JPS62268086A - マイクロ波加熱装置 - Google Patents
マイクロ波加熱装置Info
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- JPS62268086A JPS62268086A JP11055686A JP11055686A JPS62268086A JP S62268086 A JPS62268086 A JP S62268086A JP 11055686 A JP11055686 A JP 11055686A JP 11055686 A JP11055686 A JP 11055686A JP S62268086 A JPS62268086 A JP S62268086A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- rectangular waveguide
- horn
- magnetron
- heating device
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Constitution Of High-Frequency Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、マイクロ波を用いて集積回路基板等の試ｒ１
を加熱するマイクロ波加熱装置に関するものである。
を加熱するマイクロ波加熱装置に関するものである。
（従来技術）
従来のマイクロ波加熱装置は、第２図く△）（Ｂ）に示
すように、マグネ１ヘロン１により発生した例えば２．
４５Ｇ１１２のマイクロ波はアンテナ２を介して導波管
３に結合され、円錐ホーン４を経て試料台５上の集積回
路基板等の試料６に照射され、試料６を誘電加熱してい
た。ホーン４は試料台５のところで分υ１され、試料６
の出し入れができるようにさ机ている。なお、試料台５
は誘電体で形成され、またホーン４の先端はホーン４と
同じ材料の端板７で閉塞されている。
すように、マグネ１ヘロン１により発生した例えば２．
４５Ｇ１１２のマイクロ波はアンテナ２を介して導波管
３に結合され、円錐ホーン４を経て試料台５上の集積回
路基板等の試料６に照射され、試料６を誘電加熱してい
た。ホーン４は試料台５のところで分υ１され、試料６
の出し入れができるようにさ机ている。なお、試料台５
は誘電体で形成され、またホーン４の先端はホーン４と
同じ材料の端板７で閉塞されている。
このようなマイクロ波加熱装置で試わ１Ｇを加熱する場
合、試料６の面上の温度上界は均一であることが望まし
いので、試ｔ：［６に照射する電界ら均一であることが
望まれる。
合、試料６の面上の温度上界は均一であることが望まし
いので、試ｔ：［６に照射する電界ら均一であることが
望まれる。
しかるに、本例のようにＴ Ｅ １０モードを用い円錐
ホーン４によりマイクロ波電界を試ｔ４６に照射すると
、試料６の面上の電力分布は第５図に示すようになり、
円形対称に（よならず、且つχ軸上の分布は中心部分よ
り外周に向い急激に減少する問題点があった。
ホーン４によりマイクロ波電界を試ｔ４６に照射すると
、試料６の面上の電力分布は第５図に示すようになり、
円形対称に（よならず、且つχ軸上の分布は中心部分よ
り外周に向い急激に減少する問題点があった。
これを解決するため、第３図（Δ）（Ｂ）に示すように
、導波管３と円錐ホーン４との間に円偏波発生機構８を
設け、円錐ホーン４によりマイクロ波電界を試料６に照
射すると、その電力分布は第６図に示すように円対称と
なり、試料６を均一に加熱できる。
、導波管３と円錐ホーン４との間に円偏波発生機構８を
設け、円錐ホーン４によりマイクロ波電界を試料６に照
射すると、その電力分布は第６図に示すように円対称と
なり、試料６を均一に加熱できる。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、第３図＜Ａ）（Ｂ）に示すような構造の
マイクロ波加熱装置では、高電力に耐える円偏波発生機
構８を附加しなければならず、小形化しにくく、また高
価となる問題点があった。
マイクロ波加熱装置では、高電力に耐える円偏波発生機
構８を附加しなければならず、小形化しにくく、また高
価となる問題点があった。
本発明の目的は、試料を均一に加熱でき、しかも小型で
安置に製作できるマイクロ波加熱装置を（♀供すること
にある。
安置に製作できるマイクロ波加熱装置を（♀供すること
にある。
（問題点を解決するための手段）
」：記の目的を達成するための本発明の構成を、実施例
に対応する第１図（Ａ＞（Ｂ）を参照して説明すると、
本発明はマグネトロン１と、前記マグネトロン１で発生
したマイクロ波が与えられる矩形導波管９と、前記矩形
導波管９の先端にその軸心のまわりに軸心を４５°回転
させて小口径側が接続されて試料６にＴＥ、。モードの
直交２偏波のマイクロ波を同位相で照射する正四角錐ホ
ーン１０とを備えてなるものである。
に対応する第１図（Ａ＞（Ｂ）を参照して説明すると、
本発明はマグネトロン１と、前記マグネトロン１で発生
したマイクロ波が与えられる矩形導波管９と、前記矩形
導波管９の先端にその軸心のまわりに軸心を４５°回転
させて小口径側が接続されて試料６にＴＥ、。モードの
直交２偏波のマイクロ波を同位相で照射する正四角錐ホ
ーン１０とを備えてなるものである。
（作用）
このように構成すると、ＴＥ、。モードの直交２偏波を
試料６に照射することができ、試料６を均一に加熱でき
る。直交２偏波は、矩形導波管つと正四角錐ホーン１０
とで形成できるので、構造が筒中で、小型に安価に形成
できる。
試料６に照射することができ、試料６を均一に加熱でき
る。直交２偏波は、矩形導波管つと正四角錐ホーン１０
とで形成できるので、構造が筒中で、小型に安価に形成
できる。
（実施例）
以下本発明の実施例を第１図（△）（Ｂ）を参照して説
明する。図示のように本実施例のマイクロ波加熱装置は
、マグネトロン１に矩形導波管９が接続され、該矩形導
波管９にはマグネトロン１からアンテナ２でマイクロ波
が供給されるようになっている。矩形導波管９の先端に
は、その軸心のまわりに４５°軸心を回転させて正四角
錐ホーン１０の小口径側が接続されている。ホーン１０
内にはこれを横切って誘″電体よりなる試料台５が設け
られ、またホーン１０の先端は端板７で閉塞されている
。ホーン１０も試料台５のところで分υ１され、試料５
の出し入れができるるようにされている。
明する。図示のように本実施例のマイクロ波加熱装置は
、マグネトロン１に矩形導波管９が接続され、該矩形導
波管９にはマグネトロン１からアンテナ２でマイクロ波
が供給されるようになっている。矩形導波管９の先端に
は、その軸心のまわりに４５°軸心を回転させて正四角
錐ホーン１０の小口径側が接続されている。ホーン１０
内にはこれを横切って誘″電体よりなる試料台５が設け
られ、またホーン１０の先端は端板７で閉塞されている
。ホーン１０も試料台５のところで分υ１され、試料５
の出し入れができるるようにされている。
このにうに、矩形導波管つと正四角錐ホーン１０を４５
°回転して組合せると、Ｔ Ｅ ｔｏモードの垂直、水
平の直交２偏波を動部でき、正四角錐ホーン１０で該直
交２偏波のマイクロ波を同位相で試料６に照射できる。
°回転して組合せると、Ｔ Ｅ ｔｏモードの垂直、水
平の直交２偏波を動部でき、正四角錐ホーン１０で該直
交２偏波のマイクロ波を同位相で試料６に照射できる。
この場合のマイクロ波の電力分布は、第４図に示す通り
、はぼ軸対称で、第６図に示した円偏波を用いた場合よ
り電力分布が拡がっている。
、はぼ軸対称で、第６図に示した円偏波を用いた場合よ
り電力分布が拡がっている。
（発明の効果）
以上説明したように本発明に係るマイクロ波加熱装置は
、矩形導波管と正四角錐ホーンとを軸心方向に４５°回
転さけて組合ゼた構造としたのでＴＥｌａＵ−ドの直交
２偏波のマイクロ波を同位相で試料に照射でき、従って
試料に均一な電力分布を与えて該試料を均一に加熱する
ことができる。
、矩形導波管と正四角錐ホーンとを軸心方向に４５°回
転さけて組合ゼた構造としたのでＴＥｌａＵ−ドの直交
２偏波のマイクロ波を同位相で試料に照射でき、従って
試料に均一な電力分布を与えて該試料を均一に加熱する
ことができる。
また、本発明のような矩形導波管と正四角１１［ホーン
の組合せとすると、構造が間車となり、小型化でき、し
かも安価に製作することができる。
の組合せとすると、構造が間車となり、小型化でき、し
かも安価に製作することができる。
第１図（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る装置の一実施例を示
す一部破断測面図及び底面図、第２図は従来の装置の縦
断面図及び底面図、第３図は従来の装置の仙の例の一部
破断側面図及び底面図、第４図は第１図（△）（Ｂ）に
示す本発明に係る装置におｌプる試わ］面の電力分布図
、第５図及び第６図は第２図（△）（Ｂ）及び第３図＜
Ａ）（Ｂ）に示す従来の各装置における試料面の電力分
布図である。 １・・・マグネトロン、２・・・アンテナ、５・・・試
料台、６・・・試料、９・・・矩形導波管、１０・・・
正四角錐ホーン。 第１図
す一部破断測面図及び底面図、第２図は従来の装置の縦
断面図及び底面図、第３図は従来の装置の仙の例の一部
破断側面図及び底面図、第４図は第１図（△）（Ｂ）に
示す本発明に係る装置におｌプる試わ］面の電力分布図
、第５図及び第６図は第２図（△）（Ｂ）及び第３図＜
Ａ）（Ｂ）に示す従来の各装置における試料面の電力分
布図である。 １・・・マグネトロン、２・・・アンテナ、５・・・試
料台、６・・・試料、９・・・矩形導波管、１０・・・
正四角錐ホーン。 第１図
Claims (1)
- マグネトロンと、前記マグネトロンで発生したマイクロ
波が与えられる矩形導波管と、前記矩形導波管の先端に
その軸心のまわりに軸心を４５°回転させて小口径側が
接続されて試料にＴＥ＿１＿０モードの直交２偏波のマ
イクロ波を同位相で照射する正四角錐ホーンとを備えて
なるマイクロ波加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055686A JPS62268086A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | マイクロ波加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11055686A JPS62268086A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | マイクロ波加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62268086A true JPS62268086A (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=14538821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11055686A Pending JPS62268086A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | マイクロ波加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62268086A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9204500B2 (en) | 2011-12-28 | 2015-12-01 | Tokyo Electron Limited | Microwave heating apparatus and processing method |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP11055686A patent/JPS62268086A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9204500B2 (en) | 2011-12-28 | 2015-12-01 | Tokyo Electron Limited | Microwave heating apparatus and processing method |
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