JPS6291695A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS6291695A JPS6291695A JP22860685A JP22860685A JPS6291695A JP S6291695 A JPS6291695 A JP S6291695A JP 22860685 A JP22860685 A JP 22860685A JP 22860685 A JP22860685 A JP 22860685A JP S6291695 A JPS6291695 A JP S6291695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary axis
- casing
- supported
- ball bearings
- ball bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C27/008—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
- F04C27/009—Shaft sealings specially adapted for pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ターボ分子ポンプに関するものである。
ターボ分子ポンプとしては、ケーシング内に配設された
静翼間で動翼が設けられた回転軸を玉軸受で軸支したも
のが知られている。
静翼間で動翼が設けられた回転軸を玉軸受で軸支したも
のが知られている。
しかし、このようなターボ分子ポンプでは、玉軸受は真
空域に設けられており、玉軸受で発生する熱の逃がし方
が大きな課題となっている。なお。
空域に設けられており、玉軸受で発生する熱の逃がし方
が大きな課題となっている。なお。
この種のポンプとして関連するもの番こは、例えば。
実開昭６０−２８２９８号、実開昭６０−３４５９４号
、実開昭６０−７７７９４号等がある。
、実開昭６０−７７７９４号等がある。
本発明の目的は、玉軸受を真空域外の大気部等に設ける
ことを可能とすることで、玉軸受で発生する熱を良好に
逃がすことができるターボ分子ポンプを提供することに
ある。
ことを可能とすることで、玉軸受で発生する熱を良好に
逃がすことができるターボ分子ポンプを提供することに
ある。
本発明は、ターボ分子ポンプを、ケーシング内に配設さ
れた静翼間で動翼が設けられた回転軸を、軸支する玉軸
受を前記ケーシング外に設け、１１１丁記回転軸を介す
る前記ケーシング内外を磁性流体シール手段でシールし
たものとするもので、ケーシング内の気密を磁性流体シ
ール手段の作用で良好暑こ保持することで、玉軸受を真
空域外の大気部等に設けることを可能にしたものである
。
れた静翼間で動翼が設けられた回転軸を、軸支する玉軸
受を前記ケーシング外に設け、１１１丁記回転軸を介す
る前記ケーシング内外を磁性流体シール手段でシールし
たものとするもので、ケーシング内の気密を磁性流体シ
ール手段の作用で良好暑こ保持することで、玉軸受を真
空域外の大気部等に設けることを可能にしたものである
。
本発明の一実施例を第１図、第２図により説明する。第
１図は、玉軸受、例えば、グリース潤滑玉軸受を備えた
ターボ分子ポンプの全体構成図である。構成は、ケーシ
ング３の軸線方向にステータリング４で固定した多段の
静ｇ５を配設し、該静翼５間に位置しかつケーシング３
の中心に位置する磁性体回転軸７により支承され、その
外周に設けられた動翼６でロータを構成し、該ロータは
上部玉軸受８と下部玉軸受９により支持され、（上部玉
軸受は予圧バネ１１および制振部セを介してベース１７
に継がり、下部玉軸受は制振部１３を介してベース１７
に継がっている）回転軸７の下端に設けたベース１８で
支承された駆動モータ１０により駆動される。ベース１
７ｉこはグリース注入穴１９．２０を設けており、上下
玉軸受８，９に制振部１３を通してグリースが注入でき
るようになっている。玉軸受支持部および駆動モータ部
を大気、動翼部を真空とするため、回転軸７の上端部に
は、磁界発生手段、例えば、永久磁石１４を間にはさん
だ状態で、回転軸７に対（）てリング状の突起を有する
ようにした予圧バネ押え兼用の軸カバーｂを設け１回転
軸７と突起部間に磁性流体１６を配ぼする。ターボ分子
ポンプには上側に吸気口１．下側に排気口２を備えてい
る。
１図は、玉軸受、例えば、グリース潤滑玉軸受を備えた
ターボ分子ポンプの全体構成図である。構成は、ケーシ
ング３の軸線方向にステータリング４で固定した多段の
静ｇ５を配設し、該静翼５間に位置しかつケーシング３
の中心に位置する磁性体回転軸７により支承され、その
外周に設けられた動翼６でロータを構成し、該ロータは
上部玉軸受８と下部玉軸受９により支持され、（上部玉
軸受は予圧バネ１１および制振部セを介してベース１７
に継がり、下部玉軸受は制振部１３を介してベース１７
に継がっている）回転軸７の下端に設けたベース１８で
支承された駆動モータ１０により駆動される。ベース１
７ｉこはグリース注入穴１９．２０を設けており、上下
玉軸受８，９に制振部１３を通してグリースが注入でき
るようになっている。玉軸受支持部および駆動モータ部
を大気、動翼部を真空とするため、回転軸７の上端部に
は、磁界発生手段、例えば、永久磁石１４を間にはさん
だ状態で、回転軸７に対（）てリング状の突起を有する
ようにした予圧バネ押え兼用の軸カバーｂを設け１回転
軸７と突起部間に磁性流体１６を配ぼする。ターボ分子
ポンプには上側に吸気口１．下側に排気口２を備えてい
る。
第２図は、磁性流体軸シール部の詳細を示しており、図
中実線で示すような磁気回路を形成する。
中実線で示すような磁気回路を形成する。
Ｓ気の性質から、磁場は磁気回路中、磁性体回転軸７に
向って、リング状の突起を有する軸カバー１５の山の頂
点付近で最大となり、磁性流体１６は山の先端と回転軸
の隙間に吸引されリング状の膜をつ（リシールを行なう
。この場合、真空圧力は排気口側圧力と同等の１０−３
Ｔｏｒｒ程度であり漏れおよびグリース等の油蒸気によ
る汚染の心配はない。
向って、リング状の突起を有する軸カバー１５の山の頂
点付近で最大となり、磁性流体１６は山の先端と回転軸
の隙間に吸引されリング状の膜をつ（リシールを行なう
。この場合、真空圧力は排気口側圧力と同等の１０−３
Ｔｏｒｒ程度であり漏れおよびグリース等の油蒸気によ
る汚染の心配はない。
５慨
またシール部は様体と固体の接触であるため摩擦による
摩耗も少ない。
摩耗も少ない。
本実施例では次のような効果が得られる。
（１） 玉軸受で発生した熱を大気の対流等の利用に
より良好に逃がすことができる。
より良好に逃がすことができる。
（２）玉軸受へのグリースの注入作業をターボ分子ポン
プの運転を中断することな〈実施することができる。
プの運転を中断することな〈実施することができる。
（３） 玉軸受部とモータ協動部とを分けているため
、玉軸受部をユニット化することができる。
、玉軸受部をユニット化することができる。
（４） グリース潤滑玉軸受を使用したクリーンなタ
ーボ分子ポンプを提供することができる。
ーボ分子ポンプを提供することができる。
なお、本実施例の他に、駆動モータを上部玉軸受と下部
玉軸受との間に位置させるようにしても良い。
玉軸受との間に位置させるようにしても良い。
本発明は、以上説明したように、玉軸受を真空域外の大
気部等に設けることができるので、玉軸受で発生した熱
を良好に逃がすことができるという効果がある。
気部等に設けることができるので、玉軸受で発生した熱
を良好に逃がすことができるという効果がある。
第１図は、本発明によるターボ分子ポンプの一実施例を
示す縦断面図、第２図は、第１図の磁性流体シール部の
拡大縦断面図である。 ３・・・・・・ケーシング、５・・−・・・静翼、６・
開・動翼、７・・・・・・回転軸、８． ９・・曲玉軸
受、１０・・−・・駆動モータ、１４・・・・・・永久
磁性、１５・・・・・・軸カバー１６・・・・・・磁性
流体 代理人 弁理士 小 川 勝 男 オノ図
示す縦断面図、第２図は、第１図の磁性流体シール部の
拡大縦断面図である。 ３・・・・・・ケーシング、５・・−・・・静翼、６・
開・動翼、７・・・・・・回転軸、８． ９・・曲玉軸
受、１０・・−・・駆動モータ、１４・・・・・・永久
磁性、１５・・・・・・軸カバー１６・・・・・・磁性
流体 代理人 弁理士 小 川 勝 男 オノ図
Claims (1)
- １、ケーシング内に配設された静翼間で動翼が設けられ
た回転軸を軸支する玉軸受を前記ケーシング外に設け、
前記回転軸を介する前記ケーシング内外を磁性流体シー
ル手段でシールしたことを特徴とするターボ分子ポンプ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22860685A JPS6291695A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22860685A JPS6291695A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6291695A true JPS6291695A (ja) | 1987-04-27 |
Family
ID=16878981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22860685A Pending JPS6291695A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6291695A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013107667A1 (de) * | 2012-01-21 | 2013-07-25 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP22860685A patent/JPS6291695A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013107667A1 (de) * | 2012-01-21 | 2013-07-25 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
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