JPS62266202A - ディジタル弁クロ−ズドル−プ制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、アクチュエータをディジタル弁にて駆動し、
該アクチュエータの動作をフィードバック制御方式によ
り制御するようにしたディジタル弁クローズドループ制
御装置に関する。

（従来例） 従来のクローズドループ制御装置は、第６図に示すよう
なものがある。

同図において、１は演算手段であり、制御すべきアクチ
ュエータの動作を指示するための入力指示信＠Ｓの値と
複連のフィードバック信号Ｆの値との差を検出し、その
差に相当する差信号Ｖを出力する。

２は一定の増幅率Ａを有するサーボ増幅器であり、差信
号Ｖをへ倍してなる駆動信号ＡＶを出力する。

３は電気・油圧式のサーボ弁、４は流体圧力源、５はア
クチュエータであり、サーボ弁３は駆動信号ＡＶに応じ
て内部のトルクモータが作動し、ノズルとフラッパーの
組み合せ機構を使って液圧の信号に変換し、その液圧信
号でスプールを移動して流体圧力源４からアクチュエー
タ５に供給する作動液圧を調節する。

６はアクチュエータ５の動作量を検出するセンサであり
、検出結果をフィードバック信号Ｆとして演算手段１に
供給する。

このようなフィードバック制御方式は、入力指示信号Ｓ
とフィードバック信号Ｆとして電気的アナログ信号を用
い、これらの差信号Ｖをサーボ増幅器２にてアナログ的
に増幅してサーボ弁３のトルクモータに、供給したり、
又は、入力指示信号Ｓやフィードバック信号Ｆ、差信号
Ｖをディジタル信号で処理し、不図示のＤ／Ａ変換器（
ｄｉｇｉｔａｌ−ａｎａｌｏｇ　ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）
等によりアナログ信号に変換してサーボ弁３のトルクモ
ータに供給している。

そして、アクチュエータ５に対し所定の作動を行なわせ
るために供給した入力指示信号Ｓとアクチュエータ５の
実際の動作量を示すフィードバック信号Ｆとの差、すな
わち差信号■の値を零にするように制御が行なわれ、入
力指示信号Ｓで指示した動作をアクチュエータ５に行な
わせる。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来のサーボ弁を用いたクロ
ーズドループ制御装置にあっては、サーボ弁内のフラッ
パやスプール等の作動は微小な埃塵によってもスティッ
ク等が発生するため保守管理が煩雑で、しかもサーボ弁
は装置が大きく高価となる等の欠点があった。

尚、上記第６図のサーボ弁に代えてゴミ等に強く、特別
な作動液の管理をする必要がなく且つコストの安いディ
ジタル弁を使用することでこの問題を改善しようとする
ものがあったが、このようなディジタル弁を使用するク
ローズドループ制御装置にあっては、ディジタル弁の応
答特性はパルスモータの最高応答パルス周波数Ｆｍａｘ
で規定されるため応答性が比較的悪く、第４図のサーボ
増幅器２の増幅率を高くするとアクチュエータ出力の発
振等を生じ、該増幅器２の増幅率を下げると入力信号Ｓ
とアクチュエータ５の出力との差すなわち定常備差が大
きくなり充分な性能を１ｑることが出来なかった。

即ち、この種類のディジタール弁を使用したフィードバ
ック制御の手法によれば、第６図における演算手段１か
らの差信号■を一定の増幅率を有するいわゆる線形増幅
器であるサーボ増幅器２で増幅しその指示値にしたがっ
てディジタル弁を開閉している。しかし、アクチュエー
タ５の出力Ｆと入力指示値Ｓの定常偏差を少なくして更
に出力の応答時間の向上を図ろうとするためにこの増幅
率を上げ過ぎると、第７図に示すように、例えばステッ
プ状の入力指示信号Ｓに対し、ディジタル弁の可変絞り
の開度θとアクチュエータの動作ηが不安定となり、い
わゆるオーバーシュート及びアンダーシュートが大きく
なって、整定状態−すなわち入力指示信号Ｓで示した目
標値Ｈ以上の出力を発生して機器に悪影響を及ぼしたり
、該目標値に落ち着くのに時間を要したり、更に最悪の
場合は発振状態となる問題があった。

一方、増幅率を下げることにより動作を安定させオーバ
ーシュート等をなくすようにした場合においては、アク
チュエータ５の出力Ｆと入力指示値Ｓとの誤差すなわち
定常偏差δが大きくなり満足な性能を得ることが出来な
いためフィードバック制御による充分な効果を得る事が
できない問題があった。

（問題を解決するための手段） 本発明はこの様な問題点に鑑みてなされたちにであり、
ディジタル弁にてアクチュエータを駆動制御するものと
し、該アクチュエータの動作量を検出しフィードバック
信号を発生するセンサと、該アクチュエータの動作を指
示する入力指示信号と該フィードバック信号との差を検
出して差信号を発生する演算手段とを具備するディジタ
ル弁クローズドループ制御装置である。

ここで、ディジタル弁の応答性能は該ディジタル弁を駆
動するパルスモータ−の最高応答周波数によって規定さ
れる特徴を有し、大娠幅時の応答時間は遅いが小ｊ辰幅
時の応答時間は極めて速く、例えば、パルスモータ−の
応答周波数が最大で４ｏｏｏｐｐｓとすれば２００パル
ス分開閉するときは５０ｍ５を必要とするが、１０パル
ス分の開閉には２．５ｍＳ、１パルス分には２５０μｓ
となり、開閉量によって応答速度が極めて大きく変化す
る。

こうした特徴に着目し本発明は、上記のディジタル弁ク
ローズドループ制御装置において更に、上記差信号を対
数特性や１／Ｎ乗特性等を有する圧縮信号に変換する圧
縮信号変換手段を備えると共に、上記演算手段からの差
信号と該圧縮信号変換手段からの圧縮信号とに基づき開
度制御信号を出力する開度信号発生手段と、該開度信号
発生手段からの開度制御信号に基づいてディジタル弁内
のパルスモータを駆動し弁開度を指示するパルスモータ
駆動手段とを具備したことを技術的要点とする。

即ち、前記圧縮信号変換手段は、前記差信号の値が大き
い場合にはこのクローズドループ装置の動作の安定化を
図るべく圧縮率の大きな圧縮信号を発生し、該差信号が
小ざい場合には圧縮率の小さな圧縮信号を発生すること
で制御系全体の応答性を向上させるようにして定常偏差
の少ないクローズドループ制御系を実現しようと作用す
るものであり、一方、上記演算手段から出力される差信
号を積分し、その積分値に対応するようパルスモータを
開閉する制御をおこなうと、応答速度は低下するが定常
偏差の向上が得られる。これら２者の長所を利用すべく
、上記演算手段から出力される差信号と圧縮信号変換手
段からの圧縮信号とに基づき安定性と応答性とを満足す
る開度制御信号を上記開度信号発生手段より発生するよ
うにしたことを特徴とする。

（実施例） 第１図は本発明によるディジタル弁クローズドループ制
御装置の一実施例を示すブロック図である。

まず構７成を説明すると、１０は演算手段であり、アク
チュエータに所定動作を指示するため外部から供給され
た入力指示信号Ｓと１卦述するフィードバック信号Ｆと
の差を検出しそれを差信号■として出力する。

１１は圧縮信号変換手段であり、差信号Ｖを増幅して圧
縮信号Ｗを出力する。

ここで、圧縮信号変換手段１１の入出力特性を差信号Ｖ
＝Ｓ−Ｆに対する圧縮信号Ｗで示せば、次式（１）、（
２＞または（３）のように差信号■が大きいほど圧縮率
が大きく、差信号Ｖが小さいほど圧縮率が小ざくなるよ
うに設定されている。

１／ｎ ｗ＝に−ｌ　ｖ　ｌ　　　＝に−Ｉ　Ｓ−Ｆ　ｌ　”０
・・・・（１） ｗ＝に−３（Ｉｓ−Ｆｌ／Ｓ）”ｎ　・・・・（２）ｗ
＝　Ｌ　・Ｉ　ＣｙＱａ　（ｌ　Ｓ　　Ｆ　ｌ　／’Ｓ
　）　　”（３）ただし、上記式（１）、（２）におい
て、定数Ｓ−Ｆ≧Ｏならばに、は正の係数、Ｓ−Ｆ＜Ｏ
ならばＫは負の係数、ｎは実定数であり、上記式（３）
において、Ｌは負の係数、ａは実定数であり、これらの
係数を適宜に変更することにより特性を設定する事がで
きる。

そしてこの特性を実現するために、圧縮信号変換手段１
１はマイクロコンピュータ等の演算機能を有する装置を
備えて上記式（１）ないしく３〉のいずれかの式に基づ
いて演算を行ったり、又は、上記式（１）ないしく３）
のいずれかの式に基づく演算を行ったのと同様の結・果
を得るために、予め上記の一つの式の演算結果に等しい
データを記憶するＲ　ＯＭ　（ｒｅａｄ　ｏｎｌｙ　ｍ
ｅｍｏｒｙ）を備え、差信号Ｖの大きざに応じて該ＲＯ
Ｍの記憶アドレスを指定して該データを得るようにする
。

尚、マイクロコンピュータやＲＯＭ等のディジタル信号
を扱うものにおいては、差信号ＶをＡ／Ｄ変換器等でデ
ィジタル信号に変換し、圧縮信号Ｗもディジタル信号で
ある。

第２図は積分手段１２の具体的構成を示し、周波数変換
器１２ａとアップダウンカウンタ１２ｂを備えている。

周波数変換器１２ａは差信号Ｖの正負極性を判別すると
共に、差信号の絶対値の大きさＩＶＩに応じた周波数の
周波数信号を発生し、差信号Ｖが正の値ならば周波数信
号ｆｗ、負ならば周波数信号ｆｃｗとして出力する。即
ち、差信号■の値が＋φならば、−位時間当たりφパル
スの周波数信号ｆｗを発生し、差信号Ｖの値が一φなら
ば単位時間当たりφパルスの周波数信号ｆＣＷを発生す
る。尚、この周波数信号ｆｗ、ｆｃｗの最大周波数は、
後述するディジタル弁１７に内蔵されたパルスモータＰ
Ｍの最大応答速度に等しいか又はそれ以下に設定されて
いる。

アップダウンカウンタ１２ｂは、周波数変換器１２ａか
らのパルス列ｆｗ、ｆｃｗを計数し、パルス列ｆｗが供
給されるとアップカウントを、パルス列ｆｃｗが供給さ
れるとダウンカウントを行い、計数結果を積分値信号Ｒ
として出力する。

１３は開度信号発生手段であり、積分値信号Ｒと圧縮信
号Ｗを加算演算し、その加算結果に基づいて開度制御信
号Ｓ■を発生する。即ち次式（４）に従った演算を実行
する。

５Ｖ＝ｋ・（Ｗ＋Ｒ）　　　　・・・・（４）尚、ｋは
適宜に設定する計数値である。

１４はパルスモータ駆動手段で３あり、励磁信号発生回
路１５と駆動回路１６とを備え、ディジタル弁１７のパ
ルスモータＰＭの動作を制御して可変絞り１８の開度を
調節する。

励磁信号発生回路１５は開度制御信号Ｓ■の大小を判定
を行い、現在のパルスモータ位置すなわちバルブ開度が
指示値より大きい場合は閉じる方向に、その反対なら開
ける方向に正逆転させるべく励磁信号φ１〜φ４を出力
する。

第３図は励磁信号発生回路１５の構成を示すブロック図
であり、比較器１５ａ１判別器１５ｂ１発撮器１５ｃ、
位置カウンタ１５ｄ１パルスモータ励磁相変挽回路１５
ｅを備え、比較器１５ａに圧縮信号Ｗを入力し、パルス
モータ励磁相変換回路１５ｅからはパルスモータの各励
磁コイルを制御する励磁信号φ１〜φ４が発生するよう
になっている。

尚、詳細は先に本願発明者が出願した「昭和５８年特許
願第２０７２０７＠Ｊに記載しているが、ここで概要を
説明すると、発振器１５ｃはパルス列からなる基準クロ
ック信＠Ｃしを発生し、パルスモータＰＭを最大応答速
度で駆動することのできる周波数に等しく設定されてい
る。

比較器１５ａは、加減算カウンタを用いた位置カウンタ
１５ｄから供給されたパルスモータＰＭの現在位置信号
Ａと開度制御信号Ｓ■との大小を検出し、現在位置信号
Ａが開度制御信号Ｓより大きいとき即ちＡ　＞　Ｓ　’
Ｊの時は出力Ｑ１を発生し、現在位置信号Ａが開度制御
信号Ｓ■より小さいとき即ちＡ＜ＳＶの時は出力Ｑ２を
発生する。

判別回路１５ｂは出力Ｑｌ　、Ｑ２に基づいて位置カウ
ンタ１５ｄの加減算動作を指定する。

出力Ｑ１が入力された場合には、位置カウンタ１５ｄに
対し発振器１５ｃよりの基準クロック信号ＣＬを減算パ
ルスＤＯＷＮとして供給し、位置カウンタ１５ｄはＡ＝
ＳＶとなるまで計数動作し、この減算結果ＩＡ−３Ｖ　
１個のパルスからなる差修正信号ＣＷをパルスモータ励
磁相変換回路１５ｅに出力する。パルスモータ励磁相変
換回路１５ｅは差修正信号ＣＷを４相パルスモータのと
きはφ１〜φ４の励磁信号に変換し、駆動回路１６を介
して、ディジタル弁１７の可変絞り１８を閉じる方向に
パルスモータを回転駆動する。　　　一方、出力Ｑ２が
入力された場合には、位置カウンタ１５ｄに対し発振器
１５Ｃよりの基準クロック信号ＣＬを加算パルスＵＰと
して供給し、位置カウンタ１５ｄはＡ＝ＳＶとなるまで
計数動作し、この加算結果Ｉ　５Ｖ−Ａ　１個のパルス
からなる差修正信号ＣＣＷをパルスモータ励磁相変換回
路１５ｅに出力する。パルスモータ励磁相変換回路１５
ｅは４相パルスモータの時は差修正信号ＣＣＷをφ１〜
φ４の励磁信号に変換し、駆動回路１６を介して、ディ
ジタル弁１７の可変絞り１８の開度を増加する方向にパ
ルスモータＰＭを回転駆動する。

更に、判別回路１５ｂは比較器１５ａからの信号Ｑｌ　
、Ｑ２が供給されないとき、即ち、現在位置信号Ａと開
度制御信号Ｓ■が等しい場合、発振器１５Ｇの基準パル
スＣＬを位置カウンタ１５ｄに供給するのを停止する。

したがって、位置カウンタ１５ｄは加減算動作せず、パ
ルスモータ励磁相変換回路１５ｅへの励磁信＠ｃｗ、ｃ
ｃｗの供給が行なわれず、パルスモータＰＭは駆動され
ない。

尚、第１図において、駆動回路１４は駆動信号φ１〜φ
４を電流増幅してパルスモータの各励磁コイルに供給す
る。

この様に、パルスモータＰＭは、現在位置信号Ａと開度
制御信号Ｓ■との差だけ駆動するように制御されるので
、常に開度制御信号Ｓｖによって指示される開度位置に
追従する。

１９は流体圧力源、２０はアクチュエータであり、可変
絞り１８の開度に応じた作動流圧が流体圧力源１９から
アクチュエータ２０に供給され、駆動される。

２１はアクチュエータ２０の動作量を検出し、該検出値
をフィードバック信号Ｆとして演算手段１０に供給する
。

かかる構成のディジタル弁クローズドループ制御装置の
作動を説明する。

演算手段１０において、入力指示信号Ｓと実際のアクチ
ュエータ２０の動作量を示すセンサ２１からのフィード
バック信号Ｆとの差が検出され、その差信号■は圧縮信
号変換手段１１により上記式第（１）、（２）または（
３）のいずれかの式、例えば第（１）式に基づいて処理
され、圧縮信号Ｗとなって出力される。

一方、差信号Ｖは別途積分手段１２により処理され、積
分値信号Ｒが出力される。

開度信号発生手段１３では、積分値信号Ｒと圧縮信号Ｗ
を上記式（４）に基づいて加算演算し、開度制御信号Ｓ
■を発生する。

開度制御信号Ｓｖは励磁信号発生回路１５により、パル
スモータＰＭの現在位置と比較され、パルスモータＰＭ
を現在位置と開度制御信号ＳＶとの差だけ駆動する為の
励磁信号φ１〜φ４が駆動回路１４で電流増幅されてパ
ルスモータＰＭに供給され、パルスモータＰＭを開度制
御信号ＳＶに等しく追従させる。

パルスモータＰＭは励磁信号φ１〜φ４にしたがって正
転または逆転して可変絞り１８の開度を調節し、流体圧
力源１９からアクチュエータ２０へ供給する作動液圧を
調整する。

第４図はこのフィードバック制御によって、入力指示信
号Ｓ１こ対するアクチュエータ２０の定常偏差及び応答
性が向上したことを示す。

ここで、第４図はこの実施例の特性を示し、第７図と比
較すると、第７図は圧縮信号変換手段１１及び開度信号
発生手段１３を用いず一定の増幅率を有するサーボ増幅
器を用いて演算手段１からの差信号Ｖを増幅し、パルス
モータＰＭの動作を制御する従来のフィードバック制御
手段による特性を示しているが、該増幅器の増幅率Ｇを
２０００、入力指示信号Ｓを０．４　ｍ／ｓｅｃとし、
該入力指示信号Ｓをステップ状に供給してた場合である
。

第７図では、入力指示信号Ｓに対するディジタル弁１７
の可変絞り１８の開度θには、大きなオーバーシュート
とアンダーシュートが発生し、一定値に安定するのに長
時間を必要としている。又、この開度θの不安定に伴な
いアクチュエータ２０の動作ηも不安定で安定するまで
に長時間を必要とし、しかも、アクチュエータ２０が安
定した状態（整定状態）の値と入力指示信号Ｓで指示さ
れた目標値Ｈとの差δが極めて大きい。

したがって、アクチュエータ２０に速く目的の動作を行
なわせることができず制御性能が悪いと言える。

これに対し、第４図は第７図と同一条件のディジタル弁
１７、流体圧力源１９、アクチュエータ２０等を使用し
、上記式（２）を適応した圧縮信号変換手段１１及び開
度信号発生手段１３を使用している。尚、上記式（２）
において、ｎ＝８、Ｋ＝４００、入力指示信号Ｓを　０
．４　ｍ／ｓｅｃとし、最低の増幅率でも４００となる
ように設定してあり、この時の圧縮信号変換手段１１の
増幅率Ｇ＊＝Ｗ／Ｖは一例を示せば次表のように差信号
第３図に示すように、入力指示信号Ｓに対するディジタ
ル弁１７の可変絞り１８の開度θ　は、極めて短時間で
一定値に安定し、また、この開度θ１も安定なことから
アクチュエータ２０の動作η“も短時間で安定する。し
かも、アクチュエータ２０が安定した状態（整定状態）
の値と入力指示信号Ｓで指示された目標値Ｈとの差すな
わち定常偏差δ　が極めて小さい。

このように、従来の増幅器に比べて、差信号■に対する
開度制御信号Ｓ■の増幅率を全体的に上昇することがで
きることから、目標値Ｈとアクチュエータ２０の整定値
との差δ９を極めて小さくする事ができる効果が得られ
、又、該増幅率を上昇しても発振等の不安定な状態とな
らないので、アクチュエータ２０に速く目的の動作を行
なわせることができ、応答性が改善されている。

尚、この実施例の圧縮信号変換手段１１では、上記式（
１）ないしく３）を用いたが、これに限らず、入力され
る差信号の値が大きくなるにしたがい圧縮率が大きく、
該差信号の値が小さくなるにしたがい圧縮率が小さくな
ような特性を有しているものであれば適用することが出
来る。

第５図は伯の実施例を示すブロック図である。

まず、構成を第１図のブロック図に対応して示せば、相
違する点は、センサ２１からの検出信号をＡ／Ｄ変換器
２２を通してディジタル信号よりなるフィードバック信
号ＦＤに変換し、これを演算手段１０Ａに供給し、ディ
ジタル信号よりなる入力指示信号ＳＤとの差である差信
号Ｖをディジタル信号で発生させている。そして、圧縮
信号発生手段１１Ａは第１図の圧縮信号発生手段１１に
、開度信号発生手段１３Ａは第１図の開度信号発生手段
１３に相当し、共に、ＲＯＭ　（Ｒｅａｄ　０ｎｌｙ　
Ｈｅｍｏｒｙ）等の記憶素子にて構成されている。

圧縮信号変換手段１１Ａは差信号■の値（数値）にて指
定されるＭ謂アドレス領域に上記式（１）等で演算され
た結果の圧縮信号Ｗに相当する数値データが予め記憶さ
れている。差信号■が供給されると該差信号Ｖは所謂ア
ドレス信号となり、該アドレス領域からは差信号Ｖの大
きさに対応した圧縮信号（数値）Ｗが出力される。

開度信号発生手段１３Ａも同様に、マトリックス状に配
列された記憶領域を有するＲＯＭ等で構成され、圧縮信
号変換手段１１Ａからの圧縮信号Ｗが記憶領域の列アド
レスを、積分手段１２からの積分値信号Ｒが記憶領域の
行アドレスとなる構成となっている。

圧縮信号Ｗと積分値信号Ｒとで指定されるアドレス領域
には、第１図の開度信号発生手段１３で求められる所定
の開度制御信号Ｓ■が圧縮信号Ｗと積分値信号Ｒに対応
して予め記憶されており、圧縮信号Ｗと積分値信号Ｒに
応じた開度制御信号ＳＶを出力するようになっている。

この実施例によっても上記第１の実施例と同様の効果が
得られ併せて、回路構成の簡素化及び小形化が実現出来
る。

（発明の効果） 以上説明したようにこの発明例によれば、圧縮信号変換
手段は、フィードバック信号と入力指示信号との差によ
る差信号の値が大きい場合にはクローズドループ装置の
動作の安定化を図るべく圧縮率の大きな圧縮信号を発生
し、該差信号が小ざい場合には圧縮率の小さな圧縮信号
を発生することで制御系全体の応答性を向上させるよう
にして定常偏差の少ないクローズドループ制御系を実現
しようと作用するものであり、一方、上記差信号はその
まま制御信号としてパルスモータに供給すると安定性等
におりる問題があるものの応答速度は速ことから、開度
信号発生手段によりこれら２者の長所を利用すべく最適
となる開度制御信号を発生させ、この開度制御信号に基
づきディジタル弁を駆動制御するので、安定性と応答性
とを満足するディジタル弁クローズドループ制御装置を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示すブロック図、第２
図は第１図の増幅手段の構成を示すブロック図、第３図
は第１図の励磁信号発生手段の構成を示すブロック図、
第４図は本発明による効果を示す特性図、第５図は本発
明による他の実施例を示すブロック図、第６図は従来例
を示すブロック図、第７図は従来例の欠点を説明する特
性図である。 １０、ＩＯＡ：演算手段 １１、ＩＩＡ：圧縮信号変換手段 １２：積分手段 １３．１３Ａ：開度信号発生手段 １４：パルスモータ駆動手段 １５：励磁信号発生回路 １６：駆動回路 １７：ディジタル弁 １８：可変絞り １９：液体圧力源 ２０：アクチュエータ ２１：センサ ２２：Ａ／Ｄ変換器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 パルスモータにより駆動される流体液圧源からの作動液
   体を制御し該作動液体にてアクチュエータを駆動するデ
   ィジタル弁と、 該アクチュエータの動作量を検出しフィードバック信号
   を発生するセンサと、 該アクチュエータの動作を指示する入力指示信号と該フ
   ィードバック信号との差を検出し差信号を発生する演算
   手段とを具備し、 該ディジタル弁によって制御される作動液体により駆動
   されるアクチュエータの動作量を検出して該アクチュエ
   ータをフィードバック制御するディジタル弁クローズド
   ループ制御装置において、前記差信号の値が大きくなる
   にしたがい圧縮率が大きく、該差信号の値が小さくなる
   にしたがい圧縮率が小さい圧縮信号を発生する圧縮信号
   変換手段と、 前記演算手段からの差信号の時間積分演算を行い積分値
   信号を出力する積分手段と、 該圧縮信号と積分値信号とに基づく加算演算を行い開度
   制御信号値を発生する開度信号発生手段と、 該開度信号発生手段からの開度制御信号に基づいてディ
   ジタル弁内のパルスモータを駆動し弁開度を設定するパ
   ルスモータ駆動手段とを具備したことを特徴とするディ
   ジタル弁クローズドループ制御装置。