JPS6256660A - リニアガイド装置用軌道レ−ルのボ−ル転動溝加工方法 - Google Patents
リニアガイド装置用軌道レ−ルのボ−ル転動溝加工方法Info
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- JPS6256660A JPS6256660A JP19385985A JP19385985A JPS6256660A JP S6256660 A JPS6256660 A JP S6256660A JP 19385985 A JP19385985 A JP 19385985A JP 19385985 A JP19385985 A JP 19385985A JP S6256660 A JPS6256660 A JP S6256660A
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- rotation groove
- slit
- ball rolling
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/0642—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with four rows of balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/58—Raceways; Race rings
- F16C33/64—Special methods of manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ボール転動溝を複数条軸方向に形成した軌道
レールに、転動体であるボールを介して、摺動体を摺動
自在に支承させたリニアガイド装置に関し、特に摺動体
に大きな移動ストロークを得るため複数本の軌道レール
を接続するに際し、接続の容易化を図った軌道レールに
関するものである。
レールに、転動体であるボールを介して、摺動体を摺動
自在に支承させたリニアガイド装置に関し、特に摺動体
に大きな移動ストロークを得るため複数本の軌道レール
を接続するに際し、接続の容易化を図った軌道レールに
関するものである。
リニアガイド装置の軌道レールの長さは、主として加工
上の制約により、通常大形のリニアガイド装置の場合最
大３ｍ程度となっている。しかし、一般に小形のリニア
ガイド装置では、軌道レールの最大長さは、強度的ｉ問
題もありかなり短いものとなっている。
上の制約により、通常大形のリニアガイド装置の場合最
大３ｍ程度となっている。しかし、一般に小形のリニア
ガイド装置では、軌道レールの最大長さは、強度的ｉ問
題もありかなり短いものとなっている。
このため、比較的小形のリニアガイド装置では、標準の
リニアガイド装置として入手できる一本の軌道レールの
長さよりも大きな摺動体の移動ストロークを必要とする
場合には、複数本の軌道レールを用いて、各軌道レール
を軸方向に並べて取り付け、摺動体が太きｉストローク
を摺動できるようにしていた。
リニアガイド装置として入手できる一本の軌道レールの
長さよりも大きな摺動体の移動ストロークを必要とする
場合には、複数本の軌道レールを用いて、各軌道レール
を軸方向に並べて取り付け、摺動体が太きｉストローク
を摺動できるようにしていた。
この場合、軌道レールの接続部では、双方の軌道レール
のボール転動溝が軌道レールの幅方向にずれ、喰違いが
生ずることがある。
のボール転動溝が軌道レールの幅方向にずれ、喰違いが
生ずることがある。
このような喰違いが生ずると摺動体が接続部を通過する
時作動不良が生じ、又ボールが損傷してリニアガイド装
置の寿命が短くなるという問題がある。そのため、従来
はハンドグラインダを用いて手作業によりボール転動溝
の端部に面取９を形成することが行なわれていた。
時作動不良が生じ、又ボールが損傷してリニアガイド装
置の寿命が短くなるという問題がある。そのため、従来
はハンドグラインダを用いて手作業によりボール転動溝
の端部に面取９を形成することが行なわれていた。
しかし、手作業によってボール転動溝の端部に面取９を
形成したのでは、加工工数が多くなるとともに、滑らか
な傾斜部を形成することが困難であるため、摺動体が軌
道レールの接続部を通過する時生ずる前記問題を完全に
除去することは困難であった。
形成したのでは、加工工数が多くなるとともに、滑らか
な傾斜部を形成することが困難であるため、摺動体が軌
道レールの接続部を通過する時生ずる前記問題を完全に
除去することは困難であった。
本発明は、上述した従来技術における問題点を良好に解
決できる軌道レールのボ・−ル転動溝加工方法と提供す
ることを目的としてなされたものであり、そのために、
軌道レールの端部に上下方向に貫通しかつ軸方向に延び
るスリットを入れ、このスリットにくさび部材を圧入す
ることにより、前記スリットにより分けられた軌道レー
ルの端部を軌道レールの幅方向外方に弾性変形させて拡
開し、この状態でボール転動溝を軌道レールの軸方向に
真直な直線状の溝として加工し、その後くさび部材をス
リットから除去し軌道レールの端部の弾性変形を除去す
゛ることにより、軌道レールの端部のボール転動溝をな
だらかに傾斜したボール転動溝に形成するようにしたの
である。
決できる軌道レールのボ・−ル転動溝加工方法と提供す
ることを目的としてなされたものであり、そのために、
軌道レールの端部に上下方向に貫通しかつ軸方向に延び
るスリットを入れ、このスリットにくさび部材を圧入す
ることにより、前記スリットにより分けられた軌道レー
ルの端部を軌道レールの幅方向外方に弾性変形させて拡
開し、この状態でボール転動溝を軌道レールの軸方向に
真直な直線状の溝として加工し、その後くさび部材をス
リットから除去し軌道レールの端部の弾性変形を除去す
゛ることにより、軌道レールの端部のボール転動溝をな
だらかに傾斜したボール転動溝に形成するようにしたの
である。
上記加工方法によりボール転動溝の端部に傾斜したボー
ル転動溝を形成したので、ボール転動溝は全体にわたっ
てなめらかに連続した形状となる。また、軌道レールの
端部にはボール転動溝の加工後もスリットが存在してい
るので、この端部は幅方向の剛性が弱く弾性変形可能で
あり、この弾性変形によって軌道レール相互間の幅方向
の喰違いを吸収することもできることとなる。
ル転動溝を形成したので、ボール転動溝は全体にわたっ
てなめらかに連続した形状となる。また、軌道レールの
端部にはボール転動溝の加工後もスリットが存在してい
るので、この端部は幅方向の剛性が弱く弾性変形可能で
あり、この弾性変形によって軌道レール相互間の幅方向
の喰違いを吸収することもできることとなる。
以下、本発明の実施例を図面をもとに説明する。
第１図及び第２図に示すように、矩形状断面の長尺のレ
ール３０の両側面３２には各々上下二段に半円形断面を
有するボール転動溝３４が軸方向に形成され、幅方向中
央部にはレールを高さ方向に貫通する円形の貫通穴３６
があけられている。
ール３０の両側面３２には各々上下二段に半円形断面を
有するボール転動溝３４が軸方向に形成され、幅方向中
央部にはレールを高さ方向に貫通する円形の貫通穴３６
があけられている。
このレール端部の幅方向中央部には、貫通穴３６を切欠
く上下方向に貫通したスリット３８が形成され、スリッ
ト３８の高さ方向中央部には、軸方向のテーパねじ穴３
９が設けられている。テーパねじ穴３９にテーパねじ４
０を螺合させると、テーパねじ４０を押し込むにつれて
、スリット３８の両側部分４２が幅方向に弾性変形して
レール３ｏの端部は拡開される。この時、両側部分４２
の拡開量（弾性変形量）は、スリット３８に螺合するテ
ーパねじ４ｏの螺合量を調整することＫより、所定の拡
開量とすることができる。
く上下方向に貫通したスリット３８が形成され、スリッ
ト３８の高さ方向中央部には、軸方向のテーパねじ穴３
９が設けられている。テーパねじ穴３９にテーパねじ４
０を螺合させると、テーパねじ４０を押し込むにつれて
、スリット３８の両側部分４２が幅方向に弾性変形して
レール３ｏの端部は拡開される。この時、両側部分４２
の拡開量（弾性変形量）は、スリット３８に螺合するテ
ーパねじ４ｏの螺合量を調整することＫより、所定の拡
開量とすることができる。
レールの端部をテ・−バねじ４ｏにより拡開させた状態
で第２図に示すように、砥石Ｇをボール転動溝３４に沿
ってその長手方向に移動させて従来と同様な直線溝仕上
加工すると、レール３０の端部のボール転動溝３４の溝
底はレール３０の端部の拡開されている量だけ余分に削
り取られる。そこで、第３図に示すようにテーパねじ４
ｏをテーパねじ穴３９から抜き取れば、両側部分４２は
弾性によって戻り幅方向内方（互いに近づく方向）に復
帰するので、ボール転動溝３４の端部は所定の長さ及び
角度でなだらかに傾斜したテーパ部４６となる。このテ
ーパ部４６は仕上げ加工工程で逃げ加工するため精度が
よく、スリット３８の幅、テーパねじ４ｏの外径及び押
込量等を変更することにより、所望の形状に加工するこ
とができる。
で第２図に示すように、砥石Ｇをボール転動溝３４に沿
ってその長手方向に移動させて従来と同様な直線溝仕上
加工すると、レール３０の端部のボール転動溝３４の溝
底はレール３０の端部の拡開されている量だけ余分に削
り取られる。そこで、第３図に示すようにテーパねじ４
ｏをテーパねじ穴３９から抜き取れば、両側部分４２は
弾性によって戻り幅方向内方（互いに近づく方向）に復
帰するので、ボール転動溝３４の端部は所定の長さ及び
角度でなだらかに傾斜したテーパ部４６となる。このテ
ーパ部４６は仕上げ加工工程で逃げ加工するため精度が
よく、スリット３８の幅、テーパねじ４ｏの外径及び押
込量等を変更することにより、所望の形状に加工するこ
とができる。
このようにして各々の端部が加工された二本のレール３
０を第４図に示すように双方のボール転動溝３４が一直
線となるような状態で基台等に固定し、第５図に示すよ
うにレール３０上に鞍形状の摺動体５０を多数のボール
６２を介して被せる。
０を第４図に示すように双方のボール転動溝３４が一直
線となるような状態で基台等に固定し、第５図に示すよ
うにレール３０上に鞍形状の摺動体５０を多数のボール
６２を介して被せる。
摺動体本体５２の両側の細部５６の内側面にはレール３
０のボール転動溝３４と対向させて上下二条に断面半円
形のボール転動溝５８が形成されており、また細部５６
にはボール戻り穴６０がこの部分を長手方向に貫通して
上下二段にあけられている。本体５２の両端面には、ボ
ール転動溝３４と５８により形成されるボール通路とボ
ール戻り穴６０とを連絡する半円弧状のボール循環溝を
備えた合成樹脂製の一対のエンドキャップ５４が固定さ
れている。
０のボール転動溝３４と対向させて上下二条に断面半円
形のボール転動溝５８が形成されており、また細部５６
にはボール戻り穴６０がこの部分を長手方向に貫通して
上下二段にあけられている。本体５２の両端面には、ボ
ール転動溝３４と５８により形成されるボール通路とボ
ール戻り穴６０とを連絡する半円弧状のボール循環溝を
備えた合成樹脂製の一対のエンドキャップ５４が固定さ
れている。
摺動体５０がレール３０上を摺動すると、ボール６２は
ボール転動溝３４及び５日の間をボール転動溝５８に沿
って一方向に移動し、一方のエンドキャップ５４のボー
ル循環溝内を移動してボール戻り穴６０に至り、このボ
ール戻り穴６０内を上記方向とは反対方向に移動し、他
方のエンドキャップ５４のボール循環溝内を移動してボ
ール転動溝３４及び５８の間に戻る。
ボール転動溝３４及び５日の間をボール転動溝５８に沿
って一方向に移動し、一方のエンドキャップ５４のボー
ル循環溝内を移動してボール戻り穴６０に至り、このボ
ール戻り穴６０内を上記方向とは反対方向に移動し、他
方のエンドキャップ５４のボール循環溝内を移動してボ
ール転動溝３４及び５８の間に戻る。
摺動体５０が一方のレール３０から他方のレール３１へ
、又はこれとは反対方向にレール上を摺動する時にも、
摺動体５０が作動不良となったりボール６２が傷つくこ
とは殆んどない。その理由は、ボール転動溝３４の両端
のテーパ部分４６は所定の角度及び長さを有し連続的で
なだらかな曲線として形成されており、テーパ部分４６
とそれ以外の部分（中間部）とは角部を生ずることなく
滑らかに連続されているから、双方のボール転動溝３４
間にレール幅方向の喰違い又は段差が生ずる可能性が極
めて少ないからである。そして、仮にレール３０の固定
時等に、互いに接続されるべきボール転動溝間に段差が
生じても、第３図から明らかなように、レール３０の端
部にスリット３Ｂが存在するので、両側の部分４２は摺
動体５０の通過時にレール３０の幅方向（第４図中上下
方向）に内方でも外方でも弾性変形可能であり、部分４
２が何れかの方向に弾性変形することにより、上記喰違
いが吸収されるのである。
、又はこれとは反対方向にレール上を摺動する時にも、
摺動体５０が作動不良となったりボール６２が傷つくこ
とは殆んどない。その理由は、ボール転動溝３４の両端
のテーパ部分４６は所定の角度及び長さを有し連続的で
なだらかな曲線として形成されており、テーパ部分４６
とそれ以外の部分（中間部）とは角部を生ずることなく
滑らかに連続されているから、双方のボール転動溝３４
間にレール幅方向の喰違い又は段差が生ずる可能性が極
めて少ないからである。そして、仮にレール３０の固定
時等に、互いに接続されるべきボール転動溝間に段差が
生じても、第３図から明らかなように、レール３０の端
部にスリット３Ｂが存在するので、両側の部分４２は摺
動体５０の通過時にレール３０の幅方向（第４図中上下
方向）に内方でも外方でも弾性変形可能であり、部分４
２が何れかの方向に弾性変形することにより、上記喰違
いが吸収されるのである。
その結果、パレットチェンジャーのようにレールの移動
を伴う装置に用いられても摺動体５０は作動不良を生ず
ることなく二本のレール３０の接続部を滑らかに通過す
ることができ、またボール６２が傷つくこともないから
、リニアガイド装置の寿命が損われることがないのであ
る。
を伴う装置に用いられても摺動体５０は作動不良を生ず
ることなく二本のレール３０の接続部を滑らかに通過す
ることができ、またボール６２が傷つくこともないから
、リニアガイド装置の寿命が損われることがないのであ
る。
なお、レール３０に摺動体５０を取り付ける時、又はレ
ール３０から摺動体５０を取り外す時には、第６図に示
すように、端部が比較的長くしかもゆるやかな角度で面
取りされてテーパ部７２とされた冶具７０をレール３０
の端部と突き合わせて行なえば良い。
ール３０から摺動体５０を取り外す時には、第６図に示
すように、端部が比較的長くしかもゆるやかな角度で面
取りされてテーパ部７２とされた冶具７０をレール３０
の端部と突き合わせて行なえば良い。
なお、本発明は上記実施例に限定し、で解釈されるべき
でないことは言うまでもなく、例えばスリット３８に設
けたテーパねじ４０は、レール３０の高さが高い場合に
は、テーパねじ４０を上下二つ用いることもできる。ま
た、スリット３８に続いて形成したテーパねじ穴３９に
テーパねじ４０を螺合するのではなくスリットに僕を押
し込むようにしても良い。
でないことは言うまでもなく、例えばスリット３８に設
けたテーパねじ４０は、レール３０の高さが高い場合に
は、テーパねじ４０を上下二つ用いることもできる。ま
た、スリット３８に続いて形成したテーパねじ穴３９に
テーパねじ４０を螺合するのではなくスリットに僕を押
し込むようにしても良い。
その他、リニアガイド装置の細部構造については必要に
応じて変更、改良が可能である。
応じて変更、改良が可能である。
以上述べてきたよって、摺動体の移動ストロークを市場
で入手できる規格の軌道用レールの長さよりも長くする
ために二本以上の軌道用レールを接続するに際し、本発
明により加工されたレールを用いれば、ボール転動溝の
端部はなだらかに傾斜しているので、接続部にレールの
幅方向の段差が生ずることが少なく、しかも仮ンここの
ような段差が生じても、レールの端部は摺動体の通過時
にこの段差を吸収するように弾性変形できｂ０従って、
摺動体はし′−ルの接続部を通過する時作動不良を起こ
すことがなく、またボールが傷つくこともないので、リ
ニアガイド装置の寿命が損われることがないのである。
で入手できる規格の軌道用レールの長さよりも長くする
ために二本以上の軌道用レールを接続するに際し、本発
明により加工されたレールを用いれば、ボール転動溝の
端部はなだらかに傾斜しているので、接続部にレールの
幅方向の段差が生ずることが少なく、しかも仮ンここの
ような段差が生じても、レールの端部は摺動体の通過時
にこの段差を吸収するように弾性変形できｂ０従って、
摺動体はし′−ルの接続部を通過する時作動不良を起こ
すことがなく、またボールが傷つくこともないので、リ
ニアガイド装置の寿命が損われることがないのである。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を示し、第１図はリ
ニアガイド装置のレール端部のスリット３８にテーパね
じ４０を螺合した状態を示す斜視図、第２図はボール転
動溝の端部を面取りしている状態を示す断面図、第３図
は面取り後テーパねじを除去した状態を示す断面図であ
る。 第４図は上記方法により面取りされた二本のレールを端
部接続し、その上に摺動体が被せられた状態を示す平面
図、第５図は第４図におけるＶ−Ｖ断面図である。 第６図は摺動体をレールに着脱する際に使用される治具
の説明図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ３０・・・レール ３４・・・ボール転動溝 ３８・・・スリット ４０・・・テーパねし ４２・・・両側部分 ４６・・・テーパ部 第１図 第３図 第６図
ニアガイド装置のレール端部のスリット３８にテーパね
じ４０を螺合した状態を示す斜視図、第２図はボール転
動溝の端部を面取りしている状態を示す断面図、第３図
は面取り後テーパねじを除去した状態を示す断面図であ
る。 第４図は上記方法により面取りされた二本のレールを端
部接続し、その上に摺動体が被せられた状態を示す平面
図、第５図は第４図におけるＶ−Ｖ断面図である。 第６図は摺動体をレールに着脱する際に使用される治具
の説明図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ３０・・・レール ３４・・・ボール転動溝 ３８・・・スリット ４０・・・テーパねし ４２・・・両側部分 ４６・・・テーパ部 第１図 第３図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 リニアガイド装置用軌道レールの端部に、 該端部を上下方向に貫通しかつ該軌道レールの軸方向に
延びるスリットを形成し、該スリットにより分けられた
前記軌道レールの端部に楔部材を圧入し前記軌道レール
の端部を前記軌道レールの幅方向外方に弾性変形させこ
の状態で軌道レールにボール転動溝を形成し、その後前
記軌道レールの端部から前記楔部材を除去することによ
り、前記軌道レールの端部になだらかに傾斜したボール
転動溝を形成することを特徴とするリニアガイド装置用
軌道レールのボール転動溝加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19385985A JPS6256660A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | リニアガイド装置用軌道レ−ルのボ−ル転動溝加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19385985A JPS6256660A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | リニアガイド装置用軌道レ−ルのボ−ル転動溝加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256660A true JPS6256660A (ja) | 1987-03-12 |
| JPH0532610B2 JPH0532610B2 (ja) | 1993-05-17 |
Family
ID=16314939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19385985A Granted JPS6256660A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | リニアガイド装置用軌道レ−ルのボ−ル転動溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256660A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001345365A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ移載装置、及びこれを構成する装置ユニットの接続構造 |
| JP2007205479A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Nippon Thompson Co Ltd | 繋ぎ用軌道レールを備えた直動案内ユニット |
| WO2010125895A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | Thk株式会社 | 軌道部材およびこの軌道部材を用いた運動案内装置 |
| WO2014010507A1 (ja) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Thk株式会社 | 移動ユニット |
| WO2014148135A1 (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Thk株式会社 | 支持案内装置 |
| WO2015107900A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 日本精工株式会社 | 直動案内装置 |
| JP2016166634A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 日本精工株式会社 | 直動案内装置 |
| CN113757256A (zh) * | 2020-06-04 | 2021-12-07 | 加昌国际有限公司 | 滚动承载装置及其加工方法 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP19385985A patent/JPS6256660A/ja active Granted
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001345365A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ移載装置、及びこれを構成する装置ユニットの接続構造 |
| JP2007205479A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Nippon Thompson Co Ltd | 繋ぎ用軌道レールを備えた直動案内ユニット |
| JP4562140B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2010-10-13 | 日本トムソン株式会社 | 繋ぎ用軌道レールを備えた直動案内ユニット |
| WO2010125895A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | Thk株式会社 | 軌道部材およびこの軌道部材を用いた運動案内装置 |
| JP2010261483A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Thk Co Ltd | 軌道部材およびこの軌道部材を用いた運動案内装置 |
| JP4660601B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2011-03-30 | Ｔｈｋ株式会社 | 軌道部材およびこの軌道部材を用いた運動案内装置 |
| US9279539B2 (en) | 2012-07-13 | 2016-03-08 | Thk Co., Ltd. | Movement unit |
| JP2014031885A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-20 | Thk Co Ltd | 移動ユニット |
| WO2014010507A1 (ja) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Thk株式会社 | 移動ユニット |
| WO2014148135A1 (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-25 | Thk株式会社 | 支持案内装置 |
| JP2014181813A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Thk Co Ltd | 支持案内装置 |
| CN105026777A (zh) * | 2013-03-21 | 2015-11-04 | Thk株式会社 | 支撑引导装置 |
| US9568045B2 (en) | 2013-03-21 | 2017-02-14 | Thk Co., Ltd. | Support and guide device |
| WO2015107900A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | 日本精工株式会社 | 直動案内装置 |
| JPWO2015107900A1 (ja) * | 2014-01-17 | 2017-03-23 | 日本精工株式会社 | 直動案内装置 |
| EP3096029A4 (en) * | 2014-01-17 | 2017-04-19 | NSK Ltd. | Linear motion guiding device |
| JP2016166634A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 日本精工株式会社 | 直動案内装置 |
| CN113757256A (zh) * | 2020-06-04 | 2021-12-07 | 加昌国际有限公司 | 滚动承载装置及其加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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