
深さを調節可能な挿入ピン126の研磨された端面に接
触している。ボール106は挿入ピン上で殆ど摩擦なし
に転動することができる。
スケールは図示の保持装置内にきわめて長期間安定的に
、かつ再現可能に固定される。測定の結果、修正線10
9によって与えられる直線性測定値相互の差は数週間後
であって、中間にスケールの熱負荷があった後も0.2
μmを下回っていた。得られた測定図を第8図に示す。
、かつ再現可能に固定される。測定の結果、修正線10
9によって与えられる直線性測定値相互の差は数週間後
であって、中間にスケールの熱負荷があった後も0.2
μmを下回っていた。得られた測定図を第8図に示す。
第8図には4週装置いて実施された2つの測定の直線性
測定値の相対的な変化が△Yで示されており、かつスケ
ール長さXに対してプロットされている。差異は0.2
μmを下回る。
測定値の相対的な変化が△Yで示されており、かつスケ
ール長さXに対してプロットされている。差異は0.2
μmを下回る。
第6図、第7図に示された保持装置では、固定平面内で
強制力が発生しないようにするだめにはその間をボール
102.122が転動する面はできる限り平らで、互い
に平行でなければならない。更に対向するボール対、例
えば113a/123aがスケールの方向においてずれ
ないことがフェルトリング113,123によって保証
されなければならない。この要求を満たすことは特に高
い精度を要求する用途では問題を生じることがある。そ
の揚台には第9図に示されているように、スケール20
1のための支承点で単一ボールの代わりにそれぞれ6点
ボール機構222a 、222bを使用すると有利であ
り、該6点ボール機栴は孔を持ったゴム条片213a
、もしくは213bによって所定位置で保持される。ス
ケールの両側に配置された板ばね204a 、204b
の押圧力を伝達するためにも、単一ボールの代わりにそ
れぞれゴム条片223a 、223b内に保持された6
点ボール機構222a 、222bが使用される。
強制力が発生しないようにするだめにはその間をボール
102.122が転動する面はできる限り平らで、互い
に平行でなければならない。更に対向するボール対、例
えば113a/123aがスケールの方向においてずれ
ないことがフェルトリング113,123によって保証
されなければならない。この要求を満たすことは特に高
い精度を要求する用途では問題を生じることがある。そ
の揚台には第9図に示されているように、スケール20
1のための支承点で単一ボールの代わりにそれぞれ6点
ボール機構222a 、222bを使用すると有利であ
り、該6点ボール機栴は孔を持ったゴム条片213a
、もしくは213bによって所定位置で保持される。ス
ケールの両側に配置された板ばね204a 、204b
の押圧力を伝達するためにも、単一ボールの代わりにそ
れぞれゴム条片223a 、223b内に保持された6
点ボール機構222a 、222bが使用される。
更に板ばね204a 、204bと6点ボール機構22
2a 、222bとの間にはそれぞれ押圧プレー)20
9aもしくは209bが配置されており、この押圧プレ
ートに点接触で導入きれた押圧力は6点ボール機構の6
つのボールに抑圧プレートによって分配される。抑圧プ
レートの下面は僅かにわん形に構成されている。これに
より横方向においてボール222a、222bのための
安定な静止位置が得られる、それというのもボール転動
時にばね力が僅かに増大するからである。
2a 、222bとの間にはそれぞれ押圧プレー)20
9aもしくは209bが配置されており、この押圧プレ
ートに点接触で導入きれた押圧力は6点ボール機構の6
つのボールに抑圧プレートによって分配される。抑圧プ
レートの下面は僅かにわん形に構成されている。これに
より横方向においてボール222a、222bのための
安定な静止位置が得られる、それというのもボール転動
時にばね力が僅かに増大するからである。
ばね204a 、204bとゴム条片223 a。
223b 、21.3a 、213bは測長装置203
の花こう岩テーブル203のスケール201の両側に配
置された2つの条板216 a、216bに固定されて
いる。
の花こう岩テーブル203のスケール201の両側に配
置された2つの条板216 a、216bに固定されて
いる。
本発明による保持装置は単に図示されたタイプのスケー
ルの固定に好適であるのみならず、寸法具現手段または
形状具現手段、例えばスケールまたは定規を再現可能に
固定することが重要である、すべてのケースで使用する
ことができる。
ルの固定に好適であるのみならず、寸法具現手段または
形状具現手段、例えばスケールまたは定規を再現可能に
固定することが重要である、すべてのケースで使用する
ことができる。
第1a図、第1b図、第1C図はそれぞれスケールを取
付は装置と一緒に6樵の断面図で示した原理図、第2図
は第1図の支承ボールを受容するために使用することが
できるボールケージの原理図、第6図は第2図のボール
ケージの代わシに使用可能な、支承ボールのための受容
手段の斜視図、第4図はスケールの固定に使用可能であ
る支承部材の断面図、第5図はスケールを側方向で当接
せしめるために使用可能である支承部材の断面図、第6
図は保持装置の優れた実施例をスケールと一緒に詳細に
示した平面図、第7図は第6図の■−Vll線に沿った
断面図、第8図は第6図、第7図のスケールの直線性測
定値の相対変化を示した図、第9図は第7図の保持装置
を修正した実施例の断面図である。 1.31,101.201・・・スケール、2a+2b
、2c、2d、5.6,22.32a。 32b、42,105,106.117a、117b。 122a、122b、222a、222b・・・ボ゛−
ル、3・・・部分、4aS4b14CI4d17a、7
b、34.37,104,107゜204・・・ばね、
8,108・・・目盛りピッチ、9゜109・・・修正
線、13・・・取付は装置部分、15・・・切欠き、2
3・・・ねじ、24,213a。 213b 、223a I 223b−・・ゴム条片、
33・・・支承体、34a、34b・・・引張シばね、
3eat3Eib−・・孔、3aa、3ab・・・ビン
、39a、39b・・・U字形部材、40・・・クラン
プ、102a 、102b・−・支承ボール、103゜
203−・・花こう岩テーブル、104a、104b。 204a、204b−板ばね対、1i i ・・・固定
部材、t13a、113b・・・フェルトリング、11
6a、116b、216a、216b−条板、123a
、123b・・・フェルトリング、126−挿入ビン
、202a 、 202 b・・・3点ボール機構、2
09a 、209b・・・押圧プレート Fig、1a J−x=
付は装置と一緒に6樵の断面図で示した原理図、第2図
は第1図の支承ボールを受容するために使用することが
できるボールケージの原理図、第6図は第2図のボール
ケージの代わシに使用可能な、支承ボールのための受容
手段の斜視図、第4図はスケールの固定に使用可能であ
る支承部材の断面図、第5図はスケールを側方向で当接
せしめるために使用可能である支承部材の断面図、第6
図は保持装置の優れた実施例をスケールと一緒に詳細に
示した平面図、第7図は第6図の■−Vll線に沿った
断面図、第8図は第6図、第7図のスケールの直線性測
定値の相対変化を示した図、第9図は第7図の保持装置
を修正した実施例の断面図である。 1.31,101.201・・・スケール、2a+2b
、2c、2d、5.6,22.32a。 32b、42,105,106.117a、117b。 122a、122b、222a、222b・・・ボ゛−
ル、3・・・部分、4aS4b14CI4d17a、7
b、34.37,104,107゜204・・・ばね、
8,108・・・目盛りピッチ、9゜109・・・修正
線、13・・・取付は装置部分、15・・・切欠き、2
3・・・ねじ、24,213a。 213b 、223a I 223b−・・ゴム条片、
33・・・支承体、34a、34b・・・引張シばね、
3eat3Eib−・・孔、3aa、3ab・・・ビン
、39a、39b・・・U字形部材、40・・・クラン
プ、102a 、102b・−・支承ボール、103゜
203−・・花こう岩テーブル、104a、104b。 204a、204b−板ばね対、1i i ・・・固定
部材、t13a、113b・・・フェルトリング、11
6a、116b、216a、216b−条板、123a
、123b・・・フェルトリング、126−挿入ビン
、202a 、 202 b・・・3点ボール機構、2
09a 、209b・・・押圧プレート Fig、1a J−x=
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、寸法具現手段および形状具現手段のための保持装置
において、寸法具現手段ないしは形状具現手段(1;3
1;101;201)が小さな範囲内で転動するように
保持されたボール(2、6;32、42;102、10
6;202)上に固定されていることを特徴とする寸法
具現手段および形状具現手段のための保持装置。 2、寸法具現手段ないしは形状具現手段が測長装置にお
けるスケール(1;31;101;201)である、特
許請求の範囲第1項記載の保持装置。 3、スケールが、スケールの縦方向に延びた多数の線か
ら成る修正線(9;109)の形状の直線性基準具現手
段である、特許請求の範囲第2項記載の保持装置。 4、スケール(1;31;101)がスケール(1;3
1;101;201)の縦方向ガイドを構成するボール
に2つの側で接触していて、しかも1箇所(5;105
)で取付け装置に対して固定されている、特許請求の範
囲第2項記載の保持装置。 5、スケール(1;31;101;201)がばね(4
、7;34、37;104、107;204)によつて
ボールに固定されている、特許請求の範囲第2項記載の
保持装置。 6、支承ボール(2;32;102)が転動に対して直
角の方向の、ばね(4;34;104)の作用線上に位
置しており、そのためにスケールが横力を受けないよう
に固定されている、特許請求の範囲第5項記載の保持装
置。 7、ばね力が同様に転動可能に保持されたボール(12
2;222)を介して間接的にスケール(101;20
1)へ適用されるようになっている、特許請求の範囲第
5項記載の保持装置。 8、ボールが柔軟に撓む受容部としてのゴム舌片(24
;213;223)、またはボールケージ(14/15
)、またはフェルトリング(113)内で全方向に転動
するように保持されている、特許請求の範囲第1項から
第7項までのいずれか1つの項記載の保持装置。 9、ばねが板ばね(104;204)である、特許請求
の範囲第1項から第8項までのいずれか1つの項記載の
保持装置。 10、スケール(101)がその全長にわたって多数の
箇所(L_1〜L_5)でボール(102)上で支承さ
れている、特許請求の範囲第1項から第8項までのいず
れか1つの項記載の保持装置。 11、スケールがガラス材料製またはセラミック材料製
であり、かつ直接ボール(2;102;202)上に配
置されている、特許請求の範囲第1項記載の保持装置。 12、寸法具現手段ないしは形状具現手段が定規である
、特許請求の範囲第1項記載の保持装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863635511 DE3635511A1 (de) | 1986-10-18 | 1986-10-18 | Halterung fuer mass- und formverkoerperung |
DE3635511.9 | 1986-10-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63111410A true JPS63111410A (ja) | 1988-05-16 |
JPH0553207B2 JPH0553207B2 (ja) | 1993-08-09 |
Family
ID=6311991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62205314A Granted JPS63111410A (ja) | 1986-10-18 | 1987-08-20 | 直線状の目盛を有するスケールのための保持装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4777728A (ja) |
EP (1) | EP0264801B1 (ja) |
JP (1) | JPS63111410A (ja) |
DE (2) | DE3635511A1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02227607A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Sony Magnescale Inc | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
JP2000161940A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 長さ測定装置 |
JP2005257466A (ja) * | 2004-03-11 | 2005-09-22 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 分割支持体の保持部 |
JP2008545978A (ja) * | 2005-06-11 | 2008-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | スケール用の保持具 |
JP2009531675A (ja) * | 2006-03-29 | 2009-09-03 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 担持体にスケールを保持するための方法ならびに担持体とスケールを備えた組立体 |
JP2010197350A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nagase Integrex Co Ltd | センサホルダ及びセンサ支持装置 |
JP2011526364A (ja) * | 2008-07-01 | 2011-10-06 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 基準尺を挟持して固定するための装置 |
JP2012145359A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Heidenhain Kk | エンコーダの信号処理装置 |
JP2013231665A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Canon Inc | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
JP2013257341A (ja) * | 2008-06-17 | 2013-12-26 | Renishaw Plc | スケールトラック |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2625917B2 (ja) * | 1988-07-01 | 1997-07-02 | キヤノン株式会社 | リニアエンコーダ |
DE3908260C1 (ja) * | 1989-03-14 | 1990-05-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
DE4318017C2 (de) * | 1993-05-29 | 1998-11-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE4406799C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE4406798C2 (de) * | 1994-03-02 | 1997-11-27 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
DE59404828D1 (de) * | 1994-05-06 | 1998-01-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Temperatur-kompensierte Positionsmesseinrichtung |
JP3668111B2 (ja) * | 2000-09-06 | 2005-07-06 | 株式会社ミツトヨ | ユニット型リニアスケール |
US6910279B1 (en) | 2004-05-12 | 2005-06-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Holder for a graduated element |
DE102004043055B4 (de) * | 2004-09-06 | 2009-04-02 | Siemens Ag | Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelementes einer Maschine |
DE102009047120A1 (de) | 2009-11-25 | 2011-05-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Anordnung mit einem an einem Träger befestigten Maßstab |
DE102010003303A1 (de) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | Deckel Maho Seebach Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Kompensieren einer temperaturabhängigen Lageveränderung an einer Werkzeugmaschine |
US9021853B1 (en) * | 2014-05-27 | 2015-05-05 | Micro Surface Engineering, Inc. | Dimensionally stable long, calibration device |
ES2615116T3 (es) | 2014-11-19 | 2017-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Disposición con una escala de medición fijada en un soporte |
EP3026389B1 (de) | 2014-11-26 | 2017-01-11 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
CN110618516B (zh) * | 2019-09-24 | 2020-11-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 用于超高真空中的反射镜无应力夹持及面形调整装置 |
IT202100010292A1 (it) * | 2021-04-22 | 2021-07-22 | Givi Misure S R L | Riga ottica o magnetica con posizione selezionabile del punto nullo di dilatazione termica |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3225445A (en) * | 1963-08-19 | 1965-12-28 | Duggan Aloysius Mcilvaine | Guide apparatus for drafting inking |
AT244610B (de) * | 1964-04-13 | 1966-01-10 | Ernst Ammann | Meßgerät |
DE2329712A1 (de) * | 1973-06-12 | 1975-01-09 | Leitz Ernst Gmbh | Anordnung zum kompensation von laengenaenderungen |
DD221010A1 (de) * | 1983-12-13 | 1985-04-10 | Suhl Feinmesszeugfab Veb | Messtaster |
AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
-
1986
- 1986-10-18 DE DE19863635511 patent/DE3635511A1/de not_active Withdrawn
-
1987
- 1987-08-20 US US07/087,406 patent/US4777728A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-20 JP JP62205314A patent/JPS63111410A/ja active Granted
- 1987-10-14 DE DE8787114991T patent/DE3761111D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-14 EP EP87114991A patent/EP0264801B1/de not_active Expired
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02227607A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Sony Magnescale Inc | 測尺装置のスケール取付方法及び取付具 |
JP2000161940A (ja) * | 1998-11-25 | 2000-06-16 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 長さ測定装置 |
JP4525991B2 (ja) * | 1998-11-25 | 2010-08-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 長さ測定装置 |
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JP2008545978A (ja) * | 2005-06-11 | 2008-12-18 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | スケール用の保持具 |
JP2009531675A (ja) * | 2006-03-29 | 2009-09-03 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 担持体にスケールを保持するための方法ならびに担持体とスケールを備えた組立体 |
JP2013257341A (ja) * | 2008-06-17 | 2013-12-26 | Renishaw Plc | スケールトラック |
JP2011526364A (ja) * | 2008-07-01 | 2011-10-06 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 基準尺を挟持して固定するための装置 |
JP2010197350A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Nagase Integrex Co Ltd | センサホルダ及びセンサ支持装置 |
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JP2013231665A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Canon Inc | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4777728A (en) | 1988-10-18 |
EP0264801A1 (de) | 1988-04-27 |
DE3635511A1 (de) | 1988-04-28 |
EP0264801B1 (de) | 1989-12-06 |
DE3761111D1 (de) | 1990-01-11 |
JPH0553207B2 (ja) | 1993-08-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |