JPS62262814A - 反射型光学的観察装置 - Google Patents
反射型光学的観察装置Info
- Publication number
- JPS62262814A JPS62262814A JP10598886A JP10598886A JPS62262814A JP S62262814 A JPS62262814 A JP S62262814A JP 10598886 A JP10598886 A JP 10598886A JP 10598886 A JP10598886 A JP 10598886A JP S62262814 A JPS62262814 A JP S62262814A
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- JP
- Japan
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- sample
- polarizing plate
- luminous flux
- optical system
- type optical
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- Pending
Links
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 7
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、反射型光学顕微鏡或は電子光学的分析装置等
に付属する光学的観察装置等の反射型光学的観察装置に
関する。
に付属する光学的観察装置等の反射型光学的観察装置に
関する。
口、従来の技術
電子光学的分析装置例えば、Ｘ線マイクロアナライザ等
を使用して岩石や鉱物の薄片試料を分析する場合、透過
偏光観察によって分析する場所を設定するのが通例であ
る。
を使用して岩石や鉱物の薄片試料を分析する場合、透過
偏光観察によって分析する場所を設定するのが通例であ
る。
従って、上述したような分析を便利に行う為には、分析
装置に透過偏光観察を行うための光源や集光レンズ等を
有する別の光学系観察装置を併設するのが望ましい。し
かし、従来は上側のような電磁的分析装置には反射型光
学顕微鏡が併設されているが、透過光による観察ができ
ないので、透過光観察のためには光源を試ｆｌホルダの
下方に設置しなければならず、透過型観察装置を分析装
置のステージに付加しようとすると、試料微動装置と電
子光学系との間の機械的な制約から、試料自体の大きさ
や形状が制限され、充分な機能が発揮されなかった。
装置に透過偏光観察を行うための光源や集光レンズ等を
有する別の光学系観察装置を併設するのが望ましい。し
かし、従来は上側のような電磁的分析装置には反射型光
学顕微鏡が併設されているが、透過光による観察ができ
ないので、透過光観察のためには光源を試ｆｌホルダの
下方に設置しなければならず、透過型観察装置を分析装
置のステージに付加しようとすると、試料微動装置と電
子光学系との間の機械的な制約から、試料自体の大きさ
や形状が制限され、充分な機能が発揮されなかった。
また、試料設置用の透過型光学系観察装置による透過型
照射系と試料分析用の反射型分析装置の反射型照射系の
双方の照射系を含む光学系を必要とするために、価格的
に高価になってしまう等の問題点があった。
照射系と試料分析用の反射型分析装置の反射型照射系の
双方の照射系を含む光学系を必要とするために、価格的
に高価になってしまう等の問題点があった。
ハ１発明が解決しようとする問題点
本発明は、上述したような反射型光学的観察装置では、
透過光観察ができないと云う不便さを、解消することを
を目的とする。
透過光観察ができないと云う不便さを、解消することを
を目的とする。
二０問題点解決のための手段
反射型光学系観察装置において、平面鏡の上に偏光板を
重ね、その偏光板上に試料を載せるようにした試料台と
、上記試料台上の試料を上方から照明する照明手段と、
照明光学系に割り込まないで観察光学系」−に配置され
、試料観察光学系の光軸を軸として回転可能な偏、先板
を設けた。
重ね、その偏光板上に試料を載せるようにした試料台と
、上記試料台上の試料を上方から照明する照明手段と、
照明光学系に割り込まないで観察光学系」−に配置され
、試料観察光学系の光軸を軸として回転可能な偏、先板
を設けた。
ホ１作用
本発明によれば、試料設置用の光学系の観察装置の光源
を試料ステージの上方から照射するように設けて、試料
に上方から光を照射すると、試料を通過した光が試料ス
テージの表面に設けた反射鏡で反射される。この反射光
を観察装置の疑似光源として利用することによって、試
料ステージの下方に光源を設置することも、試料ステー
ジに光道を設けることも必要ではなくなり、装置を簡素
化して安価に製作することを可能にした。
を試料ステージの上方から照射するように設けて、試料
に上方から光を照射すると、試料を通過した光が試料ス
テージの表面に設けた反射鏡で反射される。この反射光
を観察装置の疑似光源として利用することによって、試
料ステージの下方に光源を設置することも、試料ステー
ジに光道を設けることも必要ではなくなり、装置を簡素
化して安価に製作することを可能にした。
へ、実施例
図に本発明の一実施例を示す。図において、Ａは電子ビ
ームであり電磁対物レンズＥによって細く絞られて、分
析試料Ｊに照射される。■は試料照明用の光源で、トＩ
は光源■から放射される光を電子ビームと平行な光束に
変換する集光レンズ、Ｇは集光レンズＨで形成された光
束を電子ビームの光軸に垂直な方向で電子ビームの光軸
に向けて反射すると共に電子ビームの光軸方向から来た
光束をそのまま透過させるハーフミラ−２ＣはＧで反射
された光束を電子ビームの光軸と同じ方向に反射する全
反射ミラーで、中央に電子ビームの通過する透孔を有し
、ＤはＣで反射された光束を対物凹面鏡Ｂに反射する凸
面鏡、Ｋは試料Ｊの下に置かれる偏光板、Ｌは偏光板に
の下に位置する反射鏡である。つまり、反射鏡■−の」
二に偏向板Ｋを置き、その上に試料Ｊを載置するのであ
る。試料は光が透過し得る程度に薄く研磨された薄片試
料である。Ｍはハーフミラ−ＧとアイピースＦとの間に
挿入された偏光板でアイピースＦの光軸を軸として３６
０度回転可能に設けられている。
ームであり電磁対物レンズＥによって細く絞られて、分
析試料Ｊに照射される。■は試料照明用の光源で、トＩ
は光源■から放射される光を電子ビームと平行な光束に
変換する集光レンズ、Ｇは集光レンズＨで形成された光
束を電子ビームの光軸に垂直な方向で電子ビームの光軸
に向けて反射すると共に電子ビームの光軸方向から来た
光束をそのまま透過させるハーフミラ−２ＣはＧで反射
された光束を電子ビームの光軸と同じ方向に反射する全
反射ミラーで、中央に電子ビームの通過する透孔を有し
、ＤはＣで反射された光束を対物凹面鏡Ｂに反射する凸
面鏡、Ｋは試料Ｊの下に置かれる偏光板、Ｌは偏光板に
の下に位置する反射鏡である。つまり、反射鏡■−の」
二に偏向板Ｋを置き、その上に試料Ｊを載置するのであ
る。試料は光が透過し得る程度に薄く研磨された薄片試
料である。Ｍはハーフミラ−ＧとアイピースＦとの間に
挿入された偏光板でアイピースＦの光軸を軸として３６
０度回転可能に設けられている。
このような構成において、光源Ｉからの光束は集光レン
ズト■によって平行光束となり、光路Ｇ→Ｃ→Ｄ−Ｂを
通って試料上に集束される。試料は薄片であるから光束
は試料を透過して、偏光板にで偏光されて反射鏡りに到
達する。反射鏡Ｉ−に到達した光束は反射鏡りで反射さ
れて、光束が来た道を逆行即ち再び偏光板Ｋを透過し、
試料Ｊを透過して、Ｂ−Ｄ−Ｃ→Ｇを通って偏光板Ｍで
偏光されて、アイピースＦに到達する。アイピースＦに
到達した光束によって試料の偏光観察を行うことができ
る。この構成で試料Ｓは偏光板Ｋを透過した偏光で照明
され、偏光板Ｍを通して観察されることになる。試料Ｓ
を不透過試料に置き換えるとか、偏光板にの代わりに不
透明、不反射板を置くとそのまま反射型光学系顕微鏡と
して使用できる。
ズト■によって平行光束となり、光路Ｇ→Ｃ→Ｄ−Ｂを
通って試料上に集束される。試料は薄片であるから光束
は試料を透過して、偏光板にで偏光されて反射鏡りに到
達する。反射鏡Ｉ−に到達した光束は反射鏡りで反射さ
れて、光束が来た道を逆行即ち再び偏光板Ｋを透過し、
試料Ｊを透過して、Ｂ−Ｄ−Ｃ→Ｇを通って偏光板Ｍで
偏光されて、アイピースＦに到達する。アイピースＦに
到達した光束によって試料の偏光観察を行うことができ
る。この構成で試料Ｓは偏光板Ｋを透過した偏光で照明
され、偏光板Ｍを通して観察されることになる。試料Ｓ
を不透過試料に置き換えるとか、偏光板にの代わりに不
透明、不反射板を置くとそのまま反射型光学系顕微鏡と
して使用できる。
ト、効果
本発明によれば、反射型光学系を透過型光学系として利
用することにより、装置の簡素化が得られ、別途透過観
察用の照明系を試料ステージ上に設けなくてよいから、
試料調整範囲の拡大が計れた。
用することにより、装置の簡素化が得られ、別途透過観
察用の照明系を試料ステージ上に設けなくてよいから、
試料調整範囲の拡大が計れた。
図は本発明の一実施例の断面図である。
Ａ・・・・電子ビーム、 Ｂ・・・・対物凹面鏡。
Ｃ・・・・全反射ミラー、Ｄ・・・・凸面鏡。
Ｅ・・・・対物レンズ、 Ｆ・・・・アイピース。
Ｇ・・・・ハーフミラ−９Ｈ・・・・集光レンズ。
■・・・・光源、Ｊ・・・・分析試料、Ｋ・・・・偏光
板。 Ｌ・・・・反射鏡、 Ｍ・・・・偏光板。
板。 Ｌ・・・・反射鏡、 Ｍ・・・・偏光板。
Claims (1)
- 上面を平面鏡にした試料台と、上記試料台上の試料を上
方から照明する照明手段と、上記試料台上の試料を観察
する試料観察光学系とよりなることを特徴とする反射型
光学系観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10598886A JPS62262814A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 反射型光学的観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10598886A JPS62262814A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 反射型光学的観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262814A true JPS62262814A (ja) | 1987-11-14 |
Family
ID=14422109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10598886A Pending JPS62262814A (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | 反射型光学的観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62262814A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078614A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Effector Cell Institute Inc | ディスク及び該ディスクを用いた光学式顕微鏡による細胞の計数観察装置 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP10598886A patent/JPS62262814A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007078614A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Effector Cell Institute Inc | ディスク及び該ディスクを用いた光学式顕微鏡による細胞の計数観察装置 |
| JP4664785B2 (ja) * | 2005-09-16 | 2011-04-06 | 株式会社Ｅｃｉ | ディスク及び該ディスクを用いた光学式顕微鏡による細胞の計数観察装置 |
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