JPS63110153A - 柔軟性薬液容器 - Google Patents
柔軟性薬液容器Info
- Publication number
- JPS63110153A JPS63110153A JP24586286A JP24586286A JPS63110153A JP S63110153 A JPS63110153 A JP S63110153A JP 24586286 A JP24586286 A JP 24586286A JP 24586286 A JP24586286 A JP 24586286A JP S63110153 A JPS63110153 A JP S63110153A
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- JP
- Japan
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- container
- containers
- chemical
- solution
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- Pending
Links
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Landscapes
- Bag Frames (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明に、半導体を製造する際に使用δれるウェーハ面
塗布用の薬液容器に関するものでめる。
塗布用の薬液容器に関するものでめる。
従来、この徳の容器は、ガラス瓶やポリ容器となってお
り、容器内体積が固定でりり、薬液の量に工って液面と
外気が接触する構造でめった。
り、容器内体積が固定でりり、薬液の量に工って液面と
外気が接触する構造でめった。
上述した従来の容器は、容器内の薬液の量に関係なく、
体積が固定となっているので、ウェーハ面上に薬液を塗
布する場合、薬液の供給方式に工9、下記のような欠点
がるる。
体積が固定となっているので、ウェーハ面上に薬液を塗
布する場合、薬液の供給方式に工9、下記のような欠点
がるる。
第一に、ポンプによる容器からの吸引供給では、容器内
を大気圧開放にする為、薬液の量が少なくなるにつれで
、容器内に外気が入り、液面が外気と接触し、薬液の劣
化を促進している。
を大気圧開放にする為、薬液の量が少なくなるにつれで
、容器内に外気が入り、液面が外気と接触し、薬液の劣
化を促進している。
第二に、不活性のへ2による容器加圧での圧送供給では
、薬液の粘度が高くなるにつれて、加圧力も高くな’)
s ” 2ガスが薬液に混入し易い為、塗布直前また
は塗布後の大気圧開放により、気泡が発生して塗布不良
になり易い。
、薬液の粘度が高くなるにつれて、加圧力も高くな’)
s ” 2ガスが薬液に混入し易い為、塗布直前また
は塗布後の大気圧開放により、気泡が発生して塗布不良
になり易い。
第三に上記いずれの場合でも容器内に外気が入り込む為
、ごみ(微粒子)が薬液中に混入し易い。
、ごみ(微粒子)が薬液中に混入し易い。
上述した従来の容器に対し、本発明は容器に柔軟性をも
たせることで、容器内体積を常に薬液1と同じにし、外
気との恢触なしで容器への薬欣江人、保管及び容器から
の薬液取出し供給を可能にした独創的内容を有する。
たせることで、容器内体積を常に薬液1と同じにし、外
気との恢触なしで容器への薬欣江人、保管及び容器から
の薬液取出し供給を可能にした独創的内容を有する。
本発明の容器は薬液の容器内注入及び容器からの薬液取
出し供給を容器の体積可変によって行なうことから、柔
軟性のおる薄肉の金属またはプラスチックシート材の袋
を基本とする。半導体製造上、清浄且つ耐薬品性のろる
接液容器(内袋)と紫外線等のシールド及び薬液の洩れ
防止を兼ねた保護容器(外袋)の二重膜構造容器(袋)
と薬液の注入、取出しを行なう外部との接続口を有する
〇〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
出し供給を容器の体積可変によって行なうことから、柔
軟性のおる薄肉の金属またはプラスチックシート材の袋
を基本とする。半導体製造上、清浄且つ耐薬品性のろる
接液容器(内袋)と紫外線等のシールド及び薬液の洩れ
防止を兼ねた保護容器(外袋)の二重膜構造容器(袋)
と薬液の注入、取出しを行なう外部との接続口を有する
〇〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の一実施例の外観図でるる。
内袋lは薬液を収容すると共に外部との接続口を一体物
で形底している。外袋2は、紫外憑等のシールド及び内
袋1の保護を行なっている。内袋1及び外袋2は柔軟性
t−iし、外からの圧力により、変形して、内部の薬液
量に伴なった容積で変化するO 筐た第2図は、本容器を用いての薬液の供給系の一例で
るる。第2図(a)はポンプ供給、(b)は容器加圧供
給を示す。
で形底している。外袋2は、紫外憑等のシールド及び内
袋1の保護を行なっている。内袋1及び外袋2は柔軟性
t−iし、外からの圧力により、変形して、内部の薬液
量に伴なった容積で変化するO 筐た第2図は、本容器を用いての薬液の供給系の一例で
るる。第2図(a)はポンプ供給、(b)は容器加圧供
給を示す。
〔実施例2〕
第3図は本発明の実施例2の縦断面図である。
この実施例では、容器の強度が増す為、容器内薬液の出
し入れを容器直接加圧による呻び縮み(容器自体をベロ
ーズポンプにする)で行なうことが出来ると共に、容器
運搬時の強度もとれるので、容器の大型化が可能でおる
利点がある。
し入れを容器直接加圧による呻び縮み(容器自体をベロ
ーズポンプにする)で行なうことが出来ると共に、容器
運搬時の強度もとれるので、容器の大型化が可能でおる
利点がある。
以上説明したように本発明は、薬液容器に柔軟性をもた
せることで、中の薬液を外気にさらすことなく、出し入
れ出来る為、薬液の劣化防止及びごみの混入防止が出来
る効果がるる。また、N2ガス加圧による容器からの薬
液供給での、加圧ガスの薬液混入がなく、塗布液の気泡
発生も防止出来る。
せることで、中の薬液を外気にさらすことなく、出し入
れ出来る為、薬液の劣化防止及びごみの混入防止が出来
る効果がるる。また、N2ガス加圧による容器からの薬
液供給での、加圧ガスの薬液混入がなく、塗布液の気泡
発生も防止出来る。
さらに使用済容器は使い捨て焼却も可能で6D、容器(
ロ)収コストの圓減も期待出来ると共に、薬液メーカー
で常に新品の清浄な容器に外気と接触なしに注入するこ
とで、使用側での薬液供給系におけるフィルタリングも
不要に出来る効果がある。
ロ)収コストの圓減も期待出来ると共に、薬液メーカー
で常に新品の清浄な容器に外気と接触なしに注入するこ
とで、使用側での薬液供給系におけるフィルタリングも
不要に出来る効果がある。
第1図は本発明の一実施例の外観図、第2図は第1図の
容器を用いての薬液の供給系の一例を示す図、第2図の
(a)は薬液のポンプ供給系、(b)は容器加圧供給系
を示す。第3図は実施例2の縦断面図を示す。 ■・・・・・・容器内袋、2・・・・・・容器外袋、3
・・・・・・接続口補強、4・・・・・・キャップ、6
・・・・・・本発明の容器、7・・・・・・ポンプ、8
・・・・・・エアーオペレートパルプ、9・・・・・・
サックバック、10・・・・・・塗布ノズル、11・・
・・・・加圧容器。 \、−・ 第2 図 第3 凹
容器を用いての薬液の供給系の一例を示す図、第2図の
(a)は薬液のポンプ供給系、(b)は容器加圧供給系
を示す。第3図は実施例2の縦断面図を示す。 ■・・・・・・容器内袋、2・・・・・・容器外袋、3
・・・・・・接続口補強、4・・・・・・キャップ、6
・・・・・・本発明の容器、7・・・・・・ポンプ、8
・・・・・・エアーオペレートパルプ、9・・・・・・
サックバック、10・・・・・・塗布ノズル、11・・
・・・・加圧容器。 \、−・ 第2 図 第3 凹
Claims (1)
- 半導体製造でのウェーハ面上に塗布する薬液の容器にお
いて、形状が軟かく変形することにより、容器内体積を
自由に可変することで、容器への薬液の注入及び容器か
らの薬液の取出し供給を外気と接触することなしに行な
えることを特徴とする柔軟性薬液容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24586286A JPS63110153A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 柔軟性薬液容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24586286A JPS63110153A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 柔軟性薬液容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63110153A true JPS63110153A (ja) | 1988-05-14 |
Family
ID=17139930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24586286A Pending JPS63110153A (ja) | 1986-10-15 | 1986-10-15 | 柔軟性薬液容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63110153A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5066043A (en) * | 1989-07-25 | 1991-11-19 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Adjustable shoulder anchorage |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59163166A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-14 | インタ−メデイカツト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 流動性調合食餌類用容器 |
-
1986
- 1986-10-15 JP JP24586286A patent/JPS63110153A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59163166A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-14 | インタ−メデイカツト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 流動性調合食餌類用容器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5066043A (en) * | 1989-07-25 | 1991-11-19 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Adjustable shoulder anchorage |
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