JPS62294252A - Exposure machine - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To improve the aligning precision by providing an exposure base with aligning pins and inserting them to the positioning holes of a work in a developing machine where the work or the like is carried to a lower face exposure device and an upper face exposure device and is exposed. CONSTITUTION:The work and/or a mask is carried to the lower face exposure device and the upper face exposure device by a carrying device and is exposed. For example, the work or the mask is placed on the exposure base 3a of the lower face exposure device and is radiated with light from below to expose the lower face. Three aligning pins 3d are provided on the exposure base 3a and are simultaneously inserted to the aligning holes of the work or the mask to position the work or the mask. The upper face of the work or the mask is exposed by the upper face exposure device similarly. Thus, the positioning precision of the work or the mask is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント配線基板の電子回路等のパターンの
焼付を行うための露光機に関するものである。Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to an exposure machine for printing patterns of electronic circuits and the like on printed wiring boards.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

プリント配線部板の電子回路等のパターンの焼付を行う
ための露光機として、所望枚数のワークおよびマスクを
位置決めして積載するパレットと、上記ワークの上下両
面の露光を行うように、上下対称に設けられた光源とし
てのランプ、反射鏡、焼き枠体および透明板を有する両
面露光装置と、上記パレットを搬入位置に保持するとと
もに、パレットに収納されたワークおよび／またはマス
クを一定高さ位置に保持する搬入装置と、この搬入位置
から露光位置を通って搬出位置まで延びたレールに沿っ
て搬入位置および露光位置の間を往復移動する搬送装置
と、上記露光位置と搬出位置との間を往復移動する別の
搬送装置と、下面にワーりおよび／またはマスクを吸着
保持する多数の吸着パッドを有し、上記搬送装置に水平
姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸着装置とをイ
Ｃａえた露光機が提案されている（例えば特開昭６０−
１６８１４８号）。As an exposure machine for printing patterns such as electronic circuits on printed circuit boards, there is a pallet for positioning and loading the desired number of workpieces and masks, and a vertically symmetrical system for exposing both the upper and lower surfaces of the workpieces. A double-sided exposure device having a lamp as a light source, a reflector, a printing frame, and a transparent plate is provided, and the pallet is held at the loading position, and the workpieces and/or masks stored in the pallet are held at a constant height position. A transport device that moves back and forth between the carry-in position and the exposure position along a rail extending from the carry-in position through the exposure position to the carry-out position, and a transport device that moves back and forth between the exposure position and the carry-out position. A separate transport device that moves and a suction device that has a number of suction pads on the lower surface for suctioning and holding the warp and/or mask, and is attached to the above transport device so as to be movable up and down in a horizontal position. Exposure machines have been proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1986-
No. 168148).

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記のような従来の露光機においては、露光装置におけ
るワークおよびマスクの位置合せピン（基準ピン）はワ
ークおよびマスクの大きさの変化に対応するため独立し
て昇降できるようにされているので、各位置合せピンの
出方の差によりワークおよびマスクの位置ずれが生じ１
位置合せ精度が低下するという問題点があった。In the conventional exposure equipment as described above, the alignment pins (reference pins) for the workpiece and mask in the exposure apparatus are designed to be able to move up and down independently to accommodate changes in the size of the workpiece and mask. Due to the difference in the protrusion of each alignment pin, the workpiece and mask may be misaligned.1
There was a problem that alignment accuracy decreased.

この発明は上記問題点を解決するためのもので、ワーク
およびマスクの位置合せ精度を向上させることができる
露光機を得ることを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and aims to provide an exposure machine that can improve the alignment accuracy of a workpiece and a mask.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明の露光機は、ワークおよび／またはマスクを積
載したパレットを位置決めして所定の高さまで上昇させ
る搬入装置と、下部に光源を有しかつワークおよびマス
クを位置合せしてワーク下面の露光を行う下面露光装置
と、上部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合
せしてワーク上面の露光を行う上面露光装置と、露光済
みのワークを機外へ搬出する搬出装置と、ワークまたは
パレットを吸着して上記各装置間を移動し搬送を行う搬
送装置と、下面露光装置および上面露光装置に設けられ
た露光台と、この露光台にセットされたワークおよびマ
スクの対応位置に設けられた位置合せ穴に同時に挿入さ
れるように同期して突出する３個の位置合せピンとを設
けたものである。The exposure machine of the present invention has a loading device that positions a pallet loaded with workpieces and/or masks and raises it to a predetermined height, and a light source at the bottom, and aligns the workpiece and mask to expose the lower surface of the workpiece. A top exposure device that has a light source on the top and aligns the workpiece and mask to expose the top surface of the workpiece, a carry-out device that carries the exposed workpiece out of the machine, and a carry-out device that carries out the workpiece or pallet. A transport device that moves and transports between the above devices by adsorption, an exposure table provided in the bottom exposure device and the top exposure device, and positions provided at corresponding positions of the workpiece and mask set on this exposure table. Three alignment pins are provided that project synchronously so as to be inserted into the alignment holes at the same time.

〔作　用〕[For production]

この発明の露光機においては、ワークおよび／またはマ
スクを積載したパレットを搬入装置において位置決めし
て所定の高さに上昇させ、搬送装置によってワークおよ
びマスクを下面露光装置および上面露光装置に搬送し、
それぞれの露光装置においてワークおよびマスクを位置
合せして密着させ露光を行う。位置合せに際しては露光
台から３個の位置合せピンを同期して突出させ、ワーク
およびマスクの対応位置に設けられた位置合せ穴に同時
に挿入して位置合せを行う。このとき平面を規定する３
個のピンで位置合せを行うため、位置合せすべき平面が
限定され、また３個のピンが同期して突出するため、ピ
ンの出方の差によるワークおよびマスクの位置ずれはな
く１位置合せ精度は向上する。露光を終ったワークは搬
送装置により搬出装置へ搬送し、搬出装置から機外へ搬
出する。In the exposure machine of the present invention, a pallet loaded with workpieces and/or masks is positioned in a carry-in device and raised to a predetermined height, and the workpiece and mask are conveyed to a bottom exposure device and a top exposure device by a transfer device,
In each exposure device, the work and the mask are aligned and brought into close contact to perform exposure. For positioning, three positioning pins are synchronously projected from the exposure table and simultaneously inserted into positioning holes provided at corresponding positions on the workpiece and the mask. At this time, 3 defines the plane.
Since alignment is performed using only one pin, the plane to be aligned is limited, and since the three pins protrude in synchronization, there is no misalignment of the workpiece and mask due to differences in the way the pins protrude, allowing for one alignment. Accuracy improves. After exposure, the workpiece is transported by a transport device to a carry-out device, and is carried out from the carry-out device to the outside of the machine.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面により具体的に説明する
。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

第１図（ａ）はこの実施例の露光機の全体を示す正面図
、（ｂ）はその平面図であり、いずれも前面が切欠かれ
た状態を示している（以下向）。この露光機はプリント
基板の電子回路等のパターンの焼付を目的とし、露光す
べき多数のワークおよびマスクをストッカーに保管し、
これを自動的に引出して露光し、装置外のコンベア等へ
搬出するといういわゆる自動運転を行えるように構成さ
れている。そして一端部からストッカー（１）、搬入装
置（２）、下面露光装置（３）、上面露光装置（４）お
よび搬出装置（５）が隣接して配置され、各装置間にワ
ークおよびマスクを搬送する搬送装置（６）　、　（７
）　、　（８）が移動可能に設けられている。FIG. 1(a) is a front view showing the entire exposure machine of this embodiment, and FIG. 1(b) is a plan view thereof, both of which show a state in which the front surface is notched (viewed below). The purpose of this exposure machine is to print patterns such as electronic circuits on printed circuit boards, and a large number of workpieces and masks to be exposed are stored in a stocker.
The structure is such that so-called automatic operation can be performed in which the image is automatically pulled out, exposed, and transported to a conveyor or the like outside the apparatus. A stocker (1), a loading device (2), a bottom exposure device (3), a top exposure device (4), and a loading device (5) are arranged adjacent to each other from one end, and the workpieces and masks are transported between each device. Conveying device (6), (7
), (8) are movably provided.

ストッカー（１）はワークおよび／またはマスクが積載
されたパレットを多数保管するとともに、このパレット
を搬入装置（２）へ払出し、さらに空になったパレット
、または用済後のマスクを積載したパレットを内部へ引
入れて、次のパレットを払出すものである。搬入装置（
２）はストッカー（１）より払出されたパレットをスム
ーズに移動させて。The stocker (1) stores a large number of pallets loaded with workpieces and/or masks, delivers the pallets to the loading device (2), and then transfers empty pallets or pallets loaded with used masks. The pallet is pulled into the interior and the next pallet is dispensed. Loading device (
2) Smoothly move the pallets taken out from the stocker (1).

定められた位置ヘセットし、その後所定の高さまで上昇
させるようになっている。下面露光袋！ｉ！１（３）は
下部に光源を有し、ワークの下面から光を照射して露光
を行い、上面露光装置（４）は上部に設置された光源に
より上面から照射を行うものである。It is set to a predetermined position and then raised to a predetermined height. Bottom exposure bag! i! 1 (3) has a light source at the bottom and performs exposure by irradiating light from the bottom surface of the workpiece, and the top exposure device (4) performs irradiation from the top surface by a light source installed at the top.

また、搬出装置（５）は露光済みのワークをローラコン
ベアにより機外へ搬出するようになっている。Further, the carry-out device (5) carries out the exposed workpiece to the outside of the machine using a roller conveyor.

第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ）はその平面図、（
ｅ）は側面図であり、搬入装置（２）から下面露光装置
（３）および上面露光装置（４）を通過して搬出装置（
５）まで、水平方向に延びた２本のレール（９）に、搬
入装置（２）と下面露光装置（３）の間を往復する搬送
装置（６）、下面露光装置（３）と上面露光族Ｕ（４）
の間を往復する搬送装置（７）、ならびに上面露光装置
（４）と搬出装置（５）の間を往復する搬送装置（８）
がセットされ、それぞれシリンダー（９ａ）　、　（９
ｂ）　。Figure 2 (a) is a rear view of the whole, (b) is a plan view thereof, (
e) is a side view, from the carry-in device (2) passing through the bottom exposure device (3) and the top exposure device (4), to the carry-out device (
5), a transport device (6) that reciprocates between the loading device (2) and the bottom exposure device (3), the bottom exposure device (3) and the top exposure device are mounted on two rails (9) extending horizontally. Family U (4)
A transport device (7) that reciprocates between the top exposure device (4) and the transport device (5), and a transport device (8) that reciprocates between the top exposure device (4) and the unloading device (5).
are set, cylinders (9a) and (9
b).

（９ｃ）により水平方向に駆動されるようになっている
。(9c) so that it is driven in the horizontal direction.

第３図（ａ）はパレットの平面図、（ｂ）はその正面図
、（Ｃ）は側面図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、（
ｅ）はワークを積載したパレットの平面図、（ｆ）はマ
スクを積載したパレットの平面図である。パレット（１
０）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）を
積載するためのもので、その−辺付近に２個の位置決め
ピン（１１）が取付けられている。位置決めピン（１１
）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）の位
置決めを行うワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）と、
パレット（１０）の位置決めを行うパレット位置決め部
（ｌｌｂ）とが同軸に設けられており、ワーク／マスク
位置決め部（ｌｌａ）はワーク（１３）の位置決め穴（
１３ａ）またはマスク（１４）の位置決め穴（１４ｂ）
に挿入できるようにパレット（１０）の上部に突出して
おり、パレット位置決め部（ｌｌｂ）はパレット（１０
）の下部に突出している。ワーク（１３）は上下両面に
露光可能とされ、マスク（１４）はそれぞれに対応する
パターンを有するフィルムからなり、フィルムより面積
の大きい透明アクリル樹脂板製のベース（１４ａ）によ
り裏打されている。　（１３ｂ）、（１４ｃ）は位置合
せ穴、（１４ｄ）は貫通穴である。Figure 3 (a) is a plan view of the pallet, (b) is a front view thereof, (C) is a side view, (d) is a front view of the positioning pin, (
(e) is a plan view of a pallet loaded with workpieces, and (f) is a plan view of a pallet loaded with masks. Palette (1
0) is for loading a workpiece (13) and/or a mask (14), and two positioning pins (11) are attached near the negative side thereof. Locating pin (11
) includes a work/mask positioning section (lla) that positions the work (13) and/or the mask (14);
A pallet positioning section (llb) for positioning the pallet (10) is provided coaxially, and the workpiece/mask positioning section (lla) is connected to the positioning hole (lla) of the workpiece (13).
13a) or the positioning hole (14b) of the mask (14)
The pallet positioning part (llb) protrudes from the top of the pallet (10) so that it can be inserted into the pallet (10).
) protrudes from the bottom. The workpiece (13) can be exposed to light on both the upper and lower sides, and the mask (14) is made of a film having a pattern corresponding to each one, and is backed by a base (14a) made of a transparent acrylic resin plate having a larger area than the film. (13b) and (14c) are alignment holes, and (14d) is a through hole.

第４図（ａ）はストッカー（１）の正面図、（ｂ）はそ
の平面図である。ストッカー（１）は露光機の一端部に
配置され、ワーク（１３）および／またはマスク（１４
）を位置決めピン（１１）で位置決めしたパレット（１
０）を多段に並べて保管し、工程順に収納されたパレッ
ト（１０）を移載機構（１ａ）により搬入装置（２）に
押出すように払出し、空になったパレット（１０）また
は用済後のマスク（１４）を積載したパレット（１０）
を戻し１次のパレット（１０）を払出すようになってい
るが、詳細については図示は省略されている。FIG. 4(a) is a front view of the stocker (1), and FIG. 4(b) is a plan view thereof. A stocker (1) is placed at one end of the exposure machine, and is used to store a workpiece (13) and/or a mask (14).
) with the positioning pins (11) positioned on the pallet (1).
0) are stored in multiple stages, and the pallets (10) stored in the order of the process are pushed out to the carrying device (2) by the transfer mechanism (1a), and the empty pallets (10) or the used pallets are Pallets (10) loaded with masks (14)
is returned and the primary pallet (10) is dispensed, but details are omitted from illustration.

第５図（ａ）は搬入装置（２）の正面図、（ｂ）はその
側面図、（Ｃ）はそのテーブル上板の平面図である。FIG. 5(a) is a front view of the carrying device (2), FIG. 5(b) is a side view thereof, and FIG. 5(C) is a plan view of the table top plate thereof.

搬入装置（２）はストッカー（１）下部の定められた位
置から払出されたワーク（１３）および／またはマスク
（１４）を積載したパレット（１０）をスムーズに移動
させて定められた位置に位置決め後保持し、規定の高さ
まで上昇させるとともに、空になったパレット（１０）
または用済後のマスク（１４）が積載されたパレット（
１０）を元の位置まで下降させてストッカー（１）へ返
納できるように構成されている。すなわち強固に組立て
られた枠体（２ａ）の中心部に取付けられたリニアドモ
ータ（２ｂ）に噛み合うラック（２ｃ）を介し、テーブ
ル枠体（２ｄ）およびその上面にセットされたテーブル
上板（２ｅ）からなるテーブルが枠体（２ａ）に支持さ
れ、１ｌｉｌｌｌ（２ｆ）をガイドに枠体（２ａ）に対
してゆっくり昇降できるようになっている。The loading device (2) smoothly moves the pallet (10) loaded with workpieces (13) and/or masks (14) taken out from a predetermined position at the bottom of the stocker (1) and positions it at a predetermined position. The empty pallet (10) is then held and raised to a specified height.
Or a pallet loaded with used masks (14) (
10) can be lowered to its original position and returned to the stocker (1). That is, the table frame (2d) and the table top plate (2e) set on its upper surface are connected to the table frame (2d) and the table top plate (2e) set on its upper surface through a rack (2c) that engages with a linear motor (2b) attached to the center of the firmly assembled frame (2a). A table consisting of is supported by the frame (2a) and can be slowly raised and lowered with respect to the frame (2a) using 1lill (2f) as a guide.

枠体（２ａ）には露光機の全体枠（１２）との間にシリ
ンダー（２ｊ）が結合され、軸受（２ｇ）とレール（２
ｈ）をガイドにして高速で昇降移動できるようになって
いる。A cylinder (2j) is connected to the frame (2a) and the entire frame (12) of the exposure machine, and a bearing (2g) and a rail (2) are connected to the frame (2a).
h) can be used as a guide to move up and down at high speed.

テーブル上板（２ｅ）の上面にはパレット（１ｏ）がス
ムーズに移動できるようにボール受軸（２ｋ）が組込ま
れており、ストッカー（１）側から移載機構（１ａ）に
より、引込まれたパレット（１０）がこの面を摺動し、
ストッパー（２Ω）に当った時点で、移載機構（ｌａ）
がストッカー（１）内。に戻り、パレット（１ｏ）が仮
置きされるようになっている。A ball bearing shaft (2k) is built into the upper surface of the table top plate (2e) so that the pallet (1o) can move smoothly. The pallet (10) slides on this surface,
When it hits the stopper (2Ω), the transfer mechanism (la)
is in the stocker (1). Returning to , the pallet (1o) is temporarily placed.

テーブル上板（２ｅ）のストッパー（２Ｑ）のある辺に
隣接する一方の辺には、さらに押付機構（２ｍ）が設け
られてシリンダー（２ｎ）に接続し、また反対側の辺に
は位置決めガイド（２ｏ）が組込まれ１位置決めガイド
（２ｏ）にはＶ字状の切欠（２Ｐ）および台形状の切欠
（２９）が形成されており、ストッパー（２Ｑ）の位置
に仮置されたパレット（１０）をシリンダー（２ｎ）に
連動した押付機構（２ｍ）によりガイド（２ｏ）側へ押
付けて、パレット（１０）の下部に突出する位置決めピ
ン（１１）の一方のパレット位置決め部（ｌｌｂ）と切
欠（２Ｐ）の係合により押付方向と直角方向の位置めを
行い、他方のパレット位置決め部（１ｌｂ）と切欠（２
９）により押付方向の位置決めを行うようになっている
。テーブル上板（２ｅ）の下降位置にはガイド（２０）
からパレット（１０）を解放する押出機構（２ｒ）が設
けられており、またテーブル上板（２ｅ）の最上昇位置
には搬送装置（６）が設けられている。A pressing mechanism (2m) is further provided on one side of the table top plate (2e) adjacent to the side with the stopper (2Q) and connected to the cylinder (2n), and a positioning guide is provided on the opposite side. A V-shaped notch (2P) and a trapezoidal notch (29) are formed in the positioning guide (2o), and the pallet (10) is temporarily placed at the stopper (2Q) position. ) is pressed toward the guide (2o) by the pressing mechanism (2m) linked to the cylinder (2n), and one pallet positioning part (llb) of the positioning pin (11) protruding from the bottom of the pallet (10) and the notch ( Positioning is performed in the direction perpendicular to the pressing direction by engaging the other pallet positioning part (1lb) and the notch (2P).
9) for positioning in the pressing direction. A guide (20) is placed in the lowered position of the table top plate (2e).
A push-out mechanism (2r) is provided to release the pallet (10) from the table top plate (2e), and a conveyance device (6) is provided at the highest position of the table top plate (2e).

第６図（ａ）は搬送装置（６）の正面図、（ｂ）は側面
図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は吸着パッドおよび押付パ
ッドの正面図である。搬送装置（６）は搬入装置（２）
からパレット（１０）内のワーク（１３）またはマスク
（１４）を吸着して下面露光装置（３）へ搬送してセッ
トし、逆に用済後のマスク（１４）を下面露光装置（３
）から搬入装置（２）のパレット（１０）へ搬送収納す
るように構成されている。上下移動枠（６ａ）は水平移
動板（６ｂ）にシリンダー（６Ｃ）によって懸垂され、
上下移動枠（６ａ）の側面に取付けられた軸受（６ｄ）
とブラケット（６ｅ）に取付けら九た＠　（６ｆ）とを
ガイドに上下方向に移動できるようになっている。水平
移動板（６ｂ）は第２図に示すシリンダー（９ａ）によ
ってレール（９）上を搬入装置（２）から下面露光装置
（３）にわたって往復動するようになっている。FIG. 6(a) is a front view of the conveying device (6), FIG. 6(b) is a side view, FIG. 6(c) is a plan view, and FIG. 6(d) is a front view of the suction pad and the pressing pad. The transport device (6) is the loading device (2)
The workpiece (13) or mask (14) in the pallet (10) is adsorbed from the pallet (10) and transported to the bottom exposure device (3) and set there.
) is configured to be transported and stored on a pallet (10) of a carrying device (2). The vertically movable frame (6a) is suspended from the horizontally movable plate (6b) by a cylinder (6C),
Bearing (6d) attached to the side of the vertical movement frame (6a)
It can be moved vertically using the bracket (6e) and the bracket (6f) as guides. The horizontally movable plate (6b) is configured to reciprocate on a rail (9) from the carry-in device (2) to the bottom exposure device (3) by means of a cylinder (9a) shown in FIG.

上下移動枠（６ａ）の下面にはゴム製の吸着パッド（６
ｇ）が第６図（ｃ）のＡ−Ｂ位置に装着され、押付パッ
ド（６ｈ）がＣの位置に装着されている。吸着パッド（
６ｇ）のうちＡＣｉ置のものは真空発生装置（６１）に
配管され、Ｂ配置のものは真空発生装置（６ｊ）に配管
されていて、内側のＡ位置の吸着パッド（６ｇ）はワー
ク吸着専用に、外側のＢ位置の吸着パッド（６ｇ）はマ
スク吸着専用に設けられており、Ｂ位置の吸着パッド（
６ｇ）はマスク（１４）を直接吸着せず、マスク（１４
）が貼付けられているベース（１４ａ）のアクリル樹脂
板のマスク（１４）より外れた外周部を吸着し、これに
よってマスク（１４）の位置ずれと汚れを防止するよう
になっている。吸着パッド（６ｇ）はバネ（６ｋ）を介
して上下移動枠（６ａ）に装着されていて、上下方向に
かなり大きなフレキシビリティを有するが、押付パッド
（６ｈ）は下面のみゴム製で、わずかのフレキシビリテ
ィを有しており、相互の位置関係は第６図（ｄ）に示す
ように、通常は押付パッド（６ｈ）の底面は吸着パッド
（６ｇ）の底面よりわずかに上位に位置しているが、下
面露光装置（３）において枠（６ａ）を必要位置まで下
降させることにより、ワーク（１３）またはマスク（１
４）の位置合せピン（３ｄ）の周囲に押付力を与えなが
ら、ワーク（１３）またはマスク（１４）の位ｆｆｆｉ
合せの際の変位に追随できるように位置合せピン（３ｄ
）に対応する位置に装着されている。A rubber suction pad (6
g) is installed at the position A-B in FIG. 6(c), and the pressing pad (6h) is installed at the position C. Suction pad (
6g), the ACi position is piped to the vacuum generator (61), the B position is piped to the vacuum generator (6j), and the inner suction pad (6g) at position A is exclusively used for workpiece suction. The outer suction pad (6g) at position B is provided exclusively for mask suction, and the suction pad (6g) at position B is
6g) does not directly adsorb the mask (14).
) is attached to the acrylic resin plate of the base (14a), which attracts the outer peripheral part of the mask (14), thereby preventing the mask (14) from shifting and becoming dirty. The suction pad (6g) is attached to the vertical movement frame (6a) via a spring (6k) and has considerable flexibility in the vertical direction, but the pressing pad (6h) is only made of rubber on the bottom surface and has a slight It has flexibility, and as shown in Figure 6(d), the bottom of the pressing pad (6h) is normally located slightly higher than the bottom of the suction pad (6g). However, by lowering the frame (6a) to the required position in the bottom exposure device (3), the workpiece (13) or mask (1
4) While applying a pressing force around the alignment pin (3d), position the workpiece (13) or mask (14) fffi.
Positioning pins (3D
) is installed in the position corresponding to

第７図（ａ）は下面露光装置（３）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図
、（ｅ）はその一部の断面図、第８図（ａ）は位置合せ
ピンの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、
第９図はワーク解放ピンの正面図である。下面露光装置
（３）は搬送装置（６）により搬入装置（２）から搬送
されてきたワーク（１３）とマスク（１４）とを位置合
せして密着し、下方からの紫外線または可視光線の照射
により、マスク（１４）の一方の面に焼付を行うように
構成されている。下面露光装置（３）の下部には露光台
（３３）が設けられ、その下方に反射鏡を含む光源（３
ｂ）が設置されている一露光台（３ａ）の上面にはワー
ク（１３）およびマスク（１４）を積載する透明ガラス
板（３ｃ〕が設けられ、その周囲の２辺にはそれぞれ別
々の個所に並べて設けられた位置合せピン（３ｄ）、ワ
ーク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ピン（３ｆ）か
らなるピン群が３個所に配置され、その外周にマスク（
１４）吸着用吸気孔（３ｇ）が、さらにその外周にはワ
ーク（１３）およびマスク（１４）密着用吸気孔（３ｈ
）が設けられている。Fig. 7 (a) is a front view of the bottom exposure device (3), (b) is a side view thereof, (C) is a plan view, (d) is a plan view of the exposure table, and (e) is a part of it. 8(a) is a plan view of the alignment pin, (b) is a front view thereof, (c) is a side view,
FIG. 9 is a front view of the work release pin. The bottom exposure device (3) aligns and brings the mask (14) into close contact with the workpiece (13) transported from the loading device (2) by the transport device (6), and irradiates it with ultraviolet rays or visible light from below. Accordingly, printing is performed on one side of the mask (14). An exposure table (33) is provided at the bottom of the bottom exposure device (3), and a light source (3) including a reflecting mirror is installed below the exposure table (33).
A transparent glass plate (3c) on which a workpiece (13) and a mask (14) are loaded is installed on the top surface of one exposure table (3a) where b) is installed. Pin groups consisting of alignment pins (3d), work release pins (3e), and mask release pins (3f) are arranged in three locations, and a mask (
14) There is an intake hole (3g) for suction, and an intake hole (3h) for adhering the workpiece (13) and mask (14) on the outer periphery.
) is provided.

ピン（３ｄ）は第８図に示すカム機構を有するとともに
、軸（３１）により３本のピン（３ｄ）が機械的に連結
され、１個のシリンダー（３ｊ）の駆動により３本が同
期して昇降して、ワーク（１３）および／またはマスク
（１４）の同位置に設けられた位置合せ穴（１３ｂ）、
（１４ｃ）　ヘ挿入され、各ピン（３ｄ）の出方の差に
よる位置ずれが防止されるようになっている。The pin (3d) has a cam mechanism shown in Fig. 8, and the three pins (3d) are mechanically connected by the shaft (31), and the three pins are synchronized by driving one cylinder (3j). alignment holes (13b) provided at the same position on the workpiece (13) and/or the mask (14);
(14c) to prevent positional deviation due to differences in the protrusion of each pin (3d).

このときの挿入を容易に行うため、ピン（３ｄ）は先端
がテーパー加工されている。なおピン（３ｄ）はワーク
解放ピン（３ｅ）とマスク解放ピン（３ｆ）の中間に位
置するが、スペースの都合上第７図（ａ）〜（ｃ）では
省略されている。In order to facilitate insertion at this time, the tip of the pin (3d) is tapered. Note that the pin (3d) is located between the work release pin (3e) and the mask release pin (3f), but is omitted in FIGS. 7(a) to 7(c) due to space constraints.

位置合せ精度を高めるため、ピン（３ｄ）に対するワー
ク（１３）またはマスク（１４）の位置合せ穴（１３ｂ
）。In order to improve the alignment accuracy, the alignment hole (13b) of the workpiece (13) or mask (14) with respect to the pin (3d) is
).

（１４ｅ）の径の公差はかなり小さくなっていて、ピン
（３ｄ）を挿入するに当りある程度の抑圧が必要なため
、前述のように搬送装置（６）にはワーク（１３）また
はマスク（１４）のピン（３ｄ）の周囲を押すための押
付パッド（６ｈ）が装着され、ピン（３ｄ）は押付パッ
ド（６ｈ）を貫通するようになっている。The diameter tolerance of (14e) is quite small and a certain amount of pressure is required to insert the pin (3d), so as mentioned above, the workpiece (13) or mask (14 ) is attached with a pressing pad (6h) for pressing around the pin (3d), and the pin (3d) passes through the pressing pad (6h).

ワーク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ピン（３ｆ）
はワーク（１３）またはマスク（１４）をピン（３ｄ）
から外すためのもので、第９図はワーク解放ピン（３ｅ
）を示し、ピン（３ｅ）はシリンダー（３ｋ）によりガ
イド（３Ｑ）を介して昇降し、マスク（１４）の貫通穴
（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げるようにな
っている。Work release pin (3e) and mask release pin (3f)
Pin (3d) the workpiece (13) or mask (14)
Figure 9 shows the work release pin (3e
), the pin (3e) is moved up and down by the cylinder (3k) via the guide (3Q) and pushes up the workpiece (13) through the through hole (14d) of the mask (14).

マスク解放ピン（３ｆ）も図示は省略したが、はぼ同様
の構成となっており、直接マスク（１４）を押上げるよ
うになっている。吸気孔（３ｇ）　、　（３ｈ）には真
空引ノズル（３ｍ）　、　（３ｎ）が開口している。　
（３ｏ）は露光台（３ａ）の外周に設けられたパツキン
、（３Ｐ）は換気用ファンである。Although the mask release pin (3f) is not shown, it has the same structure as the mask release pin (3f) and directly pushes up the mask (14). Vacuum nozzles (3m) and (3n) are opened in the intake holes (3g) and (3h).
(3o) is a gasket provided on the outer periphery of the exposure table (3a), and (3P) is a ventilation fan.

第１０図（ａ）は搬送装置（７）の側面図、　（ｂ）、
（Ｃ）はそれぞれその一部の断面図である。搬送装置（
７）は下面露光装置（３）のワーク（１３）またはマス
ク（１４）を上面露光装置（４）に搬送するとともに、
下面露光装置（３）のワーク（１３）およびマスク（１
４）を密着させるように構成されている。（７ａ）は上
下移動枠。FIG. 10(a) is a side view of the conveying device (7), (b)
(C) is a sectional view of a portion thereof. Conveyance device (
7) transports the workpiece (13) or mask (14) from the bottom exposure device (3) to the top exposure device (4),
Workpiece (13) and mask (1) of bottom exposure device (3)
4) is configured so as to be brought into close contact with each other. (7a) is a vertical movement frame.

（７ｂ）は水平移動板＋　（７ｃ）はシリンダー、　（
７ｄ）は軸受、（７ｅ）はブラケット、（７ｆ）は軸、
（７ｇ）は吸着パッド、（７ｋ）はばねであり、搬送装
置（６）と同様の水平移動機構および上下移動機構を形
成している。(7b) is a horizontally moving plate + (7c) is a cylinder, (
7d) is the bearing, (7e) is the bracket, (7f) is the shaft,
(7g) is a suction pad, (7k) is a spring, and forms a horizontal movement mechanism and a vertical movement mechanism similar to the transport device (6).

（７Ω）は吸着部で、軸（７ｍ）およびばね（７ｎ）に
よって上下移動枠（７ａ）から懸垂され、軸（７ｍ）は
軸（７ｏ）内を摺動し、これによって吸着部（７Ｑ）は
フレキシブルに動くようになっている。また吸着部（７
Ｑ）はゴムシート（７Ｐ）間に内蔵された吸着パッド（
７ｇ）により、穴（７９）を介してバキューム作用によ
ってワーク（１３）またはマスク（１４）を吸着すると
ともに、下面露光時は第７図（ｅ）に示すように下面露
光面にセットされたワーク（１３）およびマスク（１４
）を被い、真空保持のためのパッドとして働くようにな
っている。(7Ω) is a suction part, which is suspended from the vertical movement frame (7a) by a shaft (7m) and a spring (7n), and the shaft (7m) slides inside the shaft (7o), thereby causing the suction part (7Q) is designed to move flexibly. Also, the suction part (7
Q) is a suction pad (built-in between the rubber sheets (7P)).
7g) attracts the workpiece (13) or mask (14) by vacuum action through the hole (79), and at the time of bottom exposure, the workpiece set on the bottom exposure surface as shown in FIG. 7(e). (13) and mask (14)
), which acts as a pad for maintaining vacuum.

第１１図（ａ）は上面露光装置（４）の正面図、（ｂ）
はその側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面
図、（ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図
である。上面露光装置（４）は下面露光装置（３）で焼
付されたワーク（１３）の他方の面を、上部に設置した
光源によって上方から焼付ける装置で、露光面までワー
ク（１３）およびマスク（１４）を上昇させ、押圧して
セットするとともに、ワーク（１３）とマスク（１４）
を被い、それらを密着するための真空パッドとしての役
目も兼ねる上下テーブルと露光部とから構成されている
。Figure 11 (a) is a front view of the top exposure device (4), (b)
is a side view thereof, (c) is a plan view, (d) is a plan view of the exposure table, (e) is a sectional view taken along line ee, and (f) is a sectional view taken along line ff. The top exposure device (4) is a device that prints the other side of the workpiece (13) that has been printed by the bottom exposure device (3) from above using a light source installed at the top, and it exposes the workpiece (13) and mask ( 14) is raised, pressed and set, and the workpiece (13) and mask (14) are
It consists of an upper and lower table, which also serves as a vacuum pad to cover and bring them into close contact, and an exposure section.

露光部は露光台（４ａ）、光源（４ｂ）、透明ガラス板
（４ｃ）、位置合せピン（４ｄ）、ワーク解放ピン（４
ｅ）、マスク解放ピン（４ｆ）、・・・軸（４１）、・
・・換気用ファン（４Ｐ）などが下面露光装置（３）と
上下逆に設けられ。The exposure section consists of an exposure table (4a), a light source (4b), a transparent glass plate (4c), an alignment pin (4d), and a work release pin (4).
e), mask release pin (4f), ... shaft (41), ...
...The ventilation fan (4P) etc. is installed upside down with the bottom exposure device (3).

はぼ同様の構造を有するため説明を省略する。Since it has a structure similar to that of Habo, its explanation will be omitted.

上下テーブルは強固に組立てられた枠体（４９）と、そ
の上部に設けられたテーブル（４ｒ）と、シリンダー（
４ｓ）を介してこれらを支持する枠体（４ｔ）と、枠体
（４９）の側面に取付けた軸受（４ｕ）と、露光機の全
体枠（１２）に取付けられたレール（４ｖ）とから成り
、軸受（４ｕ）およびレール（４ｖ）をガイドとしてシ
リンダー（４ｓ）の駆動により、露光面まで昇降するよ
うに構成されている。The upper and lower tables are made up of a strongly assembled frame (49), a table (4r) installed on top of the frame, and a cylinder (49).
4s), a bearing (4u) attached to the side of the frame (49), and a rail (4v) attached to the overall frame (12) of the exposure machine. It is configured to move up and down to the exposure surface by driving a cylinder (4s) using a bearing (4u) and a rail (4v) as guides.

枠体（４ｑ）の上部のテーブル（４ｒ）は軸（４１ａ）
、ばね（４１ｂ）および軸受（４１ｃ）によりフレキシ
ブルな動きができるように組立てられていて、その上面
にはゴムシート（４１ｄ）が接合部（４１ｅ）　、　（
４１ｆ）によって張られている。またテーブル（４ｒ）
の中央部には押付板（４１ｇ）が軸（４ｔｈ）、軸受（
４１ｉ）、ばね（４１ｊ）を介して組付けられ、ゴムシ
ート（４１ｄ、）を上に押付けるようになっている。The table (4r) at the top of the frame (4q) has a shaft (41a)
, a spring (41b) and a bearing (41c) to allow flexible movement, and a rubber sheet (41d) is attached to the top surface of the joint (41e), (
41f). Also table (4r)
In the center of the press plate (41g) is attached to the shaft (4th) and the bearing (
41i) and are assembled via a spring (41j) to press the rubber sheet (41d,) upward.

搬送袋Ｃ１，（８）は上面露光装置（４）において露光
された後、上下テーブルへ置かれたワーク（１３）を吸
着し、搬出部のコンベア上へ搬送するように構成された
もので、搬送装置（６）から押付パッド（６ｈ）を除い
たものと同一構造であるので、細部についての図示は省
略されている。The transport bag C1, (8) is configured to adsorb the workpiece (13) placed on the upper and lower tables after being exposed in the top exposure device (4) and transport it onto the conveyor of the transporting section. Since it has the same structure as the conveyance device (6) except for the pressing pad (6h), illustration of details is omitted.

第１２図（ａ）は搬出装置（５）の正面図、（ｂ）はそ
の側面図、（ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその
正面図、（ｅ）は側面図である。搬出装置（５）は搬送
装置（８）により、上面露光装置（４）から搬送された
ワーク（１３）を装置外のコンベアなどへ搬出するため
の装置で、ローラ（５ａ）がはめ込まれた軸（５ｂ）が
軸受（５ｃ）を介して枠組（５ｄ）により支持され、ベ
ルト（５ｅ）を介して電動機（５ｆ）に接続し、ローラ
（５ａ）外周に張ったゴムベルト（５ｇ）によりワーク
（１３）を搬出するようになっており、枠組（５ｄ）が
露光機の全体枠（１２）に取付けられている。（５ｈ）
はゴムベルト（５ｇ）の張力調整装置である。Figure 12 (a) is a front view of the unloading device (5), (b) is a side view thereof, (c) is a plan view of its unloading section, (d) is a front view thereof, and (e) is a side view. be. The unloading device (5) is a device for unloading the workpiece (13) transported from the top exposure device (4) by the transporting device (8) to a conveyor or the like outside the device. (5b) is supported by a framework (5d) via a bearing (5c), connected to an electric motor (5f) via a belt (5e), and a rubber belt (5g) stretched around the outer periphery of the roller (5a) ) is carried out, and a framework (5d) is attached to the overall frame (12) of the exposure machine. (5h)
is a tension adjustment device for a rubber belt (5g).

上記のように構成された露光機においては、ワーク（１
３）および／またはマスク（１４）を第３図に示すパレ
ット（１０）に積載して搬入する。ワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）をパレット（１０）に積載す
る場合、ワーク（１３）および／またはマスク（１４）
に設けられた位置決め穴（１３ａ）、　（１４ｂ）に位
置決めピン（１１）のワーク／マスク位置決め部（Ｉｌ
ａ）　を挿入して積載すると、ワーク（１３）および／
またはマスク（ｉ＝１）はパレット（１０）に対して正
確に位置決めされる。In the exposure machine configured as described above, the workpiece (1
3) and/or the mask (14) are loaded onto a pallet (10) shown in FIG. 3 and transported. When loading the workpiece (13) and/or mask (14) on the pallet (10), the workpiece (13) and/or mask (14)
The workpiece/mask positioning part (Il) of the positioning pin (11) is inserted into the positioning holes (13a) and (14b) provided in the
a) When inserted and loaded, the workpiece (13) and/or
Or the mask (i=1) is precisely positioned relative to the pallet (10).

このようにワーク（１３）および／またはマスク（１４
）を積載したパレット（１０）はストッカー（１）に保
管され、特定のパレット（１０）が第４図および第５図
に示すようにストッカー（１）から移載機Ｗ（ｌａ）に
より搬入装［１２（２）のテーブル上板（２ｅ）上に払
出される。そしてパレット（１０）がボール軸受（２ｋ
）上を摺動し、ストッパー（２Ｑ）に当った時点で、移
載機構（ｌａ）がストッカー（１）内に戻り、パレット
（１０）が仮置きされる。この状態からパレット（１ｏ
）はシリンダー（２ｎ）に連動した押付機構（２幻によ
りガイド（２ｏ）側へ押付けられ、パレット（１０）の
下部に突出する位置決めピン（１１）の一方のパレット
位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２９）の係合により押付
方向と直角方向の位置決めが行われ、他方のパレット位
置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２ρ）により押付方向の位
置決めが行われる。In this way, the workpiece (13) and/or the mask (14)
) loaded with pallets (10) are stored in the stocker (1), and a specific pallet (10) is carried in and loaded from the stocker (1) by the transfer machine W (la) as shown in Figures 4 and 5. [It is dispensed onto the table top plate (2e) of 12(2). And the pallet (10) is mounted on a ball bearing (2k
) and when it hits the stopper (2Q), the transfer mechanism (la) returns to the stocker (1) and the pallet (10) is temporarily placed there. From this state, the pallet (1o
) is pressed toward the guide (2o) by the pressing mechanism (2 phantom) linked to the cylinder (2n), and is connected to one pallet positioning part (llb) of the positioning pin (11) protruding from the bottom of the pallet (10) and the notch ( 29), positioning is performed in a direction perpendicular to the pressing direction, and positioning in the pressing direction is performed by the other pallet positioning portion (llb) and the notch (2ρ).

位置決めピン（１１）はワーク／マスク位置決め部（ｌ
ｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌｂ）が一体に形成さ
れているため、両者の位置関係は常に一定であり、この
ためワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）によりパレッ
ト（１０）に対して位置決めされたワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）はパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）によってパレット（１０）が位置決めされることに
より、搬入位置において正確に位置決めされ、パレット
（１０）の寸法のバラツキに拘らず、正確な位置決めが
行われる。この場合ワーク（１３）および／またはマス
ク（１４）の位置は位置決めピン（１１）のワーク／マ
スク位置決め部（Ｉｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）の位置関係によって決まるため、位置決めピン（１
１）の寸法精度を上げればよく、パレット（ｌＯ）の寸
法精度は低くてもよい。位置決めピン（１１）は一体内
に形成されているため、寸法精度を高くするのは容易で
あり、パレット（１ｏ）は低コスト化される。The positioning pin (11) is connected to the workpiece/mask positioning part (l
Since the pallet positioning section (lla) and the pallet positioning section (lla) are integrally formed, the positional relationship between the two is always constant. (13) and/or the mask (14) are pallet positioning parts (ll
By positioning the pallet (10) according to b), the pallet (10) is accurately positioned at the loading position, and accurate positioning is performed regardless of variations in the dimensions of the pallet (10). In this case, the position of the workpiece (13) and/or mask (14) is determined by the workpiece/mask positioning part (Ila) of the positioning pin (11) and the pallet positioning part (lla).
b), so the positioning pin (1
It is only necessary to increase the dimensional accuracy of 1), and the dimensional accuracy of the pallet (lO) may be low. Since the positioning pins (11) are formed in one piece, it is easy to increase the dimensional accuracy and the pallet (1o) can be made at a low cost.

パレット（１０）が位置決めされたあと、枠体（２ａ）
はシリンダー（２ｊ）によって高速で所定位置まで上昇
し、その後モータ（２ｂ）によって、テーブル枠体（２
ｄ）およびテーブル上板（２ｏ）がゆっくりと所定位置
まで上昇し、微調整が行われる。ワーク（１３）および
／またはマスク（１４）が搬送されて空になったパレッ
ト（１０）、または用済後の返還されたマスク（１４）
の収納されたパレット（１０）は、シリンダー（２ｊ）
により高速で、またモータ（２ｂ）によってゆっくりと
所定位置まで下降し、押出機構（２ｒ）によリガイド（
２ｏ）から解放され、移載機構（１ａ）によってストッ
カー（１）に収納される。シリンダー（２ｊ）およびモ
ータ（２ｂ）により２段階に昇降させることにより、パ
レット（１０）を高速かつ高精度で所定位置に昇降させ
ることができる。After the pallet (10) is positioned, the frame (2a)
is raised to a predetermined position at high speed by the cylinder (2j), and then the table frame (2
d) and the table top plate (2o) are slowly raised to a predetermined position, and fine adjustments are made. Empty pallet (10) after transporting workpiece (13) and/or mask (14), or returned mask (14) after use
The stored pallet (10) is in the cylinder (2j)
The motor (2b) slowly lowers it to the specified position, and the extrusion mechanism (2r) re-guides it (
2o) and stored in the stocker (1) by the transfer mechanism (1a). By raising and lowering the pallet (10) in two stages using the cylinder (2j) and the motor (2b), the pallet (10) can be raised and lowered to a predetermined position at high speed and with high precision.

パレット（１０）を位置決めしたテーブル上板（２ｅ）
が所定位置に上昇すると、搬送装置（６）力弓Ｑ人装置
（２）の上部から下降し、ますＢ位置の吸着パッド（６
ｇ）がパレット（１０）内に積載された上面露光用のマ
スク（１４）をバキュウム作用により吸着する。Table top plate (2e) with pallet (10) positioned
When it rises to the specified position, the transport device (6) descends from the top of the force bow Q-man device (2) and picks up the suction pad (6) at position B.
g) attracts the top exposure mask (14) loaded in the pallet (10) by vacuum action.

そしてシリンダー（６ｃ）によって上昇した後、シリン
ダー（９ａ）によって下面露光装置（３）へ移動し、さ
らにシリンダー（６ｃ）によって下降し、マスク（１４
）を下面露光装置（３）の露光台（３ａ）の透明ガラス
板（３ｃ）上にセットする。このとき吸二ｎパット（６
ｇ）はＢ位置のものがマスク（１４）を裏打しているベ
ースのアクリル樹脂板の外周部のみを吸着し。After being lifted up by the cylinder (6c), moved to the lower exposure device (3) by the cylinder (9a), and then lowered by the cylinder (6c), and then moved to the mask (14) by the cylinder (6c).
) is set on the transparent glass plate (3c) of the exposure table (3a) of the bottom exposure device (3). At this time, suck two n putts (6
In g), the one at position B adsorbs only the outer periphery of the acrylic resin plate of the base lining the mask (14).

その内側に位置するマスク（フィルム）は吸着しないで
搬送する。そして下面露光装置（３）上にセットする際
、シリンダー（３ｊ）により３本の位置合せピン（３ｄ
）を同時に押上げてマスク（１４）の位置合せ穴（１４
ｃ）に位置合せピン（３ｄ）を挿入し、このとき押付パ
ッド（６ｈ）の押付力によりマスク（１４）の浮上がり
を防止する。The mask (film) located inside the mask is transported without being attracted. Then, when setting it on the bottom exposure device (3), use the cylinder (3j) to tighten the three alignment pins (3d).
) at the same time and align the mask (14) with the alignment hole (14).
Insert the alignment pin (3d) into c), and at this time, the pressing force of the pressing pad (6h) prevents the mask (14) from rising.

上面露光用のマスク（１４）のセット後、搬送装置（６
）は上昇して搬入装置（２）へ移動し、下降してパレッ
ト（１０）から下面露光用のマスク（１４）を吸着し。After setting the mask (14) for top exposure, the transport device (6
) rises and moves to the carry-in device (2), and descends to pick up the mask (14) for bottom exposure from the pallet (10).

同様の動作で下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセ
ットする。その間に、上面露光用のマスク（１４）は搬
送装置（７）により下面露光装置（３）から上面露光装
置（４）へ搬送されている。マスク（１４）がセットさ
れたあと、同様の動作によって対応ワーク（１３）が順
に搬送され、セットされる。このとき人位置の吸着パッ
ド（６ｇ）がワーク（１３）を吸着して搬送を行い１位
置合せピン（３ｄ）をワーク（１３）の位置合せ穴（１
３ｂ）に挿入し、押付パッド（６ｈ）によりワーク（１
３）の浮上がりおよび傾斜を防止する。対応ワーク（１
３）が全数搬送されると、下面露光用のマスク（１４）
および下面露光装置（３）に戻された上面露光用のマス
ク（１４）は搬送装置（６）により搬入装置（２）の空
のパレット（１０）へ返納される。In the same manner, it is set on the exposure table (3a) of the bottom exposure device (3). In the meantime, the upper surface exposure mask (14) is being transported from the lower surface exposure device (3) to the upper surface exposure device (4) by the transport device (7). After the mask (14) is set, the corresponding workpieces (13) are sequentially conveyed and set in the same manner. At this time, the suction pad (6g) at the person's position suctions the workpiece (13) and transports it, and the first alignment pin (3d) is inserted into the alignment hole (1st) of the workpiece (13).
3b) and press the workpiece (1) using the pressing pad (6h).
3) Preventing lifting and tilting. Corresponding work (1
3), the mask for lower surface exposure (14) is transferred.
The upper surface exposure mask (14) returned to the lower surface exposure device (3) is returned to the empty pallet (10) of the carrying device (2) by the transport device (6).

下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセットされたマ
スク（１４）は、その周囲を吸気孔（３ｇ）を通して真
空引ノズル（３ｍ）により真空引きすることにより、露
光台（３ａ）のガラス板（３ｃ）に密着し、保持される
。The mask (14) set on the exposure table (3a) of the bottom exposure device (3) is evacuated by the vacuum nozzle (3m) through the suction hole (3g) to remove the mask (14) from the exposure table (3a). It is held in close contact with the glass plate (3c).

そしてマスク（１４）の上部にワーク（１３）がセット
された後、搬送装置ｉ！　（６）が上昇して、搬入装置
（２）側へ移動し、二九に代って搬送装置（７）が上面
露光装置（４）側から移動してきて下降し、その下部の
ゴムシート（７ｐ）によりマスク（１４）とワーク（１
３）が被われると、露光台（３ａ）の外周部の吸気孔（
３ｈ）から、真空引ノズル（３ｎ）により真空引きされ
、露光が行われる。After the workpiece (13) is set on top of the mask (14), the transport device i! (6) rises and moves to the carry-in device (2) side, and the conveyor device (7) moves from the top exposure device (4) side instead of 29 and descends, and the rubber sheet ( 7p), mask (14) and workpiece (1
3) is covered, the air intake hole (
From 3h), the vacuum nozzle (3n) evacuates and exposes the film.

露光が終了すると真空ノズル（３ｎ）の真空引が解除さ
れ、ワーク解放ピン（３ｅ）がマスク（１４）の貫通穴
（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げ、位置合せ
ピン（３ｄ）からワーク（１３）を解放し、続いて搬送
装置（７）の吸着パッド（７ｇ）によりワーク（１３）
を吸着して上面露光装置（４）に搬送し、この間に搬送
装置（６）により次のワーク（１３）を下面露光装置（
３）に搬送してセットし、前記と同様にして露光が繰返
えされる。所定枚数の露光が終了し、用済みとなったマ
スク（１４）はマスク解放ピン（３ｆ）に押されて位置
合せピン（３ｄ）から解放され、搬送装置（６）により
前記と逆の動作で搬入装置（２）に返還される。When the exposure is completed, the vacuum of the vacuum nozzle (3n) is released, the workpiece release pin (3e) pushes up the workpiece (13) through the through hole (14d) of the mask (14), and the workpiece is released from the alignment pin (3d). (13) is released, and then the workpiece (13) is removed by the suction pad (7g) of the transfer device (7).
is adsorbed and transported to the top exposure device (4), and during this time the next workpiece (13) is transferred to the bottom exposure device (
3), and the exposure is repeated in the same manner as above. After the exposure of a predetermined number of sheets has been completed, the used mask (14) is pushed by the mask release pin (3f) and released from the alignment pin (3d), and then carried out by the transport device (6) in the reverse operation to the above. It is returned to the carry-in device (2).

上面露光用のマスク（１４）を下面露光装置（３）から
上面露光装置（４）へ搬送する場合もマスク解放ピン（
３ｆ）により解放される。The mask release pin (
3f).

搬送装置（７）によるマスク（１４）の搬送は次の通り
行われる。すなわち搬送装置（７）は搬送装置（６）と
同様の動作により、下面露光装置（３）の上部から下降
し、露光台（３ａ）に位置決めセットされた上面露光用
のマスク（１４）を吸着し、上面露光装置（４）へ移動
して下降する。搬送装置（７）が上面露光装置（４）内
の上下テーブルのテーブル（４ｒ）の上面と吸着された
マスクが接触するまで下降すると、搬送装置（７）は停
止し、吸着パッド（７ｇ）の電磁バルブが閉じられてマ
スク（１４）はテーブル（４ｒ）上面のゴムシート（４
１ｄ）上へ置かれるにのあと搬送装置（７）は上昇し、
下面露光装置（３）側へ移動後下降して、前述のように
露光台（３ａ）に位置決めセットされたワーク（１３）
とマスク（１４）を吸着部（７Ｑ）のゴムシート（７Ｐ
）で被い、露光中この状態を保持する。露光が完了する
と、ワーク解放ピン（３ｅ）により解放されたワーク（
１３）のみ前述のマスク（１４）と同様の動作で上面露
光装置（４）の上下テーブルへ搬送する。The mask (14) is transported by the transport device (7) as follows. That is, the transport device (7) moves down from the top of the bottom exposure device (3) by the same operation as the transport device (6), and adsorbs the top exposure mask (14) positioned and set on the exposure table (3a). Then, it moves to the top exposure device (4) and descends. When the transport device (7) descends until the suctioned mask contacts the top surface of the upper and lower table (4r) in the top exposure device (4), the transport device (7) stops and the suction pad (7g) When the electromagnetic valve is closed, the mask (14) is placed on the rubber sheet (4) on the top surface of the table (4r).
1d) After being placed on top, the transport device (7) is raised;
The workpiece (13) is moved to the bottom exposure device (3) side and then lowered, and is positioned and set on the exposure table (3a) as described above.
and the mask (14) on the rubber sheet (7P) of the suction part (7Q).
) and maintain this state during exposure. When the exposure is completed, the workpiece released by the workpiece release pin (3e) (
Only the mask 13) is transported to the upper and lower tables of the top exposure device (4) in the same manner as the mask (14) described above.

上面露光装置（４）では、搬送装置（７）の吸着部（７
Ｑ）により吸着されて搬送されてきたワーク（１４）が
下降し、テーブル（４ｒ）上のゴムシート（４１ｄ）に
接触した後吸着部（７Ｑ）からが放されてゴムシート（
４１ｄ）上に置かれる。その後シリンダー（４ｓ）によ
り枠体（４９）が上昇し、ワーク（１３）およびマスク
（１４）は露光台（４ａ）の位置決めピン（４ｄ）にセ
ットされるが、この時の押圧力はテーブル（４ｒ）の中
央部に組付けられた押付板（４１ｇ）により支えられる
。In the top exposure device (4), the suction unit (7) of the transport device (7)
The workpiece (14) that has been suctioned and conveyed by the suction part (7Q) descends and comes into contact with the rubber sheet (41d) on the table (4r), after which it is released from the suction part (7Q) and the rubber sheet (
41d) placed on top. After that, the frame body (49) is raised by the cylinder (4s), and the workpiece (13) and mask (14) are set on the positioning pins (4d) of the exposure table (4a). 4r) is supported by a pressing plate (41g) assembled at the center.

このとき位置合せピン（４ｄ）が突出し、ゴムシート（
４１ｄ）によって押付けられてワーク（１３）およびマ
スク（１４）の浮上がりおよび傾斜が防止され、位置合
せが行われる。位置合せピン（４ｄ）はゴムシート（４
１ｄ）を貫通するようになっている。こうしてセットさ
れたワーク（１３）とマスク（１４）はそのままゴムシ
ート（４１ｄ）によって被われ、下面露光装置（３）の
場合と同様に、真空引ノズル（４ｍ）　、　（４ｎ）　
（図示省略）によって真空密着され、光源（４ｂ）によ
り露光される。At this time, the alignment pin (4d) protrudes and the rubber sheet (
41d) to prevent the workpiece (13) and the mask (14) from lifting or tilting, and align the workpiece (13) and mask (14). The alignment pin (4d) is a rubber sheet (4
1d). The workpiece (13) and mask (14) set in this way are covered with a rubber sheet (41d) as they are, and as in the case of the bottom exposure device (3), vacuum nozzles (4m) and (4n) are used.
(not shown) and exposed to light by a light source (4b).

その後下面露光装置（３）と同一構造の解放ピン（３ｅ
）　、　（３ｆ）により露光台（３ａ）より解放され、
再びテーブル（４ｒ）のゴムシート（４１ｄ）上に置か
れる。After that, the release pin (3e), which has the same structure as the bottom exposure device (3),
), released from the exposure table (3a) by (3f),
It is placed on the rubber sheet (41d) on the table (4r) again.

この状態で上下テーブルが所定の位置まで下降すると、
搬送装置（８）が搬送装置（６）、（７）と同様の動作
でゴムシート（４１ｄ）上のワーク（１３）を吸着して
搬出装置（５）に搬送し、ゴムベルト（５ｇ）上に置か
れると、電ａ機（５ｆ）によって回転するローラ（５ａ
）によりゴムベルト（５ｇ）が回転して、ワーク（１３
）が装置外のコンベアなどに搬出される。上面露光装置
（４）において所定枚数のワーク（１３）の露光を行い
、用済みとなったマスク（１４）は前記と逆の動作で搬
送装置（７）および（６）により、下面露光装置（３）
を経て搬入装置（２）のパレット（１０）へ返還される
。In this state, when the upper and lower tables are lowered to the specified position,
The conveyance device (8) operates in the same manner as the conveyance devices (6) and (7) to adsorb the workpiece (13) on the rubber sheet (41d), conveys it to the unloading device (5), and places it on the rubber belt (5g). When placed, a roller (5a) rotates by an electric machine (5f).
) rotates the rubber belt (5g), and the workpiece (13
) is carried out onto a conveyor, etc. outside the device. A predetermined number of workpieces (13) are exposed in the top exposure device (4), and the used masks (14) are transferred to the bottom exposure device ( 3)
It is then returned to the pallet (10) of the carry-in device (2).

上記の露光機では、下面露光装置（３）および上面露光
装置（４）においてワーク（１３）およびマスク（１４
）の位置合せを行う場合、３本の位置合せピン（３ｄ）
、（４ｄ）が１個のシリンダーにより同期して昇降する
ため、各ピン（３ｄ）　、　（４ｄ）の出方の差による
位置ずれが防止され、各ピン（３ｄ）　、　（４ｄ）は
先端がテーパー加工されているため、容易に位置合せ穴
（１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入され、このとき押付
部材としての押付パッド（６ｈ）およびゴムシート（４
１ｄ）によりワーク（１３）およびマスク（１４）の浮
上がりおよび傾斜が防止される。このほか３個所に設け
られた１本のピン（３ｄ）　、　（４ｄ）をワーク（１
３）およびマスク（１４）の同位置に設けられた位置合
せ穴（１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入して同時に位置
合せを行うため、位置合せ精度が高くなる。In the above exposure machine, the workpiece (13) and the mask (14) are used in the bottom exposure device (3) and the top exposure device (4).
), use three alignment pins (3d)
, (4d) are raised and lowered synchronously by one cylinder, so positional deviations due to differences in the protrusion of each pin (3d) and (4d) are prevented, and the tip of each pin (3d) and (4d) is Because it is tapered, it can be easily inserted into the alignment holes (13b) and (14c), and at this time, the pressing pad (6h) as a pressing member and the rubber sheet (4
1d) prevents the workpiece (13) and mask (14) from lifting and tilting. In addition, one pin (3d) and (4d) provided at three locations are connected to the workpiece (1
3) and into the alignment holes (13b) and (14c) provided at the same position in the mask (14) and alignment is performed simultaneously, thereby increasing the alignment accuracy.

また下面露光装置（３）および上面露光装置（４）では
、別々に設けたワーク解放ピン（３ｅ）　、　（４ｅ）
およびマスク解放ピン（３ｆ）　、　（４ｆ）によりワ
ーク（１３）およびマスク（１４）を別々に解放するこ
とができるので、同一のマスク（１４）を使用して複数
のワーク（１３）を露光するときのワーク（１３）の交
換を容易かつ高速度で行うことができる。In addition, in the bottom exposure device (3) and the top exposure device (4), workpiece release pins (3e) and (4e) are provided separately.
Since the workpiece (13) and the mask (14) can be released separately by the mask release pins (3f) and (4f), multiple workpieces (13) can be exposed using the same mask (14). The workpiece (13) can be replaced easily and at high speed.

さらに搬送装置（６）、（８）では吸着パッド（６ｇ）
。In addition, suction pads (6g) are
.

（７ｇ）が内側のＡ位置および外側のＢ位置に配置され
独立した真空発生装置（６ｊ）に接続して、それぞれワ
ーク専用およびマスク専用となっているので、マスク（
１４）を搬送する場合ベース（１４ａ）のアクリル樹脂
板の外周を保持して、内側に固定されたマスク（フィル
ム）（１４）の位置すれと汚れを防止することができる
。(7g) are placed at the inner A position and the outer B position and are connected to independent vacuum generators (6j), which are used exclusively for the work and for the mask respectively, so the mask (
14), the outer periphery of the acrylic resin plate of the base (14a) can be held to prevent the mask (film) (14) fixed inside from shifting and getting dirty.

上記の露光機では下面露光袋′１ｖｉ（３）と上面露光
装置（４）が別の装置となっているため、従来の両面露
光装置に比べて搬送スペースを大きくとることができ、
これによりワーク（１３）およびマスク（１４）の搬送
を容易に行うことができるとともに、焦点合せもワーク
（１３）を動かせばよいので容易である。In the above-mentioned exposure machine, the bottom exposure bag '1vi (3) and the top exposure device (4) are separate devices, so compared to the conventional double-sided exposure device, a larger transport space can be taken.
Thereby, the workpiece (13) and the mask (14) can be easily transported, and focusing can also be done simply by moving the workpiece (13).

なお、以上の説明において、位置合せピン（３ｄ）。In addition, in the above description, the alignment pin (3d) is referred to as the alignment pin (3d).

（４ｄ）の構造、配置等は限定されず、変更可能である
。The structure, arrangement, etc. of (4d) are not limited and can be changed.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、露光装置におけるワークおよびマスク
の位置合せピンを３個設け、それぞれ同期して突出する
ようにしたので、ピンの出方の差によるワークおよびマ
スクの位置ずれを防止し、位置合せ精度を向上させるこ
とができる。According to the present invention, three alignment pins are provided for the workpiece and the mask in the exposure apparatus, and each of them is made to protrude in synchronization, thereby preventing the positional shift of the workpiece and the mask due to the difference in the way the pins protrude, thereby preventing the positioning of the workpiece and the mask. The alignment accuracy can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図（ａ）は実施例の露光機の全体を示す正面図、（
ｂ）はその平面図、第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ
）はその平面図、（Ｃ）は側面図、第３図（ａ）はパレ
ットの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、
（ｄ）は位置決めピンの正面図、（ｅ）、（ｆ）はそれ
ぞれパレッ１−の使用状態を示す平面図、第４図（ａ）
はストッカーの正面図、（ｂ）はその平面図、第５図（
ａ）は搬入装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（Ｃ）
はそのテーブル上板の平面図、第６図（ａ）は搬出装置
の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は
吸着パッドおよび押付パッドの正面図、第７図（ａ）は
下面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ）は
平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）はその一部の
断面図、第８図（ａ）は位置合せピンの平面図、（ｂ）
はその正面図、（ｃ）は側面図、第９図はワーク解放ピ
ンの正面図、第１０図（ａ）は搬送装置の側面図、　（
ｂ）、（Ｃ）はそれぞれその一部の断面図。 第１１図（ａ）は上面露光装置の正面図、（ｂ）はその
側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（
ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、＜ｆ＞はｆ−ｆ断面図、第１
２図（ａ）は搬出装置の正面図、（ｂ）はその側面図、
（Ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその正面図、（
ｅ）は側面図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、（１）はストッカ
ー、（２）は搬入装置、　（２ｏ）は位置決めガイド、
（３）は下面露光装置、（３ａ）、　（４ａ）は露光台
、（３ｂ）、　（４ｂ）は光源、　（３ｄ）、（４ｄ）
は位置合せピン、（３ｅ）　、　（４ｅ）はワーク解放
ピン、（３ｆ）、　（４ｆ）はマスク解放ピン、（４）
は上面露光装置、　（４ｒ）はテーブル、（４１ｄ）は
ゴムシート、（５）は搬出装置、（６）　、　（７）　
、　（８）は搬送装置、　（６ｇ）、（７ｇ）は吸着パ
ッド、（６ｈ）は押付パッド、（１０）はパレット、（
１１）は位置決めピン、（ｌｌａ）はワーク／マスク位
置決め部、（Ｌｌｂ）はパレット位置決め部、（１３）
はワーク、（１４）はマスク、（１４ａ）はベースであ
る。FIG. 1(a) is a front view showing the whole exposure machine of the embodiment;
b) is its plan view, Fig. 2(a) is its rear view, and (b)
) is its plan view, (C) is its side view, FIG. 3 (a) is its plan view, (b) is its front view, (c) is its side view,
(d) is a front view of the positioning pin, (e) and (f) are plan views showing the state in which pallet 1- is used, and Fig. 4 (a)
is a front view of the stocker, (b) is its plan view, and Fig. 5 (
(a) is a front view of the loading device, (b) is a side view thereof, (C)
6(a) is a front view of the unloading device, (b) is a side view, (c) is a plan view, (d) is a front view of the suction pad and pressing pad, and FIG. 7(a) is a front view of the bottom exposure apparatus, (b) is a side view thereof, (c) is a plan view, (d) is a plan view of the exposure table, (e) is a sectional view of a part thereof, and FIG. Figure 8 (a) is a plan view of the alignment pin, (b)
is its front view, (c) is a side view, Fig. 9 is a front view of the work release pin, Fig. 10 (a) is a side view of the transfer device, (
b) and (C) are partial cross-sectional views. 11(a) is a front view of the top exposure apparatus, (b) is a side view thereof, (c) is a plan view, (d) is a plan view of the exposure table, (
e) is the ee-e cross-sectional view, <f> is the f-f cross-sectional view, and the first
Figure 2 (a) is a front view of the unloading device, (b) is a side view thereof,
(C) is a plan view of the unloading section, (d) is a front view thereof, (
e) is a side view. In each figure, the same symbols indicate the same parts, (1) is the stocker, (2) is the loading device, (2o) is the positioning guide,
(3) is a bottom exposure device, (3a), (4a) is an exposure table, (3b), (4b) is a light source, (3d), (4d)
are alignment pins, (3e) and (4e) are work release pins, (3f) and (4f) are mask release pins, (4)
is the top exposure device, (4r) is the table, (41d) is the rubber sheet, (5) is the unloading device, (6), (7)
, (8) is a conveyance device, (6g), (7g) are suction pads, (6h) is a pressing pad, (10) is a pallet, (
11) is the positioning pin, (lla) is the work/mask positioning part, (Llb) is the pallet positioning part, (13)
is a workpiece, (14) is a mask, and (14a) is a base.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）ワークおよび／またはマスクを積載したパレット
を位置決めして所定の高さまで上昇させる搬入装置と、
下部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合せし
てワーク下面の露光を行う下面露光装置と、上部に光源
を有しかつワークおよびマスクを位置合せしてワーク上
面の露光を行う上面露光装置と、露光済みのワークを機
外へ搬出する搬出装置と、ワークまたはパレットを吸着
して上記各装置間を移動し搬送を行う搬送装置と、下面
露光装置および上面露光装置に設けられた露光台と、こ
の露光台にセットされたワークおよびマスクの対応位置
に設けられた位置合せ穴に同時に挿入されるように同期
して突出する３個の位置合せピンとを備えたことを特徴
とする露光機。(1) A loading device that positions a pallet loaded with workpieces and/or masks and raises it to a predetermined height;
A bottom exposure device has a light source at the bottom and aligns the workpiece and mask to expose the bottom surface of the workpiece, and a top exposure device has a light source at the top and aligns the workpiece and mask to expose the top surface of the workpiece. , a transport device that transports the exposed workpiece out of the machine, a transport device that picks up the workpiece or pallet and moves it between the above devices, and an exposure table installed in the bottom exposure device and the top exposure device. and three positioning pins that protrude synchronously so as to be simultaneously inserted into positioning holes provided at corresponding positions of the workpiece and mask set on the exposure table. . （２）位置合せピンは先端がテーパー状となっているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光機。(2) The exposure machine according to claim 1, wherein the alignment pin has a tapered tip.