JPS622615A - 半導体ウェハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の製造工程に使用され、例えば、ウ
ェハボートに載置された状態の半導体ウェハを拡散炉等
の処理装置に搬入、搬出するに際して、ウェハボートを
正確にワーキングステーションの受皿上に載置するウェ
ハボート位置決め装置に関する。

（発明の技術的背景とその問題点） 半導体ウェハを拡散炉で処理する場合、ウェハボート上
に載置された状態で炉内への搬入および搬出を行なって
いる。このウェハボートを拡散炉内に搬出入するには、
一旦、ワーキングステーションの受皿上に載置し、エレ
ベータによって空位のフォーク上に移送する必要がある
。このウェハボートの受渡しが確実に行なえるよう、ウ
ェハボートを受皿上に正確に位置決めするため、従来か
ら位置決め装置が使用されている。

以下、添付図面の第５図乃至第７図を参照して従来技術
を説明する。なお図面の説明において同一要素は同一符
号を付す。

第５図は半導体ウェハ１を載置したウェハボート２の斜
視図であり、第６図はこのウェハボート２をワーキング
ステーションの受皿３に位置決めするための作動の従来
例を示している。第５図において、ウェハボート２は左
右のｍ４間に２本の支持バー５が掛は渡されており、こ
の支持バー５上に多数の半導体ウェハ１が載置されてい
る。又、脚４には上端部が外方に折曲されたフック６が
取り付けられており、このフック６を介してフォーク、
受皿等への移送が行なわれるようになっている。

次に、第６図によりウェハボート２を受皿３上に載置し
、位置決りする場合を説明する。第６図（Ａ）の如く、
エレベータ（図示Ｕず）のチャック７がウェハボート２
のフック６に係着し、エレベータの下降でつ１ハボー１
−２は受皿３上に載置される。そして、チャック７がフ
ック６から外れ、第２図（Ｂ）の如く位置決め装置１０
によってウェハボー１−２の位置決めが行なわれる。こ
の位置決め装置１０は受皿３の一側の側部に設けられて
おり、偏心軸と共に回転するカム１１と、カム１１の回
転に追随して受皿３の方向に進出するロッド１２と、ロ
ッド１２に取り付【ノられウェハボート２の側部に当接
するプッシャ１３を支持するアーム１４と、ロッド１２
に外挿されロッドを退出させるリターンスプリング１５
とからなっている。受皿３上にウェハボート２が載置さ
れるとロッド′１２が左方向に進出してプツシＦ１３が
ウェハボート２を左方向に押圧する。これにより、ウェ
ハボート２は受皿３上をスライドして受ＩＩ　３の片側
の側壁に押し付けられ、位置決めがなされる。

この位置決めの後に半導体つ１ハの移し昌えが行なわれ
、再びエレベータのチャックがウェハボー“　　ト２の
７ツク６に係合しウェハボート２を持ち−ヒげ、フォー
クに移送する。

しかしながら、従来の位置決め装置においては、受皿上
への載置位置が異なったりウェハボートや受皿の精度の
ずれ等が生じると、第７図のようにウェハボート２が受
皿３の側壁上に乗り上げて傾き、ウェハボートが倒れた
り、半導体ウェハが脱落して破損するという不都合があ
る。又、ウェハボート２を受皿３の側壁に押し付けるま
でスライドさせるため、ウェハボートと受皿との摩耗に
よって埃等が発生し、好ましくない。このため、ウェハ
ボートを受皿の中央部分に位置決めすることが好ましい
が、従来装置ではこの正確な位置決めができず、半導体
ウェハの移し替えが円滑にできない問題点がある。

〔発明の目的〕

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、ウェハボ
ートを受皿の所定の位置に正確に位置決めすることがで
きるウェハボート位置決め装置を提供することを目的と
している。

（発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明は、ウェハボートを両方
側部から押圧して受皿の所定位置に正確に位置決めする
ようにしたものである。すなわち本発明は、ウェハボー
トの一方の側部を抑圧する少なくとも１以上の第１のプ
ッシャと、ウェハボートの他方の側部を押圧する少なく
とも２以上の第２のブッシレとを備え、これらのプッシ
ャの押圧による衝撃を吸収するためいずれか一方のプッ
シャに！！！衝手衝合段けたことを特徴としている。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図を参照し
て具体的に説明する。

第４図は本発明が適用される半々体製造装置の斜視図で
ある。この装置は拡散炉の入口側に設けられ、炉内への
半導体ウェハ１の搬出入を行なう多段のフォーク２１と
、受［［１１３上に位置決めされたウェハボート上の半
導体ウェハの移し替えを行なう移ｉｓ構２２と、ウェハ
ボート２を）Ａ−り２１および受皿３に受は渡しするエ
レベータ２３等とからなっている。

フォーク２１は水平方向にスライドし、拡散炉側に開設
された出入孔２４を介して、ウェハボートに載置された
半導体ウェハを拡散炉内に搬入し、又、炉内での処理後
の半導体ウェハの搬出を行なう。エレベータ２３は上下
動するリンク２６と、リンク２６に取り付けられウェハ
ボート２のフック６に係着するチ１シック２５とを具備
しており、受皿３とフォーク２１の間を昇降して受皿上
のウェハボートをフォーク２１上に載置したり、フォー
ク　２１から取り外して受皿３上にｔｉさせるものであ
る。ウェハボート２を受皿３上に位置決めする位置決め
ｖｌｎ３０はワーギングステーション２０に配設される
。

第１図および第２図はこの位置決め装置の斜視図および
側面図を示している。

この位置決め装置は、受皿３の両側に設けられた第１の
プッシャ３１および第２のプッシャ３２と、これらを受
皿３方向に進退させる駆動手段３３．３４とを具備して
いる。第１のプッシャ３１は図示の実施例では受皿３す
なわちウェハボート２の右側に１基だけ配設されている
。そして第１のプッシャ３１はアーム３５の上部端面に
取り付けられ、エアシリンダ等の駆動手段３３に連結さ
れている。すなわら、駆動手段３３のロッドに連結板３
６が取り付けられ、この連結板３６に連結棒３７が取り
付けられており、この連結棒３７が前記アーム３５に挿
通し、さらに連結板３６とアーム３５との間にコイルば
ねからなる緩衝手段３８が設けられている。従って、駆
動手段３３が作動すると、連結板３６、コイルばね３８
を介してアーム３５にスラオドカが伝達し、第１のプッ
シャ３１がウェハボート２の一方の側部を押圧するよう
になっている。ここで、連結板３６の進退はガイド３９
によって横ぶれしないようになっている。

第２のプッシャ３２はこの第１のプッシャ３１の反対側
に対向して設けられており、エアシリンダ等の駆動手段
３４のロッドに取り付けられた連結板４０に取り付けら
れている。この場合、第２のプッシャ３２は２基だけ設
けられており、この２基のプツシｖ３２の間に第１のプ
ッシャ３１が位置するようになっている。

以上の位置決め装置によってウェハボート２の位置決め
を行なうには、エレベータ２３によってウェハボート２
が受皿３上に載置された後にウェハボートの両側の駆動
手段３３．３４が同時に駆動して第１のプッシャ３１お
よび第２のプッシャ３２でウェハボートを左右両側から
押圧する。この第１のプッシャ３１、第２のプッシャ３
２の押圧力の均衡により、ウェハボー１〜は受皿３の中
央部分に正確に位置決めされる。ここで、第１のプッシ
ャ３１側に設けられたコイルばね３８は第２のプッシャ
３２の抑圧による衝撃を吸収する作用があるため、精巧
な制御をすることなく押圧力の均衡が図られる。

第３図は本発明の別の実施例の平面図であり、第１のプ
ツシｔＩ３１、第２のプッシャ３２がいずれも２基づつ
配設、されている。この場合にも、同図（８）のように
ウェハボート２が受皿３に対して斜めに傾いた状態で載
置されても、その正確な位置決めが可能である。

なお、上記実施例においてはばね手段にコイルばねを使
用したが、板ばねを使用してもよい。この場合には、例
えば第１のプツシｔ７３１を支持するアーム３５を板ば
ねとすることで、コイルばねを省略することができる。

又、プツシ１ｔの数も図示するものに限らず、適宜増加
させることも可能である。

〔発明の効果〕

以上のとおり本発明によれば、ウェハボートの両側にプ
ッシャを配設すると共に、プッシャの押圧による衝撃を
吸収するばね（緩衝）手段を設けたので、ウェハボート
を受皿の所定位置に正確に位置決めすることがでるウェ
ハボート位置決め装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部の斜視図、第２図はそ
の側面図、第３図は別の実施例の平面図、第４図は本発
明が適用される半導体製造装置の斜視図、第５図はウェ
ハボートの斜視図、第６図は従来装・置の作動を示す側
面図、第７図は従来装置による位置決め例を示す側面図
である。 ２・・・ウェハボート、３・・・受皿、２０・・・ワー
キングステーション、２３・・・エレベータ、３１・・
・第１のプッシャ、３２・・・第２のプツシｔν、３３
．３４・・・駆動手段、３８・・・ばね（緩衝手段）。 出願人代理人　　猪　　股　　　　清 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体ウェハを載置するウェハボートをワーキング
   ステーションの受皿上に位置決めするウェハボート位置
   決め装置において、 前記ウェハボートの一方の側部を押圧する少なくとも１
   以上の第１のプッシャと、前記ウェハボートの他方の側
   部を押圧する少なくとも２以上の第２のプッシャと、前
   記第１および第２のプッシャをそれぞれ進退させる駆動
   手段と、前記第１および第２のプッシャのいずれか一方
   に設けられ他方のプッシャの押圧による衝撃を吸収する
   緩衝手段とを備えることを特徴とするウェハボート位置
   決め装置。 ２、前記緩衝手段は前記プッシャを前記駆動手段に連結
   する部分に設けられたコイルばねである特許請求の範囲
   第１項記載のウェハボート位置決め装置。 ３、前記緩衝手段は前記プッシャを前記駆動手段に連結
   する部分に設けられた板ばねである特許請求の範囲第１
   項記載のウェハボート位置決め装置。