JPS62261955A - 超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は超音波探傷装置に係り、特に、被検体として複
雑に入りくんだ突出し部と凹部から成る構造物、例えば
タービンディスクとタービン翼との嵌合部、所謂羽根植
込部に発生する欠陥等を探傷するに好適な超音波探傷装
置に関する。

（従来の技術） 被検体として複雑に入りくんだ突出し部と凹部から成る
。タービンディスクとタービン翼との嵌合部である羽根
植込部の超音波探傷は通常のＡスコープ探傷では被検体
形状に起因するエコーと欠陥エコーとの分離識別が困難
であるため、最近では被検体内部に超音波ビームを走査
させその超音波ビーム走査面に対応する被検体断面のＢ
スコープを表示させて探傷することが試みられている。

その試みの一つである超音波探傷装置として第９図に示
すようなアレイ型探触子１を用いるものがある。この探
傷装置のアレイ型探触子１は多数の超音波振動子２を直
線状に配列したものであり。

任意の複数個の超音波振動子２の選定と選定された超音
波振動子それぞれの超音波送受信のタイミングを所定時
間ずらし、超音波送受信信号の位相を制御することで超
音波ビーム３集束及び偏向を行ない電子的に超音波ビー
ム３の走査を行なわせるものである。

したがってこのようなアレイ型探触子１を用いれば、送
受信される超音波の主ビーム３を１例えば第９図に示す
ようにタービンディスク４マドタービン翼５とのディス
ク側羽根植込部６の探傷領域の全域について扇形走査さ
せることで、タービンディスク４の電子走査に対応した
Ｂスコープ７が第１θ図に示すように表示され羽根植込
部６の形状エコーと欠陥エコーとがＢスコープ７の両像
パターンにより識別される。

さらには第１０図（ｂ）に示すＢスコープ７に対して、
仮想される欠陥位置を包含する領域のウィンドウ８を設
定し、それらウィンドウ内エコーだけを選択的に表示す
ることも試みられている。

（発明が解決しようとする問題点） このような超音波探傷装置によればタービンディスクと
タービン翼との嵌合部であるいずれの側にある羽根植込
部においても１羽根植込部の形状エコーと欠陥エコーと
を識別して探傷することは、従来のＡスコープ探傷法に
くらべ容易に行なうことができる。しかしながら、羽根
植込部の形状エコー源と仮想される欠陥位置がアレイ型
探触子から見て比較的接近しているような場合には、Ｂ
スコープ表示画像上では形状エコーと欠陥エコーの識別
が困難になる。従って仮想される欠陥位置へのウィンド
ウの設定が欠陥の検出能へ微妙に影響を与える。一方、
アレイ型探触子をタービンディスクの円周方向に移送さ
せながら羽根植込部を探傷する場合、検査員がＢスコー
プ表示を常に監視して探傷することは不可能であるから
、前記仮想欠陥位置へのウィンドウ設定により、ウィン
ドウ内エコーを監視して探傷することになるが、アレイ
型探触子の位置精度や、被検体との接触状態によるウィ
ンドウ内エコーレベルの変動等の影響を受け、十分な探
傷精度が得られないという問題点がある。　本発明は上
記事情に鑑みてなされたものであり、被検体の突出し部
と凹部が複雑に入りくんだ形状部に発生した欠陥を探傷
する場合に欠陥エコーを容易に形状エコーと分離検出可
能とすると共に、エコーレベルの変動の影響を軽減し、
被検体全体の欠陥分布状況を容易にかつ高精度に出力可
能な超音波探傷装置を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 第１１ｇは本発明の超音波探傷装置のブロック図であっ
て、被検体外部に探触子を当接させて被検体内部に発生
した欠陥を探傷する超音波探傷装置において、上記探触
子内部に超音波を送受信可能とする振動子２が直線状に
配列されたアレイ型探触子１を用いて被検体内部へ超音
波ビーム３を振動子配列方向に電子走査する電子走査手
段１１と前記アレイ型探触子１を被検体表面上で移送す
る機械的走査手段１２と電子走査位置および機械走査位
置とそれら走査位置における前記被検体内部からの超音
波エコーの振幅および伝播時間（あるいはビーム路程）
情報を検出し、探傷データとして集録する超音波信号手
段１３と、この情報を用いて演算処理を行なう演算処理
手段１４と、演算処理によって得られた探傷結果を出力
する出力手段１５とによって構成した事を特徴とするも
のである。

（作　用） このように構成されたものにおいては、あらかじめ被検
体と同一形状の標準試験体あるいは被検体の特別な部位
（通常では欠陥の無い健全部が用いられる）を電子走査
手段１１により超音波探傷し、電子走査位置毎の超音波
エコーの振幅および伝播時間（あるいはビーム路程）情
報を超音波信号集録手段１３により検出し、比較参照デ
ータとして集録しておく、そして被検体の機械走査位置
毎に前記比較参照データの集録と同様にして被検体の電
子走査位置毎の超音波エコーの振幅および伝播時間情報
を検出し探傷データとして集録すると共に、演算処理手
段１４により、前記参照データとの比較演算を行ない、
被検体の形状部からのエコーと欠陥エコーを識別する。

即ち、比較参照データ集録時の探傷条件と被検体の探傷
データ集録時の探傷条件が同一であれば、検出される形
状エコーの電子走査位置及び、伝播時間は比較参照デー
タと被検体探傷データとで同一となるので電子走査位置
及び伝播時間毎に比較し、被検体探傷データにおいて比
較参照データで得られていないエコーが欠陥エコーとし
て出力手段１０５により出力される。

従って機械走査位置毎に前述の操作を繰り返すことによ
り被検体の欠陥位置分布を得ることができるものである
。

（実施例） 以下本発明の一実施例を図面によって説明する。

第２図は本発明の超音波探傷装置によりタービン翼の羽
根植込部の探傷を説明するための図であり。

タービンロータ２０は軸方向に円板状のタービンディス
ク４が焼嵌により多数嵌合されており、そのタービンデ
ィスク４の外周に複雑なダブテール構造（羽根植込部と
称する）で多数のタービン翼５が嵌合された状態で一組
の回転架台２１上に横置きされるが、回転架台２１の一
方はその内部のモーターにより回転ローラ２２を介して
タービンローターを回転駆動可能なように構成し、他方
は回転ローラ２２による支持だけとしている。尚回転架
台２１の回転駆動の起動・停止および回転速度の調整が
容易行ない得るよう配慮されていることはいうまでもな
い、さらにタービンロータ２０の軸端部にはロータリエ
ンコーダー等による位置検出器２３取り付けが可能にさ
れており、タービンロータ２０の回転移動量が得られる
ように構成されている。また、任意のタービンディスク
４とタービン翼５の嵌合部である羽根植込部６の側面に
アレイ型探触子を当接するための探触子保持機構３０を
固定する支持棒２４が固着された移動台車２５はタービ
ンロータ２０の下方に配置されている。移動台車２５は
容易に床面２６上を移動および固定可能なように台車枠
に車軸２７とこの車軸２７を床面２６から浮かせて固定
するストッパー２７が取り付けられている。つぎに第３
図を用い前記探触子保持機構３０の構成を説明する。

アレイ型探触子１にはその両端に設けられた回動可能な
ビン継手３１．３２により２本のアーム３３．３４が連
結されており、さらにこの２本のアーム３３゜３４はア
ームの軸方向にスライド可能なスライド軸受３５．３６
と連結されると共に、アレイ型探触子１への押し付方が
生じるようにコイルバネ３７．３８が装着されている。

ここで片方のアームのスライド軸受３５は、それと直角
方向の探触子位置調整用スライド軸３９に固着されてい
る。もう片方のアームのスライド軸受３６は前記探触子
位置調整用スライド軸３９に回動可能なピン継手４０に
より連結されている。また、探触子位置調整用スライド
軸３９は移動台車２５と固着された支持棒２４の先端に
固着されたスライド軸受４１と連結されており、タービ
ンディスク５とタービン翼４との嵌合部である羽根植込
部６の側面にアレイ型探触子１が当接し得るようスライ
ド可能にすると共に所定位置で固定できるようにスライ
ド軸受４１に固定用ネジ４２を設けている。このように
探触子保持機構を構成することで任意のタービンディス
ク５とタービン翼４との側面にアレイ型探触子１を密着
可能にするものである。尚アレイ型探触子１およびコイ
ルバネ３７゜３８は容易に交換可能なように配慮されて
いる。

次に第４図を用い、前述のアレイ型探触子を用いて超音
波の送受信を行なうための超音波探傷装置本体の構成を
説明する。アレイ型探触子１内部には超音波送受信可能
な振動子２が直線状に多数配列して成り個々の振動子２
はそれぞれ送信パルスを発生する超音波送信器群５１お
よび超音波受信器群５２と結合されており、この超音波
送信器群５１は遅延設定器５３からのパルス発生用トリ
ガ信号によって全部のあるいは数個の送信器を選定しそ
れぞれの対応する振動子２へ送信パルスを送り、これに
応答して振動子２が超音波を送波する。送波された超音
波は、被検体内部で反射され、振動子２に到達する。こ
の振動子２は超音波の音圧変化に対応した電気信号を発
生し、受信機能を有するので、それぞれの振動子２で検
出した受信信号は、それぞれに対応する超音波受信器群
５２によって増幅された後、それぞれに対応するＡ／Ｄ
変換器５４へ入力される。

このＡ／Ｄ変換器５４は超音波信号を高速でデジタル信
号に変換するものであり、受信波形を忠実にデジタル量
に変換することができる。またＡ／Ｄ変換器５４には、
受信信号のデジタル変換の開始用トリガ信号が、遅延設
定器５３からそれぞれ供給されている。このトリガ信号
を受けた全部のあるいは一部のＡ／Ｄ変換器５４はトリ
ガ信号の入力時点に同期して超音波受信波形がデジタル
信号化される。

信号制御器５５は、遅延設定器５３に対して超音波の送
受信にかかわる振動子群を選択し、あらかじめ設定した
超音波ビームの送波および受波方向、および集束点距離
に応じたトリガ信号出力のタイミングを与える。

また、各Ａ／Ｄ変換器５４の出力は加算メモリ５６にデ
ジタル波形加算されて記憶される。すなわちＡ／Ｄ変換
器５４に一旦保持された超音波受信号のデジタル波形は
デジタル波形化された時点をそろえて超音波受信時に選
択された振動子群２の受信信号がデジタル加算されて記
憶されることになる。

これらの操作は信号制御器５５によって制御されている
。

加算メモリ５６の加算された受信波形は、信号処理器５
７に入力される。信号処理器５７はこの加算波形を主波
し、検波波形にすると共に、信号制御器５５によりあら
かじめ設定されている。超音波の送受波位置および方向
にもとづき掃引信をＣＲＴ等の表示器５８へ出力する。

この時掃引信号に同期して検波波形をも出力し掃引信号
に輝度変調をかける。

このようにして信号制御器５５は超音波ビームの送受波
位置、あるいは超音波ビームの方向を順次変更して繰り
返えすことにより、被検体内部を電子的に走査が可能で
あり、かつ走査断面に対応したＢスコープをＣＲＴ等の
表示器５８に表示させモニタ可能としている。

また、信号処理器５５はゲート機能をも有し、ゲート内
の所定信号レベル以上の超音波受信号波形に対しそのピ
ーク振幅値と伝播時間を検出し、データ集録処理装置５
９へ出力するよう構成されている。一方、信号制御器５
５はタービンロータの回転移動量を検出する位置検出器
２３からの出力を受は超音波ビームの送受波位置と超音
波ビームの方向データをデータ集録処理装置！！５９へ
出力する。データ集録処理袋！５９は信号処理器５７よ
り入力されたピーク振幅値と伝播時間データおよび信号
制御器５５より入力された超音波ビームの送受波位置と
超音波ビーム方向データを所定記憶領域に格納する。

データ集録処理装置１５９は高速演算機能を有するコン
ピューターにより構成されており、プログラムによって
所定記憶領域に格納された前述のデータを高速に演算処
理が可能であり、その結果をＣＲＴプリンタ等の出力装
置６０に出力する。

このようにして、第２図、第３図、第４図に示した超音
波探傷装置は、タービンロータを回転させながら、ター
ビン翼の羽根植込部の側面に当接させたアレイ型探触子
によって超音波ビームを電子走査させ、得られた超音波
エコーの集録と共に演算処理可能なように構成したもの
である。

次に上記構成の超音波探傷装置を用いてタービン翼の羽
根植込部を探傷する場合の作用について説明する。第２
図で示されたようにアレイ型探触子１を取り付けた移動
台車２５は、回転架台２１上に横置されたタービンロー
タ２０の下方に移動させて。

アレイ型探触子１が概略検査対象タービン翼４の羽根植
込部側面に当接されるよう移動台車２５の位置を調整し
た後、ストッパー２７により固定する。

概略、アレイ型探触子１の位置が設定されたなら、第３
図で示されたように探触子位ｉｔ；ａ整用スライド軸３
９を固定している。固定用ネジ４２をゆるめアレイ型探
触子１が羽根植込部の所定位置に当接されるよう調整し
固定用ネジ４２により固定する。この時探触子位置調整
用スライド軸３９の上・上移動に対しアレイ型探触子１
は、その両端で連結されたアームのスライド軸３３．３
４がコイルバネ３７．３８によって羽根植込部側面に押
し付けられる力を受ける夕め、常に密着した状態で羽根
植込部側面を摺動する。そのため容易にアレイ型探触子
１の位置合せが行ない得ると共に、タービンロータ２０
の回転時においても良好な接触状態が得られる。

次に回転架台２１を作動させ、タービンロータ２０を回
転させつつタービン翼羽根植込部側面に当接されたアレ
イ型探触子１で超音波の送受信を行なうが、この時信号
制御器５５は位置検出器２３より入力されたタービンロ
ータ２０の回転移動量を監視し。

所定回転移動量毎に、遅延時間設定器５３を作動させる
。遅延時間設定器５３はあらかじめ信号制御器５５によ
り設定されている、モレイ型探触子１の超音波ビーム送
受波位置および、方向と集束位置データにもとづき、超
音波送信器群５１のそれぞれに送信パルス発生用トリガ
信号のタイミングを制御して出力される。それによって
アレイ型探触子１の超音波送信にかかわる振動子の選定
と共に超音波の送波が行なわれ、超音波の干渉作用によ
り所定方向への超音波ビームの偏向及び集束が制御され
る。一方、被検体内部に送波された超音波ビームは被検
体内部の欠陥あるいは形状部で反射し振動子に到達する
ので超音波受信器群５２により受信し所定信号レベルに
増幅した後Ａ／Ｄ変換器５４へ出力する。Ａ／Ｄ変換器
５４は超音波受信号を高速にデジタル変換するが、この
時、超音波の送波時と同様にして信号制御器５５により
あらかじめ設定されているアレイ型探触子１の超音波ビ
ーム送受波位置および方向と集束位置データに基づいて
Ａ／Ｄ変換開始用トリガ信号を遅延設定器５３よりＡ／
Ｄ変換器５４へ出力される。

これにより超音波の受信にかかわる振動子の選定と共に
、超音波の受波タイミングが制御され、Ａ／Ｄ変換器５
４によってデジタル波形化された超音波受信号は加算メ
モリに入力されデジタル波形化開始位置をそろえてデジ
タル加算され記憶される。従って超音波波時の超音波干
渉用と同じ効果を受波時においても電気的な干渉作用に
より行ないえるものである。

次に、加算された超音波受信号波形は信号処理器５７に
入力され、受信号波形の検波が行なわれると共に、表示
器５８に対し、超音波ビーム送受波位置及び方向のデー
タにもとづく掃引信号と共に輝度信号として出力される
。

以上の一連の動作の制御は信号制御器５５によって行な
われるが、第５図に示すように、アレイ型探触子１の超
音波ビーム送受波位置及び方向を順次変更してくり返し
行なうことで羽根植込部の探傷が行なわれ、羽根植込部
６の断面に対応するＢスコープが表示器５８に表示され
る。

一方、信号処理器５７はゲート機能を有しており、第６
図に示した特定形状エコー及び仮想される欠陥位置から
のエコーが含まれる領域Ｇ、−Ｇ、にあらかじめ信号制
御器５５によって設定されたゲート内の所定レベル以上
の超音波信号波形に対し、そのピーク振幅値及び伝帳時
間を検出し、データ集録処理装置５９へ出力する。そし
て、データ集録処理装置１５９は、タービンロータ２０
の所定回転移動量毎に超音波送受波位置及び方向データ
と共に所定記憶領域に格納する。

次に、データ集録処理装置ｌ！５９は、それら情報にも
とづき、第７図に示すような電子走査位置ｘ８に対する
ピーク振幅値Ｐのグラフを演算処理により求める。

ここで７レイ型探触子１の基準点ろに対する電子走査位
！ｘｉは、超音波ビームの送受波位ＩＩＣおよび方向θ
が既知であることから、反射エコーの伝帳時間から反射
エコー源Ｒのビーム路程Ωを求めることや次式により算
出できる。

Ｘｉ　＝　ＸＬ＋　Ｑ　−５ｉｎθ　　　　　・・・■
このようにして演算処理により求めた電子走査位ｉ！ｘ
ｓに対するピーク振幅値Ｐのグラフにおいて、もし被検
体に欠陥がなければ、健全部のそれと相似の曲線が常に
得られ、欠陥のある部位ではその曲線に変化が生じる。

従って、あらかじめ健全部の電子走査位置ｘｓに対する
ピーク振幅値グラフを参照データＡ１として求めておき
、被検体のそれＡ２と差分をとることで形状エコーと分
離して欠陥エコーを抽出することができる。しかし、実
際の被検体の探傷時では、アレイ型探触子１の基準点δ
を被検体の基準点Ｑに対して一定の位置関係を保つこと
は困難であることから電子走査位［ｘｓには常にΔＸだ
けシフトする誤差が含まれてしまう。

さらにアレイ型探触子１を被検体に対し一定の接触状態
に保つことも困難でありそれによってピーク振幅値も変
動するため、何らかの補正を行なう必要がある。そこで
被検体の特定形状部ａｔｔａｘ＊Ｂ１のピーク振幅値デ
ータは常に検出されており、その電子走査位置も既略予
測されることから第図に示すように参照データＡ１の同
じ形状部８１１ＢＩＩ８、のピーク振幅値データとそれ
ぞれ相互相関を演算し、アレイ型探触子１の位置誤差Δ
Ｘを求め被検体の電子走査位置ｘｇを補正すれば良い。

すなわち、参照データＡ１および被検体探傷データＡ２
における特定形状部Ｂ、、　Ｂ、、　Ｂ、のピーク振幅
データの相互相関の演算する範囲をＸＳｘ・Ｘ□とすれ
ば、その相互相関関数Ｃ（ΔＸ）は次式により与えられ
、相関値のピークを示す位置が参照データＡ２と被検体
探傷データＡ２の探触子位置誤差ΔＸとして求められる
。

次に参照データＡ１と被検体探傷データＡ、とのピーク
振幅値の補正は、電子走査位ｌｌ１ｘｓについて最小自
乗誤差範囲になる振幅補正係数ｍを下式により求めて行
なわれる。

ここでＸ８３　ｔ　ｌｃｇ４は電子走査位置ｘ３の範囲
■、■式の探触子位置誤差ΔＸおよび振幅補正係数ｍを
用い、下式による参照データＡ１と被検体探傷データＡ
２の差分Ｄ（ｘｓ）の演算を行なうことで第８図に示す
ように被検体探傷データの形状部からの反射エコーと識
別して欠陥エコーを抽出することが可能になる。

Ｄ　（ｘｓ）＝ｍＡ、（ｘｓ−ΔＸ）−Ａｌ（ｘｓ）　
　　　　　　　　　　　　　・　　ｅｕすなわち参照デ
ータＡ１と被検体探傷データＡ２との差分Ｄ　（Ｘｓ）
において正値の所定レベル以上であれば、その電子走査
位ａＸＳのピーク振幅値データは欠陥エコーによるもの
と判断し、所定レベル以下であればノイズ成分として判
断できる。従ってデータ集録処理装置５９は、上述の演
算処理を行ない抽出された欠陥エコーの最大振幅値とそ
の最大振幅値の得られる電子走査位置を出力装置６０に
数値出力あるいは、電子走査位置およびタービンロータ
回転移動量で対応させた平面座標上にＣスコープ表示と
して出力される。

このようにして信号制御器５５はタービンロータ２０の
所定回転移動量毎に上述の操作を繰り返して行ない、タ
ービンディスク４の外周上に嵌合されたタービン翼５の
羽根植込部６を全周探傷し欠陥からのエコーを形状部か
らのエコーと識別して欠陥位置及び分布を表示するよう
一連の各種タイミング信号の発生と設定の作用を行なう
ものである。

以上説明したように本実施例では、タービンローターを
回転させながら、タービン翼の羽根植込部側面に７レイ
型探触子を当接して探傷可能な探触子保持機構とロータ
ー回転架台が容易に構成し得ると共に、アレイ型探触子
を用いた電子走査によって得られた羽根植込部の形状部
からのエコーと欠陥エコーに対し演算処理を行ない、探
触子の位置誤差及び探触子の接触状態によるエコー振幅
の変動の影響を最少限にして欠陥エコーだけを容易に抽
出して表示し得る効果を有している。

尚本実施例ではタービン翼側の羽根植込部を探傷する場
合について説明したが第　図で示されたタービンディス
ク側の羽根植込部についても同様にして実施できるもの
である。

また、羽根植込部の形状によってはアレイ型探触子にア
クリルシュー等の超音波伝播媒体を介して行なう事が必
要になるが、超音波の伝播径路が幾何学的に算出可能で
あり、本実施例を適用し得るものである。

さらに、本発明の主旨を逸脱しない範囲において構成の
一部あるいは超音波ビームの走査方法を変更して適用で
きることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

本発明によればタービン翼の羽根植込部側面にアレイ型
探触子を当接して、タービンローターを回転駆動する機
械走査手段と前記アレイ型探触子を用いて超音波ビーム
を電子走査する手段と電子走査位置及び機械走査位置に
於ける前記羽根植込部内部からの超音波エコーの振幅及
び伝播時間等の情報を検出して集録する手段とそれら情
報を用いた演算処理により、羽根植込部の形状部からの
エコーと欠陥からのエコーと識別す演算処理手段と、そ
の演算処理結果にもとづく探傷結果を外部に出力する手
段とにより超音波探傷装置を構成したので、簡易な機械
走査の構成できわめて安定に欠陥エコーだけを抽出可能
と−し、羽根植込郡全体の欠陥位置及び分布を容易に知
り得るので複雑形状部を有する羽根植込部の自動探傷に
極めて有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第８図はいずれも本発明の実施例に係わる超
音波探傷装置を説明するための図であって、第１図は超
音波探傷装置の全体の構成を示すブロック図、第２図は
超音波探傷装置の機械走査手段生説明するための図、第
３図は超音波探傷装置の７レイ型探触子の保持機構を説
明する図、第４図はアレイ型探触子を用いて超音波探傷
を行なう超音波探傷装置本体を説明するブロック図、第
装置のデータ集録を説明する図、第８図は超音波探傷装
置の演算処理を説明する図、第９図は従来の超音波探傷
装置を説明する図、第１０図は電子走査によるスコープ
を示す図である。 １・・・アレイ型探触子、　　　　２・・・振動子、３
・・・超音波ビーム、　　　　　４・・・タービンディ
スク、５・・・タービン翼、　　　　　　６・・・羽根
植込部、７・・・Ｂスコープ、　　　　　　８・・・ウ
ィンドウ、１１・・・電子走査手段、　　　　１２・・
・機械走査手段。 １３・・・超音波信号集録手段、　　１４・・・演算処
理手段。 １５・・・出力手段、　　　　　　　２０・・・タービ
ンロータ、２１・・・回転架台、　　　　　　２３・・
・検出器。 ２４・・・アレイ型探触子支持捧、２５・・・移動台車
、３０・・・アレイ型探触子保持機構、 ３１、３２．４０・・・ピン継手　　　３３．３４．３
９・・・スライド軸、３５、３６．４１・・・スライド
軸受、３７．３８・・・コイルバネ、５１・・・超音波
送信器群、　　　５２・・・超音波受信器群、５３・・
・遅延設定器、　　　　　５４・・・Ａ／Ｄ変換器、５
５・・・信号制御器、　　　　　５６・・・加算メモリ
、５７・・・信号処理器、　　　　　５８・・・表示器
、５９・・・データ集録処理装置、６０・・・出力装置
。 Ｆ・・・欠陥、　　　　　　　　Ｇ・・・ゲート位置。 ０・・・アレイ型探触子基準位置。 Ｑ・・・羽根植込部基準位置、 Ｃ・・・超音波ビーム送受波位置、 θ・・・超音波ビーム方向、　　ト・・超音波ビーム路
程、ｘ８・・・電子走査位置、　　　　Ａ４・・・参照
データ、Ａ２・・・被検体探傷データ、　　Ｃ（ΔＸ）
・・・相互相関値、ΔＸ・・・アレイ型探触子位置誤差
。 Ａ、／・・・補正後の被検体探傷データ。 Ｄ・・・差分データ。 代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 同　　三俣弘文 第３図 第６図 （αノ ２ｊ　−ｍ−中 （ｂ） −ＩＩｘ　　　　　　　　　　　　　ｏ　　　　　　　
　　　　　　　＋ａｘ（八］ （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検体外部に探触子を当接させ、この探触子から被検体
   内部へ超音波を送受信して被検体内部の欠陥を探傷する
   超音波探傷装置において、前記探触子内に超音波振動子
   が直線上に多数配列されたアレイ型探触子を用いて超音
   波ビームを振動子配列方向に電子走査する手段と、前記
   アレイ型探触子を被検体表面上で移送する機械的走査手
   段と、電子走査位置及び機械走査位置とそれら走査位置
   における前記被検体内部からの超音波エコーの振幅及び
   伝播時間（あるいはビーム路程）情報を検出して集録す
   る手段と、それら情報を用いた演算処理により被検体の
   形状部からのエコーと欠陥部からのエコーとを識別する
   演算処理手段と、その演算処理結果にもとづく探傷結果
   を外部に出力する手段とにより構成したことを特徴とす
   る超音波探傷装置。