JPS6235641A - 電子ビーム照射方法 - Google Patents
電子ビーム照射方法Info
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- JPS6235641A JPS6235641A JP60176191A JP17619185A JPS6235641A JP S6235641 A JPS6235641 A JP S6235641A JP 60176191 A JP60176191 A JP 60176191A JP 17619185 A JP17619185 A JP 17619185A JP S6235641 A JPS6235641 A JP S6235641A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
チップの位置決め方式であって、電子ビーム装置を用い
て集積回路内部の電位を測定する際に、予め前室でチッ
プの位置を測定しておき、これを電子ビーム装置内に搬
入し測定結果に基づいて電子ビームの照射位置を決める
という効率のよいチップの位置決めが可能となる。
て集積回路内部の電位を測定する際に、予め前室でチッ
プの位置を測定しておき、これを電子ビーム装置内に搬
入し測定結果に基づいて電子ビームの照射位置を決める
という効率のよいチップの位置決めが可能となる。
本発明は電子ビームを用いる装置における電子ビーム照
射位置決定に用いるチップの位置決め方式に関するもの
である。
射位置決定に用いるチップの位置決め方式に関するもの
である。
半導体製造の分野で、電子ビームを用いた装置が広く用
いられている。その一つとして、集積回路内の電位を測
定する電子ビーム装置がある。
いられている。その一つとして、集積回路内の電位を測
定する電子ビーム装置がある。
電子ビームを利用すると、拡大率は大きいが、その分視
野が小さく、電子ビームを照射する照射位置の決定が困
難である。
野が小さく、電子ビームを照射する照射位置の決定が困
難である。
従って操作性のよいチップ位置決め方式が要望されてい
る。
る。
電子ビーム装置を用いて集積回路内部の電位を測定する
のに電子ビーム装置は、電子ビームの照射する点にチッ
プを位置決めするのに、電子ビーム装置を使用して行っ
ている。即ち、電子ビームの走査と共に、試料を搭載し
た試料台を移動して、チップの位置決めをしていた。
のに電子ビーム装置は、電子ビームの照射する点にチッ
プを位置決めするのに、電子ビーム装置を使用して行っ
ている。即ち、電子ビームの走査と共に、試料を搭載し
た試料台を移動して、チップの位置決めをしていた。
電子ビームの走査幅(画像の視野)が狭いために、該当
するチップ位置を発見することが困難であり、チップ位
置を見出すのに、電子ビームの走査及び試料台の移動を
何回も繰り返さなければならず、効率が悪いと云う問題
があった。
するチップ位置を発見することが困難であり、チップ位
置を見出すのに、電子ビームの走査及び試料台の移動を
何回も繰り返さなければならず、効率が悪いと云う問題
があった。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、試料
交換が容易で、試料全体が見渡される効率のよいチップ
位置決め方式を堤供することを目的としている。
交換が容易で、試料全体が見渡される効率のよいチップ
位置決め方式を堤供することを目的としている。
電子ビーム装置に、TVカメラを組み込んだ前室を設け
ると共に、前室から電子ビーム装置に試料を搬入する搬
入機構を付設するよう構成する。
ると共に、前室から電子ビーム装置に試料を搬入する搬
入機構を付設するよう構成する。
前室でチップの位置測定を行い、搬入機構でこのチップ
を含む試料を電子ビーム装置に搬入することにより、真
空度及び磁界に左右されることなく効率のよい位置決め
が可能となる。
を含む試料を電子ビーム装置に搬入することにより、真
空度及び磁界に左右されることなく効率のよい位置決め
が可能となる。
第1図は本発明の実施例を示す断面図であって、チップ
1−1は試料1 (集積回路)の中央部にあり、試料1
は試料台5に搭載されている。試料台5は、第2図に示
すように構成されている。即ち試料台の上面にチップ1
−1の位置決め原点となる指標5−1が設けである。こ
の指標5−1の間に試料1を搭載する。試料台5は搬入
機構4に設けられており、この搬入機構4はX軸、Y軸
方向に試料台5を搬送する構造である。
1−1は試料1 (集積回路)の中央部にあり、試料1
は試料台5に搭載されている。試料台5は、第2図に示
すように構成されている。即ち試料台の上面にチップ1
−1の位置決め原点となる指標5−1が設けである。こ
の指標5−1の間に試料1を搭載する。試料台5は搬入
機構4に設けられており、この搬入機構4はX軸、Y軸
方向に試料台5を搬送する構造である。
搬入機構4は、電子ビーム装置2と前室3とに渡って設
けられている。前室3には、前室3を予備排気する真空
装置6が設けである。前室3の上面には、チップ1−1
と指標5−1との相対位置を測定する例えば、TVカメ
ラ7が設けである。
けられている。前室3には、前室3を予備排気する真空
装置6が設けである。前室3の上面には、チップ1−1
と指標5−1との相対位置を測定する例えば、TVカメ
ラ7が設けである。
なお、電子ビーム装置2と前室3との間は、搬入機構4
と試料台5及び試料1とが通過可能なゲート8が設けで
ある。
と試料台5及び試料1とが通過可能なゲート8が設けで
ある。
試料1を交換する時は前室3にて行い、直ぐ真空装置6
を作動させる。作動中にTVカメラ7を用いて、チップ
1−1と指標5−1との関係位置の測定をする。
を作動させる。作動中にTVカメラ7を用いて、チップ
1−1と指標5−1との関係位置の測定をする。
測定後にゲート8を開いて、搬入機構4を作動して試料
1を電子ビーム装置2内に搬入する。電子ビーム装置2
は、上記した位置測定データに基づいて、指標5−1を
基準としてチップの位置決めを行う。更に必要に応じて
電子ビームの照射位置の細かい高精度な補正をする。
1を電子ビーム装置2内に搬入する。電子ビーム装置2
は、上記した位置測定データに基づいて、指標5−1を
基準としてチップの位置決めを行う。更に必要に応じて
電子ビームの照射位置の細かい高精度な補正をする。
以上述べてきたように、本発明によれば、極めて簡易な
構成で、効率よくチップの位置決めが行われ、実用上極
めて有効である。
構成で、効率よくチップの位置決めが行われ、実用上極
めて有効である。
第1図は本発明の実施例を示す断面図、第2図は試料台
の平面図である。 図において、1は試料、2は電子ビーム装置、3は前室
、4は搬入機構、5は試料台を示す。
の平面図である。 図において、1は試料、2は電子ビーム装置、3は前室
、4は搬入機構、5は試料台を示す。
Claims (1)
- 電子ビームを用いて集積回路内部の電位測定を行う電子
ビーム装置(2)に、TVカメラを具備する前室(3)
を付設すると共に、集積回路からなる試料(1)を前室
(3)から電子ビーム装置(2)に搬入する搬入機構(
4)を設け、前室で試料(1)のチップ部分の基準位置
を測定して、前記試料(1)を電子ビーム装置内に搬入
し、測定された基準位置に基づいて、前記電子ビーム装
置内で電子ビームの照射位置を決めるようにしたことを
特徴とするチップの位置決め方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60176191A JPS6235641A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 電子ビーム照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60176191A JPS6235641A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 電子ビーム照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6235641A true JPS6235641A (ja) | 1987-02-16 |
JPH0525178B2 JPH0525178B2 (ja) | 1993-04-12 |
Family
ID=16009231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60176191A Granted JPS6235641A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 電子ビーム照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6235641A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157692A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置及び検査方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54144863A (en) * | 1978-05-02 | 1979-11-12 | Siemens Ag | Scan electron microscope |
JPS5715434A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Bonding apparatus |
JPS5969305A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-19 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP60176191A patent/JPS6235641A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54144863A (en) * | 1978-05-02 | 1979-11-12 | Siemens Ag | Scan electron microscope |
JPS5715434A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Bonding apparatus |
JPS5969305A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-19 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157692A (ja) * | 2016-03-02 | 2017-09-07 | 株式会社Screenホールディングス | 検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0525178B2 (ja) | 1993-04-12 |
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