JPS629075A - 圧電式制御弁 - Google Patents
圧電式制御弁Info
- Publication number
- JPS629075A JPS629075A JP14693185A JP14693185A JPS629075A JP S629075 A JPS629075 A JP S629075A JP 14693185 A JP14693185 A JP 14693185A JP 14693185 A JP14693185 A JP 14693185A JP S629075 A JPS629075 A JP S629075A
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- Japan
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- spreading
- enlarged
- displacement
- shaft
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- Pending
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- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
２本の支軸を間隔をおいて平行に配設し、かつ少なくと
も２本の拡大テコを互いに平行に配設し、隣接する拡大
テコを交互に異なる支軸に軸支して、先端を他方の支軸
に向け、各拡大テコの自由端寄りの位置で、隣接する次
の段の拡大テコの軸支部寄りの位置を変位させ、最後の
段の拡大テコで弁体に駆動力を加え、最初の段の拡大テ
コの軸支部寄りの位置に圧電素子の変位による力を作用
させることで、圧電素子の微小変位を拡大して弁体を駆
動可能とする。
も２本の拡大テコを互いに平行に配設し、隣接する拡大
テコを交互に異なる支軸に軸支して、先端を他方の支軸
に向け、各拡大テコの自由端寄りの位置で、隣接する次
の段の拡大テコの軸支部寄りの位置を変位させ、最後の
段の拡大テコで弁体に駆動力を加え、最初の段の拡大テ
コの軸支部寄りの位置に圧電素子の変位による力を作用
させることで、圧電素子の微小変位を拡大して弁体を駆
動可能とする。
内燃機関の燃料噴射弁などのように高速動作を要する弁
装置においては、圧電素子に信号電圧を印加して変形さ
せることで、弁体を駆動する構成が提案されている。本
発明は、このように圧電素子を利用して弁体を駆動する
圧電式の制御弁に関する。
装置においては、圧電素子に信号電圧を印加して変形さ
せることで、弁体を駆動する構成が提案されている。本
発明は、このように圧電素子を利用して弁体を駆動する
圧電式の制御弁に関する。
特公昭４９−６０４３号公報などに記載されているよう
に、圧電素子に電圧を印加したときの変位を利用して、
燃料噴射弁などを駆動することが提案されている。この
ように圧電素子を駆動源として利用する場合、圧電素子
の変位量のみでは、弁体の変位量として不足するため、
圧電素子の変位量を拡大する機構が色々試みられている
。例えばテコ式、リンク式、液圧式などが提案されてい
る。その中でもテコ式が機構的に最もシンプルであり、
製造も容易である。
に、圧電素子に電圧を印加したときの変位を利用して、
燃料噴射弁などを駆動することが提案されている。この
ように圧電素子を駆動源として利用する場合、圧電素子
の変位量のみでは、弁体の変位量として不足するため、
圧電素子の変位量を拡大する機構が色々試みられている
。例えばテコ式、リンク式、液圧式などが提案されてい
る。その中でもテコ式が機構的に最もシンプルであり、
製造も容易である。
第２図（イ）はテコ式の一例であり、１つのテコ４の支
点を固定し、支点寄りの位置に、圧電素子９を連結し、
自由端で弁体を駆動する。圧電素子９の変位量がΔＸ、
支点から圧電素子９の作用点までの長さを１とし、レバ
ー比を１対ｎとすると、自由端では、ｎΔＸの変位量が
得られる。
点を固定し、支点寄りの位置に、圧電素子９を連結し、
自由端で弁体を駆動する。圧電素子９の変位量がΔＸ、
支点から圧電素子９の作用点までの長さを１とし、レバ
ー比を１対ｎとすると、自由端では、ｎΔＸの変位量が
得られる。
このテコ式拡大機構を、（ロ）図のように２段重ねにし
て、１段目のテコ４ａの自由端で、その上の２段目のテ
コ４ｂの支点寄り位置を変位させ、２段目のテコの自由
端で弁体を駆動すると、ｎ２ΔＸの変位量が得られる。
て、１段目のテコ４ａの自由端で、その上の２段目のテ
コ４ｂの支点寄り位置を変位させ、２段目のテコの自由
端で弁体を駆動すると、ｎ２ΔＸの変位量が得られる。
ところがこのような拡大機構では、変位量が拡大される
につれて、変位方向のスペースが大きくなり、特に多段
式にして大きな変位量を得ようとした場合に、テコ４ａ
、４ｂの変位方向のスペースを大きくしなければならず
、大型の装置となってしまう。本発明の技術的課題は、
従来の圧電式制御弁におけるこのような問題を解消し、
圧電素子の変位量の拡大機構を小型化することにある。
につれて、変位方向のスペースが大きくなり、特に多段
式にして大きな変位量を得ようとした場合に、テコ４ａ
、４ｂの変位方向のスペースを大きくしなければならず
、大型の装置となってしまう。本発明の技術的課題は、
従来の圧電式制御弁におけるこのような問題を解消し、
圧電素子の変位量の拡大機構を小型化することにある。
第１図は本発明による圧電式制御弁の基本原理を説明す
る斜視図である。ａＳｂは支軸であり、互いに平行に配
設されている。そして両支軸ａ１ｂには、複数の拡大テ
コすなわち第１の拡大テコ１と、第２の拡大テコ２と、
第３の拡大テコ３が軸支されている。第１の拡大テコ１
は、第１の支軸ａに、第２の拡大テコ２は第２の支軸す
に、そして第３の拡大テコ３は第１の支軸ａにそれぞれ
軸支されている。そして各拡大テコ１．２．３の自由端
は、他方の支軸に向けられており、それぞれ他方の支軸
より手前の位置に横向きのピン１ｐ、２ｐを有しており
、第３の拡大テコ３には、弁軸取付はスリット１３が設
けられている。第１の拡大テコ１のピン１ｐは第２の拡
大テコ２の軸支部寄りの上に当接して係合し、第２の拡
大テコ２のピン２ｐは第３の拡大テコ３の軸支部寄りの
位置の上に当接している。そして第１の拡大テコ１の軸
支部寄りの位置１２上に、圧電素子の変位部が当接され
る。
る斜視図である。ａＳｂは支軸であり、互いに平行に配
設されている。そして両支軸ａ１ｂには、複数の拡大テ
コすなわち第１の拡大テコ１と、第２の拡大テコ２と、
第３の拡大テコ３が軸支されている。第１の拡大テコ１
は、第１の支軸ａに、第２の拡大テコ２は第２の支軸す
に、そして第３の拡大テコ３は第１の支軸ａにそれぞれ
軸支されている。そして各拡大テコ１．２．３の自由端
は、他方の支軸に向けられており、それぞれ他方の支軸
より手前の位置に横向きのピン１ｐ、２ｐを有しており
、第３の拡大テコ３には、弁軸取付はスリット１３が設
けられている。第１の拡大テコ１のピン１ｐは第２の拡
大テコ２の軸支部寄りの上に当接して係合し、第２の拡
大テコ２のピン２ｐは第３の拡大テコ３の軸支部寄りの
位置の上に当接している。そして第１の拡大テコ１の軸
支部寄りの位置１２上に、圧電素子の変位部が当接され
る。
各拡大テコ１．２．３のピン位置は、他方の支軸より自
己の軸支部寄りの位置にある。そのため第１の拡大テコ
１の軸支部寄りの位置の作用点に、圧電素子の変位によ
る力が加わると、該拡大テコ１の先端のピン位置の変位
量が拡大され、次の拡大テコ２の軸支部寄り位置を押圧
して該拡大テコ２を回動させる。すると第２の拡大テコ
２のピン２ｐの位置の変位量が更に拡大され、最終段の
拡大テコ３の軸支部寄り位置を押圧して回動させるため
、その自由端寄り位置の出力部（スリット１３）の変位
量は、更に拡大される。第２図の従来のテコ式拡大機構
の式を利用して表すと、ｎ３ΔＸ倍の拡大率となる。
己の軸支部寄りの位置にある。そのため第１の拡大テコ
１の軸支部寄りの位置の作用点に、圧電素子の変位によ
る力が加わると、該拡大テコ１の先端のピン位置の変位
量が拡大され、次の拡大テコ２の軸支部寄り位置を押圧
して該拡大テコ２を回動させる。すると第２の拡大テコ
２のピン２ｐの位置の変位量が更に拡大され、最終段の
拡大テコ３の軸支部寄り位置を押圧して回動させるため
、その自由端寄り位置の出力部（スリット１３）の変位
量は、更に拡大される。第２図の従来のテコ式拡大機構
の式を利用して表すと、ｎ３ΔＸ倍の拡大率となる。
次に本発明による圧電式制御弁が実際上どのように具体
化されるかを実施例で説明する。第３図、第４図は、本
発明による圧電式制御弁の実施例を示す図で、第４図は
第３図のＩＶ−ＩＶ断面図、第３図は拡大部ケーシング
内を示す正面図である。５は拡大部ケーシングであり、
その底部寄りの位置に支軸ａ、ｂが内臓支持され、該支
軸ａｓｂに３本の拡大テコ１．２．３が軸支されている
。６はノズル部本体であり、ノズルニードル７が内臓さ
れたノズルキャップ８と、圧電素子９のセットスクリュ
ー１０が取付けられていると共に、拡大部ケーシング５
の蓋の役目を兼ねている。
化されるかを実施例で説明する。第３図、第４図は、本
発明による圧電式制御弁の実施例を示す図で、第４図は
第３図のＩＶ−ＩＶ断面図、第３図は拡大部ケーシング
内を示す正面図である。５は拡大部ケーシングであり、
その底部寄りの位置に支軸ａ、ｂが内臓支持され、該支
軸ａｓｂに３本の拡大テコ１．２．３が軸支されている
。６はノズル部本体であり、ノズルニードル７が内臓さ
れたノズルキャップ８と、圧電素子９のセットスクリュ
ー１０が取付けられていると共に、拡大部ケーシング５
の蓋の役目を兼ねている。
支軸ａに第１の拡大テコｌと第３の拡大テコ３が回動可
能に軸支され、再拡大テコ１と３との間に第２の拡大テ
コ２が配設され、別の支軸すに回動可能に軸支されてい
る。圧電素子９の先端の球面状の加圧半丸台１１が、第
１の拡大テコ１の支軸ａ寄りの位置の球面凹部１２中に
嵌入している。また最終段の拡大テコ３の自由端のスリ
ット１３中に、ノズルニードル７の後端の小径首部７ａ
が嵌太し、拡大テコ３が矢印ａ１方向に移動すると、ヘ
ッド部７ｂを介してノズルニードル７が矢印ａ１方向に
引っ張られる。
能に軸支され、再拡大テコ１と３との間に第２の拡大テ
コ２が配設され、別の支軸すに回動可能に軸支されてい
る。圧電素子９の先端の球面状の加圧半丸台１１が、第
１の拡大テコ１の支軸ａ寄りの位置の球面凹部１２中に
嵌入している。また最終段の拡大テコ３の自由端のスリ
ット１３中に、ノズルニードル７の後端の小径首部７ａ
が嵌太し、拡大テコ３が矢印ａ１方向に移動すると、ヘ
ッド部７ｂを介してノズルニードル７が矢印ａ１方向に
引っ張られる。
ノズルニードル７は、通常はスプリング１４でノズル１
５方向に押圧され、先端のニードル部７Ｃでノズル１５
を閉止している。
５方向に押圧され、先端のニードル部７Ｃでノズル１５
を閉止している。
ノズルキャップ８の内部は、入口１６と連通しており、
入口１６に流体源が接続される。したがってニードル部
７ｃが後退してノズル１５を開くと、ノズル１５から流
体が噴出する。なお１７．１８はシール用のＯリングで
ある。またノズル閉止用のスプリング１４の一端は、０
リング１７上の平座金１９に当接し、他端はＥワッシャ
ー２０上の平座金２１に当接されている。
入口１６に流体源が接続される。したがってニードル部
７ｃが後退してノズル１５を開くと、ノズル１５から流
体が噴出する。なお１７．１８はシール用のＯリングで
ある。またノズル閉止用のスプリング１４の一端は、０
リング１７上の平座金１９に当接し、他端はＥワッシャ
ー２０上の平座金２１に当接されている。
ノズル部本体６は、ネジ２２で拡大部ケーシング５に取
付は固定され、拡大機構が内臓されているケーシング５
が閉鎖される。
付は固定され、拡大機構が内臓されているケーシング５
が閉鎖される。
通常はスプリング１４によって、ノズルニードル７は、
矢印ａ２方向に押圧されて、ノズル１５を閉止している
。いまリード線２３に１００Ｖ〜２００ＶＤＣの駆動電
圧を印加すると、圧電素子９は伸長して先端の加圧半丸
台１１が、矢印ａ１方向に変位して、第１の拡大テコ１
の球面凹部１２を押圧し、第１の拡大テコ１を支軸ａを
支点にして矢印ａ１方向に回動させる。その結果該第１
の拡大テコ１の先端のビン１ｐ位置の変位量が拡大され
、該ピン１ｐで次の段の拡大テコ２の支軸す寄りの位置
を押圧し、先端のピン２ｐ位置の変位量を拡大する。そ
して該ピン２ｐで最終段の拡大テコ３を支軸ａの回りに
回動させ、先端のスリット１３で、ノズルニードル７の
後端のヘッド７ｂを矢印ａ１方向に引っ張る。するとノ
ズルニードル７が、スプリング１４に抗して矢印ａ１方
向に移動し、先端のニードル部７Ｃがノズル１５から離
れて、ノズル１５が開かれ、入口１６から流入した流体
が、ノズル１５から噴出する。
矢印ａ２方向に押圧されて、ノズル１５を閉止している
。いまリード線２３に１００Ｖ〜２００ＶＤＣの駆動電
圧を印加すると、圧電素子９は伸長して先端の加圧半丸
台１１が、矢印ａ１方向に変位して、第１の拡大テコ１
の球面凹部１２を押圧し、第１の拡大テコ１を支軸ａを
支点にして矢印ａ１方向に回動させる。その結果該第１
の拡大テコ１の先端のビン１ｐ位置の変位量が拡大され
、該ピン１ｐで次の段の拡大テコ２の支軸す寄りの位置
を押圧し、先端のピン２ｐ位置の変位量を拡大する。そ
して該ピン２ｐで最終段の拡大テコ３を支軸ａの回りに
回動させ、先端のスリット１３で、ノズルニードル７の
後端のヘッド７ｂを矢印ａ１方向に引っ張る。するとノ
ズルニードル７が、スプリング１４に抗して矢印ａ１方
向に移動し、先端のニードル部７Ｃがノズル１５から離
れて、ノズル１５が開かれ、入口１６から流入した流体
が、ノズル１５から噴出する。
そして図示例では、各拡大テコ１．２．３のレバー比は
約１対５のため、圧電素子９の変位量が、最終段の拡大
テコ３のスリット１３位置では、１２５倍に拡大される
。
約１対５のため、圧電素子９の変位量が、最終段の拡大
テコ３のスリット１３位置では、１２５倍に拡大される
。
以上のように本発明によれば、２本の支軸ａ１ｂを平行
に配設して、それぞれの支軸ａ、ｂに、複数の拡大テコ
１．２．３を交互に異なる支軸ａ、ｂに回動可能に軸支
し、最初の段の拡大テコ１の先端の横向きのピンｉｐで
次の段の拡大テコ２の支点寄りの位置を加圧し、その先
端のビン２ｐ位置を拡大する構成になっている。このよ
うにして、横に並べた複数の拡大テコ１．２・・・を順
次、前の段の拡大テコの先端で押圧し、変位量を拡大す
るので、複数の拡大テコ１．２．３を横に密接して配設
でき、拡大機構部を小型にできる。拡大率を上げるため
に、拡大テコを増やしても、増設拡大テコの寸法分だけ
しか大型化しない。また支軸は常に２本で足りる。
に配設して、それぞれの支軸ａ、ｂに、複数の拡大テコ
１．２．３を交互に異なる支軸ａ、ｂに回動可能に軸支
し、最初の段の拡大テコ１の先端の横向きのピンｉｐで
次の段の拡大テコ２の支点寄りの位置を加圧し、その先
端のビン２ｐ位置を拡大する構成になっている。このよ
うにして、横に並べた複数の拡大テコ１．２・・・を順
次、前の段の拡大テコの先端で押圧し、変位量を拡大す
るので、複数の拡大テコ１．２．３を横に密接して配設
でき、拡大機構部を小型にできる。拡大率を上げるため
に、拡大テコを増やしても、増設拡大テコの寸法分だけ
しか大型化しない。また支軸は常に２本で足りる。
第１図は本発明による圧電式制御弁の基本原理を説明す
る側面図、第２図は従来のテコ式拡大機構の斜視図、第
３図は本発明による圧電式制御弁の拡大機構部の正面図
、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ’断面図である。 図において、ａ、ｂは支軸、１．２．３は拡大テコ、ｉ
ｐ、 ２ｐはピン、７はノズルニードル、９は圧電素子
、１２は球面凹部、１３はスリット、１５はノズルをそ
れぞれ示す。
る側面図、第２図は従来のテコ式拡大機構の斜視図、第
３図は本発明による圧電式制御弁の拡大機構部の正面図
、第４図は第３図のＩＶ−ＩＶ’断面図である。 図において、ａ、ｂは支軸、１．２．３は拡大テコ、ｉ
ｐ、 ２ｐはピン、７はノズルニードル、９は圧電素子
、１２は球面凹部、１３はスリット、１５はノズルをそ
れぞれ示す。
Claims (1)
- ２本の支軸（ａ）（ｂ）を間隔をおいて平行に配設し、
少なくとも２本の拡大テコ（１）（２）・・・を互いに
平行に、かつ前記支軸（ａ）（ｂ）に対し直角に配設し
、第１の拡大テコ（１）は、第１の支軸（ａ）に軸支し
て先端を第２の支軸（ｂ）に向け、第２の拡大テコ（２
）は、第２の支軸（ｂ）に軸支して先端を第１の支軸（
ａ）に向けることで、隣接する拡大テコ（１）（２）・
・・を交互に異なる支軸に軸支して、先端を他方の支軸
に向け、各拡大テコ（１）（２）・・・の自由端寄りの
位置を、隣接する次の段の拡大テコ（２）・・・の軸支
部寄りの位置に係合させ、最終段の拡大テコで、弁体に
駆動力を加え、最初の段の拡大テコ（１）の軸支部寄り
の位置に、圧電素子の変位による力を作用させる構成と
することを特徴とする圧電式制御弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14693185A JPS629075A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 圧電式制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14693185A JPS629075A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 圧電式制御弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS629075A true JPS629075A (ja) | 1987-01-17 |
Family
ID=15418808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14693185A Pending JPS629075A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | 圧電式制御弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS629075A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62283274A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Koganei Seisakusho:Kk | 電歪素子を用いた弁 |
| JPS6328973U (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-25 | ||
| JPH02163580A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧電素子を用いた流体制御バルブ |
| JP2006527346A (ja) * | 2003-06-11 | 2006-11-30 | ウエストポート リサーチ インク． | 気体燃料を注入するバルブ装置および方法 |
| KR101301107B1 (ko) * | 2012-04-12 | 2013-08-27 | 주식회사 프로텍 | 압전 펌프 |
| DE10248433B4 (de) * | 2002-10-17 | 2015-01-15 | Cummins Ltd. | Vorrichtung zum Fördern von Medien, insbesondere Einspritzvorrichtung für Brennkraftmaschinen von Kraftfahrzeugen |
| KR20180033907A (ko) * | 2016-09-27 | 2018-04-04 | 한국전기연구원 | 압전 서보 밸브 |
| JP2019533190A (ja) * | 2016-10-20 | 2019-11-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 圧力制御弁、リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造、及びリソグラフィ装置 |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14693185A patent/JPS629075A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62283274A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-09 | Koganei Seisakusho:Kk | 電歪素子を用いた弁 |
| JPH0326301B2 (ja) * | 1986-06-02 | 1991-04-10 | Koganei Ltd | |
| JPS6328973U (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-25 | ||
| JPH0319654Y2 (ja) * | 1986-08-11 | 1991-04-25 | ||
| JPH02163580A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧電素子を用いた流体制御バルブ |
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| KR101301107B1 (ko) * | 2012-04-12 | 2013-08-27 | 주식회사 프로텍 | 압전 펌프 |
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| US11199771B2 (en) | 2016-10-20 | 2021-12-14 | Asml Netherlands B.V. | Pressure control valve, a fluid handling structure for lithographic apparatus and a lithographic apparatus |
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