JPS6296245A - 基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野コ 本発明は、基板の搬送装置に係り、特に、薄膜張付′！
８Ａ置に使用される基板の搬送装置に適用して有効な技
術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の月面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
（張り付け）する。この熱圧着ラミネーＩ−は、薄膜張
付装置所謂ラミネータにより量産的に行われる。この後
、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、この配線
パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通して、感
光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性樹脂フ
ィルｌ、を剥離装置で剥離した後、露光された感光性樹
脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成する。

この後、前記導電層の不必要部分をエツチングにより除
去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配
線パターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の′Ｉ！５造工程においては、絶
縁性基板の両面に導電層を設けた基板に感光性樹脂層と
透光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネー
ト（張り付け）する工程が必要とされている。

基板に張り付けられる積層体は、薄膜張付装置の供給ロ
ーラに連続的に巻回されている積層体を引き出して、基
板の１法に対応して切断したものである。

前記基板を熱圧着ローラの位置に搬送する基板の搬送装
置は、複数の円板状ローラ（ピンチローラ）を串差しに
した回転体を複数本設け、この回転体を回転させて基板
を移動させ、熱圧着ローラに近づくと基板を、固定され
たガイド部材で搬送方向のセンタラインに幅寄せして、
熱圧着ローラに噛み込ませている。

しかしながら、基板が搬送センタラインに正確に設定さ
れていても、ラネミートされる薄膜の供給位置と基板の
設定位置とがずれる場合があり、その時、そのずれ量を
矯正することが困難であった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は０本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明は、搬送ローラと押えローラによって
基板を搬送する基板の搬送装置であって。

該基板の搬送装置の搬送方向のセンタラインと基板の搬
送方向のセンタラインを合致させる基板幅寄せ（進路修
正）装置と、該基板幅寄せ装置のセンタラインとＪ！仮
にラミネートされる薄膜のセンタラインとを合致させる
基板幅寄せ装置移動機構を具備し、さらに、前記基板幅
寄せ装置の動作を開始させる基板位置検出センサと、前
記基板幅寄せ装置のｔＩＪ作を停止させる基板幅検出セ
ンサとを具備したことを特徴とするものである。

［作用コ 本発明は、搬送ローラを駆動して搬送ローラ上の基体を
押えローラで押えながら搬送する。基板を搬送する際に
、搬送されてくる基板の先端又は後端を基板位置位置検
出センサで検出し、この検出信号により基板幅寄せ（進
路修正）装置の動作を開始させる。基板幅寄せ（基板進
路修正）装置に取り付けられている基板幅検出センサに
より基板の両側の端を検出し、この検出信号により前記
基板幅寄せ装置の動作を停止させる。これにより前記基
板の搬送方向のセンタラインと基板の搬送方向のセンタ
ラインを正確かつ容易に合致させた状態で、熱圧着ロー
ラ位置まで基板を搬送することができる。

また、基板の搬送装置のセンタラインに基板が正確に設
定されていても、ラネミートされる薄膜の供給位置と基
板の設定位置とがずれる場合に、基板幅寄せ装置移動機
構により基板幅寄せ装置のセンタラインと基板にラミネ
ートされる薄膜のセンタラインとを合致させてそのずれ
量を矯正することができる。

［実施例コ 以下１本発明をプリント配線用基板に感光性樹脂層と透
光性樹脂フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置（ラミネータ）に使用される基板の搬
送装置に適用した一実施例について図面を用いて説明す
る。

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

本発明の一実施例である基板の搬送装置を使用した薄膜
張付装置の概略構成を第２図で示す。

本実施例の薄膜張付装置は、第２図に示すように、透光
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
からなる３層の積層体１は、供給ローラ２に連続的に巻
回されている。供給ローラ２の積層体１は、剥離ローラ
３で、透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＡと、−面（接
着面）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィル
ムからなる積層体ＩＢとに分離される。

分層された透光性樹脂フィルムＩＡは、巻取ローラ４に
より巻き取られるように構成されている。

前記積層体ＩＢの供給方向の先端部は、適度なテンショ
ンを与えるテンションローラ５を介してメインバキュー
ムプレート６に吸着されるように構成されている。メイ
ンバキュームプレート６は、矢印入方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ７を介してフレーム８に支持さ
れている。メインバキュームプレート６は、テンション
ローラ５とともにしわ等を生じないように、積層体ＩＢ
を基板１７側に供給するように構成されている。

メインバキュームプレート６の先端の円孤状部６Ａは、
その内部にヒータ６Ｂが設けられており、前記積層体Ｉ
Ｂの先端部を基板１７の導電層上に成熱圧着ラミネート
するように構成されている。

前記円孤状部６Ａに近接した位置には、連続的な積層体
ＩＢを基板１７の寸法に対応して切断するロータリカッ
タ９が設けられている。

このロータリカッタ９に対向した位置には、切断された
積層体ＩＢの席端部を前記円孤状部６Ａに吸着させるサ
ブバキュームプレート１ｏが設けられている。このサブ
バキュームプレート１ｏは、矢印Ｂ方向にその位置を変
動できるエアーシリンダ１１を介してフレーム８に支持
されている。

メインバキュームプレート６とサブバキュームプレート
１０を支持するフレーム８は、矢印Ｃ方向にその位置を
変動できるエアーシリンダ１２を介して装置本体のフレ
ーム１３に支持されている。

前記基板１７の導電層上に円孤状部６Ａでその先端部が
成熱圧着ラミネートされる積層体ＩＢは。

熱圧着ローラ１４でその全体が熱圧着ラミネートされる
ように構成されている。熱圧着ローラ１４は、積層体Ｉ
Ｂの先端部を円孤状部６Ａで仮熱圧着後、第２図に符号
１４′を符した点線で示す位置から実線で示す位置に移
動するように構成されている。

前記ロータリカッタ９で切断された積層体ＩＢの後端部
は、二角形状の回転バキュー１１プレート１５でしわ等
を生じないようにガイドされ、熱圧着ローラ１４で熱圧
着ラミネートされるように構成されている。

このように構成される薄膜張（＝１装置は、前述した各
構成により、搬送ローラ１６Ａ、押えローラ１６Ｂ等か
らなる基板の搬送装置１６で搬送される！！！縁性縁板
基板面（又は片面）に導電層を設けた基板１７上に、積
層体ＩＢを熱圧着ラミネートするようになっている。積
層体ＩＢは、透光性樹脂フィルムＩＡが剥離された感光
性樹脂層の接着面と導７ＩｉＷＪ面とが接着するように
、基板１７上にＨｐ圧着ラミネートされるように構成さ
、ｆｔている。積層体ＩＢが熱圧着ラミネー１〜された
基板１７は、基板搬出装置１８によって外部に搬出され
るようになっている。

前記基板の搬送装置１６のＩＩＩｆＡ８構成を第１図に
示す。

基板の搬送装置１６は、第１図に示すように、薄膜張付
装置！！（ラミネータ）１に連結されている。

搬送ローラ１６Ａは、繊維強化プラスチック製の円柱状
部材（中実又は中空二好ましくは中空）からなっており
、ｒｌ数の搬送ローラ１６Ａが基板の搬送装置１６本体
のフレーム２ｏに回転自在に取り付けている。この複数
の搬送ローラ１６Ａは、薄い基板１７の端部が垂れ下が
らないように所定の間隔で配列されている。また、複数
の搬送ローラ１６Ａのうち１つおきの搬送ローラ１６Ａ
だけを駆動源（図示していない）に連結している。また
駆Ｉ！ＪＪ′ｇには、必要に応じて２つおきの搬送ロー
ラ１６Δ又は全部の搬送ローラ１６　Ａ　ｋ：連結して
もよい。

基板１７は、前記搬送ローラ１６Ａ上に載置され、押え
ローラ１６Ｂにより押えられて搬送されるようになって
おり、薄い基板１７では、波打ちや反りを矯正するよう
になっている。この押えローラ１６Ｂは、非常に薄くて
波打ちや反り易い基＠１７を使用する場合に、基板１７
の端部が円板状部材で構成された回転体に引掛かって停
止しないように、搬送ローラ１６Ａと同様に円柱状部材
で構成しており、フレーム２０に回転自在に取り付けら
れている。押えローラ１６Ｂは駆動源には連結されてい
ないが、連結させてもよい。また、押えローラ１６Ｂは
、あまり薄くなくて波打ちや反り易さの程度が小さい基
板１７を使用する場合には、複数の円板状部材を串差し
にした回転体であってよい。

２１は基板幅寄せ装置であり、搬送方向のセン“タライ
ンと基板１７の搬送方向のセンタラインとを合致させる
ためのものである。この基板幅寄せ装置２１は、第３図
（Ｙ　−Ｙ線で切った断面図）及び第４図（斜視図）に
示すように、支持部材２１Ａ、２１Ａ’に基板幅寄せ部
材２１Ｂ、２１Ｂ’を支持して構成されている。この支
持部材２１Ａ。

２１Ａ′は、それぞれ支持棒２ＩＣに摺動自在に取り付
けられている。そして、前記支持部材２１Ａ、２１Ａ’
は、プーリ２１Ｄとブー＋）２１Ｄ’に巻回されている
無端ベルト２１Ｅに、その無端ベルｌ−２１Ｅが矢印り
方向に移動すると、互いに近づくように取り付けられて
いる。支持部材２１Ａ。

２１Ａ′の摺動は、支持部材２１Ａ′に設けられたエア
ーシリンダ２１１により行われる。前記プーリ２１　Ｄ
、２　Ｌ　Ｄ’は、それぞれ逆り字状支持部材２１　Ｆ
、２１　Ｆ’に支持されている。これらの逆り字状支持
部材２１Ｆ、２１Ｆ’はネジ捧２１Ｇに係合されている
。ネジ捧２１Ｇにはハンドル２１Ｈが取り付けられてお
り、このハンドル２ＬＨを回転させることにより、逆り
字状支持部材２１Ｆ。

２１Ｆ′は、その間の距離を一定に保持したまま左右に
移動するようになっている。この移動機構（又は微調整
機構）は、基板１７の搬送方向のセンタラインと、熱圧
着ラミネートされる積層体ＩＢの搬送方向のセンタライ
ンすなわち基板の搬送袋［１６のセンタラインとがずれ
た場合、両者を合致させるために基板幅寄せ装置ｉ！２
２１の位にを調整するものである。基板幅寄せ装置１６
の位置の固定は、ネジ棒２１Ｇの回転を固定するネジ２
１Ｊで行われる。

２２は基板１７の先端（又は後端）を検出する基板位同
検出センサであり、基板幅寄せ装置２１の基板幅寄せ部
材２１Ｂ、２１Ｂ’の゛駆動開始信号を発生するための
ものである。この基板位置検出センサ２２は、フレーム
２０に支持フレーム２２八を介して取り付けられている
。前記基板値Ｉｎ出センサ２２は、例えば、反射型光セ
ンサを用いる。

２３Δ、２３Ｂは基板１７の両側端をそれぞれ検出する
基板幅検出センサであり、基板幅寄せ装置２１の基板幅
寄せ部材２１Ｂ、２１Ｂ’の駆動停止信号を発生するた
めのものである。この基板幅検出センサ２３Δ、２３Ｂ
は、前記支持部材２ＩＡ、２１Ａ’の搬送方向の先端部
の近傍で、前記基板幅寄せ部材２１Ｂ、２１Ｂ’より内
側に取り付けられている。すなわち、基板幅検出センサ
２３Ａ、２３Ｂは、基板１７のセンタラインと基板の搬
送装置１６のセンタラインとが合致した時。

前記基板幅寄せ部材２１Ｂ、２１Ｂ’を停止させる位置
に設けられている。基板幅寄せ装置２１の制御は、遅延
回路を用いて基板幅検出センサ２３Ａ。

２３Ｂにより基板１７の両側端が検出さ、れでから少し
遅れて前記基板幅寄せ部材２１　Ｂ、２１　［３’の駆
動動作停止信号を発生させろようにすれば簡単に実現で
きる。基板幅検出センサ２３Ａ、２３Ｂは１例えば、透
過型光センサを用いる。

このようにうに、基板１７の搬送方向のセンタラインと
基板の搬送袋［１６の搬送方向のセンタラインを合致さ
せる基板幅寄せ装置２１を設け。

この基板幅寄せ装置２１の動作を開始させる基板位置検
出センサ２２及び基板幅寄せ装置２１の動作を停止させ
る基板幅検出センサ２３Ａ、２３Ｂを設けることにより
、基板１７の搬送方向のセンタラインと基板の搬送装置
１６の搬送方向のセンタラインとを、基板１７にたわみ
を生じることなく合致させた状態で１ｍ板１７を熱圧着
開始位置に正確にかつ容易に搬送することができる。

なお、前記基板幅寄せ装置のセンタラインと基板にラミ
ネートされる薄膜のセンタラインとを合致させる基板幅
寄せ装置移動機構を自シｊ制御するために、上下の各ラ
ミネー１〜薄膜供給路の所定位置にラミネート薄膜の幅
を検出する薄膜幅検出センサ（図示していない）を設け
、これらの検出信号と油泥基板幅検出センサ２３Ａ、２
３Ｂを制御！置（図示していない）に入力し、ソフトウ
ェアにより上下ラミネート薄膜の位置合せを行い、基板
幅寄せ装置移動機構を制御して前記も（板幅寄せ装置の
センタラインと基板１７にラミネーｈされる薄膜のセン
タラインとを合致させる。ようにすることもできる。

第１図に示す基板押え部材２４は、基板１７が熱圧着開
始位置に来た時、基板１７を固定するとともに落下しな
いように押えるためのものである。

この基板押え部材２４は、第５図（側面図）に示すよう
に、前記フレーム２０に取すイ・Ｊけられ１図示してい
ないエアーシリンダとスプリングにより矢印Ｅ方向に移
動するようになっている。また、この基板押え部材２４
の駆動動作と連動又は非運・肋して基板支持部材２５が
矢印Ｆ方向に突出するようになっている。この基板支持
部材２５の矢印Ｆ方向の制御は、第６図（側面図）に示
すように、＋７ｆ記フレーム２０に設けられたエアーシ
リンダ２５Ａによって行っている。基板押え部材２４又
は基板支持部材２５の動作は、図示していない基板位置
検出センサの駆動開始信号又は１駆動停止信号により制
御されるようになっている。

このように基板押え部材２４と基板支持部材２５を設け
ることにより、基板１７が熱圧着開始位置に来た時、基
板１７が落下しないように支持するとともに、熱圧着ロ
ーラが基板１７を上下から挟持するまで基板１７を所定
位置に保持することができるので、基板１７上に積層体
ＩＢを正確に熱圧着ラミネートすることができる。

次に、本実施例の基板の搬送装置の動作を簡単に説明す
る。

第１図おいて、基板１７は、複数の搬送ローラ１６Ａの
うちの所定搬送ローラ１６Ａを駆動させることにより、
熱圧着ローラ１４方向に向けて搬送される。基板１７が
搬送されて来てその先端が基板位置検出センサ２２によ
り検出されると、駆動開始信号により基板幅寄せ装置２
１がその動作を開始する。基板幅寄せ装置！！２１は、
基板幅寄せ部材２１Ｂ、２１Ｂ’で基板１７のセンタラ
インと基板の搬送装置１６のセンタラインとを合致する
ように動作する。その後基板幅検出センサ２３Ａ、２３
Ｂにより基板１７の両側端が検出されると、この駆動動
作信号により基板幅寄せ装置２１の動作が停止する。こ
れによって、基板１７の搬送方向のセンタラインが基板
の搬送装置１６の搬送方向のセンタラインに合致した状
態で熱圧着位置まで搬送される。この時、図示していな
い基板位置検出センサより、搬送ローラ１６Δの駆動が
停止され、押え部材２４が下方向に移動して来て基板１
７を押えて動かないようにする。これと同時に、基板支
持部材２５が突出して来て基板１７を落下しないように
支持する。

その後、第２図に示すように、熱圧着ローラ１４が基板
１７に向って左方向に移動し、成熱圧着さ汎た積層体Ｉ
Ｂを介在して基板１７を挟持する。

この状態で熱圧着ローラ１４及び搬送ローラ１６Ａが駆
動して基板１７上に積層体ＩＢが犬へ圧着ラミネートさ
れる。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが１本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において５種々変形し得ることはい
うまでもない。

例えば、前記実施例では、基板幅寄せ装置移動機構によ
って基板とラミネートされる薄膜との位置ずれを補正す
る際、上下のラミネートされる薄膜の設定位置を検出し
て自動的に制御するようにしたが、上下のラミネート薄
膜の設定位置の設定のうち一方を固定し、他方の設定位
置のみを移動可能とし、その移動可能のもののみ位置検
出するようにすることもできる。

また、本発明は、薄膜張付装置に使用される基板の搬送
装置に適用することができる。

［発明の効果コ 以上説明したように５本発明によれば、基板の搬送方向
のセンタラインと基板の搬送装置の搬送方向のセンタラ
インを合致させる基板幅寄せ装置を設け、この基板幅寄
せ装置のセンタラインと基板にラミネートされる薄膜の
センタラインとのずれ量を矯正するための基体幅寄せ装
置移動機構を設けることにより、基板とラミネー１〜さ
れる薄膜との位置ずれを容易に補正する二とができるの
で。

基板上に正確に薄膜をラミネートすることができる。

さらに、基板幅せ装置のセンタラインとこの基板幅寄せ
装置の動作を開始させる基板位置検出センサ、及び基板
幅寄せ装置の動作を停止させる基板幅検出センサを設け
ることにより、基板の搬送方向のセンタラインと基板の
搬送装置の搬送方向のセンタラインとを、基板にたわみ
を生しることなく合致させた状態で基板を熱圧着開始位
置に正、確にかつ容易に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例の基板の搬送装置の概略構
成を示す斜視図、 第２図は、本実施例の基板の搬送装置に係る薄膜張付装
置の概略構成を示す模写図、 第３図は、第１図のＹ−Ｙ線で切った断面図、第４図は
、第３図の基板幅寄せ装置の構成を示す斜視図。 第５図は、第１図に示す基板幅検出センサ、押え部材及
び基板支持部材の構成を示す側面図、第６図は、第１図
に示す基板支持部材の構成を示す側面図である。 図中、１６・・基板の搬送装置、１６Ａ・・・搬送ロー
ラ、１６Ｂ・・・押えローラ、２０・・・基板の搬送装
置本体のフレーム、１７・・・基板、２１・・・基板幅
寄せ装置、２１Δ、２ＬＡ’・・支持部材、２１Ｂ。 ２１Ｂ’・・基板幅寄せ部材、２１Ｃ・・・支持棒、２
１Ｅ・・無端ベル１−５２１Ｄ、２ＬＤ’・・プーリ。 ２１Ｆ、２１Ｆ’・・逆り字状支持部材、２１Ｇ・・ネ
ジ棒、２１１（・・ハンドル、２１Ｊ・・・固定ネジ、
２２・・基板位置検出センサ、２３Ａ、２３Ｂ・・基板
幅検出センサ、２４　基板押え部材、２５・・・基板支
持部材である。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送ローラと押えローラによって基板を搬送する
   基板の搬送装置であって、該基板の搬送装置の搬送方向
   のセンタラインと基板の搬送方向のセンタラインを合致
   させる基板幅寄せ装置と、該基板幅寄せ装置のセンタラ
   インと基板に張り付けられる薄膜のセンタラインとを合
   致させる基板幅寄せ装置移動機構を具備したことを特徴
   とする基板の搬送装置。
2. （２）搬送ローラと押えローラによって基板を搬送する
   基板の搬送装置であって、該基板の搬送装置の搬送方向
   のセンタラインと基板の搬送方向のセンタラインを合致
   させる基板幅寄せ装置と、該基板幅寄せ装置の動作を開
   始させる基板位置検出センサと、前記基板幅寄せ装置の
   動作を停止させる基板幅検出センサと、前記基板幅寄せ
   装置のセンタラインと基板に張り付けられる薄膜のセン
   タラインとを合致させる基板幅寄せ装置移動機構を具備
   したことを特徴とする基板の搬送装置。
3. （３）前記基板位置検出センサは、基板幅検出センサよ
   りも前段の所定位置に取り付けられていることを特徴と
   する特許請求の範囲第２項記載の基板の搬送装置。
4. （４）前記基板位置検出センサは、前記基板の先端又は
   後端を検出することを特徴とする特許請求の範囲第２項
   又は第３項記載の基板の搬送装置。
5. （５）前記基板幅検出センサは、前記基板の幅方向の端
   を検出することを特徴とする特許請求の範囲第２項又は
   第３項記載の基板の搬送装置。