JPS62281520A - 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ - Google Patents
磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサInfo
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- JPS62281520A JPS62281520A JP12426286A JP12426286A JPS62281520A JP S62281520 A JPS62281520 A JP S62281520A JP 12426286 A JP12426286 A JP 12426286A JP 12426286 A JP12426286 A JP 12426286A JP S62281520 A JPS62281520 A JP S62281520A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
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- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
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- 241000282806 Rhinoceros Species 0.000 description 1
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
「産業上の1−11用分野」
この発明は、例えば、磁気ロータリーエンコータ等に適
用され、磁気記録媒体に記録された磁気情報を、固有抵
抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子を用い
て読み取る磁気エンコーダ用1υ氏抗センザに関する。
用され、磁気記録媒体に記録された磁気情報を、固有抵
抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子を用い
て読み取る磁気エンコーダ用1υ氏抗センザに関する。
1−従来の技術、(
周知のように、磁気ロータリーエンコーダは、第2図(
イ)および(ロ)に示すように、人力軸lに連結された
円盤状の磁気記録媒体2と、この磁気記録媒体2と所定
のギャップGを隔てて対向し、磁気記録媒体2に8己録
されr、M!を気情報を読み取る磁気抵Fr’Cセンザ
3とから構成されている。この磁気抵抗センサ3は、例
えば、ガラス店板上に蒸着されたN i −F e合金
などからなる磁気抵抗素子(MR素子)によって構成さ
れており、MR素子の固有抵抗が磁界の変化に伴って変
化する現象、いイつゆる磁気抵抗効果を利用して、磁気
記録媒体2上に記録された磁気情報を読み取るようにな
っている。
イ)および(ロ)に示すように、人力軸lに連結された
円盤状の磁気記録媒体2と、この磁気記録媒体2と所定
のギャップGを隔てて対向し、磁気記録媒体2に8己録
されr、M!を気情報を読み取る磁気抵Fr’Cセンザ
3とから構成されている。この磁気抵抗センサ3は、例
えば、ガラス店板上に蒸着されたN i −F e合金
などからなる磁気抵抗素子(MR素子)によって構成さ
れており、MR素子の固有抵抗が磁界の変化に伴って変
化する現象、いイつゆる磁気抵抗効果を利用して、磁気
記録媒体2上に記録された磁気情報を読み取るようにな
っている。
そして、磁気記録媒体2には、その変位方向(円周方向
)に沿って一定間隔毎にマーク2a、2a・か磁気的に
記録されており、このマーク2a、2a・を変位検出用
の磁気抵抗センサ3aによって読み取ることにより、磁
気記録媒体2の回転量、つまり人力軸lの回転量が検出
されろようになっている。また、磁気記録媒体2の原点
1ケ置には、原点マーク2bが磁気的に記録されており
、この原点マーク2bは原点検出用の磁気抵抗センサ3
bによって検出されるようになっている。
)に沿って一定間隔毎にマーク2a、2a・か磁気的に
記録されており、このマーク2a、2a・を変位検出用
の磁気抵抗センサ3aによって読み取ることにより、磁
気記録媒体2の回転量、つまり人力軸lの回転量が検出
されろようになっている。また、磁気記録媒体2の原点
1ケ置には、原点マーク2bが磁気的に記録されており
、この原点マーク2bは原点検出用の磁気抵抗センサ3
bによって検出されるようになっている。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上述した磁気ロータリーエンコーダに適用さ
れる磁気抵抗センサ3においては、変位検出用の磁気抵
抗センサ3aと、原点検出用の磁気抵抗センサ3bが各
々別個に設けられていた。
れる磁気抵抗センサ3においては、変位検出用の磁気抵
抗センサ3aと、原点検出用の磁気抵抗センサ3bが各
々別個に設けられていた。
したがって、これら各センサ3a、3bによって、磁気
ロータリーエンコーグ内部の空間か占有されてしまい、
これが磁気ロータリーエンコーダの小形低廉化を阻害す
る要因となっていた。
ロータリーエンコーグ内部の空間か占有されてしまい、
これが磁気ロータリーエンコーダの小形低廉化を阻害す
る要因となっていた。
また、各センサ3a、3bを構成するMl’(素子は、
磁気記録媒体2から受けろ磁界の変化に応じて固有抵抗
値が変化ずろらのであるから、ギャップGか正確に調整
されていないと、M R素子に作用ずろ磁界か変化して
しまい、磁気記録媒体2に記録された磁気情報の読み出
しが正確に行なわれなくなってしまう。したがって、組
み立て時において、磁気記録媒体2との間のギャップG
を正確に調整しな;すればならない。そこで、従来は、
変位検出用の磁気抵抗センサ3aの検出信号に基づいて
ギャップGをi、v)整していたが、ギャップGが定量
的に検出されないので、ギャップの調整作業が極めて煩
雑であった。これを改善するためには、ギャップGを定
量的に検出するセンサを別途設けなければならないが、
このギャップGを定量的に検出するセンサを、磁気ロー
タリーエンコーダ内に組み込んだ場合、小形低廉化かさ
らに阻害されてしまう。
磁気記録媒体2から受けろ磁界の変化に応じて固有抵抗
値が変化ずろらのであるから、ギャップGか正確に調整
されていないと、M R素子に作用ずろ磁界か変化して
しまい、磁気記録媒体2に記録された磁気情報の読み出
しが正確に行なわれなくなってしまう。したがって、組
み立て時において、磁気記録媒体2との間のギャップG
を正確に調整しな;すればならない。そこで、従来は、
変位検出用の磁気抵抗センサ3aの検出信号に基づいて
ギャップGをi、v)整していたが、ギャップGが定量
的に検出されないので、ギャップの調整作業が極めて煩
雑であった。これを改善するためには、ギャップGを定
量的に検出するセンサを別途設けなければならないが、
このギャップGを定量的に検出するセンサを、磁気ロー
タリーエンコーダ内に組み込んだ場合、小形低廉化かさ
らに阻害されてしまう。
この発明は上述した事情に鑑みてなされた乙ので、磁気
エンコーダの小型低廉化を図ることができるとともに、
磁気記録媒体との間のギャップを定量的に検出する機能
を有し、ギャップの調整作業の簡便化をはかることかで
きろ磁気エンコーダ用磁気抵抗センサを提供することを
目的としている。
エンコーダの小型低廉化を図ることができるとともに、
磁気記録媒体との間のギャップを定量的に検出する機能
を有し、ギャップの調整作業の簡便化をはかることかで
きろ磁気エンコーダ用磁気抵抗センサを提供することを
目的としている。
「問題点を解決するための手段」
この発明は、磁気記録媒体に記録された原点位置情報を
読み取る原点検出用素子と、前記@気記録媒一体に一定
間隔で記録された位置情報を読み取る変位検出用素子と
、前記磁気記録媒体との間のギャップを検出するギャッ
プ検出用電極とを、固宵抵抗値か磁界の変化に応じて変
化する磁気抵抗素子によって、同一基板上に各々設けた
ことを特徴としている。
読み取る原点検出用素子と、前記@気記録媒一体に一定
間隔で記録された位置情報を読み取る変位検出用素子と
、前記磁気記録媒体との間のギャップを検出するギャッ
プ検出用電極とを、固宵抵抗値か磁界の変化に応じて変
化する磁気抵抗素子によって、同一基板上に各々設けた
ことを特徴としている。
「作用」
原点検出用素子と、変位検出用素子と、ギャップ検出用
電極とが全て同一基板上に設けられているので、磁気エ
ンコーダ内部を占有する空間が少なくて済み、磁気エン
コーダの小形低廉化が図られ、またギャップ検出用7I
i極と磁気記録媒体との間の静電容量を検出することに
より、磁気記録媒体との間のギャップが定m的に検出さ
れ、これにより、ギャップを自動的に調整することか可
能となり、ギャップの調整作業の簡便化が図られる。
電極とが全て同一基板上に設けられているので、磁気エ
ンコーダ内部を占有する空間が少なくて済み、磁気エン
コーダの小形低廉化が図られ、またギャップ検出用7I
i極と磁気記録媒体との間の静電容量を検出することに
より、磁気記録媒体との間のギャップが定m的に検出さ
れ、これにより、ギャップを自動的に調整することか可
能となり、ギャップの調整作業の簡便化が図られる。
「実施例」
以下、図面を参照し、この発明の詳細な説明する。
り自°盲Fヲ]r7)七コトバどm’1l−)−6)へ
n日tnfik廂err構成を示す図である。これらの
図において、4は長方形状のホウ酸ガ・ラス製の電気絶
縁基板であり、この電気絶縁基板4の上面4aには、原
点検出用素子5と、変位検出用素子6 a、 G b、
6 c、 6 dと、ギャップ検出用電極7.8.9
と、モニター用素子IOと、端子′rl〜1゛17が設
けられている。これらは、Ni−Fe合金からなるMR
素子によって構成され、真空蒸若またはスペックリング
法などによって構成されている。このようにされfこ磁
気抵抗センサ12の各部の機能を述べれば以下の通りで
ある。
n日tnfik廂err構成を示す図である。これらの
図において、4は長方形状のホウ酸ガ・ラス製の電気絶
縁基板であり、この電気絶縁基板4の上面4aには、原
点検出用素子5と、変位検出用素子6 a、 G b、
6 c、 6 dと、ギャップ検出用電極7.8.9
と、モニター用素子IOと、端子′rl〜1゛17が設
けられている。これらは、Ni−Fe合金からなるMR
素子によって構成され、真空蒸若またはスペックリング
法などによって構成されている。このようにされfこ磁
気抵抗センサ12の各部の機能を述べれば以下の通りで
ある。
原点検出用素子5は、第2図(イ)に示すように磁気記
録媒体2に磁気的に記録された原点マーク2 bを検出
するための乙ので、第2図(ロ)に示す従来の磁気抵抗
センサ3bに代イっるしのである。
録媒体2に磁気的に記録された原点マーク2 bを検出
するための乙ので、第2図(ロ)に示す従来の磁気抵抗
センサ3bに代イっるしのである。
また、変位検出用素子6a〜6dは第2図(ロ)に示す
従来の磁気抵抗センサ3aに代わる乙のであり、素子6
aおよび6bは磁気記録媒体2の変位を直接検出するセ
ンサとして機能し、磁気記録媒体2に一定間隔毎に磁気
的に記録されfコマーク2 a、 2 a・を、90度
の位相差をもって検出するように各々配置されている。
従来の磁気抵抗センサ3aに代わる乙のであり、素子6
aおよび6bは磁気記録媒体2の変位を直接検出するセ
ンサとして機能し、磁気記録媒体2に一定間隔毎に磁気
的に記録されfコマーク2 a、 2 a・を、90度
の位相差をもって検出するように各々配置されている。
さらに、素子6Cおよび6dは、素子6aおよび6bと
ブリッジ接続することにより、周囲温度の変化に伴う素
子の特性変動を相殺する素子として機能する。このよう
な構成によれば、原点検出用素子5と変位検出用素子6
a〜6bが同−基板上に設けられているので、これらの
各素子間の相対的な位置関係がずれてしまうことかなく
、マーク2 a、 2 a・・・と原点マーク2bが正
規の(1′L相差を存して検出される。
ブリッジ接続することにより、周囲温度の変化に伴う素
子の特性変動を相殺する素子として機能する。このよう
な構成によれば、原点検出用素子5と変位検出用素子6
a〜6bが同−基板上に設けられているので、これらの
各素子間の相対的な位置関係がずれてしまうことかなく
、マーク2 a、 2 a・・・と原点マーク2bが正
規の(1′L相差を存して検出される。
電極7.8.9は磁気記録媒体2との間の静電容量に基
づいて、磁気記録媒体2と各電極3,4.5との間のギ
ャップを各々検出するギャップセンサとして機能する。
づいて、磁気記録媒体2と各電極3,4.5との間のギ
ャップを各々検出するギャップセンサとして機能する。
また、モニタ用素子10は磁気抵抗センサI2の製造工
程の検査段階において、上記変位検出用素子6 a、
6 b等の各素子の特性評価を行う際に使用される。こ
の場合、磁気抵抗センサ12を平行磁界中に置き、モニ
タ用素子10の検出信号に基づいて特性評価が行なわれ
る。
程の検査段階において、上記変位検出用素子6 a、
6 b等の各素子の特性評価を行う際に使用される。こ
の場合、磁気抵抗センサ12を平行磁界中に置き、モニ
タ用素子10の検出信号に基づいて特性評価が行なわれ
る。
なお、上述した一実施例においは、磁気抵抗センサ12
の外形寸法を縦10.0mmX横8.5mmX厚さ0.
7mmとし、図に実線°て示すセンサーストライプの巾
を10μmとしている。
の外形寸法を縦10.0mmX横8.5mmX厚さ0.
7mmとし、図に実線°て示すセンサーストライプの巾
を10μmとしている。
このように構成された磁気低流センサ12を用いて、磁
気記録媒体2との間のギャップGを検出する場合は、磁
気ロータリーエンコーダの入力軸l(第2図参照)と、
磁気抵抗センサ12の各電極7.8.9との間の静電容
量に基づいて、人力軸lに連結された磁気記録媒体2と
各電極7.8.9の間のギャップを各々検出する。この
場合、磁気記録媒体2に対する磁気抵抗センサ12の傾
き具合ら同時に検出されろ。したがって、上述した磁気
抵抗センサ12を適用した磁気ロータリーエンコーダの
製造工程においては、磁気記録媒体2と磁気抵抗センサ
12の各711i極7.8.9との間の静電容量が、全
て定められた規定値となるように、磁気抵抗センサ12
の取り付は位置の調整を行ことにより、磁気抵抗センサ
12と磁気記録媒体2との間のギャップが規定の値に調
整され、かつ磁気抵抗センサ12が磁気記録媒体2に対
して平行となろように調整される。この場合、磁気抵抗
センサ12と磁気記録媒体2との間のギャップが定量的
に検出されるので、組み立て作業員が手作業でギャップ
を調整するのではなく、機緘的なギャップ調整機構等に
よってギャップを自動的に調整することか可能となる。
気記録媒体2との間のギャップGを検出する場合は、磁
気ロータリーエンコーダの入力軸l(第2図参照)と、
磁気抵抗センサ12の各電極7.8.9との間の静電容
量に基づいて、人力軸lに連結された磁気記録媒体2と
各電極7.8.9の間のギャップを各々検出する。この
場合、磁気記録媒体2に対する磁気抵抗センサ12の傾
き具合ら同時に検出されろ。したがって、上述した磁気
抵抗センサ12を適用した磁気ロータリーエンコーダの
製造工程においては、磁気記録媒体2と磁気抵抗センサ
12の各711i極7.8.9との間の静電容量が、全
て定められた規定値となるように、磁気抵抗センサ12
の取り付は位置の調整を行ことにより、磁気抵抗センサ
12と磁気記録媒体2との間のギャップが規定の値に調
整され、かつ磁気抵抗センサ12が磁気記録媒体2に対
して平行となろように調整される。この場合、磁気抵抗
センサ12と磁気記録媒体2との間のギャップが定量的
に検出されるので、組み立て作業員が手作業でギャップ
を調整するのではなく、機緘的なギャップ調整機構等に
よってギャップを自動的に調整することか可能となる。
「発明の効果5
以上説明したように、この発明によれば、磁気記録媒体
に記録された原へ位置情報を読み取る原点検出用素子と
、前記磁気記録媒体に一定間隔で記録されfコ位置情報
を読み取る変(ケ検出用素子と、前記磁気記録媒体との
間のギャップを検出するギャップ検出用電極とを、固有
抵抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子によ
って、同一基板上に各々設Yたので、磁気エンクーダ内
部を占有する空間か少なくて済み、磁気エンコーダの小
形低廉(ヒか図られ、またギャップ検出用電極と磁気記
録媒体との間の静電界1を検出することにより、磁気記
録媒体との間のキャップか定量的に検出さとが可能とな
り、ギャップの調整作業の簡便化を図ることができろと
いう効果が得られろ。
に記録された原へ位置情報を読み取る原点検出用素子と
、前記磁気記録媒体に一定間隔で記録されfコ位置情報
を読み取る変(ケ検出用素子と、前記磁気記録媒体との
間のギャップを検出するギャップ検出用電極とを、固有
抵抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子によ
って、同一基板上に各々設Yたので、磁気エンクーダ内
部を占有する空間か少なくて済み、磁気エンコーダの小
形低廉(ヒか図られ、またギャップ検出用電極と磁気記
録媒体との間の静電界1を検出することにより、磁気記
録媒体との間のキャップか定量的に検出さとが可能とな
り、ギャップの調整作業の簡便化を図ることができろと
いう効果が得られろ。
第1図(イ)および(ロ)はこの発明の一実施例の+l
が成を示す正面図および側面図、第2図(イ)および(
[l)は従来の磁気ロータリーエンコーダの構成を示才
斜視図および側面図である。 2 ・・磁気記録媒体、2a ・・・マーク(位置情報
)、2b ・・・・・原点マーク(原点位置情報)、4
・・・電気絶縁hr;仮(基E)、5・・・・原点検出
用素子、6a〜6b・・変位検出用素子、7.8.9
・・ギヤノブ検出用電犀。 出願人 日本楽器製造株式会社 第1図 第2図
が成を示す正面図および側面図、第2図(イ)および(
[l)は従来の磁気ロータリーエンコーダの構成を示才
斜視図および側面図である。 2 ・・磁気記録媒体、2a ・・・マーク(位置情報
)、2b ・・・・・原点マーク(原点位置情報)、4
・・・電気絶縁hr;仮(基E)、5・・・・原点検出
用素子、6a〜6b・・変位検出用素子、7.8.9
・・ギヤノブ検出用電犀。 出願人 日本楽器製造株式会社 第1図 第2図
Claims (1)
- 磁気記録媒体に記録された原点位置情報を読み取る原点
検出用素子と、前記磁気記録媒体に一定間隔で記録され
た位置情報を読み取る変位検出用素子と、前記磁気記録
媒体との間のギャップを検出するギャップ検出用電極と
を、固有抵抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗
素子によって、同一基板上に各々設けたことを特徴とす
る磁気エンコーダ用磁気抵抗センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12426286A JPS62281520A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12426286A JPS62281520A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62281520A true JPS62281520A (ja) | 1987-12-07 |
JPH0529044B2 JPH0529044B2 (ja) | 1993-04-28 |
Family
ID=14880975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12426286A Granted JPS62281520A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62281520A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155636A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Koyo Electronics Ind Co Ltd | ロータリエンコーダ |
JP2012127736A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Tdk Corp | 磁気センサ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57154014A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Magnetic rotary encoder |
-
1986
- 1986-05-29 JP JP12426286A patent/JPS62281520A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57154014A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Magnetic rotary encoder |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155636A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Koyo Electronics Ind Co Ltd | ロータリエンコーダ |
JP2012127736A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Tdk Corp | 磁気センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0529044B2 (ja) | 1993-04-28 |
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