JPS6272056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6272056U JPS6272056U JP16368585U JP16368585U JPS6272056U JP S6272056 U JPS6272056 U JP S6272056U JP 16368585 U JP16368585 U JP 16368585U JP 16368585 U JP16368585 U JP 16368585U JP S6272056 U JPS6272056 U JP S6272056U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- grindstones
- semiconductor wafer
- spacer ring
- arranges
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図である
。 なお、図において、１…程導体ウエハダイシン
グブレード、５…回転軸、２…スペーサリング、
６…固定金具、３…ブレードユニツト、７…半導
体ウエハ、４…フランジ型ナツト、である。
。 なお、図において、１…程導体ウエハダイシン
グブレード、５…回転軸、２…スペーサリング、
６…固定金具、３…ブレードユニツト、７…半導
体ウエハ、４…フランジ型ナツト、である。
Claims (1)
- 複数個の極薄ダイヤモンドブレード砥石と、該
砥石を一定間隔に配置するスペーサリングと、こ
れらを一体化固定するブレードユニツトとから構
成したことを特徴とする半導体ウエハダイシング
ブレード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16368585U JPS6272056U (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16368585U JPS6272056U (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6272056U true JPS6272056U (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=31092115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16368585U Pending JPS6272056U (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6272056U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100069U (ja) * | 1990-02-01 | 1991-10-18 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP16368585U patent/JPS6272056U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100069U (ja) * | 1990-02-01 | 1991-10-18 |