JPS6237515A - 軸受構造 - Google Patents

軸受構造

Info

Publication number
JPS6237515A
JPS6237515A JP61179773A JP17977386A JPS6237515A JP S6237515 A JPS6237515 A JP S6237515A JP 61179773 A JP61179773 A JP 61179773A JP 17977386 A JP17977386 A JP 17977386A JP S6237515 A JPS6237515 A JP S6237515A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
air
members
structure according
against relative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61179773A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0545802B2 (ja
Inventor
アンソニー・ブルース・バーナビィ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rank Taylor Hobson Ltd
Original Assignee
Rank Taylor Hobson Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rank Taylor Hobson Ltd filed Critical Rank Taylor Hobson Ltd
Publication of JPS6237515A publication Critical patent/JPS6237515A/ja
Publication of JPH0545802B2 publication Critical patent/JPH0545802B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004Supports
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/38Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/52Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
    • B23Q1/522Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair which is perpendicular to the working surface
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/26Systems consisting of a plurality of sliding-contact bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0681Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
    • F16C32/0692Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for axial load only
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S310/00Electrical generator or motor structure
    • Y10S310/06Printed-circuit motors and components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、軸受構造に関するものC゛あり、かつ特定
的には、しかしこれに限る訳ではないが、度量衡装置、
たとえば速度テーブル、角測定システム、並びに真円度
、真直度および表面組織を含む輪郭誤差を測定する装置
の回転ワークピース支持デープルのための軸受構造に応
用可能である。
たとえば比較的高いロードを支持することが可能であり
、軸受によって支持される部材の半径方向、軸方向およ
び角変位を実質的に防ぐという意味で剛く、部材が自由
に回転できるように低い摩■を与え、かつ振動減衰を与
える度量衡装置の回転ワークピース支持テーブルのため
の精密軸受が必要とされている。従来、度量衡装置には
、様々な形の軸受が提案されている。たとえば、商業的
に生産されている1つの軸受構造では、ワークピース支
持テーブルの垂直に配設された軸は、半球形ドライスラ
スト軸受によって底端部で、かつ軸の円筒面を係合する
ドライパッドを備えるジp −フルによって上方端部の
近くで支持されている。
このドライ軸受構造には、それが低ロードの軸受能力の
みイエし、かつ軸が、必要とされる精度を与えるために
所望されるより長くなければならないという問題がある
油圧軸受もまた提案ざ゛れている。そのような軸受の一
例では、油は、軸上に設けられる円錐面と周囲の固定支
持部材との間の空間へ3I!統的にポンプで注入される
。このタイプの軸受は、高ロードを支持することが可能
であるが、かなりの圭の付属装置、たとえばポンプ、曲
用タンク、および関連する配管を必要とするので非常に
高価である。
また、空気軸受が用いられているが、これらは不安定で
あり、そのため度量衡8置では、特にワークピース支持
テーブルの回転軸に対してロードが軸を外して置かれる
場合に、高いコイニング誤差が導入される。
この発明の1つの好ましい局面では、第1および第2部
材が相対的な回転のために支持される複合軸受が設けら
れ、第1のタイプの軸受は、前記部材を軸方向運動に対
して拘束するように設けられ、かつ第2のタイプの軸受
は、前記部材を半径方向運動に対して拘束するように設
けられる。好ましい実施例では、第1のタイプの軸受は
空気軸受であり、かつ第2のタイプの軸受はドライyl
擦軸受である。
この発明の好ましい実施例では、相対的に回転自在な第
1および第2部材を軸方向運動に対して拘束する空気軸
受手段、および前記部材を半径方向運動に対して拘束す
る異なるタイプの軸受を備える軸受構造が提供される。
この発明のさらに代わりの局面では、半径方向に延びる
軸受面および円筒軸受面を有する相対的に回転自在な第
1および第2部材を備える複合軸受が提供され、ドライ
sm軸受手段は円筒面間で作用し、かつ空気軸受手g2
をよ軸方向面間で作用する。
この発明の好ましい実施例では、低い摩擦、高い剛性、
高レベルの安定性、および高レベルの振動減衰を右する
軸受構造は、比較的低コストで提供される。
この発明を、添付の図面に関連して、例とじてさらに説
明する。
第1図に関して、特に真円度を測定するためのものであ
る度量衡装置は、モの中にベンチ2を備え、そのベンチ
2は、第2図ないし’155図に関して詳細に説明する
軸受によってターンテーブル4を支持するシャーシ構造
(示されず)である。ターンテーブル4は、表面が測定
されるべきワークピースを支持するためのものである。
柱6はまた、ターンテーブル4に隣接するシャーシ楢造
上に支持される。往復台8は、垂直運動のため柱61に
取付けられ、かつたとえば誘導性であってもよい変換器
(示されず)を支持し、その変換器にスタイラス10が
接続される。第1図に示される装置の動作にJ3いて、
ワークピースは、それがターンデープル4の回転によっ
て、測定されるべきワークピースの表面と接触して位置
決めされるスタイラス10に対して回転されるように、
ターンテーブル4上に装着される。代わりに、非接触変
換器が(吏月1されてもよい、装置はまた、ワークピー
スの特性、たとえば真円度に関する情報を提供づるため
に、変換器によって出力される信号を処理づる信号処理
手段(示されず)を含む。
モの上にターンテーブル4が装着される軸受構造は、第
2図の断面図に示される。それは、概略的にIOC示さ
れる装置のシト−シに対して固定される固定子14によ
って、垂直軸のまわりで回転づるように支持される回転
子12を備える。回転子12は、スピンドル18、およ
びボルト24および26によってスピンドル18に固定
される上方および下方ディスク20.22(その各々の
一方のみが第2図に示される)を備える。
固定子は、また第3図および第4図に承される、内局ボ
ア30を有する部材28を備え、そこにスピンドル18
が位置決めされる。環状リセス32(よ、上方端部近く
でボア30に形成され、かつ3つのドライ摩′PAlk
ll受エレメント34.36J5よび38を含み、その
エレメント34.36i5よび38は、低い*mのプラ
スチック材料、たとえばポリテトラフルオロエヂレン充
填物をiするアセタール共重合体から作られ、かつスピ
ンドル18上に形成される環状肩部40を係合し、スピ
ンドルを半径方向運動に対して拘束する。エレメント3
4.36および38は、等角に間隔のあいた位置に配設
され、かつボルト42によって適所に固定される。エレ
メント38は、2つの薄い部分38aを含み、その部分
38aのため中心部分38bは半径方向に動くことがで
きる。調節ねじ44および圧縮ばね46は、エレメント
38の中心部分38bがスピンドル18に対して圧搾さ
れる力を調整するために、部材28に配置される。エレ
メント34,366よび38は、スピンドル18を部材
28に対して回転さけている間、スピンドル18の半径
方向位置を正確に規定する。
固定子14は、部材28の下方部分に固定されかつそれ
を取囲むさらに他の部材48を含む。環状空気供給チャ
ンネル50は、部材28と48との間で規定され、かつ
部材48に形成される半径方向ボア54を介して、空気
供給管路に接続される。チャンネル50は、部材28に
形成されるめくら半径方向ボア58および上向きボア6
0を介して、部材28の上方の半径方向に延びる表面と
ディスク20の下方の半径方向に延びる表面との間の空
間56に接続され、部材28の上方表面とディスク20
の下方表面との間の半径方向に延びる空間に空気軸受を
形成する。流量絞り62はボア6oに設けられる。めく
らボア58と連通ずる下向きボア64はまた、部材28
に形成され、部材28の下方の半径方向表面とディスク
22の上方表面との間の半径方向に延びるギャップ66
に空気軸受を設ける。ボア64は、流用絞り68を含み
、かつボア60に対してわずかに半径方向に内部へ位置
決めされ、そのため空間66におGjる空気軸受の剛性
は空間56におけるより小さい。
空間56および6Gの幅は、好ましくは、1〇−15ミ
クロンの範囲にあり、たとえば12ミクロンであり、そ
のため空気軸受は、回転子12を、固定子28に対する
軸方向運動に対して効果的にかつしっかりと拘束する。
下方軸受は、回転子の垂直振動を防ぐ。
ギャップ56および66の空気は、半径方向に内部にも
半径方向に外部にも動くことがある。半径方向に内部に
動く空気は、スピンドル18を介して半径方向に延びる
通路70を介して、スピンドル18の内部表面とスピン
ドル18の内部に装着される排気ブロック74との間に
形成される環状空間72に排出される。空間72は、ブ
ロック74の通路78によって、消音器を含む排気装置
76に接続される。
部材28d3よび4Bに固定される構造82上に装着さ
れる膨張可能なりランプ80は、ディスク20を取囲み
、かつ固定子14に対して回転子12を締めるために、
通路84を介して、流体、たとえば空気をディスク20
に供給することによって膨張されてもよい。
固定子14の底部に固定されるハウジング86(第2図
および第5図)は、直流電気モータを含む。モータは、
ハウジング86で固定され、かつ交互に配置されるN極
およびS極を備える環状磁′G88、ボルト92によっ
て回転子12のディスク22に固定される軸90、およ
び印刷回路の態様で導体96がその上に形成される絶縁
ディスク94を備え、その導体96は、モータの巻線を
構成する。導体96の形状番よ、第6図に示される。
ディスク94は、ボルト102によって軸90に固定さ
れるスピゴット100によって、絶縁リング98間でし
っかりと締められ、そのためディスク94は、軸90に
対して固定される。電力は、ハウジング86の内部に固
定されるブラシ104によって、巻線96に供給されて
もよい。したがって、モータl11190は、スピンド
ル18の延長部分を形成し、それゆえにモータ軸90は
モータによって直接駆動されてもよい。好ましくは、モ
ータは、0.03/)lら1orp+nで回転するよう
に配置される。
エアシール106は、回転子および固定子の様々な部分
間に設けられ。心出しリング108は、ディスク20と
スピンドル18との間にKQtブられ、かつさらに他の
心出しリング110は、軸90とディスク22どの間に
設けられる。多心電気ケーブル112は、手段(示され
ず)によってターンテーブルをセンタリングしかつレベ
リングするよう電力J3よびi!IIJ御信号をターン
テーブル4に供給するために、回転子12の中心および
駆φツノ軸90を介して延びる。電力および信号は、モ
ータ軸90の下方端部と協働するスリップリング配置く
示されず)を介して、ケーブル112に供給される。
図面の第2図ないし第6図に関して説明する構造は、比
較的安価であり、高ロードを支持することが可能であり
、安定しており、かつよく減衰され、ならびにダイレク
トモータドライブは、ベルト伝動が用いられるとぎ生じ
ることがある所望されない振動が避けられることを保証
する。
この発明の範囲内で、様々な修正が可能である。
たとえば、好ましい実施例では、軸受は、垂直軸のまわ
りで回転するよう装着されるが、軸受は、たとえば水平
軸のまわりで回転するように、異なる姿勢で配置される
ことができる。ドライ摩擦軸受は、それらが固定子の内
部表面と回転子の外部表面との間で作用するように設け
られているが、軸受は、この発明の範囲内で再設計され
ることができ、そのためドライ軸受は、固定子の外部表
面と回転子の内部表面との間で作用する。
さらに、図解される実施例では、空気軸受は、半径方向
に延びる平面間で形成されているが、発明の範囲内で、
円錐面間で空気軸受を形成するのも可能であろう。しか
しながら、空気軸受が平面間で形成される図面に示され
る配置は、それが簡単であり、かつ各軸受が、半径方向
または軸方向に拘束するという1つの機能のみ果たすた
めに好ましい。
実施例では、空気軸受は、スラスト軸受として作用し、
かつドライ摩擦軸受はジャーナルであり、実施例は、高
いスラスト力しかも低い半径方向力を受ける応用のため
のものであるが、この発明は、低いスラスト力しかも高
い半径方向力を受けてもよい配置に応用されてもよく、
その場合、空気軸受は好ましくはシレーナルどして形成
され、かつドライ摩擦軸受はスラスト軸受として形成さ
れる。
図面に示される配置の特定的な利点は、ターンテーブル
が、その幾何学的な位置の損失なく、静止するようにさ
れてもよいということである。これは、先行技術の軸受
で達成するのは困難である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明が具体化される度量衡装置の概略斜
視図である。 第2図は、この発明の好ましい実施例に従って、特許請
求の範囲第1項記載の装置に組込まれる軸受IN造の断
面図である。 第3図は、線m−■での断面図であるが、様々な部分を
省略している。 第4図は、第2図および第3図の装置の部分の斜視図で
ある。 第5図は、第2図と類似であるが、電気モータを含む装
置の部分を、J:り詳細に示す断面図である。 第6図は、第5図に示されるモータの巻線の部分を図解
する。 図において2はベンチ、4はターンテーブル、6tま社
、8は往復台、10はスタイラス、12は回転子、14
は固定子、18はスピンドル、20および22はディス
ク、24および26はボルト、28および48は部材、
30は円筒ボア、32は環状リセス、34.36および
38はドライ11!1D軸受、40を工環状肩部、42
J3よび92はボルト、44は調節ねじ、46は圧縮ば
ね、50は空気供給チャンネル、52は空気供給管路、
54は半径方向ボア、56および66はギ17ツプ、5
8はめくら半径方向ボア、60は上向きボア、64は下
向きボア、62および68は流里絞り、70および78
は通路、72は環状空間、74は排気ブロック、76は
排気装置、80はクランプ、86はハウジング、88は
磁石、90は軸、94は絶縁ディスク、96は導体、9
8は絶縁リング、100はスビゴッ1〜.104はブラ
シ、106はエアシール、108 J3よび110は心
出しリング、112は電気ケーブルである。 特許出願人 ランク・ティラー・ホブソン・F/G、3 F/G、l。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1および第2部材(12、14)を備え、前記
    部材は、前記部材を相対的な半径方向運動に対して拘束
    する第1軸受手段および前記部材を相対的な軸方向運動
    に対して拘束する第2軸受手段によって、互いに対して
    回転するように支持され、前記軸受手段(34、36、
    38)の一方はドライ摩擦軸受であり、かつ他方は空気
    軸受(56)であることを特徴とする、軸受構造。
  2. (2)空気軸受(56)は、前記部材(12、14)を
    相対的な軸方向運動に対して拘束し、かつドライ摩擦軸
    受(34、36、38)は、前記部材(12、14)を
    相対的な半径方向運動に対して拘束する、特許請求の範
    囲第1項記載の構造。
  3. (3)前記空気軸受(56)は、前記部材の半径方向に
    延びる平面間で作用する、特許請求の範囲第2項記載の
    構造。
  4. (4)第1および第2空気軸受(56、66)を含み、
    その一方は、前記部材を相対的な軸方向運動に対して一
    方方向に拘束し、かつその他方は、それらを相対的な軸
    方向運動に対して反対方向に拘束する、特許請求の範囲
    第2項または第3項のいずれかに記載の構造。
  5. (5)前記空気軸受(56、66)の一方の剛性は他方
    の剛性より小さい、特許請求の範囲第4項記載の構造。
  6. (6)回転軸が垂直であるように装着される、特許請求
    の範囲第2項ないし第5項のいずれかに記載の構造。
  7. (7)前記空気軸受(56、66)のスチフナは一番上
    にある、特許請求の範囲第5項に従属する第6項記載の
    構造。
  8. (8)ドライ摩擦軸受は、角度をもって間隔のあいた位
    置に3つの軸受エレメント(34、36、38)を備え
    る、特許請求の範囲第2項ないし第7項のいずれかに記
    載の構造。
  9. (9)2つの前記エレメント(34、36)は固定され
    、かつ第3のエレメント(38)は半径方向に調節可能
    である、特許請求の範囲第8項記載の構造。
  10. (10)消音器を含み、空気を前記空気軸受手段(56
    )から排出する排気手段(76)を含む、特許請求の範
    囲第1項ないし第9項のいずれかに記載の構造。
  11. (11)前記部材の一方に直接結合される軸(90)を
    有し、他方の部材に対して前記部材を回転させる電気モ
    ータ(86、96)を含む、特許請求の範囲第1項ない
    し第10項のいずれかに記載の構造。
  12. (12)前記モータの巻線(96)は、絶縁ディスク(
    97)上の印刷回路として形成される導体を備え、前記
    ディスク(94)は、モータの軸(90)に固定される
    、特許請求の範囲第11項記載の構造。
JP61179773A 1985-08-02 1986-07-29 軸受構造 Granted JPS6237515A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB08519460A GB2178805A (en) 1985-08-02 1985-08-02 A bearing structure
GB8519460 1985-08-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6237515A true JPS6237515A (ja) 1987-02-18
JPH0545802B2 JPH0545802B2 (ja) 1993-07-12

Family

ID=10583222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61179773A Granted JPS6237515A (ja) 1985-08-02 1986-07-29 軸受構造

Country Status (10)

Country Link
US (1) US4794289A (ja)
EP (1) EP0214729B1 (ja)
JP (1) JPS6237515A (ja)
CN (1) CN1005352B (ja)
DD (1) DD248849A5 (ja)
DE (1) DE3668484D1 (ja)
DK (1) DK367086A (ja)
GB (1) GB2178805A (ja)
IN (1) IN165427B (ja)
RU (1) RU1771523C (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0240150B1 (en) 1986-03-04 1991-04-17 Rank Taylor Hobson Limited Workpiece position control
DE3819636A1 (de) * 1987-06-16 1988-12-29 Krasnod Stankostroitelnoe Proi Karusselldrehmaschinentisch
FR2640740B1 (fr) * 1988-12-19 1991-04-05 Dubuit Mach Dispositif de reperage pour objet a faire tourner sur lui-meme
SE464370B (sv) * 1989-07-27 1991-04-15 Desart Ab Foer en radiellt lagrad axel avsett axiallagringssystem
US6169354B1 (en) 1996-05-24 2001-01-02 Halo Data Devices, Inc. Thin film electric motors
US6204588B1 (en) 1999-05-27 2001-03-20 Halo Data Devices, Inc. Rotor capable of being used as a recording media
US6054786A (en) * 1999-05-27 2000-04-25 Halo Data Devices, Inc. Method and system for providing a spherical bearing in a thin film reluctance motor
DE102005024004A1 (de) * 2005-05-25 2006-12-07 Schaeffler Kg Drehlagereinrichtung, insbesondere für einen drehbaren Rundtisch einer Werkzeugmaschine
US8132966B2 (en) * 2009-06-03 2012-03-13 Electro Scientific Industries, Inc. Rotary flexure and air bearing support for rotary indexing system
DE102011121830A1 (de) * 2011-12-21 2013-06-27 Ms Spaichingen Gmbh Werkstückauflage
TWI560019B (en) * 2014-11-21 2016-12-01 Ind Tech Res Inst Hydraulic hydrostatic pressure rotation module
US10215230B2 (en) 2016-09-24 2019-02-26 Radiant Physics Inc. Pressurized gas bearings for rotating machinery
CN107143578A (zh) * 2016-11-09 2017-09-08 廖伟登 一种活动联接机构
CN110469585A (zh) * 2019-09-17 2019-11-19 苏州江本精密机械有限公司 一种大型卧式数控分度盘使用的气浮轴承
IT202000012226A1 (it) * 2020-05-25 2021-11-25 Innse Berardi S P A Soc Unipersonale Gruppo tavola per una macchina utensile
CN114184112B (zh) * 2021-12-17 2024-05-31 湖南国梦科技有限公司 一种电机生产用转子检测辅助装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3440887A (en) * 1965-08-05 1969-04-29 Slica Corp Apparatus for measuring roundness characteristics
JPS4990144A (ja) * 1972-12-27 1974-08-28
JPS5285659A (en) * 1976-01-07 1977-07-16 Hitachi Ltd Thrust bearing

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2455970A (en) * 1944-08-23 1948-12-14 American Bridge Company Center bearing
BE512430A (ja) * 1951-07-05
US3012827A (en) * 1959-01-06 1961-12-12 California Inst Res Found Gas supported bearing
US3023335A (en) * 1959-05-25 1962-02-27 Printed Motors Inc Printed circuit armature
US3023334A (en) * 1959-05-25 1962-02-27 Printed Motors Inc Printed circuit armature
US3026154A (en) * 1959-07-13 1962-03-20 Continental Aviat & Eng Corp Bearing means
DE1425006A1 (de) * 1963-12-13 1969-01-02 Eisenwerk Rote Erde Gmbh Waelzlager-Drehverbindung
US3759588A (en) * 1971-11-12 1973-09-18 Nasa High speed hybrid bearing comprising a fluid bearing & a rolling bearing connected in series
GB1452280A (en) * 1973-03-02 1976-10-13 British United Shoe Machinery Measuring machines
US3857051A (en) * 1973-08-30 1974-12-24 Giddings & Lewis Rotary position transducer assembly using hydrostatic bearings
CH569895A5 (ja) * 1973-12-19 1975-11-28 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag
DE2827880B1 (de) * 1978-06-24 1980-01-10 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Gaslager fuer schnell rotierende Teile
US4224165A (en) * 1978-12-14 1980-09-23 The Western States Machine Company Cyclical centrifugal machine
JPS6019496Y2 (ja) * 1979-07-27 1985-06-12 株式会社安川電機 回転電機の電機子
US4320927A (en) * 1980-03-21 1982-03-23 Sertich Anthony T Dental drill with magnetic air turbine having magnetic bearings
DE3171447D1 (en) * 1980-04-04 1985-08-29 Toyota Motor Co Ltd A rotary type electrostatic spray painting device
JPS5720573A (en) * 1980-07-10 1982-02-03 Mitsubishi Electric Corp Flywheel-type electric energy storage device
DE3034008A1 (de) * 1980-09-10 1982-04-15 Industriewerk Schaeffler Ohg, 8522 Herzogenaurach Mittenfreie waelzlager-drehverbindung
US4394091A (en) * 1981-10-09 1983-07-19 General Motors Corporation Air bearing and antifriction bearing assembly
US4588360A (en) * 1984-01-23 1986-05-13 Walbro Corporation Rotary fuel pump with pulse modulation
US4652148A (en) * 1985-03-15 1987-03-24 Federal Products Corporation Guide system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3440887A (en) * 1965-08-05 1969-04-29 Slica Corp Apparatus for measuring roundness characteristics
JPS4990144A (ja) * 1972-12-27 1974-08-28
JPS5285659A (en) * 1976-01-07 1977-07-16 Hitachi Ltd Thrust bearing

Also Published As

Publication number Publication date
EP0214729B1 (en) 1990-01-24
DK367086D0 (da) 1986-08-01
GB2178805A (en) 1987-02-18
US4794289A (en) 1988-12-27
DD248849A5 (de) 1987-08-19
CN86104920A (zh) 1987-01-28
JPH0545802B2 (ja) 1993-07-12
IN165427B (ja) 1989-10-14
DK367086A (da) 1987-02-03
CN1005352B (zh) 1989-10-04
RU1771523C (ru) 1992-10-23
EP0214729A1 (en) 1987-03-18
GB8519460D0 (en) 1985-09-11
DE3668484D1 (de) 1990-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6237515A (ja) 軸受構造
US5036235A (en) Brushless DC motor having a stable hydrodynamic bearing system
US4251840A (en) Rotary head assembly for magnetic recording and reproducing device
US6219199B1 (en) Spindle device having a dynamic-pressure-fluid bearing
CN1865897A (zh) 高精度单轴磁悬浮转台
JP4146151B2 (ja) 静圧気体軸受及びこれを用いたスピンドル装置
US6215219B1 (en) Bearing system and spindle motor assembly adopting the same
CN107676594B (zh) 用于x射线ct检测设备的精密转台
GB2266009A (en) Air bearing in brushless electric motor.
KR100579078B1 (ko) 상부 지지형 로터리 테이블 장치
CN216372271U (zh) 一种机械臂关节结构
CN117497479B (zh) 用于承载晶圆的回转升降复合气浮台
JPS6244372A (ja) 主軸構造
KR940000512Y1 (ko) 공기베어링을 이용한 공작기계의 주축구조
JPH0447443Y2 (ja)
JP2541648Y2 (ja) キャリア機構
JPS6254820A (ja) 磁気記録再生装置の回転ヘツドアセンブリ
JPH0364948B2 (ja)
JPH08321131A (ja) 磁気ディスク用スピンドルモータ
CN118423568A (zh) 气浮转台
JPS61104314A (ja) 回転ドラム装置
KR100211881B1 (ko) 헤드드럼 조립체
JPH033634A (ja) 回転電機の回転速度検出装置
JPS6254819A (ja) 磁気記録再生装置の回転ヘツドアセンブリ
JPS61167833A (ja) 静圧流体軸受の回転体のバランシング構造