JPS62257779A - High-voltage discharge circuit - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 55
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 101000668165 Homo sapiens RNA-binding motif, single-stranded-interacting protein 1 Proteins 0.000 abstract description 6
- 102100039692 RNA-binding motif, single-stranded-interacting protein 1 Human genes 0.000 abstract description 6
- 101100365087 Arabidopsis thaliana SCRA gene Proteins 0.000 abstract description 5
- 101150105073 SCR1 gene Proteins 0.000 abstract description 5
- 101100134054 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) NTG1 gene Proteins 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 101150108611 dct-1 gene Proteins 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 102100031437 Cell cycle checkpoint protein RAD1 Human genes 0.000 description 1
- 102100033934 DNA repair protein RAD51 homolog 2 Human genes 0.000 description 1
- 101001130384 Homo sapiens Cell cycle checkpoint protein RAD1 Proteins 0.000 description 1
- 101001132307 Homo sapiens DNA repair protein RAD51 homolog 2 Proteins 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、エキシマレーザなどの放電回路に用いて好適
な高電圧放電回路に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a high voltage discharge circuit suitable for use in a discharge circuit such as an excimer laser.
［従来の技＃１］
従来において、エキシマレーザの放電回路として、第７
図に示すように、直流高電Ｊ、１：電源ＨＶに対してコ
ンデンサＣ１とインダクタンスＬ １およびコンデンサ
Ｃ２を直列接続し、さらにコンデンサＣ２に放電７８
慟Ｄ ＥとインダクタンスＬ２を並列接続し、高電圧電
源ＨＶからコンデンサＣ１に充電した電荷を該コンデン
サＣ１に並列接続したスイッチＳＷ１を閉じることによ
って放電させ、その放電電荷をコンデンサＣ２に転送し
て放電電極ＤＥで放電を行なわせるようにしたものがあ
る。[Conventional technique #1] Conventionally, as an excimer laser discharge circuit, the seventh
As shown in the figure, a DC high current J,1: A capacitor C1, an inductance L1, and a capacitor C2 are connected in series to a power supply HV, and a discharge 78
A capacitor C1 is charged with a high-voltage power supply HV by connecting a capacitor D E and an inductance L2 in parallel, and is discharged by closing a switch SW1 connected in parallel with the capacitor C1.The discharged charge is transferred to a capacitor C2 and discharged. There is one in which discharge is caused by the electrode DE.
この場合、スイッチＳＷ１としては大電流を高速にスイ
ッチングすることが出来るサイラトロンが用いられてい
る。In this case, a thyratron capable of switching a large current at high speed is used as the switch SW1.
一方、スイッチＳＷ １としてのサイラトロンの高いピ
ーク電流や速い電圧／電流の立上がりの負担を軽減する
ために、第８図に示すように、可飽和リアクトルＳＲ１
，ＳＲ２およびコンデンサＣ３、Ｃ４を第７図のコンデ
ンサＣ２に直並列接続し、第７図の組成の場合より高い
放電エネルギーを得るＪ：うにしたＭ Ｐ Ｃ方式（Ｍ
ａｇｎｅｔｉ ｐｕｌｕｓｅ Ｃｏｎｐｒｅｓｓｉ
ｏｎ）の放電回路がある。この構成によれば、スイッチ
Ｓ〜■１を閉じた時にコンデンサＣ１の電荷はＣ２の電
荷に移行するが、可飽和リアクトルＳＲ１にも少しずつ
流れる。その結果、ＳＲ１が飽和すると、コンデンサＣ
３はＣ２よりも短い時間で充電され、その充電電圧が放
電電極ＤＥに加わるため、放電エネルギーが大きくなる
。On the other hand, in order to reduce the burden of high peak current and fast voltage/current rise of the thyratron as switch SW1, a saturable reactor SR1 is used as shown in FIG.
, SR2 and capacitors C3 and C4 are connected in series and parallel to capacitor C2 in Fig. 7 to obtain higher discharge energy than in the case of the composition shown in Fig. 7.
agneti pulse compressi
There is a discharge circuit (on). According to this configuration, when the switches S to (1) are closed, the charge in the capacitor C1 is transferred to the charge in C2, but it also flows little by little to the saturable reactor SR1. As a result, when SR1 is saturated, capacitor C
3 is charged in a shorter time than C2, and the charging voltage is applied to the discharge electrode DE, so that the discharge energy becomes larger.
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、上記の放電回路でスイッチとして用いられて
いるサイラトロンは８い耐電圧性態を右しているが、そ
の野命は電荷の移動する回数で決定される。ところが、
上記の放電回路では放電が終了した後も大きな残留電流
があるため、この残留電流が放電終了後もサイラトロン
を往復する。[Problems to be solved by the invention] By the way, the thyratron used as a switch in the above-mentioned discharge circuit has a withstand voltage property of 8, but its potential is determined by the number of times the charge moves. Ru. However,
In the above-mentioned discharge circuit, there is a large residual current even after the discharge ends, and this residual current circulates through the thyratron even after the discharge ends.
このため、サイラトロンのか命が約７×１０８パルス程
度で限界となり、これに伴って放電回路としての寿命も
短くなるという問題があった。この場合、第８図のＭＰ
Ｃ方式の回路構成にした詩にはサイラトロンの寿命を約
１０倍程度に延ばすことができるが、可飽和リアクトル
等を必要とするため、回路が複雑化し、コスト高になる
という問題がある。また、サライトロンに代えてサイリ
スク等の半導体スイッチング素子を用いることも考えら
れるが、半導体スイッチング素子は耐電圧が低いために
１１１ｆ％に使用することができないという問題があっ
た。For this reason, the life of the thyratron is limited to about 7×10 8 pulses, and the life of the discharge circuit is accordingly shortened. In this case, MP in Figure 8
Although the C-type circuit configuration can extend the life of the thyratron by about 10 times, it requires a saturable reactor, which makes the circuit complicated and increases the cost. It is also possible to use a semiconductor switching element such as Cyrisk instead of Salytron, but there is a problem that semiconductor switching elements cannot be used for 111f% because of their low withstand voltage.
本発明は上記のような事情に鑑みなされたもので、その
目的は安価で寿命の長い高電圧放電回路を提供すること
を目的としている。The present invention was made in view of the above circumstances, and its purpose is to provide a high voltage discharge circuit that is inexpensive and has a long life.
［問題点を解決するための手段］
木ブを明は、電源に並列に接続された複数個のコンデン
サと、スイッチングによってこれら複数個のコンデンサ
を直列接続状態に切替える半導体スイッチング素子と、
直列接続状態における前記複数個のコンデンサの電荷を
蓄積し、各コンデンサの充電電圧を複数倍した高電圧を
出力する■１ツノコンデンサとを設け、出力コンデンサ
の充電電圧を放電電極に印加するように構成したもので
ある。[Means for solving the problem] Akira Kibuwo uses a plurality of capacitors connected in parallel to a power supply, a semiconductor switching element that switches the plurality of capacitors into a series connection state by switching,
A horn capacitor is provided to accumulate the charges of the plurality of capacitors in a series connection state and output a high voltage that is multiple times the charging voltage of each capacitor, and the charging voltage of the output capacitor is applied to the discharge electrode. It is composed of
［作用］
コンデンサの充電電圧は半導体スイッチング素子がオン
することにより、直列に加篩されて出力コンデンサに充
電される。放電電極ではこの昇圧された電圧により放電
が行なわれる。[Function] When the semiconductor switching element turns on, the charging voltage of the capacitor is filtered in series and charged to the output capacitor. Discharge occurs at the discharge electrode due to this boosted voltage.
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示す回路図であり、直流高
電圧電源Ｉ」Ｖには抵抗Ｒを介してコンデンサＣ１１，
Ｃ１２，Ｃ１３およびインダクタンスＬ１１゜〜Ｌ１４
が直並列に接続され、コンデンサＣ１１は抵抗Ｒを介し
て、またコンデンサＣ１２はＲ−１１１−１１３を介し
て、さらにコンデンサＣ１３はＲ−１１１−１１２−１
１４−り１３を介してＨＶ （ｖ）に充電されるように
構成されている。さらに、Ｃ１１の＋側と０１２の一側
との間にはサイリスタＳＣＲ１がＣ１２側をアノードと
して接続されると共に、Ｃ１２の＋側とＣＩ３の一側と
の間にもサイリスタＳＣＲ２がＣＩ３側をアノードとし
て接続されている。そして、Ｃ１３の＋側と接地電位間
にはインダクタンス［１５およびコンデンサＣ１４の直
列回路が並列接続されると共に、コンデンサＣ１４には
可飽和リアクトルＳＲを介して出力コンデンサＣ１５が
並列接続されている。さらに、コンデンサＣ１５には放
電電極ＤＥとインダクタンスＬ１６が並列接続されてい
る。[Embodiment] FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention, in which a DC high voltage power supply I'V is connected to a capacitor C11,
C12, C13 and inductance L11° to L14
are connected in series and parallel, capacitor C11 is connected through resistor R, capacitor C12 is connected through R-111-113, and capacitor C13 is connected through R-111-112-1.
The battery is configured to be charged to HV (v) via the battery 14-13. Further, a thyristor SCR1 is connected between the + side of C11 and one side of 012 with the C12 side as the anode, and a thyristor SCR2 is connected between the + side of C12 and one side of CI3 with the CI3 side as the anode. connected as. A series circuit of an inductance [15] and a capacitor C14 is connected in parallel between the + side of C13 and the ground potential, and an output capacitor C15 is connected in parallel to the capacitor C14 via a saturable reactor SR. Further, a discharge electrode DE and an inductance L16 are connected in parallel to the capacitor C15.
以上の４ｆＭ Ｊ＆において、サイリスタ５ＣＲＩ、Ｓ
ＣＲ２が共にオフの場合、コンデンサＣ１ｌ、 Ｃ１２
゜Ｃ１３およびＣ１４は高電圧ＨＶ （Ｖ）が印加され
ることにより、Ｑ＝Ｃ−ＨＶの電荷が蓄積される。In the above 4fM J&, thyristor 5CRI, S
When both CR2 are off, capacitors C1l and C12
By applying a high voltage HV (V) to C13 and C14, charges of Q=C-HV are accumulated.
この状態でＳＣＲ１およびＳＣＲ２が共にオンになると
、Ｃ１４（＋）側→Ｌ１５→Ｃ１３→ＳＣＲ２→Ｃ１２
→ＳＣＲ１→ｃｉｉ→Ｃ１４（−）側の電Ｆ、経路が形
成されるので、Ｃ１１，Ｃ１２，Ｃ１３の電荷はこの電
流経路を通じてＣ２に転送される。すなわち、Ｃ１１，
ＣＩ２． Ｃ１３，およびＣ２はＳＣＲ１，５ＣＲ２が
オンどなる前にそれぞれＣ−ＨＶだけの電荷Ｑがそれぞ
れ蓄積されていたため、５ＣＲ１゜ＳＣＲ２のオンによ
ってＣ２に新たに３ＣＨＶの電荷が転送される。この時
の電荷は可飽和リアクトルＳＲを通じてＣ１５にも少し
ずつ流れるが、Ｃ１４への電荷の転送が終わってＳＲが
飽和１”ると、今度はＣ１４からＣ１５への電荷の転送
が始まる。このとき、ＳＲが飽和しているため、Ｃ１４
から０１５への電荷の転送は類時間のうちに行なわれる
ので、放電電極ＤＥに印加されるパルス状の高電圧波形
はそのピーク値が大きくなり、放電電極ＤＥからは高い
エネルギーの１１１電電流が得られる。When SCR1 and SCR2 are both turned on in this state, C14 (+) side → L15 → C13 → SCR2 → C12
→SCR1→cii→C14 Since a (-) side electric F path is formed, the charges of C11, C12, and C13 are transferred to C2 through this current path. That is, C11,
CI2. Since C13 and C2 had accumulated a charge Q of C-HV before SCR1 and 5CR2 were turned on, a new charge of 3CHV was transferred to C2 by turning on 5CR1°SCR2. The charge at this time also flows little by little to C15 through the saturable reactor SR, but when the charge transfer to C14 is finished and SR reaches saturation 1'', the charge transfer from C14 to C15 starts.At this time , SR is saturated, so C14
Since the transfer of charge from 015 to 015 takes place in a similar amount of time, the pulse-like high voltage waveform applied to the discharge electrode DE has a large peak value, and a high energy 111 current flows from the discharge electrode DE. can get.
以上のように、高電圧ＨＶを並列接続したコンデンサＣ
１１〜Ｃ１３に充電しておさ゛、５ＣＲ１，ＳＣＲ２を
オンさけることによってこれらコンデンサの充電電圧を
加暉した形でコンデンサＣ１４に移し、該コンデンサＣ
１４の充電電圧を高電圧ＨＶの３侶に昇Ｊ工して放電さ
せるように構成したことにより、高電圧電源ＨＶとして
従来より低い電圧のものを用いることができるようにな
り、高電圧電源ＨＶを小形化することができたうえ、放
電開始スイッチどしてのＳＣＲも低耐圧のものを用いる
ことができる。低耐圧のＳＣＲを用いることができるよ
うになった結果、放電回路としての寿命も延長すること
ができたうえ、昇圧用のコンデンサを複数段に亘って接
続するだけであるため、安価な構成にすることができる
。As mentioned above, capacitor C with high voltage HV connected in parallel
11 to C13, and by avoiding turning on 5CR1 and SCR2, the charging voltage of these capacitors is transferred in an enhanced form to capacitor C14, and the capacitor C14 is charged.
By increasing the charging voltage of 14 to the three high voltage HVs and discharging them, it is now possible to use a lower voltage than the conventional high voltage power source HV, and the high voltage power source HV In addition to being able to downsize, it is also possible to use SCRs with low breakdown voltages, such as the discharge start switch. As a result of being able to use a low-voltage SCR, the lifespan of the discharge circuit can be extended, and the configuration can be made cheaper because the step-up capacitors are simply connected in multiple stages. can do.
なお、ＳＣＲはその耐電圧特性と放電電圧との関係に応
じて第２図に示りように複数個直列接続し、必要な放電
電圧に充分耐え１！７るように構成することができる。Note that, depending on the relationship between the withstand voltage characteristics and the discharge voltage, a plurality of SCRs can be connected in series as shown in FIG. 2, and configured to sufficiently withstand the required discharge voltage.
この場合、ＳＣＲがオンした貯のコンデンサＣ１１〜Ｃ
Ｉ３の電荷は第３図の等価回路て示ザにうな経路でコン
デンサＣ１４に転送される。In this case, the storage capacitors C11 to C with the SCR turned on
The charge on I3 is transferred to capacitor C14 through a path similar to that shown in the equivalent circuit of FIG.
第４図は本発明の他の実施例を示す回路図であり、高電
圧電源ＨＶと接地電位との間にはサイリスタＳＣＲとイ
ンダクタンスＬ２０が直列接続されている。さらに、こ
れらＳＣＲと［２０の直列回路にはコンデンサＣ２０が
並列接続されると共に、Ｃ２０にはダイオードＤ Ｉ
、インダクタンス「２１を介してコンデン１すＣ２１が
並列接、恍されている。ざらにＣ２０にはインダクタン
ス上２２．ダイオードＤ２を介してコンデンサＣ２２が
並列接続されている。FIG. 4 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention, in which a thyristor SCR and an inductance L20 are connected in series between the high voltage power supply HV and the ground potential. Furthermore, a capacitor C20 is connected in parallel to the series circuit of these SCRs and [20, and a diode DI is connected to C20.
, a capacitor C21 is connected in parallel via an inductance 21. Roughly, a capacitor C22 is connected in parallel to C20 via an inductance 22 and a diode D2.
また、コンデンサＣ２１の（１）側とＣ２２の（＝）側
との間には可飽和リアクトルＳＲを介してコンデンサＣ
２３が並列接続され、このＣ２３に並列に放電電極ＤＥ
とインダクタンス１２３が並列接続されている。In addition, a capacitor C is connected between the (1) side of capacitor C21 and the (=) side of C22 via a saturable reactor SR.
23 are connected in parallel, and a discharge electrode DE is connected in parallel to this C23.
and an inductance 123 are connected in parallel.
この構成にｊ５いて、ＳＣＲがＡフの場合、０２０は高
電圧電源ＨＶから直接充電され、またＣ２１はＨＶ−Ｄ
１→Ｌ２１の経路で充電され、さらにＣ２２はＨＶ
→Ｃ２２→Ｄ２−夛Ｌ２２の経路で充電される。In this configuration, if SCR is A-f, 020 is charged directly from high voltage power supply HV, and C21 is charged directly from HV-D.
It is charged via the path 1→L21, and furthermore, C22 is HV
→ C22 → D2 - It is charged through the route L22.
この状態でＳＣＲがオンすると、Ｃ１１と１２０で構成
される回路が１０反転を起こすので、Ｃ２１−Ｃ２０−
Ｃ２２が直列につながり、Ｃ２１の（＋）側とＣ２２の
（−）側には３ＨＶ （ｌの電圧が現れるが、Ｃ２１お
よびＣ２２の充電電圧は放電方向に対してダイオードＤ
Ｉ、 Ｄ ２が逆方向に接続くされているためにその
充電電圧を維持する。このようにして３ＨＶ （ｖ）に
昇圧された電圧はＳＲを介してＣ２３に移され、このＣ
２３の充電電圧によって放電電極ＤＥが放電を生じる。When the SCR is turned on in this state, the circuit composed of C11 and 120 causes a 10 inversion, so C21-C20-
C22 are connected in series, and a voltage of 3HV (l) appears on the (+) side of C21 and the (-) side of C22, but the charging voltage of C21 and C22 is
Since I and D2 are connected in opposite directions, the charging voltage is maintained. The voltage boosted to 3HV (v) in this way is transferred to C23 via SR, and this C
The discharge electrode DE generates a discharge due to the charging voltage of 23.
第５図はＨＶ （Ｖ）＝１０（ｋｖ）とした時のＣ２の
充電電圧波形を示すもので、破線はＳＲの入力電圧波形
、実線はＣ２３の出力電圧波形を示しており、ＳＲの作
用によってＣ２３が３速に充電されて放電される様子が
示されている。Figure 5 shows the charging voltage waveform of C2 when HV (V) = 10 (kv), the broken line shows the input voltage waveform of SR, the solid line shows the output voltage waveform of C23, and the effect of SR. This shows how C23 is charged and discharged to the third speed.
第６図は第４図に示した回路を２個並列に組合せて構成
した本発明の他の実施例を示づ回路図であり、トランス
Ｔｒによって例えば１０（ｋｖ）に昇圧された高電圧交
流電源は整流回路ＲＥＣ１゜ＲＥＣ２に入力され、それ
ぞれ整流されで正および負の直流８電圧ＨＶ １．
ＨＶ ２に変換される。FIG. 6 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention configured by combining two circuits shown in FIG. The power is input to the rectifier circuits REC1 and REC2, and is rectified to produce 8 positive and negative DC voltages HV1.
Converted to HV2.
これら直流高電圧ＨＶ １； ＨＶ ２は第４図に示し
た構成の第１の放電回路ＤＣＴ １．ＤＣＴ ２のコン
デンサＣ２０，Ｃ２１，、Ｃ２２にそれぞれ充電され、
ＳＣＲがオンした時に可飽和リアクトルＳＲを介してＣ
２３に移される。これによって、各放電回路ＤＣＴ １
．ＤＣＴ ２のコンデンサに０２３はコンデンサ０２０
〜Ｃ２２の各充電電圧５ ＜ｋｖ）の３倍の充電電圧が
冑られる。この１５ｋｖの充電電圧はさらにＳＲ２を通
ってコンデンサＣ２４に３０（ｋＶ）の充電電圧となっ
て移され、放電電極ＤＥにより放電される。なお、ＤＣ
Ｔ １． ＤＣＴ ２内の回路素子の番号は第４図と同
一番号で示した。These DC high voltages HV 1 and HV 2 are connected to the first discharge circuit DCT 1 with the configuration shown in FIG. The capacitors C20, C21, and C22 of DCT 2 are charged respectively,
C through saturable reactor SR when SCR is turned on.
Moved to 23rd. As a result, each discharge circuit DCT 1
．． DCT 2 capacitor 023 is capacitor 020
The charging voltage is three times higher than each charging voltage 5<kv) of ~C22. This charging voltage of 15 kV is further transferred to the capacitor C24 through SR2 as a charging voltage of 30 (kV), and is discharged by the discharge electrode DE. In addition, D.C.
T1. The numbers of the circuit elements in the DCT 2 are shown with the same numbers as in FIG.
［発明の効果コ
以上説明したように本発明においては、高電圧を並列接
続したコンデンサに充電しておき、ＳＣＲ等の半導体ス
イッチング素子をオンさせることによってこれらコンデ
ンサの充電電圧を加峰した形でｉＨ力コンデンサに移し
、該出力コンデンサの充電電圧を入ツノ高電圧の複数倍
に昇圧して放電さゼるように構成したことにより、高電
圧電源として従来より低い電圧のものを用いることがで
きるようになり、高７ｆｉ圧電源を小形化することがで
きたうえ、放電開始スイッチとしての半導体スイッチン
グ素子も低耐圧のものを用いることがでさ−る。[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, a high voltage is charged to capacitors connected in parallel, and the charging voltage of these capacitors is summed by turning on a semiconductor switching element such as an SCR. By transferring the power to the iH power capacitor and configuring the charging voltage of the output capacitor to be boosted to multiple times the input high voltage and then discharged, a lower voltage than conventional high voltage power sources can be used. As a result, the high 7fi voltage power supply can be downsized, and a semiconductor switching element with a low breakdown voltage can be used as the discharge start switch.
低耐圧の半導体スイッチング素子を用いることができる
ようになった結果、放電回路としての寿命も延長するこ
とができたうえ、昇圧用のコンデンサを複数段に渡って
接続するだけであるため、安価な構成にすることがでさ
“る。As a result of being able to use low-voltage semiconductor switching elements, the lifespan of the discharge circuit has been extended, and since the step-up capacitors are simply connected in multiple stages, they are inexpensive. You can configure it.
第１図は本光明の第１の実施例を示す回路図、第２図は
第２の実施例を示す回路図、第３図は第２図におけるサ
イリスタがオンしたときの等価回路図、第４図は本発明
の第３の実施例を示す回路図、第５図は第４図における
コンデンサＣ２３の放電電圧波形を示す波形図、第６図
は本発明の第４の実施例を示す回路図、第７図および第
８図は従来の嵩雷圧敢電回路の構成を示す回路図である
。
Ｒ・・・抵抗、Ｌ１１〜１１ｅ、 Ｌ２０〜１２３・・
・インダクタンス、０１１〜Ｃ１５，Ｃ２０〜Ｃ２３，
Ｃ２４−＝ ：］ ：／Ｔ”／す、ＳＲ，ＳＲＩ・・・
可飽和リアクトル、Ｄ［・・・放雷電性。
・ヒニ、ｊ
第１図
第２図
第３図
第４図
を
第５図Fig. 1 is a circuit diagram showing a first embodiment of the present light, Fig. 2 is a circuit diagram showing a second embodiment, Fig. 3 is an equivalent circuit diagram when the thyristor in Fig. 2 is turned on, and Fig. 3 is an equivalent circuit diagram when the thyristor in Fig. 2 is turned on. 4 is a circuit diagram showing a third embodiment of the present invention, FIG. 5 is a waveform diagram showing the discharge voltage waveform of capacitor C23 in FIG. 4, and FIG. 6 is a circuit diagram showing a fourth embodiment of the present invention. 7 and 8 are circuit diagrams showing the configuration of a conventional bulk lightning pressure circuit. R...Resistance, L11~11e, L20~123...
・Inductance, 011~C15, C20~C23,
C24-= :] :/T"/su, SR, SRI...
Saturable reactor, D [... lightning discharge property.・Hini, j Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5
Claims (1)
チングによってこれら複数個のコンデンサを直列接続状
態に切替える半導体スイッチング素子と、直列接続状態
における前記複数個のコンデンサの電荷を蓄積し、各コ
ンデンサの充電電圧を複数倍した高電圧を出力する出力
コンデンサと、この出力コンデンサの充電電圧を放電す
る放電電極とを備えた高電圧放電回路。A plurality of capacitors connected in parallel to a power supply, a semiconductor switching element that switches the plurality of capacitors to a series connection state by switching, and a semiconductor switching element that stores the charges of the plurality of capacitors in the series connection state and charges each capacitor. A high voltage discharge circuit that includes an output capacitor that outputs a high voltage that is multiple times the voltage, and a discharge electrode that discharges the charging voltage of this output capacitor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056486A JPS62257779A (en) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | High-voltage discharge circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056486A JPS62257779A (en) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | High-voltage discharge circuit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62257779A true JPS62257779A (en) | 1987-11-10 |
Family
ID=14277413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10056486A Pending JPS62257779A (en) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | High-voltage discharge circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62257779A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989001713A1 (en) * | 1987-08-13 | 1989-02-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser |
| JP2010104490A (en) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Panasonic Corp | Puncture device and its control method |
-
1986
- 1986-04-30 JP JP10056486A patent/JPS62257779A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989001713A1 (en) * | 1987-08-13 | 1989-02-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser |
| GB2217513A (en) * | 1987-08-13 | 1989-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | Metal vapor laser apparatus |
| JP2010104490A (en) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Panasonic Corp | Puncture device and its control method |
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