JPS628609A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS628609A JPS628609A JP14809785A JP14809785A JPS628609A JP S628609 A JPS628609 A JP S628609A JP 14809785 A JP14809785 A JP 14809785A JP 14809785 A JP14809785 A JP 14809785A JP S628609 A JPS628609 A JP S628609A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- vibration
- corners
- couplers
- piezoelectric
- Prior art date
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、四辺形振動子の短辺あるいは長辺波がり振
動を利用した圧電振動子に関する。
動を利用した圧電振動子に関する。
四辺形振動子のたとえば短辺拡がり振動を利用した圧電
振動子として第２図および第３図に示すようなものがあ
る。この圧電振動子は、矩形の振動子２、空間を空けて
それを取り囲む枠４および振動子２を短辺Ａの中心線り
上で枠４から支持する２本の細長い結合子６ａ、６ｂを
、板状の例えば鉄ニツケル合金等の恒弾性金属材料で一
体的に形成し、振動子２の一主面に例えば酸化亜鉛等の
圧電薄膜８を例えばスパッタリング等で形成し、更にそ
の上に例えば銀等の電極膜１０を例えばスパッタリング
等で形成して成るものである。尚この例では、電極引出
しのために、一方の結合子６ａとそれに隣接する枠４の
部分の表面にも圧電薄膜８が併せて形成されており、そ
してその上に引出し線１２及び引出し電極１４が併せて
形成されている。そして、引出し電極１４及びそれに対
向する個所の枠４．に、例えば板ばね状のリード端子１
６ａ、１６ｂが上から押圧されて電気的に接続されてい
る。尚第３図の符号１８はケースである。
振動子として第２図および第３図に示すようなものがあ
る。この圧電振動子は、矩形の振動子２、空間を空けて
それを取り囲む枠４および振動子２を短辺Ａの中心線り
上で枠４から支持する２本の細長い結合子６ａ、６ｂを
、板状の例えば鉄ニツケル合金等の恒弾性金属材料で一
体的に形成し、振動子２の一主面に例えば酸化亜鉛等の
圧電薄膜８を例えばスパッタリング等で形成し、更にそ
の上に例えば銀等の電極膜１０を例えばスパッタリング
等で形成して成るものである。尚この例では、電極引出
しのために、一方の結合子６ａとそれに隣接する枠４の
部分の表面にも圧電薄膜８が併せて形成されており、そ
してその上に引出し線１２及び引出し電極１４が併せて
形成されている。そして、引出し電極１４及びそれに対
向する個所の枠４．に、例えば板ばね状のリード端子１
６ａ、１６ｂが上から押圧されて電気的に接続されてい
る。尚第３図の符号１８はケースである。
上述のような圧電振動子は、第２図の矢印で示すような
短辺Ａの長さ方向の短辺拡がり振動を基本振動とするも
のであるけれども、それ以外に、中心′ｋＡＤを軸とし
た屈曲振動、長辺Ｂの長さ方向の長辺波がり振動および
振動子２の四隅がっづみ状に変形する対称ラム波等の不
要振動が発生するという問題がある。
短辺Ａの長さ方向の短辺拡がり振動を基本振動とするも
のであるけれども、それ以外に、中心′ｋＡＤを軸とし
た屈曲振動、長辺Ｂの長さ方向の長辺波がり振動および
振動子２の四隅がっづみ状に変形する対称ラム波等の不
要振動が発生するという問題がある。
また、圧電振動子の製作上の加工精度、特に振動子２の
中心線りに対する対称性（バランス）、換言すれば結合
子６ａ、６ｂの中心線りからのずれによって、圧電振動
子の特性（例えば対スプリアス比、応答性等）が左右さ
れるため、安定した特性を得にくいという問題もある。
中心線りに対する対称性（バランス）、換言すれば結合
子６ａ、６ｂの中心線りからのずれによって、圧電振動
子の特性（例えば対スプリアス比、応答性等）が左右さ
れるため、安定した特性を得にくいという問題もある。
このような問題は、長辺波がり振動を利用した場合や、
正方形振動子を用いた場合など、四辺形の振動子に共通
のことである。
正方形振動子を用いた場合など、四辺形の振動子に共通
のことである。
従ってこの発明は、上述のような不要振動の発生を抑制
することができると共に、特性を安定化させることがで
きる圧電振動子を提供することを目的とする。
することができると共に、特性を安定化させることがで
きる圧電振動子を提供することを目的とする。
この発明の圧電振動子は、結合子を振動°子の四隅から
振動子の一対の対向辺に沿ってそれぞれ延ばして使用振
動の振動方向と交差させていることを特徴とする。
振動子の一対の対向辺に沿ってそれぞれ延ばして使用振
動の振動方向と交差させていることを特徴とする。
結合子は振動子の四隅からその一対の対向辺に沿って延
ばされているため、振動子の拡がり振動には殆ど支障を
来さない、しかも、結合子をそのように設けることによ
って、不要振動が抑制されると共に、特性も安定化する
。
ばされているため、振動子の拡がり振動には殆ど支障を
来さない、しかも、結合子をそのように設けることによ
って、不要振動が抑制されると共に、特性も安定化する
。
第１図は、この発明の一実施例に係る圧電振動子を示す
平面図である。第２図および第３図と同等部分には同一
符号を付してその説明を省略する。
平面図である。第２図および第３図と同等部分には同一
符号を付してその説明を省略する。
この圧電振動子においては、４本の細長い結合子２６ａ
〜２６ｄを振動子２の四隅から当該振動子２の長辺Ｂに
沿ってそれぞれ延ばしており、換言すれば振動子２の四
隅に、図中矢印のような短辺波がり振動の振動方向とほ
ぼ直交するように結合子２６ａ〜２６ｄを配置しており
、これによって振動子２の四隅を枠４に対して支持する
ようにしている。そしてこの例では、電極膜１０と引出
し電極１４とを、結合子２６ａ、２６ｂ上に設けられた
２本の引出し線１２ａ、１２ｂで結合している。尚、前
述したリード端子１６ａ、１６ｂ。
〜２６ｄを振動子２の四隅から当該振動子２の長辺Ｂに
沿ってそれぞれ延ばしており、換言すれば振動子２の四
隅に、図中矢印のような短辺波がり振動の振動方向とほ
ぼ直交するように結合子２６ａ〜２６ｄを配置しており
、これによって振動子２の四隅を枠４に対して支持する
ようにしている。そしてこの例では、電極膜１０と引出
し電極１４とを、結合子２６ａ、２６ｂ上に設けられた
２本の引出し線１２ａ、１２ｂで結合している。尚、前
述したリード端子１６ａ、１６ｂ。
ケース１８は図示を省略しているが、この例においても
そのようなものを用いても良い。
そのようなものを用いても良い。
この圧電振動子においては、結合子２６ａ〜２６ｄは振
動子２の短辺波がり振動の振動方向に対してほぼ直角に
延ばされているため、当該振動には殆ど支障を来さない
。しかも、結合子２６ａ〜２６ｄを上記のように設ける
ことによって、屈曲振動や長辺波がり振動を抑制するこ
とができるだけでなく、従来では不可能であった対称ラ
ム波をも抑制することができる。これは、振動子２の四
隅のつづみ状の拡がりが結合子２６ａ〜２６ｄによって
抑制されるためである。
動子２の短辺波がり振動の振動方向に対してほぼ直角に
延ばされているため、当該振動には殆ど支障を来さない
。しかも、結合子２６ａ〜２６ｄを上記のように設ける
ことによって、屈曲振動や長辺波がり振動を抑制するこ
とができるだけでなく、従来では不可能であった対称ラ
ム波をも抑制することができる。これは、振動子２の四
隅のつづみ状の拡がりが結合子２６ａ〜２６ｄによって
抑制されるためである。
また、この圧電振動子においては、従来と違って振動子
２の中心線り上を支持せずにその四隅を支持しているた
め、加工精度によって振動子２の対称性（バランス）が
崩れるようなことは無く、従って対スプリアス比、応答
性等の特性が安定化する。
２の中心線り上を支持せずにその四隅を支持しているた
め、加工精度によって振動子２の対称性（バランス）が
崩れるようなことは無く、従って対スプリアス比、応答
性等の特性が安定化する。
また、従来は、振動子２を例えばエツチング等で加工す
る際に、振動子２の角Ｃ１〜Ｃ，（第２図参照。尚、左
半分は右半分と同様のため説明省略。
る際に、振動子２の角Ｃ１〜Ｃ，（第２図参照。尚、左
半分は右半分と同様のため説明省略。
）が丸くなり（いわゆるＲが付き）、これが、特に角Ｃ
，ＳＣ４が丸くなることが圧電振動子の共振周波数等の
特性をばらつかせていたけれども、この実施例において
は振動子２の長辺Ｂと結合子２６ａ〜２６ｄの側辺とは
直線的に揃っていて従来の角ＣＩ−，Ｃａに相当する角
が無いため、このことによっても特性が安定化する。
，ＳＣ４が丸くなることが圧電振動子の共振周波数等の
特性をばらつかせていたけれども、この実施例において
は振動子２の長辺Ｂと結合子２６ａ〜２６ｄの側辺とは
直線的に揃っていて従来の角ＣＩ−，Ｃａに相当する角
が無いため、このことによっても特性が安定化する。
また、従来の圧電振動子においては、製造途中等におい
て何かが当たる等して振動子２が中心線りを軸にして捩
じれる危険性があったけれども、この圧電振動子におい
ては振動子２を四隅で支持しているためそのような捩れ
を防止することができる等、機械的強度も大幅に向上す
る。
て何かが当たる等して振動子２が中心線りを軸にして捩
じれる危険性があったけれども、この圧電振動子におい
ては振動子２を四隅で支持しているためそのような捩れ
を防止することができる等、機械的強度も大幅に向上す
る。
更に、上述のように結合子上に引出し線を通して外部と
接続する構造の場合、従来と比べて引出し線の数を倍に
することができ、例えばこの実施例のように片側に２本
の引出し線１２ａ、１２ｂ 辺を用いることができ、
そのようにすれば信錬性も向上する。勿論、結合子２６
ｃ、２６ｄ側にも引出し線や引出し電極を設けることは
可能である。
接続する構造の場合、従来と比べて引出し線の数を倍に
することができ、例えばこの実施例のように片側に２本
の引出し線１２ａ、１２ｂ 辺を用いることができ、
そのようにすれば信錬性も向上する。勿論、結合子２６
ｃ、２６ｄ側にも引出し線や引出し電極を設けることは
可能である。
もっとも、その場合はリード端子１６ｂ（第２図、第３
図参照）の取付けをリード端子１６ａとは上下逆にする
等の必要があるので、製造上は第１図のようなものの方
が好ましい。
図参照）の取付けをリード端子１６ａとは上下逆にする
等の必要があるので、製造上は第１図のようなものの方
が好ましい。
以上のようにこの発明によれば、不要振動が抑制される
と共に特性が安定化する。しかも機械的強度も大幅に向
上する。
と共に特性が安定化する。しかも機械的強度も大幅に向
上する。
第１図は、この発明の一実施例に係る圧電振動子を示す
平面図である。第２図は、従来の圧電振動子を示す平面
図である。第３図は、第２図の線ｍ−ｍに沿う断面図で
ある。
平面図である。第２図は、従来の圧電振動子を示す平面
図である。第３図は、第２図の線ｍ−ｍに沿う断面図で
ある。
Claims (1)
- （１）四辺形の振動子、それを取り囲む枠および振動子
を枠から支持する結合子を板状の恒弾性金属材料で一体
的に形成し、振動子の一主面に圧電薄膜を形成し、更に
その上に電極膜を形成して成る圧電振動子において、前
記結合子を振動子の四隅から振動子の一対の対向辺に沿
ってそれぞれ延ばして使用振動の振動方向と交差させて
いることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14809785A JPS628609A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14809785A JPS628609A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS628609A true JPS628609A (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=15445177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14809785A Pending JPS628609A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS628609A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01308172A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-12 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP14809785A patent/JPS628609A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01308172A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-12 | Honda Electron Co Ltd | 超音波駆動装置 |
| JP2657183B2 (ja) * | 1988-05-31 | 1997-09-24 | 本多電子株式会社 | 超音波駆動装置 |
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