JPS6226731Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、基板を載置して観察を行う顕微鏡
において、複数の所定の外形寸法をする基板を載
置できる顕微鏡の載物台に関するものである。以
下、半導体ウエハを被検査物とする場合を例にと
り説明する。

半導体ウエハは、その素子製造において、拡散
処理，写真製版処理，蒸着処理等が行われる。こ
のような処理工程を経て形成された素子パターン
に異状があると、製品の歩留り，信頼性などに影
響する。したがつて、所定の処理工程を終えた後
に、検査を行い所望の素子パターンの形成がなさ
れているかいないかの電気的、光学的のチエツク
が行われる。ここで、光学的な検査においては、
通常、顕微鏡を用いて素子パターンの大きさおよ
び形状のチエツクが行われる。

第１図は従来の顕微鏡の概略を示す正面図で、
１は顕微鏡、２は移動テーブル、３は載物台であ
る。キヤリアに収納された半導体ウエハをフツ素
樹脂製などのピンセツトで保持して取り出し、顕
微鏡１の載物台３に載置する。この載物台３は、
第２図ａ，ｂに示すように上面が平坦なものが使
用されるが、この載物台３Ａでは半導体ウエハを
載置した際、半導体ウエハと載物台３Ａとの間に
エアが包含されて載物台３Ａ上を滑走する場合が
ある。これを減少させるために、第２図ｃ，ｄに
示すように載物台３Ｂの上面部に溝４を形成して
滑走を少なくするように工夫した載物台も使用さ
れている。

しかし、上記の載物台３Ａおよび３Ｂは、周囲
部に半導体ウエハが落下するのを防止するストツ
パ５を備えているが、半導体ウエハの外形寸法に
応じて一定位置に固定できないため、載置位置お
よび載置方向が一定できず。検査の際、半導体ウ
エハの平行出しあるいは同一行あるいは列の検査
位置選択が難しく、その設定には時間もかかるな
どの不都合がある。また、場合によつては、半導
体ウエハの外形寸法に応じて専用の載物台に交換
する必要があるといつた不都合もある。

この考案は、上記の欠点を除去するためになさ
れたもので、複数の外径寸法を有する基板につい
てそれぞれの寸法に対応する載物部が設けられて
おり、載物台を交換することなしに載置できるよ
うにした顕微鏡の載物台を提供するものである。
以下、この考案について説明する。

第３図、第４図および第５図はこの考案の一実
施例の各部分をそれぞれ示すもので、第３図は載
置固定台、第４図はスライダ、第５図は載物台で
ある。

まず、第１図の顕微鏡１に対しＸ方向およびＹ
方向に移動する移動テーブル２に第３図に示す載
置固定台６をセツトする。載置固定台６にはガイ
ド溝７が設けられており、これに沿つて挿入，取
り外しができる第４図に示すガイド９を有するス
ライダ８を取り付ける。スライダ８には第５図に
示す載物台１１を取り付けるための固定ピン１０
が中心部に設けられている。一方、載物台１１は
第５図に示すように、スライダ８に取り付けるた
め固定ピン１０と回転自在に係合するため係合穴
１４が中心部に設けており、これにより載物台１
１をスライダ８に取り付ける。この載物台１１は
半導体ウエハの外形寸法に応じた大きさ（例えば
３インチ，４インチなど）よりそれぞれ約２〜３
mm余裕をもつた大きさの寸法に形成し、かつ、中
心部から端部に向けて高くなる段差を有する載置
部１２を形成してある。また、載置部１２の上面
には半導体ウエハの載置の際、浮き上りを防止す
るための溝１３が形成されている。さらに半導体
ウエハを把持するための切欠き１５が４個形成さ
れており、その載置部１２は十字形をしている。

半導体ウエハを検査する場合、半導体ウエハを
フツ素樹脂製のピンセツトでキヤリアより取り出
し、引き出されたスライダ８上の載物台１１の所
定外形寸法の載置部１２に載置する。この際、半
導体ウエハは載置部１２の溝１３により浮き上り
が防止され、しかも、周囲が高くなつているため
載置部１２上を滑走して逸脱することもない。な
お、載置部１２の周囲部の高さｈは、半導体ウエ
ハの厚みないしは約1/2の厚み寸法に設定してお
けばよい。

また、載物台１１はピンセツトによる半導体ウ
エハの載置および取り外しが容易に行えるように
第５図ａに示すような切欠き１５を形成し十字形
にしてある。なお、上記溝１３の形状，数および
切欠き１５の形状などは特に規定されるものでは
ない。また、載物台１１などの材質も適宜選定す
れば良い。

半導体ウエハを載置部１２に載置後、スライダ
８を載置固定台６上を所定位置まで押し込む。し
かる後、所定パターンにより焦点合わせを行い、
次に、必要に応じて素子パターンの平行出しある
いは検査行，列を選定する場合の半導体ウエハ上
の所定チツプへの位置合わせなどを行い検査を行
う。ここで、載物台１１は固定ピン１０により保
持されているが、回転が自由に行えるようになつ
ているため、所望の方向に向きを変えられ平行の
設定あるいは検査行，列の設定が容易に行える。

なお、この考案の載物台１１のように半導体ウ
エハを載置してから所望位置まで押し込む方法を
とれば、従来のような、半導体ウエハを直接載物
台１１上に載置する際に対物レンズに当てて、半
導体ウエハに傷をつける等のことも防止される。
また、ある半導体ウエハの検査が終了し、次に前
回とは異なる外形寸法の半導体ウエハを検査する
場合には各種寸法の載置部１２を備えてあるの
で、載物台１１を交換することなしに、上記と同
様の操作で検査を行うことができる。

以上説明したように、この考案は、各種の基板
の外形寸法に応じて該当する大きさの載置部が形
成されており、載物台を交換することなしに同一
の載物台を用いて種々の大きさの基板を検査する
ことができる。しかも、載物台が回転できるよう
にしてあるため、平行合わせを行うために基板を
直接動かす必要もなく、また、検査位置を決定す
る場合にも同一のＸ方向あるいはＹ方向の検査
行，列を選択することが容易であるとともに、載
置部は段差を形成して周囲が高くなつているた
め、半導体ウエハが逸脱することがない。さら
に、載置された被検査物を把持するための切欠き
を載置部に有するため、被検査物の把持がきわめ
て容易である等の実用的効果の大きいものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の顕微鏡を示す概略正面図、第２
図ａ〜ｄは載物台の従来例を示すもので、第２図
ａ，ｃは平面図、第２図ｂ，ｄは側面図、第３図
〜第５図はそれぞれこの発明の一実施例を示すも
ので、第３図ａ，ｂは載置固定台の平面図および
側面図、第４図ａ，ｂはスライダの平面図および
側面図、第５図ａ，ｂは載物台の平面図およびＡ
−Ａ線による側断面図である。 図中、１は顕微鏡、２は移動テーブル、６は載
置固定台、７はガイド溝、８はスライダ、９はガ
イド、１０は固定ピン、１１は載物台、１２は載
置部、１３は溝、１４は係合穴、１５は切欠きで
ある。なお、図中の同一符号は同一または相当部
分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 顕微鏡の移動テーブル上に載置する載置固定台
   と、この載置固定台のガイド溝に係合してスライ
   ドするガイド部を有するスライダと、このスライ
   ダに着脱自在かつ中心部において回転自在に取り
   付けられ前記中心部より端部に向けて高くなり所
   定内径寸法をそれぞれ有する複数の段差が形成さ
   れるとともに載置された被検査物を把持するため
   の切欠きを有する載置部とからなることを特徴と
   する顕微鏡の載物台。