JPS62265784A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPS62265784A JPS62265784A JP10856086A JP10856086A JPS62265784A JP S62265784 A JPS62265784 A JP S62265784A JP 10856086 A JP10856086 A JP 10856086A JP 10856086 A JP10856086 A JP 10856086A JP S62265784 A JPS62265784 A JP S62265784A
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- Japan
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- pressure
- gap switch
- gas
- power
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- Pending
Links
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
ガスレーザ媒質が大気圧以上で、レーザ光が放電方向に
対して直交して放出されるＴＥＡ（Ｔｒａｎｓ Ｖｅｒ
ｓｅｌｙ Ｅｘｃｉｔｅｄ Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃ
ｐｒｅｓｓｕｒｅ）ＣＱＩ レーザやエキシマレーザな
ど発憑装對では放電用の電源部のスイッチング用には電
気絶縁性気体で所定の圧力に維持されたギャップスイッ
チが使われている。第４図は従来における上記発振装置
の一例で次のように構成されている。すなわち、（１）
はガスレーザ管で内部には横断面がかまぼこ状になる一
組の放電′底棲（２ａ）、（２ｂ）が相対向して設けら
れている。Ｉ３）は直流の高圧パルスを発生する電源部
でギャップスイッチ（４）を介してガスレーザ管（１）
に所定の電力を供給するようになっている。ギャップス
イッチ（４）はトリガー発生器（５）に接続されてスイ
ッチ動作の信号を受けるようになっているとともに供給
装置（６）から空気または窒素ガスその他の電気絶縁性
気体を電磁弁（力および圧力設定器（８）を介して供給
されるようになっている。上記電源部（３）、） ＩＪ
ガー発生器（５）および電磁弁（力は制御表ｆｉｌ（９
）によってそれぞれ電圧、トリガー動作および弁の開閉
動作を制御されるようになっている。なお、ギャップス
イッチ（４）にはニードルバルブ（７ａ）を設けた排気
管が接続され過剰気体を排出するようになっている。
対して直交して放出されるＴＥＡ（Ｔｒａｎｓ Ｖｅｒ
ｓｅｌｙ Ｅｘｃｉｔｅｄ Ａｔｏｍｏｓｐｈｒｉｃ
ｐｒｅｓｓｕｒｅ）ＣＱＩ レーザやエキシマレーザな
ど発憑装對では放電用の電源部のスイッチング用には電
気絶縁性気体で所定の圧力に維持されたギャップスイッ
チが使われている。第４図は従来における上記発振装置
の一例で次のように構成されている。すなわち、（１）
はガスレーザ管で内部には横断面がかまぼこ状になる一
組の放電′底棲（２ａ）、（２ｂ）が相対向して設けら
れている。Ｉ３）は直流の高圧パルスを発生する電源部
でギャップスイッチ（４）を介してガスレーザ管（１）
に所定の電力を供給するようになっている。ギャップス
イッチ（４）はトリガー発生器（５）に接続されてスイ
ッチ動作の信号を受けるようになっているとともに供給
装置（６）から空気または窒素ガスその他の電気絶縁性
気体を電磁弁（力および圧力設定器（８）を介して供給
されるようになっている。上記電源部（３）、） ＩＪ
ガー発生器（５）および電磁弁（力は制御表ｆｉｌ（９
）によってそれぞれ電圧、トリガー動作および弁の開閉
動作を制御されるようになっている。なお、ギャップス
イッチ（４）にはニードルバルブ（７ａ）を設けた排気
管が接続され過剰気体を排出するようになっている。
上記の構成において、ギャップスイッチ（４）を適正動
作させるためにはギャップスイッチ（４）内を所定の圧
力範囲、例えば電源部（３）の出力電圧が３０ ＫＶで
は１．３〜ｌ、 ５ Ｋｇ／ｃｍ’といった圧力に保つ
必要がある。上記範囲以上の圧力の場合にはトリガーが
入力されてもスイッチング動作が行われないいわゆるミ
ストリガーが生じ、また範囲以下の圧力の場合にはトリ
ガーを入力しなくてもスイッチングが行われてしまう、
いわゆる自爆現象が生じる。
作させるためにはギャップスイッチ（４）内を所定の圧
力範囲、例えば電源部（３）の出力電圧が３０ ＫＶで
は１．３〜ｌ、 ５ Ｋｇ／ｃｍ’といった圧力に保つ
必要がある。上記範囲以上の圧力の場合にはトリガーが
入力されてもスイッチング動作が行われないいわゆるミ
ストリガーが生じ、また範囲以下の圧力の場合にはトリ
ガーを入力しなくてもスイッチングが行われてしまう、
いわゆる自爆現象が生じる。
ところで、レーザエネルギ（レーザ１パルス肖りのエネ
ルギ）は電源部（３）の出力電圧の上げ下げによって行
われる。したがって、所定範囲以上の６田で動作させる
ときにはギャップスイッチ（４）の圧力も同時に調整し
なければならないという不便さがあった。
ルギ）は電源部（３）の出力電圧の上げ下げによって行
われる。したがって、所定範囲以上の６田で動作させる
ときにはギャップスイッチ（４）の圧力も同時に調整し
なければならないという不便さがあった。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように制御装置によって電源部、トリガー発生器
およびｔＩＢｉ弁が制御され、圧力設定器が制御外にな
る不都合に鑑み、本発明はこの不都合を解消することの
できるガスレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
およびｔＩＢｉ弁が制御され、圧力設定器が制御外にな
る不都合に鑑み、本発明はこの不都合を解消することの
できるガスレーザ発振装置を提供することを目的とする
。
（問題点を解決するための手段と作用）電源部からギャ
ップスイッチを通してガス放電管に所定の電力を供給す
るガス放電管において、ギャップスイッチへ供給される
電気絶縁性ガスの供給管路に設けられた圧力設定器の設
定圧を電源部からの供給電力に応じて制御する構成とし
だもので、ギャップスイッチ内のガス圧を放電電圧の変
化に即応可能となる。
ップスイッチを通してガス放電管に所定の電力を供給す
るガス放電管において、ギャップスイッチへ供給される
電気絶縁性ガスの供給管路に設けられた圧力設定器の設
定圧を電源部からの供給電力に応じて制御する構成とし
だもので、ギャップスイッチ内のガス圧を放電電圧の変
化に即応可能となる。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基いて本発明を説明する。な
お、第４図と共通する部分には同一符号を付し詳細な説
明は省略する。すなわち、第４図に示した構成と異なる
ところは、圧力設定器をたとえば、サーボモータ、パル
スモータ等を駆動部とした圧力可変機構（ＩＣを持った
圧力設定器αＤとし、この圧力設定器（Ｌυからギャッ
プスイッチ（４）に至る管路に圧力検査器ｕｚを設け、
この圧力検出器ｄｚで検出した圧力信号を入力した制御
装置（Ｉ３）によって圧力可変機構０υを制御する構成
としたものである。
お、第４図と共通する部分には同一符号を付し詳細な説
明は省略する。すなわち、第４図に示した構成と異なる
ところは、圧力設定器をたとえば、サーボモータ、パル
スモータ等を駆動部とした圧力可変機構（ＩＣを持った
圧力設定器αＤとし、この圧力設定器（Ｌυからギャッ
プスイッチ（４）に至る管路に圧力検査器ｕｚを設け、
この圧力検出器ｄｚで検出した圧力信号を入力した制御
装置（Ｉ３）によって圧力可変機構０υを制御する構成
としたものである。
上記の構成において、レーザ動作電圧が決まると制御表
＠（１３よりの、制御信号が圧力可変機構１１（２）に
送られ圧力設定器０υは上記成田に応じた圧力に設定さ
れる。制御装置Ｑ３には圧力検出器（１′！Ｊからの圧
力信号が常時入力されている。ところで、上記制御装置
α３は前記したように電源部（３）の供給′心力を設定
する１！！能の他に、その設定に応じた圧力信号を基準
信号とする比較回路を有し、圧力検出器ｔｉｚの主力信
号はこの比較回路で比較され、圧力設定器αυは常に所
定の圧力に保たれる。
＠（１３よりの、制御信号が圧力可変機構１１（２）に
送られ圧力設定器０υは上記成田に応じた圧力に設定さ
れる。制御装置Ｑ３には圧力検出器（１′！Ｊからの圧
力信号が常時入力されている。ところで、上記制御装置
α３は前記したように電源部（３）の供給′心力を設定
する１！！能の他に、その設定に応じた圧力信号を基準
信号とする比較回路を有し、圧力検出器ｔｉｚの主力信
号はこの比較回路で比較され、圧力設定器αυは常に所
定の圧力に保たれる。
第２図は本発明の他の実施例でギャップスイッチ（４）
にこのギャップスイッチ（４）の動作回数を検出する光
センサ（ｔＳを設け、制御表［０３１において光センサ
αつの検出回数とトリガー発生器（５）のトリガー発生
回数とを比較し、自爆、ミストリガーの発生を検知し、
その状態に応じて圧力設定器圓の圧力を変更するように
したものである。すなわち、自爆が多ければ、最初の設
定圧より若干（たとえば、０．１〜０．２ Ｋｇ／ｃｒ
ｎ” ）高め、一方ミストリガーが多い場合には逆に若
干低めの圧力に変更する。
にこのギャップスイッチ（４）の動作回数を検出する光
センサ（ｔＳを設け、制御表［０３１において光センサ
αつの検出回数とトリガー発生器（５）のトリガー発生
回数とを比較し、自爆、ミストリガーの発生を検知し、
その状態に応じて圧力設定器圓の圧力を変更するように
したものである。すなわち、自爆が多ければ、最初の設
定圧より若干（たとえば、０．１〜０．２ Ｋｇ／ｃｒ
ｎ” ）高め、一方ミストリガーが多い場合には逆に若
干低めの圧力に変更する。
第３図は、第２図の制御系ダイヤグラムを示すものであ
る。１ｔ＃部（３）において、１川は、制御装置αＪか
らの周波数信号を電工信号に変えるための周波数・電圧
変換器である。この周波数・電圧変換器（１６）からの
出力信号により、を源部（３）のｔ王は設定される。＜
１７）は、電源部（３）の出力電圧をモニターするため
の分圧器である。制御装置Ｑ３において、（ＩＱは周知
の演算器である。ａ９はそれぞれ″ｍ磁パルプ（７）を
動作させるためのリレーである。■は演算器αＱからの
信号を人力し、トリが発生器（５）に必要なパルス信号
を発生するパルス発生器である◇また演算器ｔｌｌＤか
らパルス発生器■に送られる信号は、同時にカウンタＱ
υにも送られ、トリガーの発生回数をカウントするのに
使われる。囚は光センナからの光信号を電気信号に変換
する光・電気変換器である。この先・電気変換器からの
信号は、カウンタ＠に送られ、ギャップスイッチ（４）
の動作回数を数えるのに使われる。１２１勺はカウンタ
１２υ、コの数を比較する比較器である。ωは、演算器
（１秒からのΔ信号により、任意の周波数のパルスを発
生するパルス発振器である。園は分圧器ｄ７）のモニタ
ー信号と演算器の所望設定電圧を比較するための比較器
である。罰は、演算器賭からのデジタル信号をアナログ
記号に変換するためのＤ／Ａ変換器である。
る。１ｔ＃部（３）において、１川は、制御装置αＪか
らの周波数信号を電工信号に変えるための周波数・電圧
変換器である。この周波数・電圧変換器（１６）からの
出力信号により、を源部（３）のｔ王は設定される。＜
１７）は、電源部（３）の出力電圧をモニターするため
の分圧器である。制御装置Ｑ３において、（ＩＱは周知
の演算器である。ａ９はそれぞれ″ｍ磁パルプ（７）を
動作させるためのリレーである。■は演算器αＱからの
信号を人力し、トリが発生器（５）に必要なパルス信号
を発生するパルス発生器である◇また演算器ｔｌｌＤか
らパルス発生器■に送られる信号は、同時にカウンタＱ
υにも送られ、トリガーの発生回数をカウントするのに
使われる。囚は光センナからの光信号を電気信号に変換
する光・電気変換器である。この先・電気変換器からの
信号は、カウンタ＠に送られ、ギャップスイッチ（４）
の動作回数を数えるのに使われる。１２１勺はカウンタ
１２υ、コの数を比較する比較器である。ωは、演算器
（１秒からのΔ信号により、任意の周波数のパルスを発
生するパルス発振器である。園は分圧器ｄ７）のモニタ
ー信号と演算器の所望設定電圧を比較するための比較器
である。罰は、演算器賭からのデジタル信号をアナログ
記号に変換するためのＤ／Ａ変換器である。
このＤ／Ａ・変換器−からの出力信号により、圧力可変
機＊ｔｔｔｉは駆動される。田は圧力検出器（１カから
のアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器
である。
機＊ｔｔｔｉは駆動される。田は圧力検出器（１カから
のアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器
である。
なお実施例では、ギャップスイッチ（３）内に送り込む
気体として、空気を用いたが、窒素、ＳＦ、などの電気
絶縁性気体を用いてもよい。
気体として、空気を用いたが、窒素、ＳＦ、などの電気
絶縁性気体を用いてもよい。
さらに、圧力検出器＋ｔａは圧力設定器（力とギャップ
スイッチ（３）の間に取り付けられているが、その取り
付は位置は、ギャップスイッチ（３）内と圧力がほぼ同
じならどこでもよく、ギヤノブスイッチ（３）内あるい
は、ギャップスイッチ（３）とニードルバルブ０■の間
でもよい。
スイッチ（３）の間に取り付けられているが、その取り
付は位置は、ギャップスイッチ（３）内と圧力がほぼ同
じならどこでもよく、ギヤノブスイッチ（３）内あるい
は、ギャップスイッチ（３）とニードルバルブ０■の間
でもよい。
以上のようにギャップスイッチに対するガス圧の状態が
常に最良の動作ができる圧力に保てるようになったため
、ミストリガー、自爆といった誤動作が防止されるよう
になったとともに、従来のように電圧が変る毎にギャッ
プスイッチへのガス圧力をいちいち調節する不便がなく
なった。
常に最良の動作ができる圧力に保てるようになったため
、ミストリガー、自爆といった誤動作が防止されるよう
になったとともに、従来のように電圧が変る毎にギャッ
プスイッチへのガス圧力をいちいち調節する不便がなく
なった。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明の他の実施例を示す構成図、第３図は第２図の制御系
ダイヤグラムを示すブロック図、第４図は従来例を示す
構成図である。 （１）・・・ガスレーザ管 （３）・・・電源部 （４）パ・ギャップスイッチ （５）・・・トリガー発生器 （６）・・・供給装置 Ｑ■・・・圧力可変機構 αＤ・・・圧力設定器 鰺・・・圧力検出器 ０３・・・制御装置。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ＩＪにｊ胛家！ ｂ 第 １ 図 第 ２ 図
明の他の実施例を示す構成図、第３図は第２図の制御系
ダイヤグラムを示すブロック図、第４図は従来例を示す
構成図である。 （１）・・・ガスレーザ管 （３）・・・電源部 （４）パ・ギャップスイッチ （５）・・・トリガー発生器 （６）・・・供給装置 Ｑ■・・・圧力可変機構 αＤ・・・圧力設定器 鰺・・・圧力検出器 ０３・・・制御装置。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ＩＪにｊ胛家！ ｂ 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (2)
- （１）ガスレーザ媒質を大気圧以上の圧力にしてパルス
動作するガスレーザ管と、このガスレーザ管に所定の電
力を供給する電源部と、電気絶縁性気体によって所定圧
力に維持され上記電力の供給のスイッチング動作を行う
ギャップスイッチと、圧力可変機構を有した圧力設定器
を通して上記絶縁性気体を供給する供給装置と、上記圧
力設定器を経た管路もしくはギャップスイッチ内に設け
られたガス圧検出器と、このガス圧検出器による検出圧
力信号と上記電源部からの供給電力に応じた基準圧力信
号とを比較して上記圧力可変機構に圧力設定器の圧力を
所定の圧力に変更させる駆動信号を出力する制御装置と
を備えたことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２）制御装置はギャップスイッチの異常動作に応じて
圧力設定信号を出力することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10856086A JPS62265784A (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10856086A JPS62265784A (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62265784A true JPS62265784A (ja) | 1987-11-18 |
Family
ID=14487922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10856086A Pending JPS62265784A (ja) | 1986-05-14 | 1986-05-14 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62265784A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1747837A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-31 | Fanuc Ltd | Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed |
-
1986
- 1986-05-14 JP JP10856086A patent/JPS62265784A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1747837A1 (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-31 | Fanuc Ltd | Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed |
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