JPS627179A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS627179A JPS627179A JP14445585A JP14445585A JPS627179A JP S627179 A JPS627179 A JP S627179A JP 14445585 A JP14445585 A JP 14445585A JP 14445585 A JP14445585 A JP 14445585A JP S627179 A JPS627179 A JP S627179A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- gas
- laser
- reflecting mirror
- clean gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器に関し、詳しくはレーザ光送出ミ
ラーである部分反射鏡の安定化を図つ九 ：レーザ発
振器に関する。
ラーである部分反射鏡の安定化を図つ九 ：レーザ発
振器に関する。
第２図は従来のレーザ発振器の概念図である。 “
第２図において、（１）ハレーザ発振器本体、（２）は
部分反射鏡、（３）は全反射鏡、（４）は電極、（５）
は熱交換 □器、（６）はレーザ媒質ガス、（７）は
励起領域、 、 （８）は ゛ブロアである。
第２図において、（１）ハレーザ発振器本体、（２）は
部分反射鏡、（３）は全反射鏡、（４）は電極、（５）
は熱交換 □器、（６）はレーザ媒質ガス、（７）は
励起領域、 、 （８）は ゛ブロアである。
例えば、 ＣＯ，、Ｃｏ、 Ｎ、及びＨｅから構成され
るレーザ媒質ガス（６） ｉｊ励起領域（７） Ｋ充満
しているとともに、ブロア（８）によって所定の圧力及
び所定の速度で励起領域（７）内を流動している。図示
しない放電電源は電極（４）にグロー放電ｔ−発生させ
、レーザ媒質ガス（６）を励起する。放電電源の励起に
より、 ゛レーザ媒質ガス（６）中のＣＯ２が反転分
布を生じて放出され次赤外光は、全反射１！ （３）及
び部分反射鏡（２）で反射を繰り返して共振増幅され、
さらに部分反 □射１！ （２）を介してレーザ光と
して出力される。
るレーザ媒質ガス（６） ｉｊ励起領域（７） Ｋ充満
しているとともに、ブロア（８）によって所定の圧力及
び所定の速度で励起領域（７）内を流動している。図示
しない放電電源は電極（４）にグロー放電ｔ−発生させ
、レーザ媒質ガス（６）を励起する。放電電源の励起に
より、 ゛レーザ媒質ガス（６）中のＣＯ２が反転分
布を生じて放出され次赤外光は、全反射１！ （３）及
び部分反射鏡（２）で反射を繰り返して共振増幅され、
さらに部分反 □射１！ （２）を介してレーザ光と
して出力される。
放電電源からレーザ媒質ガス（６）に加えられた励起エ
ネルギーは一部がレーザ光の出力に使用され、他の部分
がレーザ媒質ガス（６）の温度を上昇させる。
ネルギーは一部がレーザ光の出力に使用され、他の部分
がレーザ媒質ガス（６）の温度を上昇させる。
レーザ媒質ガスの温度上昇はレーザ出力の低下を招くの
で、熱交換器（５）によってレーザ媒質ガス（６）を冷
却するようにしている。
で、熱交換器（５）によってレーザ媒質ガス（６）を冷
却するようにしている。
第６図は第２図に示した部分反射鏡（２）近傍の詳細図
である。第３図中、（１）はレーザ発振器本体。
である。第３図中、（１）はレーザ発振器本体。
（２）Ｖ１部分反射鏡、（９）はミラーホルダ、αｑは
ミラー押え、αρ、（２）、ｃ１１ｉｊＯＩＪング、α
４． Ｑ５はボルト。
ミラー押え、αρ、（２）、ｃ１１ｉｊＯＩＪング、α
４． Ｑ５はボルト。
α→は冷却水のホース、αηはニップル、（ト）は冷却
水循環路である。
水循環路である。
ところで、部分反射！！（２）はレーザ光の送出側が外
気に接しているので、外気中に浮遊しているホコリが付
着し易い。部分反射＊ （２）は冷却水循環路ｃｌＱに
循環している冷却水によって冷却されるようになってい
るか、埃が付着するとレーザ光の吸収率が高くなり１発
熱して、変形してしまう問題があった。
気に接しているので、外気中に浮遊しているホコリが付
着し易い。部分反射＊ （２）は冷却水循環路ｃｌＱに
循環している冷却水によって冷却されるようになってい
るか、埃が付着するとレーザ光の吸収率が高くなり１発
熱して、変形してしまう問題があった。
又、部分反射ｆｉ （２）が発熱すると部分反射ａ（２
）に付着した埃が焼き付けられ１部分反射鏡（２）を介
して送出されるレーザ光のビームが絞られてしまう。
）に付着した埃が焼き付けられ１部分反射鏡（２）を介
して送出されるレーザ光のビームが絞られてしまう。
いわゆる熱レンズ効果が生じるという問題があった。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
部分反射鏡に埃が付着しないレーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。
部分反射鏡に埃が付着しないレーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。
そこで本発明では、対向配置された全反射鏡と部分反射
鏡とに挾まれた励起領域にレーザ媒質ガスを導入し、励
起領域のレーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさ
せ、部分反射鏡からレーザ光を送出させるレーザ発振器
に、クリーンガスを送出するコンプレッサと、このクリ
ーンガスを部分反射鏡のレーザ光の送出側に吹き付ける
ノズルとを備える。
鏡とに挾まれた励起領域にレーザ媒質ガスを導入し、励
起領域のレーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさ
せ、部分反射鏡からレーザ光を送出させるレーザ発振器
に、クリーンガスを送出するコンプレッサと、このクリ
ーンガスを部分反射鏡のレーザ光の送出側に吹き付ける
ノズルとを備える。
上記構成のレーザ発振器は、励起領域に導入嘔れたレー
ザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさせ、部分反射
鏡からレーザ光を送出する。このとき、ノズルがコンプ
レッサから送出されるクリ−７ガスを部分反射鏡に吹き
付け、部分反射鏡に埃が付着するのを防ぐ。
ザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさせ、部分反射
鏡からレーザ光を送出する。このとき、ノズルがコンプ
レッサから送出されるクリ−７ガスを部分反射鏡に吹き
付け、部分反射鏡に埃が付着するのを防ぐ。
以下５本発明の一実施例を添付図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明に係るレーザ発振器の主要部分の詳細図
である。なお、第１図において第３図と同様の機能を果
たす部分については同一の符号を付し、その説明は省略
する。−は水分及び油分を除去したり１ノーンガスを送
出するコンプレッサ。
である。なお、第１図において第３図と同様の機能を果
たす部分については同一の符号を付し、その説明は省略
する。−は水分及び油分を除去したり１ノーンガスを送
出するコンプレッサ。
（２）はガスホース、勾はミラー押え、（ハ）はニップ
ル。
ル。
（６）はクリーンガスチャンバ、翰はクリーンガスを部
分反射鏡に吹き付けるノズルである。なお、クリーンガ
スとしては例えばドライエア又は窒素ガスなどを用いる
。又、ノズル（イ）は部分反射鏡（２）のまわりに複数
設けられている。
分反射鏡に吹き付けるノズルである。なお、クリーンガ
スとしては例えばドライエア又は窒素ガスなどを用いる
。又、ノズル（イ）は部分反射鏡（２）のまわりに複数
設けられている。
次に、本発明に係るレーザ発振器の全体の動作について
説明する。本発明に係るレーザ発振器は全体の構成とし
ては第２図に示した従来のレーザ発振器の概念図に示し
文ものと同じである。励起領域（））内のレーザ媒質ガ
ス（６）が放電電源によって励起され、反転分布を生じ
、部分反射鏡（２）を介してレーザ光として送出される
。このとき、レーザ媒質ガス（６）及び部分反射鏡（２
）などは冷却水循環路（転）を循環する冷却水によって
冷却される。又１部分反射鏡（２）に付着した埃はコン
プレッサ翰からガスホース（２）、クリーンガスチャン
バα場及びノズル員を介して送出されるクリーンガスに
よって吹き飛ばされることになる。さらに１部分反射鏡
（２）はクリーンガスの吹き付けにより冷却される。
説明する。本発明に係るレーザ発振器は全体の構成とし
ては第２図に示した従来のレーザ発振器の概念図に示し
文ものと同じである。励起領域（））内のレーザ媒質ガ
ス（６）が放電電源によって励起され、反転分布を生じ
、部分反射鏡（２）を介してレーザ光として送出される
。このとき、レーザ媒質ガス（６）及び部分反射鏡（２
）などは冷却水循環路（転）を循環する冷却水によって
冷却される。又１部分反射鏡（２）に付着した埃はコン
プレッサ翰からガスホース（２）、クリーンガスチャン
バα場及びノズル員を介して送出されるクリーンガスに
よって吹き飛ばされることになる。さらに１部分反射鏡
（２）はクリーンガスの吹き付けにより冷却される。
以上説明したように本発明によれば、コンプレッサから
送出され几クリーンガスなノズルによって部分反射鏡に
吹き付けるようにしたので、部分反射鏡に埃が付着する
のを防ぐことができる。
送出され几クリーンガスなノズルによって部分反射鏡に
吹き付けるようにしたので、部分反射鏡に埃が付着する
のを防ぐことができる。
又、部分反射鏡にクリーンガスな吹き付けることにより
、部分反射鏡を冷却することができる。
、部分反射鏡を冷却することができる。
第１図は本発明になるレーザ発振器の主要部分の詳細図
、第２図は従来のレーザ発振器の概念図、第３図は第２
図に示した部分反射鏡近傍の詳細図である。 図中、１はレーザ発振器本体、２け部分反射鏡、９はミ
ラーホルダ、１０．２３はミラー押え、１１．１２．１
３は０リング、１４．１５Ｖｉボルト、１６は冷却水循
環路、１７．２１はニップル、１８は水ホース、１９は
クリーンガスチャンバ、２０はノズル、２２はガスホー
ス、２３けコンプレッサである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図
、第２図は従来のレーザ発振器の概念図、第３図は第２
図に示した部分反射鏡近傍の詳細図である。 図中、１はレーザ発振器本体、２け部分反射鏡、９はミ
ラーホルダ、１０．２３はミラー押え、１１．１２．１
３は０リング、１４．１５Ｖｉボルト、１６は冷却水循
環路、１７．２１はニップル、１８は水ホース、１９は
クリーンガスチャンバ、２０はノズル、２２はガスホー
ス、２３けコンプレッサである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図
Claims (3)
- （１）対向配置された全反射鏡と部分反射鏡とに挾まれ
た励起領域にレーザ媒質ガスを導入し、該励起領域のレ
ーザ媒質ガスを励起してレーザ発振を生じさせ、前記部
分反射鏡からレーザ光を送出させるレーザ発振器におい
て、クリーンガスを送出するコンプレッサと、前記部分
反射鏡の送出側に設けられ、前記クリーンガスを該部分
反射鏡に吹き付けるノズルとを備えたことを特徴とする
レーザ発振器。 - （２）クリーンガスは、水分及び油分を除去したドライ
エアである特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。 - （３）クリーンガスは、窒素ガスである特許請求の範囲
第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445585A JPS627179A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14445585A JPS627179A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627179A true JPS627179A (ja) | 1987-01-14 |
Family
ID=15362646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14445585A Pending JPS627179A (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS627179A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115179A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ装置 |
| JPH06291390A (ja) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | ガスレーザ装置 |
| CN108226042A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 天津同阳科技发展有限公司 | 反射镜净化装置及其方法 |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP14445585A patent/JPS627179A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115179A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ装置 |
| JPH06291390A (ja) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | ガスレーザ装置 |
| CN108226042A (zh) * | 2018-02-13 | 2018-06-29 | 天津同阳科技发展有限公司 | 反射镜净化装置及其方法 |
| CN108226042B (zh) * | 2018-02-13 | 2023-11-10 | 天津同阳科技发展有限公司 | 反射镜净化装置及其方法 |
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