JPS6287203A - Device for water washing and separating detergent for gaseous phase drying - Google Patents
Device for water washing and separating detergent for gaseous phase dryingInfo
- Publication number
- JPS6287203A JPS6287203A JP13143286A JP13143286A JPS6287203A JP S6287203 A JPS6287203 A JP S6287203A JP 13143286 A JP13143286 A JP 13143286A JP 13143286 A JP13143286 A JP 13143286A JP S6287203 A JPS6287203 A JP S6287203A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detergent
- water
- phase drying
- washing
- cleaning agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レンズや液晶表示装置に使用するガラス基板
などを気相乾燥する時に生じる前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤よりこの気相乾燥用洗浄剤を水洗分離す
る装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a cleaning agent for vapor phase drying that contains a cleaning agent in the previous process that is produced when vapor phase drying glass substrates used in lenses and liquid crystal display devices. This relates to a device for washing and separating water.
レンズや液晶表示装置のガラス基板などの洗浄方法とし
ては、一般に洗剤により洗浄した後水洗し、次いでアル
コール洗浄し、最後に気相乾燥する方法が採用されてい
る。この気相乾燥工程では、前工程で使用したアルコー
ルなどの洗浄剤を付着した被洗浄物からアルコール洗浄
剤をクロロジフルオロメタン（米国デュポン社製：フレ
オン２２）、ジクロロジフルオロメタン（同型：フレオ
ン１２）、１．１．２−）クロロロー１． ２． ２−
トリフルオロエタン（同型：フレオン１１３）、トリ
クレンなどの気相乾燥用洗浄剤に溶解し、これを気化さ
せることによって乾燥することができる。気相乾燥装置
で気化された気相乾燥用洗浄剤が被洗浄物に付着した時
に、その上で凝縮して液化し、そこで前工程のアルコー
ル洗浄剤を洗浄し、同時に乾燥することができる。この
気相乾燥法を用いた装置は、例えば実公昭４２−６７８
１号、特公昭４５−６１１３号公報などに記載されてい
る。As a method for cleaning lenses, glass substrates of liquid crystal display devices, etc., a method is generally adopted in which the lenses are washed with a detergent, then washed with water, then washed with alcohol, and finally dried in a vapor phase. In this vapor phase drying process, the alcohol detergent is removed from the object to be cleaned, which has the detergent such as alcohol used in the previous step, as chlorodifluoromethane (manufactured by DuPont, USA: Freon 22), dichlorodifluoromethane (same model: Freon 12), etc. , 1.1.2-) Chlorol 1. 2. 2-
It can be dissolved in a vapor phase drying detergent such as trifluoroethane (same type: Freon 113) and trichlene, and then dried by vaporizing it. When the vapor-phase drying cleaning agent vaporized in the vapor-phase drying device adheres to the object to be cleaned, it condenses and liquefies thereon, so that the alcohol cleaning agent from the previous step can be cleaned and dried at the same time. An apparatus using this vapor phase drying method is, for example,
No. 1, Japanese Patent Publication No. 45-6113, etc.
上述した様な気相乾燥装置に用いるクロロジフルオロメ
タンなどの気相乾燥用洗浄剤は、アルコールを溶解する
が、水と混和しないので、これにアルコールが含まれる
時に水を接触させるとクロロジフルオロメタン液よりア
ルコールが抽出され、しかも比重が大きいのでアルコー
ルを含む水相とクロロフルオロメタン相に分離される。Vapor-phase drying detergents such as chlorodifluoromethane used in the above-mentioned vapor-phase drying equipment dissolve alcohol, but are not miscible with water, so when alcohol is included and water comes into contact with it, chlorodifluoromethane is produced. Alcohol is extracted from the liquid, and since it has a high specific gravity, it is separated into an aqueous phase containing alcohol and a chlorofluoromethane phase.
従って、通常前工程のアルコール洗浄剤を含む気相乾燥
用洗浄剤は、水洗分離装置によって気相乾燥用洗浄剤を
分離し、これを再度気相乾燥装置に送り込まれて再使用
されている。Therefore, the detergent for vapor phase drying containing the alcohol detergent in the previous step is usually separated from the detergent for vapor phase drying by a water washing and separation device, and then sent to the vapor phase drying device again for reuse.
しかしながら、この様な従来からの水洗分離法では、相
当量の水洗水を必要とし、しかも多量の水洗水を使用す
る割には気相乾燥用洗浄剤の抽出が不十分で、このため
水とともにオーバーフローされてしまう欠点を有してい
る。However, such conventional water washing separation methods require a considerable amount of washing water, and even though a large amount of washing water is used, the extraction of the cleaning agent for vapor phase drying is insufficient. It has the disadvantage of overflow.
また、この従来法では、水洗分離、された気相乾燥用洗
浄剤中に水洗時の水分が混入されてしまい、この結果沸
点が上昇し、気相乾燥の熱効率を低下させ、しかも、こ
の時気相乾燥用洗浄剤が先に気化し、被洗浄物には水分
の被膜が形成されてしまう欠点をも有している。In addition, in this conventional method, water from washing is mixed into the cleaning agent for vapor phase drying that has been washed and separated, resulting in an increase in the boiling point and a decrease in the thermal efficiency of vapor phase drying. It also has the disadvantage that the cleaning agent for vapor phase drying vaporizes first and a moisture film is formed on the object to be cleaned.
本発明の目的は、前述の欠点を解消しうる水洗分離法及
びその装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a water washing separation method and an apparatus therefor which can eliminate the above-mentioned drawbacks.
本発明は、前工程の洗浄剤を付着した被洗浄物を気相乾
燥することによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気
相乾燥用洗浄剤を水洗分離する際、前工程の洗浄剤を含
む気相乾燥用洗浄剤に水温Ｏ０Ｃ〜１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０℃の水洗水を接触させることを特徴とする
方法およびその装置である。The present invention provides a method for removing the cleaning agent from the previous step when washing and separating the cleaning agent for vapor phase drying containing the cleaning agent from the previous step, which is generated by vapor phase drying the object to be cleaned to which the cleaning agent from the previous step has adhered. A method and an apparatus therefor are characterized in that the cleaning agent for vapor phase drying containing the cleaning agent is brought into contact with washing water having a water temperature of O0C to 15°C, preferably 5°C to 10°C.
さらに、本発明の好ましい具体例は、前工程の洗浄剤を
含む気相乾燥用洗浄剤に水温０°Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°ｃ−ｉｏ℃の水洗水を接触させる工程と水洗分
離された気相乾燥用洗剤相を００Ｃ−１５°Ｃ１好まし
くは５°Ｃ〜１０℃に冷却する工程を包含している。Further, a preferred embodiment of the present invention includes a step of contacting the cleaning agent for vapor phase drying including the cleaning agent of the previous step with washing water at a water temperature of 0°C to 15°C, preferably 5°C to io°C, and washing and separation. The method includes the step of cooling the detergent phase for vapor phase drying to 00C-15C1, preferably 5C to 10C.
以下、本発明を図面に従って説明する。The present invention will be explained below with reference to the drawings.
第１図は、本発明の代表的な水洗分離装置の断面図を示
す。FIG. 1 shows a cross-sectional view of a typical water washing separation device of the present invention.
第１図において、気相乾燥装置１０で前工程のアルコー
ル洗浄剤を付着した被洗浄物（例えば、前述のレンズや
液晶表示装置に用いるガラス基板など）を気化させたク
ロロジフルオロメタン、ジクロロジフルオロメタン、１
，１．２−）ジクロロ−１，２，２−トリフルオロエタ
ン、トリクレンなどの気相乾燥用洗浄剤の雰囲気に配置
することによって、被洗浄物の洗浄が行なわれる。この
際、気化した気相乾燥用洗浄剤は、被洗浄物の上で凝集
し、そこで前工程のアルコール洗浄剤を溶解し、ついで
気化される。In FIG. 1, chlorodifluoromethane, dichlorodifluoromethane, and dichlorodifluoromethane are obtained by vaporizing an object to be cleaned (for example, the above-mentioned lens or a glass substrate used for a liquid crystal display device, etc.) to which an alcohol cleaning agent from the previous step is attached in a vapor phase drying device 10. ,1
, 1.2-) Dichloro-1,2,2-trifluoroethane, trichloroethane, or the like, and the object to be cleaned is placed in an atmosphere of a cleaning agent for vapor phase drying. At this time, the vaporized cleaning agent for vapor phase drying aggregates on the object to be cleaned, dissolves the alcohol cleaning agent in the previous step, and is then vaporized.
気化された前工程のアルコール洗浄剤を含有する気相乾
燥用洗剤は、気相乾燥装置ｌＯの内に配置した冷却器（
図示せず）によって凝縮され、この凝縮液は導管１３に
よって水洗分離装置１のＡ槽に送り込まれる。The vapor phase drying detergent containing the vaporized alcohol detergent in the previous step is stored in a cooler (
(not shown), and this condensate is sent to tank A of the water washing and separation device 1 through a conduit 13.
水洗分離装置１のＡ槽とＢ槽は、仕切板１５によって仕
切られており、Ａ槽は導管１３から送られてくる凝縮液
を水洗するためのもので、Ｂ槽は水洗分離された気相乾
燥用洗浄剤６から水分を抽出するだめのものである。The A tank and B tank of the water washing separation device 1 are separated by a partition plate 15, and the A tank is for washing the condensate sent from the conduit 13, and the B tank is for washing the water-separated gas phase. This is for extracting water from the drying detergent 6.
Ａ槽は、冷凍器（図示せず）に連結された冷却管２と水
洗水を噴出しうる透孔４を設けた水洗用シャリ−管３を
配置している。水洗用シャリ−管３は、水洗水が冷却管
２やその近傍に向けて噴出する様に透孔４を配置してお
き、しかも冷却された水洗水が導管１３から送られてく
る凝縮液との接触界面を多くするために微細な例えば０
．５ｍｍ〜２．０ｍｍ好ましくは、０．７ｍｍＮ１．ｏ
ｍｍの直径を有する透孔４を多数設けておくことが有効
である。透孔４から噴出した水洗水は、冷却管２とその
近傍の冷却雰囲気に接して０°Ｃ−１５℃、好ましくは
５°Ｃ〜１０°Ｃまでに冷却される。導管１３から送ら
れてくる凝縮液に１７°Ｃ〜２０℃以上の水洗水を接触
させると凝縮液よりアルコールを完全に抽出することが
できず、気相乾燥用洗浄剤がアルコールを含む水洗水と
ともにオーバーフローされてしまう。Tank A is provided with a cooling pipe 2 connected to a refrigerator (not shown) and a rinsing Shary pipe 3 provided with a through hole 4 through which rinsing water can be spouted. The flushing Shary pipe 3 has through holes 4 arranged so that the flushing water is spouted toward the cooling pipe 2 and its vicinity, and the cooled flushing water is connected to the condensate sent from the conduit 13. In order to increase the number of contact interfaces, for example, 0
．． 5mm to 2.0mm, preferably 0.7mmN1. o
It is effective to provide a large number of through holes 4 having a diameter of mm. The flushing water spouted from the through hole 4 comes into contact with the cooling pipe 2 and the cooling atmosphere in its vicinity and is cooled to 0°C to 15°C, preferably 5°C to 10°C. If the condensate sent from the conduit 13 comes into contact with washing water at a temperature of 17°C to 20°C or higher, alcohol cannot be completely extracted from the condensate, and the cleaning agent for vapor phase drying may not contain alcohol in the washing water. It will overflow.
導管１３から送られてくる凝縮液は、一般に毎分当り５
１〜１０１であり、この時水洗用シャリ−管２から噴出
される水洗水は、毎分Ｉｆ〜５１が適当である。導管１
３から送られて（る凝縮液は、冷却管２とその近傍の冷
却雰囲気によって冷却された水洗水と接触して、アルコ
ール洗浄剤を含む水相５と気相乾燥用洗浄剤相６とに分
離され、この分離された気相乾燥用洗浄剤が水に較べて
比重が大きいので、Ａ槽の下部に溜まることができる。The condensate coming from conduit 13 typically flows at a rate of 5 per minute.
1 to 101, and the washing water spouted from the washing Shary pipe 2 at this time is suitably If to 51 per minute. conduit 1
The condensate sent from 3 contacts the washing water cooled by the cooling pipe 2 and the cooling atmosphere in its vicinity, and becomes an aqueous phase 5 containing an alcohol detergent and a detergent phase 6 for vapor phase drying. Since the separated cleaning agent for vapor phase drying has a higher specific gravity than water, it can accumulate in the lower part of tank A.
水洗分離装置１の底板１６は、水洗分離された気相乾燥
用洗浄剤相６がＢ槽へ速やかに移動する様に、テーパー
を設けておくことが好適である。この際、仕切板６は、
底板１６との間に間隙をもって配置するか、あるいは適
当な透孔を設けておくことが好ましい。アルコール洗浄
剤を含む水相５は、オーバーフロー口１７より排出させ
て、槽内の水位を一定に保つ様にしておくことができる
。The bottom plate 16 of the water washing separation device 1 is preferably provided with a taper so that the washing and separation cleaning agent phase 6 for vapor phase drying quickly moves to the B tank. At this time, the partition plate 6 is
It is preferable to arrange it with a gap between it and the bottom plate 16, or to provide an appropriate through hole. The aqueous phase 5 containing the alcohol cleaning agent can be discharged from the overflow port 17 to keep the water level in the tank constant.
Ｂ槽には、冷凍器（図示せず）に連結された冷却管７が
仕切板１５と底板１６との間の間隙を通して流下されて
溜まった気相乾燥用洗浄相９の中に配置される様になっ
ている。冷却管７は、気相乾燥用洗浄剤相９をＯ’Ｃ−
１５℃、好ましくは５°Ｃ〜１０℃に冷却することがで
きる。冷却された気相乾燥用洗浄剤相９から残留してい
る水洗水が抽出されて、水相８が形成される。In tank B, a cooling pipe 7 connected to a refrigerator (not shown) is placed in the cleaning phase 9 for vapor phase drying that flows down through the gap between the partition plate 15 and the bottom plate 16 and accumulates therein. It looks like this. The cooling pipe 7 cools the cleaning agent phase 9 for vapor phase drying to O'C-
It can be cooled to 15°C, preferably 5°C to 10°C. The remaining wash water is extracted from the cooled vapor drying cleaning agent phase 9 to form an aqueous phase 8.
水洗水およびアルコール洗浄剤を除去した気相乾燥用洗
浄剤は、導管１４を通して気相乾燥装置１゜に送られ、
そこで再び気相乾燥に利用される。導管１４には、バル
ブ１１やフィルター１２を設けてお（ことが一層有効で
ある。The cleaning agent for vapor phase drying from which the washing water and alcohol cleaning agent have been removed is sent to the vapor phase drying device 1° through a conduit 14,
There, it is used again for vapor phase drying. It is more effective to provide the conduit 14 with a valve 11 and a filter 12.
また、仕切板１５は、Ａ槽とＢ槽を仕切る他に、Ａ槽に
配置した水洗用シャリ−管３よりの噴出水洗水によって
生じる乱流のＢ槽への影響を防止することができる。In addition to partitioning the A tank and the B tank, the partition plate 15 can prevent the turbulent flow generated by the flushing water jetted from the flushing Shary pipe 3 disposed in the A tank from affecting the B tank.
本発明によれば、第１に水洗水の量が少なくて済み、第
２に水洗時に流出する気相乾燥用洗浄剤の量を最小限に
することができる。さらに第３に水洗水の混入により生
じる気相乾燥用洗浄剤の沸点上昇を有効に防止すること
ができる。According to the present invention, firstly, the amount of washing water can be reduced, and secondly, the amount of vapor phase drying detergent that flows out during washing can be minimized. Thirdly, it is possible to effectively prevent an increase in the boiling point of the vapor phase drying detergent caused by mixing of washing water.
以下、本発明を実施例に従って説明する。Hereinafter, the present invention will be explained according to examples.
実施例１
第１図に示す水洗分離装置を用いて気相乾燥用洗浄剤を
循環使用した。この際、気相乾燥用洗浄剤としてフレオ
ン２２（米国デュポン社製）を使用した。Example 1 A cleaning agent for vapor phase drying was circulated and used using the water washing and separation apparatus shown in FIG. At this time, Freon 22 (manufactured by DuPont, USA) was used as a cleaning agent for vapor phase drying.
被洗浄物としては、前工程でアルコール洗浄されたレン
ズを用い、上述のフレオン２２によって気相乾燥を施し
、水洗分離装置では毎分２１で水温約２０℃の水洗水を
水洗用シャリ−管３より噴出せしめ、冷却管２および７
にはそれぞれ冷凍器を連結させ、導管１３より送られて
きた凝縮液に水温５°Ｃ〜１０℃までに冷却された水洗
水が接触する様に冷却管２を設定し、さらに気相乾燥用
洗浄剤相９の温度が５°Ｃ〜１０°Ｃとなる様に冷却管
７をセットした。The object to be cleaned is a lens that has been cleaned with alcohol in the previous process, and is subjected to vapor phase drying using the Freon 22 mentioned above.The washing separation device pumps washing water at a temperature of about 20°C at a rate of 21 per minute to the washing Shary pipe 3. Cooling pipes 2 and 7
A cooling pipe 2 is connected to each of the refrigerators, and a cooling pipe 2 is set so that the washing water cooled to a water temperature of 5°C to 10°C comes into contact with the condensate sent from the conduit 13. The cooling pipe 7 was set so that the temperature of the cleaning agent phase 9 was 5°C to 10°C.
この様にして気相乾燥用洗浄剤を循環使用して、気相乾
燥を繰り返し実施した。この時、水洗分離装置ｌからオ
ーバーフローされた水洗水のフレオン２２の含有量を測
定したところ、フレオン２２の存在は全く確認されなか
った。In this way, the cleaning agent for vapor phase drying was used repeatedly, and vapor phase drying was repeatedly carried out. At this time, when the content of Freon 22 in the washing water overflowing from the washing separation device 1 was measured, the presence of Freon 22 was not confirmed at all.
従って、本例においてはフレオン２２の補充は全く必要
としなかった。また、水洗分離装置ｌにより再生された
フレオン２２は、繰り返し気相乾燥に適用しても、気相
乾燥に何ら支障は生じないことが判明した。Therefore, no replenishment of Freon 22 was required in this example. Furthermore, it has been found that even if the Freon 22 regenerated by the water washing separation device 1 is repeatedly applied to vapor phase drying, no problem occurs in vapor phase drying.
実施例２ 前記実施例１で用いた水洗分離装置を使用した。Example 2 The water washing separation device used in Example 1 was used.
但し、Ｂ槽に配置した冷却管７は、冷凍器に連結しなか
った。この水洗分離装置を用いて実施例１と同様の方法
によって気相乾燥および水洗分離を実施した。However, the cooling pipe 7 placed in tank B was not connected to the refrigerator. Using this water washing separation apparatus, vapor phase drying and water washing separation were performed in the same manner as in Example 1.
コノ結果、オーバーフローされた水洗水には全くフレオ
ン２２の存在は確認されなかった。また、再生されたフ
レオン２２は、沸点上昇を生じていたが、気相乾燥装置
におけるフレオン２２の気化装置の温度を若干上昇させ
た他は、実施例１と同様に実施できた。As a result, the presence of Freon 22 was not confirmed at all in the overflow washing water. Furthermore, although the boiling point of the regenerated Freon 22 had increased, the same procedure as in Example 1 was carried out except that the temperature of the Freon 22 vaporization device in the vapor phase drying device was slightly increased.
比較例１ 前記実施例１で用いた水洗分離装置を使用した。Comparative example 1 The water washing separation device used in Example 1 was used.
但し、Ａ槽およびＢ槽に配置した各冷却管２および７は
冷凍器に連結しなかった。この水洗分離装置を用いて実
施例１と同様の方法によって気相乾燥および水洗分離を
実施した。However, the cooling pipes 2 and 7 placed in tanks A and B were not connected to the refrigerator. Using this water washing separation apparatus, vapor phase drying and water washing separation were performed in the same manner as in Example 1.
この結果、オーバーフローされた水洗水には１５重量％
のフレオン２２の存在が確認された。従って、本比較例
では繰り返し使用においてフレオン２２の減少量を逐次
補充する必要があった。また、気相乾燥装置においては
、フレオン２２が気化された後の被洗浄物には、水分の
被膜が形成されていて好ましいものではなかった。As a result, 15% by weight was added to the overflow washing water.
The presence of Freon 22 was confirmed. Therefore, in this comparative example, it was necessary to successively replenish the decreased amount of Freon 22 during repeated use. Further, in the vapor phase drying apparatus, a moisture film was formed on the object to be cleaned after Freon 22 was vaporized, which was not preferable.
実施例３
前記実施例１で使用したフレオン２２に代えてフレオン
１２（米国デュポン社製）を使用した他は、同様の方法
で気相乾燥および水洗分離を繰り返し実施したが、実施
例１と全く同様の結果が得られた。Example 3 Vapor phase drying and water washing separation were repeated in the same manner as in Example 1 except that Freon 12 (manufactured by DuPont, USA) was used in place of Freon 22 used in Example 1, but the results were completely different from those in Example 1. Similar results were obtained.
前記実施例１〜３より明らかな様に、本発明の方法およ
び装置を用いることによって、気相乾燥用洗浄剤の補充
が全く不必要で、好ましくは気相乾燥における熱効率の
低下を有効に防止することができる。As is clear from the above Examples 1 to 3, by using the method and apparatus of the present invention, replenishment of cleaning agent for vapor phase drying is completely unnecessary, and preferably, a decrease in thermal efficiency in vapor phase drying is effectively prevented. can do.
第１図は本発明の水洗分離装置の断面図である。
１・・・・・・水洗分離装置、
２・・・・・・冷却管、
３・・・・・・ 水洗用シャリ−管、
４・・・・・・ 透孔、
５．８・・・・ 水相、
６．９・・・・ 気相乾燥用洗浄剤相、７・・・・・・
冷却管、
１０・・・・・・気相乾燥装置、
１１・φや・・・バルブ、
１２・・・・・・ フィルター、
１３・・・・・・導管、
１４・・・・・・導管、
１５・・・・・・仕切板、
１６・・・・・・底板、
１７・・・・・・オーバーフロー口。FIG. 1 is a sectional view of the water washing separation device of the present invention. 1... Water washing separation device, 2... Cooling pipe, 3... Shary pipe for water washing, 4... Through hole, 5.8...・Aqueous phase, 6.9...Cleaning agent phase for vapor phase drying, 7...
Cooling pipe, 10... Vapor phase drying device, 11 φ and... Valve, 12... Filter, 13... Conduit, 14... Conduit , 15... Partition plate, 16... Bottom plate, 17... Overflow port.
Claims (2)
ることによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気相乾
燥用洗浄剤に水洗水を噴射する水洗用シヤリー管と上記
水洗用シヤリー管から噴出される水洗水を冷却する冷却
装置若しくは管を少なくとも配置したことを特徴とする
水洗分離装置。(1) A rinsing shear pipe that injects rinsing water onto the vapor-phase drying cleaning agent containing the cleaning agent from the previous step, which is produced by vapor-drying the object to be cleaned to which the cleaning agent from the previous step has adhered; 1. A washing separation device comprising at least a cooling device or a pipe for cooling washing water spouted from a Shiry pipe.
ることによって生じた上記前工程の洗浄剤を含む気相乾
燥用洗浄剤に水洗水を噴射する水洗用シヤリー管、上記
水洗用シヤリー管から噴出される水洗水を冷却する冷却
装置若しくは管と水洗分離された気相乾燥用洗浄剤相を
冷却する冷却装置若しくは管を少なくとも配置したこと
を特徴とする水洗分離装置。(2) A rinsing shary pipe that injects rinsing water onto the vapor-phase drying cleaning agent containing the cleaning agent from the previous step, which is produced by vapor-drying the object to be cleaned to which the cleaning agent from the previous step has adhered; 1. A water washing separation device comprising at least a cooling device or pipe for cooling washing water ejected from a Shiry pipe and a cooling device or pipe for cooling a cleaning agent phase for vapor phase drying that has been separated by water washing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13143286A JPS6287203A (en) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | Device for water washing and separating detergent for gaseous phase drying |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13143286A JPS6287203A (en) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | Device for water washing and separating detergent for gaseous phase drying |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16600280A Division JPS5791705A (en) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Method and apparatus for water-washing and separating vapor phase dry cleaning agent |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6287203A true JPS6287203A (en) | 1987-04-21 |
| JPS6241762B2 JPS6241762B2 (en) | 1987-09-04 |
Family
ID=15057821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13143286A Granted JPS6287203A (en) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | Device for water washing and separating detergent for gaseous phase drying |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6287203A (en) |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP13143286A patent/JPS6287203A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6241762B2 (en) | 1987-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0907200A2 (en) | Apparatus and method for improved washing and drying of semiconductor wafers | |
| CN100471543C (en) | Process for removing water and apparatus for removing water | |
| JPH06103686B2 (en) | Surface drying treatment method and device | |
| JPH0213228B2 (en) | ||
| JPS62183804A (en) | Method for replenishing and/or regenerating treatment liquid | |
| JPS6287203A (en) | Device for water washing and separating detergent for gaseous phase drying | |
| JPS6152722B2 (en) | ||
| JP2002210424A (en) | Apparatus for cleaning filter | |
| JPS634638B2 (en) | ||
| JP3275044B2 (en) | Drying processing equipment | |
| JPH06120196A (en) | Method and apparatus for ultrasonically cleaning and drying | |
| JP3009006B2 (en) | Equipment for drying semiconductor substrates | |
| JP3105271B2 (en) | Method and apparatus for rinsing and cleaning an object to be cleaned | |
| KR100431186B1 (en) | Cleaning and drying method for wafer | |
| JPH04122024A (en) | Vapor cleaning method and its device | |
| JPS6362234A (en) | Method and apparatus for removing adhering water on surface of article | |
| KR20000046822A (en) | Method for rinsing semiconductor wafer | |
| JPS6034701A (en) | Continuous regeneration apparatus of liquid detergent | |
| JPS61220777A (en) | Washing apparatus | |
| JPS63226028A (en) | Steam seasoning device | |
| JP2001033168A (en) | Method and system for surface treatment | |
| JPS6232633Y2 (en) | ||
| JPH03242205A (en) | Dewatering and drying device | |
| JPH0210832A (en) | Washing method of semiconductor substrate | |
| JPH03242204A (en) | Dewatering and drying device |