JPH0673318B2 - マイクロ波導入装置 - Google Patents
マイクロ波導入装置Info
- Publication number
- JPH0673318B2 JPH0673318B2 JP61206122A JP20612286A JPH0673318B2 JP H0673318 B2 JPH0673318 B2 JP H0673318B2 JP 61206122 A JP61206122 A JP 61206122A JP 20612286 A JP20612286 A JP 20612286A JP H0673318 B2 JPH0673318 B2 JP H0673318B2
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- JP
- Japan
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- coaxial
- conductor
- microwave
- coaxial waveguide
- magnetron
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- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、同軸導波管による高電力マイクロ波導入装置
に関する。
に関する。
（従来技術） マイクロ波の発振管、例えばマグネトロンから高電力マ
イクロ波を同軸導波管に伝達させて導入する第３図に示
されるようなマイクロ波導入装置が知られている。ここ
で、１は矩形導波管、２は同軸導波管、３はマグネトロ
ン及び単向管等の立体回路である。
イクロ波を同軸導波管に伝達させて導入する第３図に示
されるようなマイクロ波導入装置が知られている。ここ
で、１は矩形導波管、２は同軸導波管、３はマグネトロ
ン及び単向管等の立体回路である。
（発明が解決しようとする問題点） 第３図に示されたようなマイクロ波導入装置の欠点は、
矩形から同軸への変換部があるため設計およびその構成
が複雑になることである。更に、同軸導波管の内外導体
の間には固体状の誘電体物質が充填されて軸出し（中心
位置決め）が行われるため正確な位置決めが困難であ
る。
矩形から同軸への変換部があるため設計およびその構成
が複雑になることである。更に、同軸導波管の内外導体
の間には固体状の誘電体物質が充填されて軸出し（中心
位置決め）が行われるため正確な位置決めが困難であ
る。
本発明の主な目的は、構造が簡単な高電力マイクロ波導
入装置を提供することにある。
入装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） 上記目的は、同軸導波管の一端の内部導体にマグネトロ
ンのアンテナ部が取り付けられ、２つ以上のチューニン
グ用同軸ショートプランジャーにて、同軸導波管の内部
導体と外部導体が支持されているマイクロ波導入装置に
より達成される。
ンのアンテナ部が取り付けられ、２つ以上のチューニン
グ用同軸ショートプランジャーにて、同軸導波管の内部
導体と外部導体が支持されているマイクロ波導入装置に
より達成される。
（作用） 発振マイクロ波は、マグネトロンのアンテナ部に直接接
続された同軸導波管の内部導体と外部導体の間を伝送
し、伝送径路に設けられた２つ以上のチューニング用同
軸ショートプランジャーにて負荷とのインピーダンスマ
ッチングがなされる。
続された同軸導波管の内部導体と外部導体の間を伝送
し、伝送径路に設けられた２つ以上のチューニング用同
軸ショートプランジャーにて負荷とのインピーダンスマ
ッチングがなされる。
（発明の効果） 本発明においては、上述のような変換器を使用すること
なくマグネトロンに直接同軸導波管を接続するようにし
たので、構成が極めて簡単である。更に、同軸導波管の
内部導体は、２つ以上のチューニング用同軸ショートプ
ランジャーの中心導体と機械的に接続されており、中心
導体は、同軸ショートプランジャーの外部導体に機械的
に接続されている。このため、同軸導波管の内部導体
は、外部導体に対し比較的簡易に正確に中心の位置決め
を行うことが出来る。
なくマグネトロンに直接同軸導波管を接続するようにし
たので、構成が極めて簡単である。更に、同軸導波管の
内部導体は、２つ以上のチューニング用同軸ショートプ
ランジャーの中心導体と機械的に接続されており、中心
導体は、同軸ショートプランジャーの外部導体に機械的
に接続されている。このため、同軸導波管の内部導体
は、外部導体に対し比較的簡易に正確に中心の位置決め
を行うことが出来る。
（発明の効果） 本発明によれば、簡便にマイクロ波電力を同軸導波管に
伝送させることができ、また簡単に冷却媒体を同軸導波
管の他端に移送し、他端に設けられたアンテナ部を冷却
できる。
伝送させることができ、また簡単に冷却媒体を同軸導波
管の他端に移送し、他端に設けられたアンテナ部を冷却
できる。
（実施例） 以下、本発明を図面を参照しつつ詳細に説明する。第１
図は本発明のマイクロ波導入装置の一実施例の断面図で
ある。同軸導波管11の一端の外部導体に設けられたマグ
ネトロン取付け板12にマグネトロン15設置され、この一
端の内部導体11aにはマグネトロンのアンテナ13が隣青
銅の接手14にて接続されている。マイクロ波は同軸導波
管11を伝送し、同軸導波管11の他端より放射される。こ
の他端の、内部導体21には導入マイクロ波のほぼ1/4波
長長のアンテナ20が設けられている。このアンテナ20は
外部導体11bに接続されたセラミック16で包囲されてお
り、このセラミックス16に関してアンテナ20側を大気圧
として反対側を真空状態とすることを可能としている。
放射されたマイクロ波のサイドローブは少なく、主ロー
ブのビーム幅は大きい。真空状態の放電管17内に放射さ
れたマイクロ波は、放電管17を包囲して配置されたパー
マネントマグネット18により形成される磁場との相互し
て電子サイクロトロン共鳴を生じ、プラズマが形成され
る。ここで、19、19′はチューニング用同軸ショートプ
ランジャーであり、伝送マイクロ波と負荷とのインピー
ダンス・マッチングがなされる。第２図は本発明のマイ
クロ波導入装置に適用されている２つのチューニング用
同軸ショートプランジャーの拡大図であり、同軸・ショ
ートプランジャー19、19′の外部導体23が同軸導波管11
の外部導体に溶着され、中心導体24は、内部導体11aに
溶着されている。中心導体24は、外部導体23より棒立す
る４本の支持棒22に接合された止め金具25により固定さ
れており、同軸導波管11の内部導体11aを支持してい
る。ここで、27は、外部導体23と中心導体24の間を中心
導体24の軸方向に支持棒22に沿ってスライドし、外部導
体と中心導体をショートするショート金具であり、28は
止め金具である。ショート・プランジャー19の中心導体
24には、冷却媒体導入口29より冷却媒体が圧送される。
冷却媒体は、同軸導波管11の内部導体11aの内部を通し
所望する場所を冷却し、同軸導波管11の内外導体の間を
還流する。
図は本発明のマイクロ波導入装置の一実施例の断面図で
ある。同軸導波管11の一端の外部導体に設けられたマグ
ネトロン取付け板12にマグネトロン15設置され、この一
端の内部導体11aにはマグネトロンのアンテナ13が隣青
銅の接手14にて接続されている。マイクロ波は同軸導波
管11を伝送し、同軸導波管11の他端より放射される。こ
の他端の、内部導体21には導入マイクロ波のほぼ1/4波
長長のアンテナ20が設けられている。このアンテナ20は
外部導体11bに接続されたセラミック16で包囲されてお
り、このセラミックス16に関してアンテナ20側を大気圧
として反対側を真空状態とすることを可能としている。
放射されたマイクロ波のサイドローブは少なく、主ロー
ブのビーム幅は大きい。真空状態の放電管17内に放射さ
れたマイクロ波は、放電管17を包囲して配置されたパー
マネントマグネット18により形成される磁場との相互し
て電子サイクロトロン共鳴を生じ、プラズマが形成され
る。ここで、19、19′はチューニング用同軸ショートプ
ランジャーであり、伝送マイクロ波と負荷とのインピー
ダンス・マッチングがなされる。第２図は本発明のマイ
クロ波導入装置に適用されている２つのチューニング用
同軸ショートプランジャーの拡大図であり、同軸・ショ
ートプランジャー19、19′の外部導体23が同軸導波管11
の外部導体に溶着され、中心導体24は、内部導体11aに
溶着されている。中心導体24は、外部導体23より棒立す
る４本の支持棒22に接合された止め金具25により固定さ
れており、同軸導波管11の内部導体11aを支持してい
る。ここで、27は、外部導体23と中心導体24の間を中心
導体24の軸方向に支持棒22に沿ってスライドし、外部導
体と中心導体をショートするショート金具であり、28は
止め金具である。ショート・プランジャー19の中心導体
24には、冷却媒体導入口29より冷却媒体が圧送される。
冷却媒体は、同軸導波管11の内部導体11aの内部を通し
所望する場所を冷却し、同軸導波管11の内外導体の間を
還流する。
なお、本実施例ではマグネトロンと同軸導波管の結合を
直接導電結合によって行っているが、マグネトロンの種
類により間接放射型結合により行うことが適当な場合も
ある。
直接導電結合によって行っているが、マグネトロンの種
類により間接放射型結合により行うことが適当な場合も
ある。
第１図は、本発明によるマイクロ波導入装置の一実施例
の断面図であり、 第２図は、本発明のマイクロ波導入装置に適用されてい
るチューニング用同軸ショート・プランジャーの説明図
であり、 第３図は、従来のマイクロ波導入装置の説明図である。 11……同軸導波管、 11a……内部導体、11b……外部導体、 13……マグネトロンのアンテナ部、 15……マグネトロン、 19、19′……同軸ショートプランジャー、 23……同軸ショートプランジャーの外部導体 24……同軸ショートプランジャーの中心導体。
の断面図であり、 第２図は、本発明のマイクロ波導入装置に適用されてい
るチューニング用同軸ショート・プランジャーの説明図
であり、 第３図は、従来のマイクロ波導入装置の説明図である。 11……同軸導波管、 11a……内部導体、11b……外部導体、 13……マグネトロンのアンテナ部、 15……マグネトロン、 19、19′……同軸ショートプランジャー、 23……同軸ショートプランジャーの外部導体 24……同軸ショートプランジャーの中心導体。
Claims (2)
- 【請求項１】同軸導波管の一端の内部導体にマグネトロ
ンのアンテナ部が取り付けられ、２つ以上のチューニン
グ用同軸ショートプランジャーにて、同軸導波管の内部
導体が外部導体に支持されていることを特徴とするマイ
クロ波導入装置。 - 【請求項２】前記同軸ショートプランジャーの中心導体
の内部に冷却媒体が流れることを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項記載のマイクロ波導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206122A JPH0673318B2 (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | マイクロ波導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206122A JPH0673318B2 (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | マイクロ波導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6362199A JPS6362199A (ja) | 1988-03-18 |
| JPH0673318B2 true JPH0673318B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=16518155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61206122A Expired - Lifetime JPH0673318B2 (ja) | 1986-09-02 | 1986-09-02 | マイクロ波導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673318B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096255A2 (fr) | 2007-02-05 | 2008-08-14 | Rhodia Poliamida E Especialidades Ltda | Utilisation de derives de dioxolane dans des systemes de revetement et formulation de systeme de revetement |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100540668C (zh) | 1999-04-19 | 2009-09-16 | 协和发酵生化株式会社 | 新型脱敏型天冬氨酸激酶 |
| JP2001307899A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-11-02 | Daihen Corp | プラズマ発生装置 |
| JP5026732B2 (ja) * | 2006-04-21 | 2012-09-19 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | マイクロ波導入器、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 |
| EP3953992A4 (en) * | 2019-04-05 | 2022-12-14 | Pyrowave Inc. | COUPLER FOR MICROWAVE PYROLYSIS SYSTEMS |
-
1986
- 1986-09-02 JP JP61206122A patent/JPH0673318B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096255A2 (fr) | 2007-02-05 | 2008-08-14 | Rhodia Poliamida E Especialidades Ltda | Utilisation de derives de dioxolane dans des systemes de revetement et formulation de systeme de revetement |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6362199A (ja) | 1988-03-18 |
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