JPS63110153A - 柔軟性薬液容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明に、半導体を製造する際に使用δれるウェーハ面
塗布用の薬液容器に関するものでめる。

〔従来の技術〕

従来、この徳の容器は、ガラス瓶やポリ容器となってお
り、容器内体積が固定でりり、薬液の量に工って液面と
外気が接触する構造でめった。

〔発明が解決しょうとする問題点〕

上述した従来の容器は、容器内の薬液の量に関係なく、
体積が固定となっているので、ウェーハ面上に薬液を塗
布する場合、薬液の供給方式に工９、下記のような欠点
がるる。

第一に、ポンプによる容器からの吸引供給では、容器内
を大気圧開放にする為、薬液の量が少なくなるにつれで
、容器内に外気が入り、液面が外気と接触し、薬液の劣
化を促進している。

第二に、不活性のへ２による容器加圧での圧送供給では
、薬液の粘度が高くなるにつれて、加圧力も高くな’）
　ｓ　”　２ガスが薬液に混入し易い為、塗布直前また
は塗布後の大気圧開放により、気泡が発生して塗布不良
になり易い。

第三に上記いずれの場合でも容器内に外気が入り込む為
、ごみ（微粒子）が薬液中に混入し易い。

上述した従来の容器に対し、本発明は容器に柔軟性をも
たせることで、容器内体積を常に薬液１と同じにし、外
気との恢触なしで容器への薬欣江人、保管及び容器から
の薬液取出し供給を可能にした独創的内容を有する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の容器は薬液の容器内注入及び容器からの薬液取
出し供給を容器の体積可変によって行なうことから、柔
軟性のおる薄肉の金属またはプラスチックシート材の袋
を基本とする。半導体製造上、清浄且つ耐薬品性のろる
接液容器（内袋）と紫外線等のシールド及び薬液の洩れ
防止を兼ねた保護容器（外袋）の二重膜構造容器（袋）
と薬液の注入、取出しを行なう外部との接続口を有する
〇〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例の外観図でるる。

内袋ｌは薬液を収容すると共に外部との接続口を一体物
で形底している。外袋２は、紫外憑等のシールド及び内
袋１の保護を行なっている。内袋１及び外袋２は柔軟性
ｔ−ｉし、外からの圧力により、変形して、内部の薬液
量に伴なった容積で変化するＯ 筐た第２図は、本容器を用いての薬液の供給系の一例で
るる。第２図（ａ）はポンプ供給、（ｂ）は容器加圧供
給を示す。

〔実施例２〕 第３図は本発明の実施例２の縦断面図である。

この実施例では、容器の強度が増す為、容器内薬液の出
し入れを容器直接加圧による呻び縮み（容器自体をベロ
ーズポンプにする）で行なうことが出来ると共に、容器
運搬時の強度もとれるので、容器の大型化が可能でおる
利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、薬液容器に柔軟性をもた
せることで、中の薬液を外気にさらすことなく、出し入
れ出来る為、薬液の劣化防止及びごみの混入防止が出来
る効果がるる。また、Ｎ２ガス加圧による容器からの薬
液供給での、加圧ガスの薬液混入がなく、塗布液の気泡
発生も防止出来る。

さらに使用済容器は使い捨て焼却も可能で６Ｄ、容器（
ロ）収コストの圓減も期待出来ると共に、薬液メーカー
で常に新品の清浄な容器に外気と接触なしに注入するこ
とで、使用側での薬液供給系におけるフィルタリングも
不要に出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の外観図、第２図は第１図の
容器を用いての薬液の供給系の一例を示す図、第２図の
（ａ）は薬液のポンプ供給系、（ｂ）は容器加圧供給系
を示す。第３図は実施例２の縦断面図を示す。 ■・・・・・・容器内袋、２・・・・・・容器外袋、３
・・・・・・接続口補強、４・・・・・・キャップ、６
・・・・・・本発明の容器、７・・・・・・ポンプ、８
・・・・・・エアーオペレートパルプ、９・・・・・・
サックバック、１０・・・・・・塗布ノズル、１１・・
・・・・加圧容器。 ＼、−・ 第２　図 第３　凹

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体製造でのウェーハ面上に塗布する薬液の容器にお
   いて、形状が軟かく変形することにより、容器内体積を
   自由に可変することで、容器への薬液の注入及び容器か
   らの薬液の取出し供給を外気と接触することなしに行な
   えることを特徴とする柔軟性薬液容器。