JPS6228622A - 近赤外分光光度計のシヤツタ - Google Patents
近赤外分光光度計のシヤツタInfo
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- JPS6228622A JPS6228622A JP16758785A JP16758785A JPS6228622A JP S6228622 A JPS6228622 A JP S6228622A JP 16758785 A JP16758785 A JP 16758785A JP 16758785 A JP16758785 A JP 16758785A JP S6228622 A JPS6228622 A JP S6228622A
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- Japan
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- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は近赤外ダブルビーム分光光度計に係り、特に熱
輻射による測光値の変動を少なくして測光正確さを向上
させるに好適な近赤外分光光度計に関する。
輻射による測光値の変動を少なくして測光正確さを向上
させるに好適な近赤外分光光度計に関する。
近赤外分光光度計の光検知器は波長1μmから2.5μ
mの範囲で感度を有する。一方、室温(約300’K)
での物質は波長9.6pm をピークとする熱輻射を放
射するが、2.5μm以下の近赤外域では波長が短くな
るに従い急激に輻射強度が減少する。例えば最大強度の
9.6μmにおける輻射熱強度を1とすると2.5μm
は6X10−”、2μmは1.5X10−s、1.5μ
mは2.3 x 10−”、 1μmでは2.lX10
−”となる。
mの範囲で感度を有する。一方、室温(約300’K)
での物質は波長9.6pm をピークとする熱輻射を放
射するが、2.5μm以下の近赤外域では波長が短くな
るに従い急激に輻射強度が減少する。例えば最大強度の
9.6μmにおける輻射熱強度を1とすると2.5μm
は6X10−”、2μmは1.5X10−s、1.5μ
mは2.3 x 10−”、 1μmでは2.lX10
−”となる。
従って室温においては検知器が感知する輻射強度は長波
長側の強度が圧倒的に強いことがわかる。
長側の強度が圧倒的に強いことがわかる。
ところで、分光光度計の系全体が同一温度にある場合(
熱平衡の状態)には検知器自体も室温であり、従って検
知器は周囲の輻射熱を検知することはない。しかし分光
光度計内部には回転鏡用のモータなどの発熱体があり、
測定中にはモータのボディ温度は80℃以上に達する。
熱平衡の状態)には検知器自体も室温であり、従って検
知器は周囲の輻射熱を検知することはない。しかし分光
光度計内部には回転鏡用のモータなどの発熱体があり、
測定中にはモータのボディ温度は80℃以上に達する。
このため光路中に入る反射鏡やしや先板の温度が上昇し
、室温より10℃程度の高温になることがある。
、室温より10℃程度の高温になることがある。
いま・室温が300°にであるとすると10℃の温度上
昇に対し波長2.5μmの輻射強度は1・8倍、波長2
μmでは2倍に上昇する。近赤外分光光度計の分光感度
が1μm〜2.5μmの範囲で一定であると仮定すると
、前述した如く室温附近での温度上昇に対しては長波長
の2.5μm近辺の輻射強度の上昇が大きい。
昇に対し波長2.5μmの輻射強度は1・8倍、波長2
μmでは2倍に上昇する。近赤外分光光度計の分光感度
が1μm〜2.5μmの範囲で一定であると仮定すると
、前述した如く室温附近での温度上昇に対しては長波長
の2.5μm近辺の輻射強度の上昇が大きい。
以上のことより■分光光度計の内部温度上昇により輻射
エネルギーの強度分布が変る、■長波長側の輻射エネル
ギーの増減分が短波長側の増減分より圧倒的に大きい。
エネルギーの強度分布が変る、■長波長側の輻射エネル
ギーの増減分が短波長側の増減分より圧倒的に大きい。
の2点がわかる。
これまでは分光光度計自体の固有の特性について述べた
が、分光光度計は本来試料の透過率、反射率、吸光度を
求めるものである。
が、分光光度計は本来試料の透過率、反射率、吸光度を
求めるものである。
いま、被測定物の温度が室温である場合で、短波長側で
完全不透明、長波長側で透明な場合を仮定してみる。こ
のような特性を持つ試料としてはシリコン単結晶があげ
られ、その透過スペクトルを第1図に示す。
完全不透明、長波長側で透明な場合を仮定してみる。こ
のような特性を持つ試料としてはシリコン単結晶があげ
られ、その透過スペクトルを第1図に示す。
このサンプルに対し短波長側(例として1μm)にて透
過率を測定しようとした場合、分光光度計の分光器から
出射した単色光(1μm)試料によって完全に吸収され
る。しかし試料前の光路にある光学素子から放射される
熱輻射の内、長波長側め輻射光は試料を透過する。従っ
て分光光度計内部の温度が上昇すると、温度上昇分はそ
のまま検知器で検出される。
過率を測定しようとした場合、分光光度計の分光器から
出射した単色光(1μm)試料によって完全に吸収され
る。しかし試料前の光路にある光学素子から放射される
熱輻射の内、長波長側め輻射光は試料を透過する。従っ
て分光光度計内部の温度が上昇すると、温度上昇分はそ
のまま検知器で検出される。
このことは、本来透過率が0%Tであるべき試料の測定
結果が浮き上がり、測定正確さを狂わせることとなる。
結果が浮き上がり、測定正確さを狂わせることとなる。
以上の内容を従来例をとりあげて具体的に説明する。
第2図において光源1から出射した白色光は分光器2の
入射スリット3に入射し1分散子4によって分散された
あと出射スリット5から単色光となって出射する。単色
光は回転反射鏡6および反射鏡7により試料光路(L、
)と対照光路(L* )に別けられ、被測定試料8およ
び対照側ブランク試料9を透過したあと、反射鏡10お
よび回転反射鏡11により光検知器12に入射し、試料
光路(L8)を通った光信号は電気信号電工、に、対照
光路(L@)を通った光信号は電気信号電工。
入射スリット3に入射し1分散子4によって分散された
あと出射スリット5から単色光となって出射する。単色
光は回転反射鏡6および反射鏡7により試料光路(L、
)と対照光路(L* )に別けられ、被測定試料8およ
び対照側ブランク試料9を透過したあと、反射鏡10お
よび回転反射鏡11により光検知器12に入射し、試料
光路(L8)を通った光信号は電気信号電工、に、対照
光路(L@)を通った光信号は電気信号電工。
に変換される。
光検知器12はそれ自体に暗電流信号I−があり、更に
分光光度計の各部からの散乱、輻射光による浮き上がり
分工、があるが、I、+I、の値は1、、I、に対し数
%に達することがあり、また測定条件によって変動する
ための測定中常時検知しておく必要がある。そのため回
転反射鏡6または回転反射鏡11に光しゃ所用のマスク
13をとりつけ1回転反射鏡が1回転するたびにI、+
I。
分光光度計の各部からの散乱、輻射光による浮き上がり
分工、があるが、I、+I、の値は1、、I、に対し数
%に達することがあり、また測定条件によって変動する
ための測定中常時検知しておく必要がある。そのため回
転反射鏡6または回転反射鏡11に光しゃ所用のマスク
13をとりつけ1回転反射鏡が1回転するたびにI、+
I。
を実測している0通常は回転反射鏡の1周期は30m5
ec程度であり、分光光度計の温度上昇速度(通常は0
.1℃/分)に比べ十分に速い。
ec程度であり、分光光度計の温度上昇速度(通常は0
.1℃/分)に比べ十分に速い。
検知器12の出力信号の内、光束が試料側にあるときの
電気信号量(一般的には光電流)をS。
電気信号量(一般的には光電流)をS。
対照側にあるときをR1光しゃ所用マスクによりじゃ光
されたときを2とすると、タイムチャートは第3図に示
すようになる。
されたときを2とすると、タイムチャートは第3図に示
すようになる。
分光光度計では(s−z)/ (R−Z)を演算し、そ
の結果が測光値(透過度)になる、第2図および第3図
は分光光度計の内部温度が同一温度で平衝状態にある理
想的な場合においてのみ成り立つ。
の結果が測光値(透過度)になる、第2図および第3図
は分光光度計の内部温度が同一温度で平衝状態にある理
想的な場合においてのみ成り立つ。
ところで被測定試料は必ずしも分光光度計の温度(一般
的には室温)とは一致した温度ではない。
的には室温)とは一致した温度ではない。
測定の目的によっては試料の温度を高温に保つことさえ
ある。この場合試料自体あるいは試料保持機構が周囲温
度より高温になっており、熱輻射は平衝状態よりも大と
なる。前述したとおり室温附近での温度上昇に対しては
2.5μm近辺の熱輻射がきわめて強く、且10℃の温
度上昇に対し2.5μmの波長の輻射強度は1.8倍に
なる。
ある。この場合試料自体あるいは試料保持機構が周囲温
度より高温になっており、熱輻射は平衝状態よりも大と
なる。前述したとおり室温附近での温度上昇に対しては
2.5μm近辺の熱輻射がきわめて強く、且10℃の温
度上昇に対し2.5μmの波長の輻射強度は1.8倍に
なる。
近赤外分光光度計の熱検知器は2.5μmに対しても感
度を有するため、試料が発する熱輻射LHを検知し電気
信号量Ihに変換する。第2図に示す光学系の場合には
、検知器の出力タイムチャートは第4図に示すとおりで
、試料からの熱輻射は試料側信号Sにのみ加算される6
従って、例えば被測定試料が完全不透明体で、分光器2
から出射した単色光を完全に吸収したとしても、検知器
はS信号として工、を出力し、みかけ上0%Tが浮き上
がる。
度を有するため、試料が発する熱輻射LHを検知し電気
信号量Ihに変換する。第2図に示す光学系の場合には
、検知器の出力タイムチャートは第4図に示すとおりで
、試料からの熱輻射は試料側信号Sにのみ加算される6
従って、例えば被測定試料が完全不透明体で、分光器2
から出射した単色光を完全に吸収したとしても、検知器
はS信号として工、を出力し、みかけ上0%Tが浮き上
がる。
次に、試料自体は室温と同一の場合について考察する1
分光光度計の電源が投入されてから1時間経過すると、
回転反射鏡用のモータのボディ温度は80℃程度になり
、従って回転反射鏡および光しゃ断用マスクは室温より
10℃程度温度上昇する。しかし、反射鏡自体は通常ガ
ラス製で、しかも表面にはアルミニウムの蒸着がほどこ
されている。ガラスやアルミニウムは放射能 (Emissibity )が非常に小さく0.1 以
下である。
分光光度計の電源が投入されてから1時間経過すると、
回転反射鏡用のモータのボディ温度は80℃程度になり
、従って回転反射鏡および光しゃ断用マスクは室温より
10℃程度温度上昇する。しかし、反射鏡自体は通常ガ
ラス製で、しかも表面にはアルミニウムの蒸着がほどこ
されている。ガラスやアルミニウムは放射能 (Emissibity )が非常に小さく0.1 以
下である。
従って熱輻射量は小さい。一方光しゃ断用マスクは黒色
塗料又は渡合を行っており放射能は黒体に近く1と考え
てよい。
塗料又は渡合を行っており放射能は黒体に近く1と考え
てよい。
更に分光器の分散子から試料部に至るまでの光学系で光
路中に入る部品としては各種反射鏡、レンズ、光学部品
保持台、出射スリットがあるがいずれもモータとは接触
しておらず、温度上昇は無視し得る。
路中に入る部品としては各種反射鏡、レンズ、光学部品
保持台、出射スリットがあるがいずれもモータとは接触
しておらず、温度上昇は無視し得る。
以上より、分光光度計の内部部品で温度上昇による影響
が一番大きいものが光しゃ断用マスクである。以下に光
しゃ断用マスクの影響についてのべる。
が一番大きいものが光しゃ断用マスクである。以下に光
しゃ断用マスクの影響についてのべる。
いま被測定試料の透過スペクトルが第1図に示す如く1
μmにてO%T、2.5μmにて80%T近辺であった
とする。(例えばSiウェハーなど)。
μmにてO%T、2.5μmにて80%T近辺であった
とする。(例えばSiウェハーなど)。
また光しゃ断用マスクの温度が室温(300’にとする
)に対し10’C高温(310°K)になったと仮定す
る。分光光度計の波長を1μmに設定すると、光束が試
料側にあるときの電気信号量Sは S=I、+I、+1.. ・・・(
1)光束が対照側にあるときの電気信号量RはR=I、
+I、+I、、 ・・・(2)光束
が光しゃ断用マスクによりしゃ断されるときの電気信号
量Zは Z=I、+1.、 ・・
・(3)となる。ここにI、、、1.、.1.、は熱輻
射による検知器の電気信号量で、光束が試料側のときに
I xm、対照側のときにI sr、光しゃ断マスクが
入ったときをI−とする。
)に対し10’C高温(310°K)になったと仮定す
る。分光光度計の波長を1μmに設定すると、光束が試
料側にあるときの電気信号量Sは S=I、+I、+1.. ・・・(
1)光束が対照側にあるときの電気信号量RはR=I、
+I、+I、、 ・・・(2)光束
が光しゃ断用マスクによりしゃ断されるときの電気信号
量Zは Z=I、+1.、 ・・
・(3)となる。ここにI、、、1.、.1.、は熱輻
射による検知器の電気信号量で、光束が試料側のときに
I xm、対照側のときにI sr、光しゃ断マスクが
入ったときをI−とする。
前述したように反射鏡のE+++1ssibityは非
常に小、さいので、I、、<<I、+Ia、1..<<
I、+Lとなり(1)、(2)式は S=I、+1. ・・・(4
)R=I、+I、 ・・・(
5)となる。一方光しゃ断マスクのEmissibit
yは1に近いため、■8.を無視することはできない。
常に小、さいので、I、、<<I、+Ia、1..<<
I、+Lとなり(1)、(2)式は S=I、+1. ・・・(4
)R=I、+I、 ・・・(
5)となる。一方光しゃ断マスクのEmissibit
yは1に近いため、■8.を無視することはできない。
なぜならば被測定試料は第1図に示すような透過スペク
トルを持つので、光しゃ断マスクの放射する輻射エネル
ギーの内の大半を占める2、5μm近辺の輻射光は試料
を透過する。一方分光器の波長は1μmにあると仮定し
たが、このとき1.=Oとなり S=I□ ・・・(6)
となる。すなわち、Z>Sとなり、透過度(S−Z)/
(R−Z)の演算結果は負の値というきわめて異常な
結果になる。実験結果によれば一2%Tを示すこともあ
る。
トルを持つので、光しゃ断マスクの放射する輻射エネル
ギーの内の大半を占める2、5μm近辺の輻射光は試料
を透過する。一方分光器の波長は1μmにあると仮定し
たが、このとき1.=Oとなり S=I□ ・・・(6)
となる。すなわち、Z>Sとなり、透過度(S−Z)/
(R−Z)の演算結果は負の値というきわめて異常な
結果になる。実験結果によれば一2%Tを示すこともあ
る。
近年半導体を中心とする新素材の光技術利用が急激に発
展しているが、これらの分野では低い透過度を精密に計
測することが必要とされる。このような目的において、
分光光度計自体が数%にも及ぶ0%Tの変動があったの
では技術の向上は望めない、O%Tの変動が起きる原因
には■被測定試料が高温になり熱輻射が大きくなる。■
光しゃ断マスクが高温になり熱輻射が大きくなる。の2
点がある。
展しているが、これらの分野では低い透過度を精密に計
測することが必要とされる。このような目的において、
分光光度計自体が数%にも及ぶ0%Tの変動があったの
では技術の向上は望めない、O%Tの変動が起きる原因
には■被測定試料が高温になり熱輻射が大きくなる。■
光しゃ断マスクが高温になり熱輻射が大きくなる。の2
点がある。
本発明の目的は分光光度計の内部温度上昇による測定値
誤差の発生を最小限にして、正確さの高い近赤外分光光
度計の測光方式を提供することにある。
誤差の発生を最小限にして、正確さの高い近赤外分光光
度計の測光方式を提供することにある。
本発明は光源と分散子の間に光束をしゃ断するシャッタ
を設け、分散子から試料までの間には温度上昇による熱
輻射強度が少ない光学素子を配置し、更に試料と検知器
の間には移動機構を置かない配置をすることにより、■
分光光度計の温度上昇によるO%Tの変動を少なくし、
■試料自体の輻射熱による0%Tの変動を除外するもの
である。
を設け、分散子から試料までの間には温度上昇による熱
輻射強度が少ない光学素子を配置し、更に試料と検知器
の間には移動機構を置かない配置をすることにより、■
分光光度計の温度上昇によるO%Tの変動を少なくし、
■試料自体の輻射熱による0%Tの変動を除外するもの
である。
以下1本発明の一実施例を第5図により説明する。出射
スリット5から出射した単色光は回転反射鏡6、反射f
i7,14.15により試料光束と対照光束に別けられ
、被測定試料8および対照側ブランク試料9を透過した
あと、反射鏡16゜17.18.19により光検知器1
2で受光される。回転反射鏡6には光しゃ断マスク13
がもうけられている。
スリット5から出射した単色光は回転反射鏡6、反射f
i7,14.15により試料光束と対照光束に別けられ
、被測定試料8および対照側ブランク試料9を透過した
あと、反射鏡16゜17.18.19により光検知器1
2で受光される。回転反射鏡6には光しゃ断マスク13
がもうけられている。
試料8,9と光検知器12の間には測定中移動する反射
鏡はない。このため、被測定試料8が周囲の温度(室温
)に比べ高温に保たれている場合には、被測定試料8が
放射する輻射熱線は定常的に光検知器J2に照射してお
り、S、R,Zのいずれに対しても均等に影響する。す
なわち被測定試料8からの輻射熱の影響は(S−Z)/
(R−Z)の演算を行うことにより消去される。
鏡はない。このため、被測定試料8が周囲の温度(室温
)に比べ高温に保たれている場合には、被測定試料8が
放射する輻射熱線は定常的に光検知器J2に照射してお
り、S、R,Zのいずれに対しても均等に影響する。す
なわち被測定試料8からの輻射熱の影響は(S−Z)/
(R−Z)の演算を行うことにより消去される。
また、被測定試料8の温度が変動しても、回転反射鏡に
よる光断続周期が十分早ければ、S、R。
よる光断続周期が十分早ければ、S、R。
寥を検出する1周期間では一定と見なすことができる。
例えば第5図で採用した光学梁の場合、S、R。
Zの1周期は15m5ecである。一方被測定試料8の
温度変動は0.1℃/秒程度であり、1周期間での温度
変化は0.0015℃となり、輻射熱の変動は無視し得
る。
温度変動は0.1℃/秒程度であり、1周期間での温度
変化は0.0015℃となり、輻射熱の変動は無視し得
る。
第5図はブランク(Planck)の黒体輻射の波長特
性を示す、黒体の温度がT″K、波長1国のときの黒体
の表面1(!l” から立体角πラジアンに放射する輻
射エネルギーJは次式で求められる。
性を示す、黒体の温度がT″K、波長1国のときの黒体
の表面1(!l” から立体角πラジアンに放射する輻
射エネルギーJは次式で求められる。
c、=5.955X 10−”watt−am”c 、
= 1.432a* 11grad300°K(27
℃) と310” K (37℃)のときのJを1μm
、1.5μm、2μm、2.5μmの範囲で算出した結
果を第1表に示している。
= 1.432a* 11grad300°K(27
℃) と310” K (37℃)のときのJを1μm
、1.5μm、2μm、2.5μmの範囲で算出した結
果を第1表に示している。
第1表において、AJは各波長におけるJ31゜・J
300・の差を示している。
300・の差を示している。
第1表
第1表より2.5μmでのエネルギー変動量がきわめて
大であることがわかるが、被測定試料8の透過スペクト
ルは第1図に示すような場合が多く、試料による2、5
μm近辺の輻射エネルギーの吸収は期待できない。すな
わち、光しゃ断用マスクから放射される輻射熱の影響は
最小限にする必要がある。
大であることがわかるが、被測定試料8の透過スペクト
ルは第1図に示すような場合が多く、試料による2、5
μm近辺の輻射エネルギーの吸収は期待できない。すな
わち、光しゃ断用マスクから放射される輻射熱の影響は
最小限にする必要がある。
第5図において光しゃ断用マスク13は光源1と分散子
4の間に置かれている。回転反射鏡6はEmissib
ityの低いガラスの表面に、更にE+5issibi
tyの低い(0,01以下)アルミニウムを蒸着してあ
り、回転反射鏡の円周は8oIm、形状は90″ピツチ
の扇形をした2枚の反射鏡でできている。光しゃ断用マ
スク13は厚さ0.5mm゛の薄い鋼板を用い、45°
ピツチの扇形をした4枚の回転マスクである。
4の間に置かれている。回転反射鏡6はEmissib
ityの低いガラスの表面に、更にE+5issibi
tyの低い(0,01以下)アルミニウムを蒸着してあ
り、回転反射鏡の円周は8oIm、形状は90″ピツチ
の扇形をした2枚の反射鏡でできている。光しゃ断用マ
スク13は厚さ0.5mm゛の薄い鋼板を用い、45°
ピツチの扇形をした4枚の回転マスクである。
回転反射鏡6および光しゃ断用マスク13はともに4極
のリアクションシンクロナスモータ20゜21により回
転するが、2個のモータ20,21に供給する交流電源
は同一の商用電源(50又は60Hz)を用いる。使用
するシンクロナスモータの極性と光しゃ断用マスク13
の扇形マスクの枚数が同一であれば、通電のタイミング
の如何を問わず電源位相に対して羽根の位相は常に一定
であることは特許出願昭48’−001154号に示さ
れた実験結果から公知である。回転反射鏡6の旋形鏡の
枚数はモータの極性の1/2であるため、通電のタイミ
ングによっては試料側光束Sと対照側光束Rのタイミン
グが反転する。この場合、回転反射鏡6の位相を知るた
めにフォトカプラ22をとりつけておくことによりS、
R,Zの全てのタイミングを検知することができる。
のリアクションシンクロナスモータ20゜21により回
転するが、2個のモータ20,21に供給する交流電源
は同一の商用電源(50又は60Hz)を用いる。使用
するシンクロナスモータの極性と光しゃ断用マスク13
の扇形マスクの枚数が同一であれば、通電のタイミング
の如何を問わず電源位相に対して羽根の位相は常に一定
であることは特許出願昭48’−001154号に示さ
れた実験結果から公知である。回転反射鏡6の旋形鏡の
枚数はモータの極性の1/2であるため、通電のタイミ
ングによっては試料側光束Sと対照側光束Rのタイミン
グが反転する。この場合、回転反射鏡6の位相を知るた
めにフォトカプラ22をとりつけておくことによりS、
R,Zの全てのタイミングを検知することができる。
一方、光しゃ新月マスク13の設置場所は可能な限り光
束の狭い場所が望ましい。光束カットの立上り立下りと
光量利用効率の関係は、特許出願昭47−59725に
示される計算式により求めることができる。このため、
光しゃ新月マスク13は入射スリット3の直前あるいは
直後に設置する。
束の狭い場所が望ましい。光束カットの立上り立下りと
光量利用効率の関係は、特許出願昭47−59725に
示される計算式により求めることができる。このため、
光しゃ新月マスク13は入射スリット3の直前あるいは
直後に設置する。
したがって、本実施例によれば光しゃ新月マスク13と
回転反射鏡6は常に一定の角度関係を保ち、あたかも回
転反射鏡の表面にマスクがあるごとく位相関係を持ち、
且、R4Z−+5−)Zの切換の際の立上り立下りも短
時間ですむ。
回転反射鏡6は常に一定の角度関係を保ち、あたかも回
転反射鏡の表面にマスクがあるごとく位相関係を持ち、
且、R4Z−+5−)Zの切換の際の立上り立下りも短
時間ですむ。
ところで光しゃ新月マスク13は前述のとおり周囲温度
に比べて10℃程度温度上昇するが、光しゃ新月マスク
13の輻射熱は分光器2によって分散され、出射スリッ
ト5から出射する波長成分は分光器2の設定波長によっ
て選択される。また光源1にハロゲンランプを用いると
、光源1の輝度温度は3000” Kに達し、波長1μ
mにおけるJは3.15X10’で310°にの場合と
は1011倍も違う。すなわち、光しゃ新月マスク13
の配置が第5図に示すように入射スリット3の直前であ
る場合には入射スリット3の輻射熱は無視できる。
に比べて10℃程度温度上昇するが、光しゃ新月マスク
13の輻射熱は分光器2によって分散され、出射スリッ
ト5から出射する波長成分は分光器2の設定波長によっ
て選択される。また光源1にハロゲンランプを用いると
、光源1の輝度温度は3000” Kに達し、波長1μ
mにおけるJは3.15X10’で310°にの場合と
は1011倍も違う。すなわち、光しゃ新月マスク13
の配置が第5図に示すように入射スリット3の直前であ
る場合には入射スリット3の輻射熱は無視できる。
光検知器12の出力信号S、R,Zはプリアンプ23に
よりインピーダンス変換され、信号弁別器24によりS
、R,Zの別々の信号としてとり出される。信号弁別器
24にはフォトカプラ22の信号がとりこまれる。R,
S、Zに弁別された信号は演算処理器25により(S−
Z)/ (R−Z)を演算し測光値を得る。
よりインピーダンス変換され、信号弁別器24によりS
、R,Zの別々の信号としてとり出される。信号弁別器
24にはフォトカプラ22の信号がとりこまれる。R,
S、Zに弁別された信号は演算処理器25により(S−
Z)/ (R−Z)を演算し測光値を得る。
第5図では4極のリアクションシンクロナスモータを用
い、光しゃ新月マスク13の扇形マスクの枚数も4枚で
あったが、扇形マスクの形状がπ/ 2 n (n =
1 、2 、・・・)ラジアン周期であり、回転反射
鏡6の形状がπ/nラジアンであれば本実施例と同一の
効果が得られることは、特許出願昭48−001154
から容易に類推できる。
い、光しゃ新月マスク13の扇形マスクの枚数も4枚で
あったが、扇形マスクの形状がπ/ 2 n (n =
1 、2 、・・・)ラジアン周期であり、回転反射
鏡6の形状がπ/nラジアンであれば本実施例と同一の
効果が得られることは、特許出願昭48−001154
から容易に類推できる。
更に光しゃ新月マスク13と回転反射鏡6を歯車やタイ
ミングベルトで連結し、1個のモータで回転する方式は
容易に考えつくものであり本発明の本質的な変更ではな
い。
ミングベルトで連結し、1個のモータで回転する方式は
容易に考えつくものであり本発明の本質的な変更ではな
い。
光しゃ新月マスク13のかわりに往復振動式光しゃ断器
を用い、モータ又は電磁ソレノイドで振動させて光束を
しゃ断する方式も容易に考えつくものであり本発明の本
質的な変更ではない・〔発明の効果〕 本発明によれば、試料や光しゃ新月マスクが放射する熱
輻射による検知器出力の変動を除去し、近赤外領域にお
いて測定誤差の少ない高精度の分光測定が達成できる効
果がある。
を用い、モータ又は電磁ソレノイドで振動させて光束を
しゃ断する方式も容易に考えつくものであり本発明の本
質的な変更ではない・〔発明の効果〕 本発明によれば、試料や光しゃ新月マスクが放射する熱
輻射による検知器出力の変動を除去し、近赤外領域にお
いて測定誤差の少ない高精度の分光測定が達成できる効
果がある。
第1図は近赤外域で測定誤差が大となる試料の透過スペ
クトルを示す図、第2図は近赤外分光光度計の光学系概
念図、第3図は第2図の光学系における検知器出力のタ
イムチャート、第4図は輻射熱の影響を受けた場合のタ
イムチャート、第5図は本発明の実施例を示す図である
。 1・・・光源、2・・・分光器、3・・・入射スリット
、4・・・分散子、5・・・出射スリット、6,11・
・・回転反射鏡、7,10,14,15,16,17,
18゜19・・・反射鏡、8・・・被測定試料、9・・
・対照側ブランク試料、12・・・光検知器、13・・
・光しゃ新月マスク、20.21・・・リアクションシ
ンクロナスモータ、22・・・フォトカプラ、23・・
・プリアンプ、2・′)
クトルを示す図、第2図は近赤外分光光度計の光学系概
念図、第3図は第2図の光学系における検知器出力のタ
イムチャート、第4図は輻射熱の影響を受けた場合のタ
イムチャート、第5図は本発明の実施例を示す図である
。 1・・・光源、2・・・分光器、3・・・入射スリット
、4・・・分散子、5・・・出射スリット、6,11・
・・回転反射鏡、7,10,14,15,16,17,
18゜19・・・反射鏡、8・・・被測定試料、9・・
・対照側ブランク試料、12・・・光検知器、13・・
・光しゃ新月マスク、20.21・・・リアクションシ
ンクロナスモータ、22・・・フォトカプラ、23・・
・プリアンプ、2・′)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、波長1μmから25μmの範囲で感度を有する光検
知器と、光束を2方向に別ける移動式反射鏡を有し、被
測定試料と光検知器の間に移動式反射鏡がない近赤外分
光光度計において、光源と分散子の間に光束をしゃ断す
るシャッタを設けたことを特徴とする近赤外分光光度計
のシャッタ。 2、特許請求の範囲第1項において、移動式反射鏡が回
転反射鏡で、シャッタが回転体であることを特徴とする
近赤外分光光度計のシャッタ。 3、特許請求の範囲第2項において、回転シャッタの形
状がπ/2nラジアン周期(n=1、2、・・・)の扇
状であり、回転反射鏡の形状がπ/nラジアン周期の扇
状であることを特徴とする近赤外分光光度計のシャッタ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16758785A JPS6228622A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 近赤外分光光度計のシヤツタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16758785A JPS6228622A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 近赤外分光光度計のシヤツタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6228622A true JPS6228622A (ja) | 1987-02-06 |
Family
ID=15852518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16758785A Pending JPS6228622A (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 近赤外分光光度計のシヤツタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6228622A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5436457A (en) * | 1993-06-10 | 1995-07-25 | Horiba, Ltd. | Infrared gas analyzer |
JP2005539217A (ja) * | 2002-09-13 | 2005-12-22 | クライン メディカル リミテッド | 分光光度計 |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP16758785A patent/JPS6228622A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5436457A (en) * | 1993-06-10 | 1995-07-25 | Horiba, Ltd. | Infrared gas analyzer |
JP2005539217A (ja) * | 2002-09-13 | 2005-12-22 | クライン メディカル リミテッド | 分光光度計 |
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