JPH0744034Y2 - 高周波励起ガスレーザ装置 - Google Patents
高周波励起ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0744034Y2 JPH0744034Y2 JP1988126307U JP12630788U JPH0744034Y2 JP H0744034 Y2 JPH0744034 Y2 JP H0744034Y2 JP 1988126307 U JP1988126307 U JP 1988126307U JP 12630788 U JP12630788 U JP 12630788U JP H0744034 Y2 JPH0744034 Y2 JP H0744034Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat exchanger
- wind tunnel
- laser device
- laser
- high frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［考案の目的］ （産業上の利用分野） 本考案は高周波励起方式のガスレーザ装置に関する。
（従来の技術） この種のガスレーザ装置の従来例を第２図に示す。ガス
レーザ装置の放電部１は、相対する誘電体よりなる誘電
体電極2a,2bと、その外側に設けられた一対の金属電極3
a,3bと、放電電力を供給するため、それら電極に接続さ
れた高周波電源４と、光共振器を構成する出力鏡５と、
後部鏡６とから構成される。この放電部１にレーザ発振
に必要なレーザ媒質ガス７を循環供給するため、風洞８
が設けられる。風洞８内部に封入されたレーザ媒質ガス
７は、温度上昇を防止するため、熱交換器９で熱交換さ
れたのち、ファン10により放電部１に供給される。これ
により、放電部１では、高周波電源４より供給された高
周波電圧が電極間に印加され、出力鏡５と後部鏡６で構
成される光共振器内でレーザ発振が起り、レーザ光線Ｌ
が出力される。
レーザ装置の放電部１は、相対する誘電体よりなる誘電
体電極2a,2bと、その外側に設けられた一対の金属電極3
a,3bと、放電電力を供給するため、それら電極に接続さ
れた高周波電源４と、光共振器を構成する出力鏡５と、
後部鏡６とから構成される。この放電部１にレーザ発振
に必要なレーザ媒質ガス７を循環供給するため、風洞８
が設けられる。風洞８内部に封入されたレーザ媒質ガス
７は、温度上昇を防止するため、熱交換器９で熱交換さ
れたのち、ファン10により放電部１に供給される。これ
により、放電部１では、高周波電源４より供給された高
周波電圧が電極間に印加され、出力鏡５と後部鏡６で構
成される光共振器内でレーザ発振が起り、レーザ光線Ｌ
が出力される。
（考案が解決しようとする課題） 一般に、共振器の性能は出力鏡５と後部鏡６の向き合い
精度に依存し、共振器からレーザ光線Ｌを安定して出力
させるには、出力鏡５と後部鏡６の各中心軸を常に直交
するように配置する必要があり、その精度は数10μrad
程度が要求される。
精度に依存し、共振器からレーザ光線Ｌを安定して出力
させるには、出力鏡５と後部鏡６の各中心軸を常に直交
するように配置する必要があり、その精度は数10μrad
程度が要求される。
一方、その共振器は、放電部１を、レーザ媒質ガス７の
流れ方向に対して、直角な方向にはさむように位置され
るが、その共振器の支持は、風洞８に依存している。
流れ方向に対して、直角な方向にはさむように位置され
るが、その共振器の支持は、風洞８に依存している。
上記従来装置においては、放電部１の出口から入口に至
るレーザ媒質ガス７の循環経路のほぼ中間位置にファン
10を配置すると共に、そのファン10直前に全面を覆うよ
うに熱交換器９を設置している。このため、放電部１を
出る温度上昇したレーザ媒質ガス７が熱交換器９に入る
までの間、風洞８を温度上昇させる。一方、熱交換器９
の出口から放電部１の入口までの間レーザ媒質ガス７は
低温状態にあるため、風洞８も比較的低温に保たれる。
この結果、風洞８は熱交換器９を境として高温状態と低
温状態に２分され、熱変形が生じて共振器を構成する出
力鏡５と後部鏡６の直交性が保たれなくなる問題があっ
た。
るレーザ媒質ガス７の循環経路のほぼ中間位置にファン
10を配置すると共に、そのファン10直前に全面を覆うよ
うに熱交換器９を設置している。このため、放電部１を
出る温度上昇したレーザ媒質ガス７が熱交換器９に入る
までの間、風洞８を温度上昇させる。一方、熱交換器９
の出口から放電部１の入口までの間レーザ媒質ガス７は
低温状態にあるため、風洞８も比較的低温に保たれる。
この結果、風洞８は熱交換器９を境として高温状態と低
温状態に２分され、熱変形が生じて共振器を構成する出
力鏡５と後部鏡６の直交性が保たれなくなる問題があっ
た。
そこで本考案は、レーザ媒質ガスの温度上昇による風洞
の熱変形を防止し、共振器の出力鏡と後部鏡６の直交性
を精度良く保って、安定したレーザ光線を発生できる高
周波励起ガスレーザ装置を提供することを目的とする。
の熱変形を防止し、共振器の出力鏡と後部鏡６の直交性
を精度良く保って、安定したレーザ光線を発生できる高
周波励起ガスレーザ装置を提供することを目的とする。
［考案の構成］ （課題を解決するための手段） このため本考案は、熱交換器と放電部をそれぞれ１個で
構成して熱交換器を放電部の出口部にその全域をおおう
形で配置するようにしたものである。
構成して熱交換器を放電部の出口部にその全域をおおう
形で配置するようにしたものである。
（作用） 熱交換器11を放電部１出口部にその全域をおおう形で配
置することによって、放電部１を出る温度上昇したレー
ザ媒質ガスが風洞８に接触する機会が無くなる。従っ
て、従来のように風洞８を２分して温度差を生じるよう
な個所が無くなり、風洞８の熱変形が防止される。これ
により、共振器の出力鏡５と後部鏡６の直交性は常に精
度良く保たれて、常に安定したレーザ光線を出力できる
ようになる。
置することによって、放電部１を出る温度上昇したレー
ザ媒質ガスが風洞８に接触する機会が無くなる。従っ
て、従来のように風洞８を２分して温度差を生じるよう
な個所が無くなり、風洞８の熱変形が防止される。これ
により、共振器の出力鏡５と後部鏡６の直交性は常に精
度良く保たれて、常に安定したレーザ光線を出力できる
ようになる。
（実施例） 第１図は本考案の一実施例による高周波励起ガスレーザ
装置の構成図を示したものである。図中、第２図と同一
符号は同一又は相当部分を示し、第１図の構成と異なる
点は熱交換器11と放電部１をそれぞれ１個で構成して熱
交換器11を放電部１の出口部にその全域をおおう形で熱
交換器11を配置している点である。
装置の構成図を示したものである。図中、第２図と同一
符号は同一又は相当部分を示し、第１図の構成と異なる
点は熱交換器11と放電部１をそれぞれ１個で構成して熱
交換器11を放電部１の出口部にその全域をおおう形で熱
交換器11を配置している点である。
この構成で、放電部１を通過後、温度上昇したレーザ媒
質ガス７は、放電部１出口部に配置された熱交換器11に
よって冷却され、更にファン10を通過して再び放電部１
に供給される動作を繰り返し、風洞８内部を循環する。
このとき、熱交換器11は、放電部出口全域をおおう形で
配置されるため、加熱されたレーザ媒質ガス７は、全て
冷却され、冷却されたレーザ媒質ガスだけが、風洞８に
接触することになる。このように、放電部１を通過する
ことによって温度上昇したレーザ媒質ガス７は、その出
口に設置された熱交換器11によって直ちに冷却されるた
め、加熱したレーザ媒質ガス７が風洞８に接触すること
が一切無くなる。これにより、従来装置に見られるよう
な熱交換器を挟んで両側の風洞８に大きな温度差が生じ
る不具合が無くなる。この結果、風洞８は使用中に熱変
形を起こす不具合も無くなり、その風洞８によって共振
器も安定に保持され、出力鏡5,後部鏡６の直交性も良好
に保たれる。
質ガス７は、放電部１出口部に配置された熱交換器11に
よって冷却され、更にファン10を通過して再び放電部１
に供給される動作を繰り返し、風洞８内部を循環する。
このとき、熱交換器11は、放電部出口全域をおおう形で
配置されるため、加熱されたレーザ媒質ガス７は、全て
冷却され、冷却されたレーザ媒質ガスだけが、風洞８に
接触することになる。このように、放電部１を通過する
ことによって温度上昇したレーザ媒質ガス７は、その出
口に設置された熱交換器11によって直ちに冷却されるた
め、加熱したレーザ媒質ガス７が風洞８に接触すること
が一切無くなる。これにより、従来装置に見られるよう
な熱交換器を挟んで両側の風洞８に大きな温度差が生じ
る不具合が無くなる。この結果、風洞８は使用中に熱変
形を起こす不具合も無くなり、その風洞８によって共振
器も安定に保持され、出力鏡5,後部鏡６の直交性も良好
に保たれる。
［考案の効果］ 以上に説明したように本考案によれば、熱交換器と放電
部をそれぞれ１個で構成して熱交換器を放電部の出口部
にその全域をおおう形で配置するようにしたので、放電
部の通過により温度上昇したレーザ媒質ガスは風洞に接
触することなく冷却されて、風洞内を循環する。これに
より、従来のような熱交換器を挟んで生じる温度差等に
よる風洞の変形が防止される。この結果、風洞に支持さ
れる光共振器の安定性が図られ、常に安定したレーザ光
線を発生することができるようになる。
部をそれぞれ１個で構成して熱交換器を放電部の出口部
にその全域をおおう形で配置するようにしたので、放電
部の通過により温度上昇したレーザ媒質ガスは風洞に接
触することなく冷却されて、風洞内を循環する。これに
より、従来のような熱交換器を挟んで生じる温度差等に
よる風洞の変形が防止される。この結果、風洞に支持さ
れる光共振器の安定性が図られ、常に安定したレーザ光
線を発生することができるようになる。
第１図は、本考案の一実施例を示す高周波励起ガスレー
ザ装置の模式図、第２図は、従来の高周波励起ガスレー
ザ装置の模式図である。 １……放電部、５……出力鏡、６……後部鏡、７……レ
ーザ媒質ガス、８……風洞、11……熱交換器。
ザ装置の模式図、第２図は、従来の高周波励起ガスレー
ザ装置の模式図である。 １……放電部、５……出力鏡、６……後部鏡、７……レ
ーザ媒質ガス、８……風洞、11……熱交換器。
Claims (1)
- 【請求項１】風洞内に封入されたレーザ媒質ガスを高周
波電源の印加される放電部に熱交換器を介して循環供給
し、前記放電部に設けられ前記風洞に支持される光共振
器内でレーザ発振を起こさせ、レーザ光線を放出させる
高周波励起ガスレーザ装置において、前記熱交換器と放
電部をそれぞれ１個で構成して前記熱交換器を前記放電
部の出口部にその全域をおおう形で配置したことを特徴
とする高周波励起ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988126307U JPH0744034Y2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | 高周波励起ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988126307U JPH0744034Y2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | 高周波励起ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249150U JPH0249150U (ja) | 1990-04-05 |
| JPH0744034Y2 true JPH0744034Y2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=31377716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988126307U Expired - Lifetime JPH0744034Y2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | 高周波励起ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744034Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59124784A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-18 | Fujitsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS59182957U (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-06 | 株式会社 アマダ | 気体レ−ザ−発振装置 |
| JPS63269589A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器 |
-
1988
- 1988-09-29 JP JP1988126307U patent/JPH0744034Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0249150U (ja) | 1990-04-05 |
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